JP2008189957A - 連続成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の連続成膜装置は、巻き出しロール8から巻き出された保護材付き基材Sを巻出側支持ロール9で回転支持し、保護材Pを保護材分離ロール10で分離した後、基材Sを下流側へ搬送する巻き出し部2を有する。また、前記巻出側支持ロール9に掛け渡され、成膜された基材Sを回転自在に支持し、下流側へ搬送する巻取側支持ロール14と、前記巻取側支持ロール14を介して前記基材Sを巻き取る巻き取りロール16と、成膜後の基材Sが前記巻取側支持ロール14に支持される際に基材に保護材を積層供給する保護材供給ロール15を備えた巻き取り部4を有する。さらに、前記巻出側支持ロール9から巻取側支持ロール14へ張力が付加された状態で連続的に搬送される基材の両面に成膜する成膜源20を備えた成膜部3を有する。
【選択図】図1
Description
巻き出し部2の巻き出しロール8に保持された保護材付き基材ロールRから基材Sが保護材Pと共に巻き出され、搬送ロール11を介して巻出側支持ロール9に搬送され、この巻出側支持ロール9を追加する際に基材Sに積層された保護材Pが保護材分離ロール10に巻き取られて基材Sから分離される。保護材Pは、前記巻出側支持ロール9上では、ロール表面と基材Sとの間に挟まれ、ロール表面と基材Sが直接接触するのを防ぐ。このため、基材Sに強い張力が付加された場合でも、前記巻出側支持ロール9の表面粗さの凹凸が基材Sに転写されたり、前記巻出側支持ロール9の表面に付着した異物が基材Sに移着するのを防止することができる。このため、前記巻出側支持ロール9から成膜室に入る基材Sの表面は、ロール表面の凹凸の転写や異物の付着から守られ、これらが原因となる皮膜欠陥を防止することができる。
3 成膜部
4 巻き取り部
8 巻き出しロール
9 巻出側支持ロール
10 保護材分離ロール(保護材分離手段)
14 巻取側支持ロール
15 保護材供給ロール(保護材供給手段)
16 巻き取りロール
20 成膜源
31 雰囲気流通抑制部
Claims (11)
- 保護材が積層され、ロール状に巻かれた基材を保持し、前記基材を保護材と共に巻き出す巻き出しロールと、前記巻き出しロールから前記保護材と共に巻き出された基材を前記保護材が接触するように回転自在に支持し、下流側へ搬送する巻出側支持ロールと、前記基材が保護材と共に前記巻出側支持ロールを通過する際、前記基材から保護材を分離する保護材分離手段を備えた巻き出し部と、
前記巻出側支持ロールに掛け渡され、前記保護材が分離された基材を回転自在に支持し、下流側へ搬送する巻取側支持ロールと、前記巻取側支持ロールを介して前記基材を巻き取る巻き取りロールを備えた巻き取り部と、
前記巻出側支持ロールから前記巻取側支持ロールへ張力が付加された状態で連続的に搬送される基材の表面に成膜する成膜源を備えた成膜部を有する、連続成膜装置。 - さらに、前記基材が前記巻取側支持ロールに支持される際に当該巻取側支持ロールに接触すると共に前記基材に積層するように保護材を前記基材に供給する保護材供給手段が設けられ、前記巻き取りロールは前記基材を保護材と共に巻き取る、請求項1に記載した連続成膜装置。
- ロール状に巻かれた基材を保持し、前記基材を巻き出す巻き出しロールと、前記巻き出しロールから巻き出された基材を回転自在に支持し、下流側へ搬送する巻出側支持ロールを備えた巻き出し部と、
前記巻出側支持ロールに掛け渡された基材を回転自在に支持し、下流側へ搬送する巻取側支持ロールと、前記基材が前記巻取側支持ロールに支持される際に当該巻取側支持ロールに接触すると共に前記基材に積層するように保護材を前記基材に供給する保護材供給手段と、前記巻取側支持ロールを介して前記基材を保護材と共に巻き取る巻き取りロールを備えた巻き取り部と、
前記巻出側支持ロールから前記巻取側支持ロールへ張力が付加された状態で連続的に搬送される基材の表面に成膜する成膜源を備えた成膜部を有する、連続成膜装置。 - 保護材が積層され、ロール状に巻かれた基材を保持し、前記基材を保護材と共に巻き出す巻き出しロールと、前記巻き出しロールから前記保護材と共に巻き出された基材を前記保護材が接触するように回転自在に支持し、下流側へ搬送する巻出側支持ロールを備えた巻き出し部と、
前記巻出側支持ロールに掛け渡された基材を回転自在に支持し、下流側へ搬送する巻取側支持ロールと、前記巻取側支持ロールを介して前記基材を巻き取る巻き取りロールを備えた巻き取り部と、
前記巻出側支持ロールから前記巻取側支持ロールへ張力が付加された状態で連続的に搬送される基材の表面に成膜する成膜源を有し、
さらに、前記基材が保護材と共に前記巻出側支持ロールを通過する際、前記基材から保護材を分離し、巻き取り側へ搬送する保護材分離搬送手段と、成膜後の基材が前記巻取側支持ロールに支持される際に前記保護材分離搬送手段によって分離搬送された保護材を前記巻取側支持ロールに接触すると共に前記基材に積層するように前記基材に搬送しながら供給する保護材搬送供給手段を備えた保護材分離供給部を有する、連続成膜装置。 - 前記巻き出し部に前記巻き出しロールと巻出側支持ロールとの間に前記保護材が接触するように搬送ロールが設けられた、請求項1、2又は4に記載された連続成膜装置。
- 前記巻き取り部に前記巻取側支持ロールと巻き取りロールとの間に前記保護材が接触するように搬送ロールが設けられた、請求項2、3又は4に記載された連続成膜装置。
- 前記成膜部は、基材の両表面に対向するように複数の成膜源を備えた、請求項1から6のいずれか1項に記載された連続成膜装置。
- 前記巻き出し部と成膜部との間及び前記成膜部と巻き取り部との間に前記成膜部の内部雰囲気が流動しないように前記基材よりわずかに大きな断面を有する開口部を備えた雰囲気流動抑制部が設けられた、請求項1から7のいずれか1項に記載された連続成膜装置。
- 前記雰囲気流動抑制部は、前記基材の搬入側及び搬出側に設けられた、前記基材よりわずかに大きな断面を有する開口部と、当該雰囲気流動抑制部内に連通した真空排気口が設けられた、請求項8に記載された連続成膜装置。
- 前記雰囲気変動抑制部は、前記搬入側又は搬出側のいずれかの開口部に当該開口部を閉塞する遮断弁が設けられた、請求項9に記載された連続成膜装置。
- 前記雰囲気流動抑制部は、前記基材の搬入側及び搬出側に設けられた、前記基材よりわずかに大きな断面を有する開口部と、前記搬入側及び搬出側の開口部をそれぞれ閉塞する遮断弁と、当該雰囲気流動抑制部内に連通した真空排気口が設けられた、請求項8に記載された連続成膜装置。
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