JP2008198199A - 支持されたペイロードの能動振動絶縁用の制御系 - Google Patents
支持されたペイロードの能動振動絶縁用の制御系 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008198199A JP2008198199A JP2008025127A JP2008025127A JP2008198199A JP 2008198199 A JP2008198199 A JP 2008198199A JP 2008025127 A JP2008025127 A JP 2008025127A JP 2008025127 A JP2008025127 A JP 2008025127A JP 2008198199 A JP2008198199 A JP 2008198199A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- control
- sensor
- actuator
- matrix
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000002955 isolation Methods 0.000 title claims abstract description 36
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 97
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000011143 downstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract 2
- 239000013598 vector Substances 0.000 claims description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 21
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 15
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 13
- 230000001629 suppression Effects 0.000 claims description 4
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 3
- 238000006880 cross-coupling reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 8
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 8
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 6
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 6
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 238000000844 transformation Methods 0.000 description 2
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005520 electrodynamics Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000008571 general function Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- 230000017105 transposition Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D19/00—Control of mechanical oscillations, e.g. of amplitude, of frequency, of phase
- G05D19/02—Control of mechanical oscillations, e.g. of amplitude, of frequency, of phase characterised by the use of electric means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明は、センサ制御行列を供給するためにすべての使用可能なセンサの位置データおよび方位データを処理し、その後、センサ信号およびセンサ制御行列から直交自由度における軸入力信号を計算する処理ユニット(41)と、軸入力信号を直交自由度における軸出力信号に処理する下流制御パス・カスケード・ブロック(42)と、振動抑制用のすべての使用可能なアクチュエータの位置データおよび方位データをアクチュエータ制御行列に処理し、その後、軸出力信号およびアクチュエータ制御行列からアクチュエータ制御信号を計算する下流処理ユニット(43)とを含む制御デバイスを伴う、支持されたペイロードの能動振動絶縁用の制御系に関する。
【選択図】図1
Description
軸出力信号ベクトル
Claims (12)
- センサ信号を供給する複数の振動信号変換器またはセンサと、振動抑制用の複数のアクチュエータと、前記センサ信号を処理してアクチュエータ制御信号にする制御デバイスとを含む、支持されたペイロードの能動振動絶縁用の制御システムであって、制御デバイス(4)が、すべての使用可能なセンサの位置データおよび方位データを処理してセンサ制御行列
- 前記ペイロードが、
−ベース・プレート(53)と、
−ベース・プレート(53)上に可動に配置された中間部分(52)と、
−中間部分(52)の内側に可動に配置され、前記水平および垂直の方向で振動から絶縁される荷重(54)を担持するピストン(51)であって、ピストン(51)の上側の直径が、中間部分(52)の壁厚さに対して10から36まで、好ましくは10から16まで、最も好ましくは10.7から15.1までの比率である、ピストン(51)と
を含む少なくとも1つのアイソレータ・モジュール、特に垂直および水平に作用する空気軸受によって支持される、請求項1に記載の制御システム。 - 入力される前記センサおよびアクチュエータの位置データおよび方位データから
- 前記処理ユニットが、特異値分解によって前記センサ制御行列または前記アクチュエータ制御行列の明確な解のベクトルを計算する、請求項3に記載の制御システム。
- 前記制御デバイスが、剛体の質量および主慣性モーメント、受動アイソレータ・モジュールの個数、そのそれぞれの剛性、ならびに重心に関するその位置および方向を記述する入力データに基づいて、前記支持されたペイロードおよび前記アイソレータ・モジュールからなる動的な系の剛体固有モードの計算を実行する、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の制御システム。
- 前記制御デバイスが、モード座標での動的な系の固有ベクトルを計算する計算ユニット(41、43)を含む、請求項5に記載の制御システム。
- 支持されたペイロードの能動振動絶縁用の制御系用の制御デバイスであって、制御デバイス(4)が、
センサ制御行列
を含む、制御デバイス。 - 処理ユニット(41、43)が、入力される前記センサおよびアクチュエータの位置データおよび方位データから
- 前記処理ユニットが、前記センサ制御行列または前記アクチュエータ制御行列の明確な解のベクトルを計算するために特異値分解を実行する、請求項8乃至9のいずれか1項に記載の制御デバイス。
- 処理ユニット(41、43)が、特に剛体の主慣性モーメントIxx、Iyy、およびIzz、受動アイソレータ・モジュールの個数NIM、そのそれぞれの剛性、ならびに重心に関するその位置および方向を記述する入力データに基づいて、前記支持されたペイロードおよび前記アイソレータ・モジュールからなる動的な系の剛体固有モードの計算を実行する、請求項8乃至10のいずれか1項に記載の制御デバイス。
- 処理ユニット(41、43)が、モード座標での前記動的な系の固有ベクトルを計算するように構成され、前記計算されたベクトルを含んで、さらに、デカルト座標に基づいて計算されたセンサ制御行列およびアクチュエータ制御行列をモード分離に効果的なセンサ制御行列およびアクチュエータ制御行列に処理する、請求項11に記載の制御デバイス。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP07002445.0 | 2007-02-05 | ||
EP07002445A EP1956459B1 (de) | 2007-02-05 | 2007-02-05 | Regelungssystem zur aktiven Schwingungsisolation einer gelagerten Nutzlast |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008198199A true JP2008198199A (ja) | 2008-08-28 |
JP5178222B2 JP5178222B2 (ja) | 2013-04-10 |
Family
ID=38180517
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008025127A Active JP5178222B2 (ja) | 2007-02-05 | 2008-02-05 | 支持されたペイロードの能動振動絶縁用の制御系 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7822509B2 (ja) |
EP (1) | EP1956459B1 (ja) |
JP (1) | JP5178222B2 (ja) |
DE (1) | DE502007002028D1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7613540B2 (en) * | 2007-05-04 | 2009-11-03 | Teknic, Inc. | Method and system for vibration avoidance for automated machinery |
NL2010456A (en) * | 2012-04-18 | 2013-10-21 | Asml Holding Nv | Lithographic apparatuses and methods for compensating for eigenmode coupling. |
US10293925B2 (en) * | 2013-01-18 | 2019-05-21 | Lord Corporation | Systems and methods for implementing directional force weighting with circular force generators |
