JP2008213238A - 液体噴射ヘッドユニットの製造方法及び液体噴射ヘッドユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液体を噴射するノズル開口21が開口する液体噴射面Aを有する液体噴射ヘッド2と、該液体噴射ヘッド2の前記液体噴射面Aに接着剤400を介して接着される保持部材250とを具備する液体噴射ヘッドユニットの製造方法であって、前記液体噴射面Aに積層膜22を形成する工程と、前記積層膜22が形成された前記液体噴射面Aの前記保持部材に接着される領域に前記積層膜22が形成されていない非撥液領域25を形成する工程と、前記非撥液領域25にプライマ液を塗布するプライマ処理工程と、前記液体噴射面Aの前記非撥液領域25に前記保持部材を接着剤400を介して接着する工程とを具備する。
【選択図】図4
Description
かかる態様では、液体噴射ヘッドの液体噴射面に非撥液領域を形成すると共に、非撥液領域をプライマ処理してから保持部材を接着剤を介して接着することで、接着強度を向上して剥離等が発生するのを防止することができる。また、液体噴射面の全面に亘って撥液膜を形成してから、撥液膜を除去して非撥液領域を形成することにより、撥液膜を所望の領域に容易に且つ高精度に形成することができる。
かかる態様では、液体噴射面と保持部材との接着強度を向上して剥離等が発生するのを防止することができ、信頼性を向上することができる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニットを示す分解斜視図であり、図2は、インクジェット式記録ヘッドユニットの組立斜視図である。
以上、本発明の実施形態1を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1では、積層膜22として、プラズマ重合膜からなる下地膜23と、下地膜23上に設けられた金属アルコキシドの分子膜からなる撥液膜24とを用いたが、特にこれに限定されず、撥液膜として、例えば、ノズルプレート20上に直接形成したフッ素系高分子を含む金属膜を用いるようにしてもよい。このような金属膜からなる撥液膜は、例えば、共析メッキによりノズルプレート20上に所定の厚さで高精度に形成することができる。なお、金属膜からなる撥液膜は、ノズルプレート20の全面に亘って撥液膜を形成し、撥液膜を残したい領域を保護膜で保護した後、撥液膜の余分な領域をドライエッチングやウェットエッチングなどで除去することにより非撥液領域を形成すればよい。
Claims (9)
- 液体を噴射するノズル開口が開口する液体噴射面を有する液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドの前記液体噴射面に接着剤を介して接着される保持部材とを具備する液体噴射ヘッドユニットの製造方法であって、
前記液体噴射面に撥液膜を形成する工程と、前記撥液膜が形成された前記液体噴射面の前記保持部材に接着される領域に前記撥液膜が形成されていない非撥液領域を形成する工程と、前記非撥液領域にプライマ液を塗布するプライマ処理工程と、前記液体噴射面の前記非撥液領域に前記保持部材を接着剤を介して接着する工程とを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法。 - 前記撥液膜を形成する工程では、前記液体噴射面の全面に亘って下地膜と、該下地膜上に金属アルコキシドからなる分子膜の撥液膜とを形成することを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
- 前記非撥液領域を形成する工程では、前記液体噴射面の前記下地膜上に設けられた前記分子膜のみを除去することを特徴とする請求項2記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
- 前記液体噴射ヘッドには、前記ノズル開口が設けられたノズルプレートと、該ノズルプレートの前記液体噴射面とは反対側の面に接着剤を介して接着される液体流路を有する流路形成基板とを具備し、前記撥液膜を形成する工程では、当該撥液膜を前記ノズルプレートの前記液体噴射面と当該液体噴射面の反対側の面とに形成すると共に、前記非撥液領域を形成する工程では、当該非撥液領域を前記液体噴射面の前記保持部材に接着される領域と、前記液体噴射面とは反対側の面とに形成することを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
- 前記撥液膜を形成する工程では、前記液体噴射面のみに下地膜を形成する工程と、前記ノズルプレートの全面に亘って金属アルコキシドからなる分子膜の撥液膜とを形成する工程とを具備し、前記非撥液領域を形成する工程では、前記ノズルプレートの前記液体噴射面の前記下地膜上に設けられた前記分子膜の前記撥液膜と、前記ノズルプレートの前記液体噴射面とは反対側の面に設けられた前記分子膜の前記撥液膜とを除去することを特徴とする請求項4記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
- 前記プライマ処理工程では、前記プライマ液を、前記ノズルプレートの前記液体噴射面の前記非撥液領域と、前記ノズルプレートの前記液体噴射面とは反対側の面の前記非撥液領域とに塗布することを特徴とする請求項4又は5記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
- 前記非撥液領域を形成する工程では、前記液体噴射面に相対向する領域に前記非撥液領域が開口する保護膜を形成する工程と、前記撥液膜を前記保護膜を介してプラズマ処理することにより当該撥液膜を除去して前記非撥液領域を形成する工程とを具備することを特徴とする請求項1〜6の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
- 前記保護膜を形成する工程では、テープからなる当該保護膜を前記液体噴射面に貼付することを特徴とする請求項7記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
- 液体を噴射するノズル開口が開口する液体噴射面を具備する液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドの液体噴射面に接着剤を介して接着された保持部材とを具備し、
前記液体噴射面には、撥液膜が設けられていると共に、前記保持部材が接着される領域に前記撥液膜が形成されていない非撥液領域を具備し、前記非撥液領域と前記接着剤との界面には、当該非撥液領域にプライマ残留層が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
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