CN112095087B - 一种导电膜生产用具有空气隔离结构的镀膜设备 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及镀膜领域,具体是一种导电膜生产用具有空气隔离结构的镀膜设备,包括竖直设置的支撑安装筒,支撑安装筒的下端四角均竖直设置有支撑安装柱,支撑安装筒的上端两侧均水平设置有导料安装筒,支撑安装筒的左下角水平设置有导流安装筒,导料安装筒的内部设置有电磁阀,通过双向导料收料的结构,使得装置能够不分左右的进行镀膜作业,且通过伸缩调节,进行调节镀膜导电膜的长度,调节镀膜的速度,且通过互换性安装结构,使得装置能够更换镀膜原件,扩大了镀膜的作业范围,且提升了装置的维护性能,通过转动的弹性复位结构,使得导电膜的导料稳定连贯,进一步提升装置的镀膜效率和质量。
Description
技术领域
本发明涉及镀膜领域,具体是一种导电膜生产用具有空气隔离结构的镀膜设备。
背景技术
真空卷绕镀膜技术是在真空室内通过热蒸发或者磁控溅射等方法在柔性基材表面制备一层或者多层具有一定功能的薄膜的技术。真空卷绕镀膜设备主要技术特征是 :其一,被镀基材为柔性基材,即具有可卷绕性 ;其二,镀膜过程具有连续性,即在一个工作周期内镀膜是连续进行的 ;其三,镀膜过程在一定的真空环境中进行。所以真空卷绕镀膜设备的基本结构必须有卷绕转动,有基材的放卷和收卷。在放卷和收卷过程中基材被镀上薄膜。镀膜的结构就是真空卷绕镀膜设备的工作部。它位于基材的收放卷之间。镀膜部分的工作原理可以是电阻蒸发、感应蒸发、电子束蒸发、磁控溅射或者是其它真空镀膜方法中的任意一种,传统的柔性透明导电膜生产的控制技术仅仅是对电源参数的控制,对于过程的可控性不高。
中国专利(公告号CN202865329U)公开了一种透明导电膜卷绕镀膜装置,虽然能够进行真空环境下的镀膜作业,但是镀膜的效果并不理想,在镀膜的空气隔离方面、适应性稳定导料方面、互换性安装方面、镀膜效率和质量方面均存在缺陷。
发明内容
本发明的目的在于提供一种导电膜生产用具有空气隔离结构的镀膜设备,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种导电膜生产用具有空气隔离结构的镀膜设备,包括竖直设置的支撑安装筒,支撑安装筒的下端四角均竖直设置有支撑安装柱,支撑安装筒的上端两侧均水平设置有导料安装筒,支撑安装筒的左下角水平设置有导流安装筒,导料安装筒的内部设置有电磁阀,所述支撑安装筒内部两侧对称水平设置有支撑伸缩柱,支撑伸缩柱的外端均设置有支撑导料架,支撑导料架上均通过驱动转轴设置有驱动滚筒,两个驱动滚筒之间正对的支撑安装筒内部水平设置有升降安装板,支撑安装筒的右上端水平设置有水平伸缩柱,水平伸缩柱的左端通过阻尼转轴设置有摆动安装板,摆动安装板的左侧设置有若干检测仪器,所述导料安装筒的外端均通过转轴设置有卡扣闸门,卡扣闸门的内侧设置有挤压密封圈,靠近外端的导料安装筒内侧对称水平设置有限位安装槽,配合限位安装槽设置有限位安装架,限位安装架的中间位置均通过转轴纵向设置有原料滚筒,原料滚筒内卷有导电膜。
作为本发明进一步的方案:所述电磁阀左侧的导流安装筒内设置有真空泵,支撑安装筒的内侧设置有真空计。
作为本发明进一步的方案:所述升降安装板的下端四角均竖直设置有电控升降柱,电控升降柱的下端均固定在支撑安装筒底部。
作为本发明进一步的方案:所述升降安装板的上端等间距设置有若干导向安装槽,导向安装槽均纵向水平设置。
作为本发明进一步的方案:配合导向安装槽均设置有导向安装架,导向安装架的上端均设置有靶材。
作为本发明进一步的方案:所述导向安装槽的两侧均纵向设置有导电滑块,导向安装架配合导电滑块均设置有导电滑槽。
作为本发明进一步的方案:所述升降安装板的下端连接设置有伸缩导线。
作为本发明进一步的方案:所述支撑安装筒的顶部两端均通过转轴设置有转动弹簧柱,转动弹簧柱的下端均设置有摆动安装架,摆动安装架的下端均通过转轴设置有拉紧滚筒。
作为本发明进一步的方案:所述限位安装架一侧的导料安装筒内部均对称水平设置有两组升降变位板,升降变位板均通过变位升降柱与导料安装筒连接。
