JP2008210731A - 電子分光器を備えた透過型電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
電子分光器および透過型電子顕微鏡を用いて、エネルギー損失量と測定位置情報が直交する二軸で形成されるスペクトル像について、スペクトル像の測定倍率および測定位置を高効率かつ高精度に行う。
【解決手段】
電子分光器および透過型電子顕微鏡を用いて、エネルギー損失量と測定位置情報が直交する二軸で形成されるスペクトル像について、スペクトル像の測定倍率および測定位置を高効率かつ高精度に補正可能な倍率・位置補正方法および倍率・位置補正システムを提供する。
【選択図】図1
Description
Transmission Electron Microscopy:(S)TEM)及び電子エネルギー損失分光法
(Electron Energy Loss Spectroscopy:EELS)を用いたスペクトル分析や、二次元元素分布分析が必須の分析手段となっている。
Near-Edge Structure :ELNES)と呼ばれ、試料の電子状態や化学結合状態を反映した情報を有している。また、エネルギー損失値(吸収端位置)は元素固有であるため、定性分析が可能である。また、ケミカルシフトと呼ばれるエネルギー損失値のシフトから注目元素の周辺の配位に関連する情報も得ることが出来るため、簡易的な状態分析も可能である。
25に順次表示する。また、選択領域を拡大すると、選択領域内で加算された電子エネルギー損失スペクトルを表示する。スペクトル表示部25に表示された電子エネルギー損失スペクトルは、測定データをそのまま表示しても良いし、バックグラウンド除去等の信号処理もすることもできる。エネルギースペクトル像は、図8のようにスリットの各開口部ごとに表示してもよいし、後述の図9のようにひとつの開口部を分割したそれぞれの範囲について表示してもよい。
27と選択された領域で得られたスペクトルの強度プロファイルを表示している例である。
27と選択された領域で得られたスペクトルのピーク位置を表示している例である。
2 電子源
3 電子線
4 収束レンズ
5 試料
6 対物レンズ
7 結像レンズ系
8 電子分光器
9 蛍光板
10 磁場セクタ
11,12 多重極子レンズ
13 画像検出器
14 画像表示装置
15 倍率・位置補正システム
16 中央制御装置
17 視野制限スリット
18 倍率・位置補正スリット
19 電子線遮断部
20 電子線通過部
21 選択ボタン群
22 エネルギー損失量設定ボタン
23 スペクトル像倍率補正ボタン
24 スペクトル像位置補正ボタン
25 スペクトル表示部
26 スペクトル測定領域
27 透過型電子顕微鏡像
28 領域選択ツール
29 線分析ボタン
30 強度プロファイル表示ボタン
31 強度プロファイル表示部
32 ピーク位置表示ボタン
33 ピーク位置表示部
40 画像パターン
Claims (12)
- 電子分光器を備えた透過型電子顕微鏡により取得される電子分光器のエネルギー分散軸と位置情報の軸が直交する二軸で形成されるスペクトル像の倍率補正方法において、前記透過型電子顕微鏡により得られる透過型電子顕微鏡像の電子分光器の画像パターンと前記スペクトル像の電子分光器の画像パターンにより、前記スペクトル像の倍率を補正することを特徴とするスペクトル像の倍率補正方法。
- 電子分光器を備えた透過型電子顕微鏡により取得される電子分光器のエネルギー分散軸と位置情報の軸が直交する二軸で形成されるスペクトル像の測定位置補正方法において、前記透過型電子顕微鏡により得られる透過型電子顕微鏡像の電子分光器の画像パターンと前記スペクトル像の電子分光器の画像パターンにより、前記スペクトル像の測定位置を補正することを特徴とするスペクトル像の測定位置補正方法。
- 電子線を試料に放射する電子銃と、前記電子銃から放射された電子線を収束させる収束レンズ群と、試料を透過した該電子線を結像させる結像レンズ群と、結像させた画像を検出する画像検出器と、前記試料の観察範囲を選択する視野制限スリットと、前記試料を透過した電子線の有するエネルギー量により該電子線を分光する電子分光器を備えた透過型電子顕微鏡において、