CN104423175B (zh) * | 2013-09-02 | 2017-02-22 | 上海微电子装备有限公司 | 一种物镜隔振装置及对该物镜及物镜隔振装置的结构计算方法 |
JP6363217B2 (ja) * | 2014-04-04 | 2018-07-25 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 制御システム、位置決めシステム、リソグラフィ装置、制御方法、デバイス製造方法及び制御プログラム |
CN113360842B (zh) * | 2021-06-29 | 2022-11-22 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 快速全局解耦的液晶变形镜自适应光学***波前控制方法 |
CN113703310B (zh) * | 2021-07-28 | 2023-03-21 | 清华大学 | 隔振平台的解耦方法、装置、计算机设备和存储介质 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4999534A (en) * | 1990-01-19 | 1991-03-12 | Contraves Goerz Corporation | Active vibration reduction in apparatus with cross-coupling between control axes |
JPH10143254A (ja) * | 1996-11-08 | 1998-05-29 | Showa Electric Wire & Cable Co Ltd | アクティブ除振装置 |
EP1197824A1 (en) * | 2000-10-10 | 2002-04-17 | Ebara Corporation | Vibration isolating apparatus for table for mounting device sensitive to vibrations and method therefor |
JP2005315298A (ja) * | 2004-04-27 | 2005-11-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | アクティブ除振装置およびアクティブ除振方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4600863A (en) * | 1982-04-19 | 1986-07-15 | Sound Attenuators Limited | Method of and apparatus for active vibration isolation |
-
2007
- 2007-02-05 DE DE502007002028T patent/DE502007002028D1/de active Active
- 2007-02-05 EP EP07002445A patent/EP1956459B1/de active Active
-
2008
- 2008-01-31 US US12/024,092 patent/US7822509B2/en active Active
- 2008-02-05 JP JP2008025127A patent/JP5178222B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4999534A (en) * | 1990-01-19 | 1991-03-12 | Contraves Goerz Corporation | Active vibration reduction in apparatus with cross-coupling between control axes |
JPH10143254A (ja) * | 1996-11-08 | 1998-05-29 | Showa Electric Wire & Cable Co Ltd | アクティブ除振装置 |
EP1197824A1 (en) * | 2000-10-10 | 2002-04-17 | Ebara Corporation | Vibration isolating apparatus for table for mounting device sensitive to vibrations and method therefor |
JP2005315298A (ja) * | 2004-04-27 | 2005-11-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | アクティブ除振装置およびアクティブ除振方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080300726A1 (en) | 2008-12-04 |
JP5178222B2 (ja) | 2013-04-10 |
DE502007002028D1 (de) | 2009-12-31 |
US7822509B2 (en) | 2010-10-26 |
EP1956459A1 (de) | 2008-08-13 |
EP1956459B1 (de) | 2009-11-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5178222B2 (ja) | 支持されたペイロードの能動振動絶縁用の制御系 | |
Wang et al. | Investigation on active vibration isolation of a Stewart platform with piezoelectric actuators | |
US8899393B2 (en) | Active vibration isolation system | |
Hanagud et al. | Optimal vibration control by the use of piezoceramic sensors and actuators | |
EP1866555B1 (en) | Vibration isolation | |
EP1664587B1 (en) | Actuator arrangement for active vibration isolation comprising an inertial reference mass | |
US5645260A (en) | Active piezo-electric vibration isolation and directional bracket | |
Shin et al. | Three degrees of freedom active control of pneumatic vibration isolation table by pneumatic and time delay control technique | |
Robu et al. | Simultaneous $ H_\infty $ Vibration Control of Fluid/Plate System via Reduced-Order Controller | |
CA1325021C (en) | Active control of vibration | |
Anderson et al. | Ultraquiet platform for active vibration isolation | |
JPH05263868A (ja) | 除振台の地動外乱制御方法 | |
CN100465473C (zh) | 包括惯性基准质量的用于主动隔振的致动器装置 | |
Bushnell et al. | Active rack isolation system development for the International Space Station | |
JP2700728B2 (ja) | 除振台のフィードフォワード制御方法 | |
Whorton | Robust control for microgravity vibration isolation system | |
JPH10116120A (ja) | 微動位置決め制御装置 | |
JPH11194066A (ja) | 加振台の多モード振動制御法 | |
Yoon et al. | Active vibration confinement of flexible structures using piezoceramic patch actuators | |
Robu et al. | Active vibration control of a fluid/plate system using a pole placement controller | |
JP6151927B2 (ja) | アクティブ除振装置 | |
Pascal | Actuator and sensor design and modeling for structural acoustic control | |
Orszulik et al. | Active vibration control using adaptive positive position feedback | |
Hoshino et al. | A vibration isolation table supported by a redundant number of pneumatic actuators and force redistribution for compensating broken actuators | |
Beijers et al. | Near-source error sensor strategies for active vibration isolation of machines |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090609 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111107 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120207 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120210 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120507 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121211 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130108 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5178222 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |