JP2008193893A - 圧電アクチュエータ及びそれを備えた電子機器 - Google Patents
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Abstract
対しても、温度・湿度といった環境条件にも影響されないアクチュエータを提供
することにある。
【解決手段】 本発明の圧電アクチュエータは、小型で発生力の大きな圧電素子
を駆動源に用いることで、曲げ変位を発生させてその角度変位が最大となる点で
被稼動部材を支持するようにしたり、被稼動部材の支持点に偶力を与えることに
よって大きな変位を得るようにした。更にこの駆動機構を互いに交わる2軸に対
して回転駆動させるように組合せた機構とすることによって、被稼動部材を所望
方向に向けることが出来る機構を実現した。
【選択図】 図5
Description
反時計方向に回転される。これら2つの変位を独立に制御することによりミラーに自由な動きをさせることができる。
態では圧電部材Aと圧電部材A’の分極方向を異ならせれば、同一方向の印加電圧で捻れ運動を起こすことができる。その場合には個々の圧電部材の多様な変位は制限されるが、電極を共通とし印加電圧も同じとして単純化することができる。
Claims (6)
- 一端が固定されたユニモルフあるいはバイモルフ構造の第一の圧電部材と、
一端が固定され他端が前記第一の圧電部材の他端に固定されるとともに前記第一の圧電部材の変位とは逆方向に変位するユニモルフあるいはバイモルフ構造からなる第二の圧電部材と、
前記第一の圧電部材の他端と前記第二の圧電部材の他端に固定された被稼動部材と、
を有することを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 請求項1に記載の圧電アクチュエータと、
一端が固定されたユニモルフあるいはバイモルフ構造の第三の圧電部材と、
一端が固定され他端が前記第三の圧電部材の他端に固定されるとともに前記第三の圧電部材の変位とは逆方向に変位するユニモルフあるいはバイモルフ構造からなる第四の圧電部材と、
前記第一の圧電部材の他端と前記第二の圧電部材の他端と前記第三の圧電部材の他端と前記第四の圧電部材の他端に固定された被稼動部材と、
を有することを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記第一の圧電部材の長手方向並びに前記第二の圧電部材の長手方向と、前記第三の圧電部材の長手方向並びに前記第四の圧電部材の長手方向とは直交していることを特徴とする請求項2に記載の圧電アクチュエータ。
- 一端が固定されたユニモルフあるいはバイモルフ構造の第一の圧電部材と、
一端が固定され他端が前記第一の圧電部材の他端に固定されるとともに前記第一の圧電部材の変位とは逆方向に変位するユニモルフあるいはバイモルフ構造からなる第二の圧電部材と、
前記第一の圧電部材の他端と前記第二の圧電部材の他端に固定された枠体と、
一端が前記枠体に固定されたユニモルフあるいはバイモルフ構造の第三の圧電部材と、
一端が前記枠体に固定され他端が前記第三の圧電部材の他端に固定されるとともに前記第三の圧電部材の変位とは逆方向に変位するユニモルフあるいはバイモルフ構造からなる第四の圧電部材と、
前記第三の圧電部材の他端と前記第四の圧電部材の他端に固定された被稼動部材と、
を有することを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記第一の圧電部材、前記第二の圧電部材、前記第三の圧電部材、前記第四の圧電部材は夫々平行に配置された二つの圧電部材で構成されていることを特徴とする請求項4に記載の圧電アクチュエータ。
- 被稼動部材が光路方向を決めるミラー、レンズ、ファイバー、プリズムといった光デバイスである請求項1乃至5の何れか一つに記載の圧電アクチュエータ付電子機器。
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