該電子分光器は、エネルギー分散方向およびエネルギー分散方向と直交する方向とで収束位置を異ならせたエネルギースペクトル像を出力する電子分光器であって、前記エネルギースペクトル像の倍率及び測定位置を補正する補正装置を有することを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 請求項3に記載された透過型電子顕微鏡であって、前記視野制限スリットは、エネルギー分散方向に平行方向に並んだ開口部を有することを特徴とする透過型電子顕微鏡。
- 請求項3に記載された透過型電子顕微鏡であって、前記透過型電子顕微鏡は、前記補正装置により前記エネルギースペクトル像の倍率及び測定位置を補正する補正開始スイッチを有することを特徴とする透過型電子顕微鏡。
- 請求項3に記載された透過型電子顕微鏡であって、前記取得したエネルギー損失スペクトルを所定領域ごとに分割し、各領域のエネルギー損失スペクトル像を表示させるスペクトル表示機能を有することを特徴とする透過型電子顕微鏡。
- 請求項3に記載された透過型電子顕微鏡であって、前記取得したエネルギー損失スペクトルを所定領域ごとに分割し、各領域のエネルギー損失スペクトル像より各領域のスペクトル強度プロファイルを表示させる強度プロファイル表示機能を有することを特徴とする透過型電子顕微鏡。
- 請求項3に記載された透過型電子顕微鏡であって、前記取得したエネルギー損失スペクトルを所定領域ごとに分割し、各領域のエネルギー損失スペクトル像よりスペクトルのピーク最大強度位置を表示させるピーク位置表示機能を有することを特徴とする透過型電子顕微鏡。
- 電子分光器を備え、透過型電子顕微鏡像及びエネルギー損失スペクトル像を取得可能な透過型電子顕微鏡のエネルギー損失スペクトル像の倍率補正方法であって、
参照試料の透過型電子顕微鏡画像より画像分解能を算出し、前記画像分解能を記憶装置に記憶し、前記透過型電子顕微鏡の電子線軌道上に複数の開口部を有するスリットを挿入し、前記スリットを介して撮像した参照試料の透過型電子顕微鏡画像より、スリットのパターンに応じた画素数を算出し、前記スリットのパターンの画素数より前記スリットのパターンの参照試料上の大きさを算出し、前記電子分光器を用いたエネルギー損失スペクトル像を取得し、前記エネルギー損失スペクトル像の画像パターン間の距離より、エネルギー損失スペクトル像の画像分解能を算出し、エネルギー損失スペクトル像の倍率の補正を行うことを特徴とする倍率補正方法。 - 電子分光器を備え、透過型電子顕微鏡像及びエネルギー損失スペクトル像を取得可能な透過型電子顕微鏡のエネルギー損失スペクトル像の測定位置補正方法であって、
補正スリットを介して試料の透過型電子顕微鏡で第一の電子顕微鏡像を撮像し、試料上の位置を変更せずに試料のエネルギー損失スペクトル像を取得し、試料上の位置を変更せずに再度試料の透過型電子顕微鏡で第二の電子顕微鏡像を撮像し、前記第一及び第二の電子顕微鏡像を比較し、前記第一及び第二の電子顕微鏡像が一致した場合に、エネルギー損失スペクトルを正しい測定位置で測定されたと判断して測定結果を出力することを特徴とするエネルギー損失スペクトル像の測定位置補正方法。 - 電子分光器を備え、透過型電子顕微鏡像及びエネルギー損失スペクトル像を取得可能な透過型電子顕微鏡であって、
エネルギー損失スペクトル像の測定位置を補正する補正装置と、電子顕微鏡像及びエネルギー損失スペクトル像を表示する画像表示装置を有し、
前記補正装置は、補正スリットを介して透過型電子顕微鏡で撮像される試料の第一の電子顕微鏡像と、試料上の位置を変更せずに取得される試料のエネルギー損失スペクトル像と、エネルギー損失スペクトル像の取得後に透過型電子顕微鏡で撮像される第二の電子顕微鏡像とを取得し、前記前記第一及び第二の電子顕微鏡像を比較し、
前記画像表示装置は、前記第一及び第二の電子顕微鏡像が一致した場合に、前記電子顕微鏡像と前記エネルギー損失スペクトル像を倍率・位置補正スリットのパターンに応じて組み合わせ、前記電子顕微鏡像と前記エネルギー損失スペクトル像を一画像で表示する画像情報を出力することを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 請求項11に記載された透過型電子顕微鏡であって、
前記画像情報は、前記エネルギースペクトル像の測定位置・範囲が透過型電子顕微鏡像中で認識可能とされていることを特徴とする透過型電子顕微鏡。
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