作为本发明再进一步的方案:所述升降变位板上均等间距设置有若干导料滚筒,导料滚筒之间的升降变位板上均设置有电热板。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:通过双向导料收料的结构,使得装置能够不分左右的进行镀膜作业,且通过伸缩调节,进行调节镀膜导电膜的长度,调节镀膜的速度,且通过互换性安装结构,使得装置能够更换镀膜原件,扩大了镀膜的作业范围,且提升了装置的维护性能,通过转动的弹性复位结构,使得导电膜的导料稳定连贯,进一步提升装置的镀膜效率和质量。
附图说明
图1为一种导电膜生产用具有空气隔离结构的镀膜设备的结构示意图。
图2为图1中a处的放大示意图。
图3为一种导电膜生产用具有空气隔离结构的镀膜设备中升降安装板的立体示意图。
1-拉紧滚筒、2-支撑伸缩柱、3-真空计、4-导流安装筒、5-真空泵、6-电磁阀、7-支撑安装柱、8-支撑安装筒、9-升降安装板、10-电控升降柱、11-靶材、12-伸缩导线、13-导向安装架、14-检测仪器、15-摆动安装板、16-水平伸缩柱、17-导料安装筒、18-驱动滚筒、19-支撑导料架、20-导电膜、21-摆动安装架、22-转动弹簧柱、23-挤压密封圈、24-原料滚筒、25-卡扣闸门、26-限位安装槽、27-限位安装架、28-变位升降柱、29-升降变位板、30-导料滚筒、31-电热板、32-导电滑块、33-导向安装槽。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本发明,而不能理解为对本发明的限制。
下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开,下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然,它们仅仅为示例,并且目的不在于限制本发明。此外,本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的,其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。
实施例一
请参阅图1~3,本发明实施例中,一种导电膜20生产用具有空气隔离结构的镀膜设备,包括竖直设置的支撑安装筒8,支撑安装筒8的下端四角均竖直设置有支撑安装柱7,支撑安装筒8的上端两侧均水平设置有导料安装筒17,支撑安装筒8的左下角水平设置有导流安装筒4,导料安装筒17的内部设置有电磁阀6,所述电磁阀6左侧的导流安装筒4内设置有真空泵5,支撑安装筒8的内侧设置有真空计3,支撑安装筒8内部两侧对称水平设置有支撑伸缩柱2,支撑伸缩柱2的外端均设置有支撑导料架19,支撑导料架19上均通过驱动转轴设置有驱动滚筒18,两个驱动滚筒18之间正对的支撑安装筒8内部水平设置有升降安装板9,升降安装板9的下端四角均竖直设置有电控升降柱10,电控升降柱10的下端均固定在支撑安装筒8底部,升降安装板9的上端等间距设置有若干导向安装槽33,导向安装槽33均纵向水平设置,配合导向安装槽33均设置有导向安装架13,导向安装架13的上端均设置有靶材11,导向安装槽33的两侧均纵向设置有导电滑块32,导向安装架13配合导电滑块32均设置有导电滑槽,升降安装板9的下端连接设置有伸缩导线12,支撑安装筒8的顶部两端均通过转轴设置有转动弹簧柱22,转动弹簧柱22的下端均设置有摆动安装架21,摆动安装架21的下端均通过转轴设置有拉紧滚筒1,支撑安装筒8的右上端水平设置有水平伸缩柱16,水平伸缩柱16的左端通过阻尼转轴设置有摆动安装板15,摆动安装板15的左侧设置有若干检测仪器14,所述导料安装筒17的外端均通过转轴设置有卡扣闸门25,卡扣闸门25的内侧设置有挤压密封圈23,靠近外端的导料安装筒17内侧对称水平设置有限位安装槽26,配合限位安装槽26设置有限位安装架27,限位安装架27的中间位置均通过转轴纵向设置有原料滚筒24,原料滚筒24内卷有导电膜20,限位安装架27一侧的导料安装筒17内部均对称水平设置有两组升降变位板29,升降变位板29均通过变位升降柱28与导料安装筒17连接,升降变位板29上均等间距设置有若干导料滚筒30,导料滚筒30之间的升降变位板29上均设置有电热板31。
通过将一端原料滚筒24内的导电膜20抽出,依次绕过导料滚筒30、拉紧滚筒1和驱动滚筒18,通过真空泵5和电磁阀6配合,使得支撑安装筒8内部形成真空环境,再启动另一端的原料滚筒24旋转实现装置开始作业,当导电膜20经过升降变位板29之间时,通过电热板31,使得导电膜20进行预热,当导电膜20经过驱动滚筒18之间时,在靶材11的作用下,实现镀膜作业,在经过摆动安装板15左侧时,通过多组检测仪器14同时检测,控制镀膜的质量,更具镀层的具体加工要求,通过电控升降柱10控制靶材11的高度,且在导向安装槽33和导向安装架13配配合下,实现靶材11的功率更换,适应不同厚度导电膜20的镀膜作业。
实施例二
在实施例一的基础上,导电膜20绕过拉紧滚筒1,通过转动弹簧柱22的转动配合和复位伸缩配合,使得导电膜20的导料镀膜过程中连贯,且始终保持平整状态,一方面提升镀膜效率,另一方面也提升了镀膜的质量。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,在不相互矛盾的情况下,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,本领域的普通技术人员可以理解:在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由权利要求及其等同物限定。
Claims (9)
1.一种导电膜生产用具有空气隔离结构的镀膜设备,包括竖直设置的支撑安装筒(8),支撑安装筒(8)的下端四角均竖直设置有支撑安装柱(7),支撑安装筒(8)的上端两侧均水平设置有导料安装筒(17),支撑安装筒(8)的左下角水平设置有导流安装筒(4),导料安装筒(17)的内部设置有电磁阀(6),其特征在于,所述支撑安装筒(8)内部两侧对称水平设置有支撑伸缩柱(2),支撑伸缩柱(2)的外端均设置有支撑导料架(19),支撑导料架(19)上均通过驱动转轴设置有驱动滚筒(18),两个驱动滚筒(18)之间正对的支撑安装筒(8)内部水平设置有升降安装板(9),支撑安装筒(8)的右上端水平设置有水平伸缩柱(16),水平伸缩柱(16)的左端通过阻尼转轴设置有摆动安装板(15),摆动安装板(15)的左侧设置有若干检测仪器(14),所述支撑安装筒(8)的顶部两端均通过转轴设置有转动弹簧柱(22),转动弹簧柱(22)的下端均设置有摆动安装架(21),摆动安装架(21)的下端均通过转轴设置有拉紧滚筒(1),所述导料安装筒(17)的外端均通过转轴设置有卡扣闸门(25),卡扣闸门(25)的内侧设置有挤压密封圈(23),靠近外端的导料安装筒(17)内侧对称水平设置有限位安装槽(26),配合限位安装槽(26)设置有限位安装架(27),限位安装架(27)的中间位置均通过转轴纵向设置有原料滚筒(24),原料滚筒(24)内卷有导电膜(20)。
2.根据权利要求1所述的一种导电膜生产用具有空气隔离结构的镀膜设备,其特征在于,所述电磁阀(6)左侧的导流安装筒(4)内设置有真空泵(5),支撑安装筒(8)的内侧设置有真空计(3)。
3.根据权利要求1所述的一种导电膜生产用具有空气隔离结构的镀膜设备,其特征在于,所述升降安装板(9)的下端四角均竖直设置有电控升降柱(10),电控升降柱(10)的下端均固定在支撑安装筒(8)底部。
4.根据权利要求1或3所述的一种导电膜生产用具有空气隔离结构的镀膜设备,其特征在于,所述升降安装板(9)的上端等间距设置有若干导向安装槽(33),导向安装槽(33)均纵向水平设置。
5.根据权利要求4所述的一种导电膜生产用具有空气隔离结构的镀膜设备,其特征在于,配合导向安装槽(33)均设置有导向安装架(13),导向安装架(13)的上端均设置有靶材(11)。
6.根据权利要求5所述的一种导电膜生产用具有空气隔离结构的镀膜设备,其特征在于,所述导向安装槽(33)的两侧均纵向设置有导电滑块(32),导向安装架(13)配合导电滑块(32)均设置有导电滑槽。
7.根据权利要求4所述的一种导电膜生产用具有空气隔离结构的镀膜设备,其特征在于,所述升降安装板(9)的下端连接设置有伸缩导线(12)。
8.根据权利要求1所述的一种导电膜生产用具有空气隔离结构的镀膜设备,其特征在于,所述限位安装架(27)一侧的导料安装筒(17)内部均对称水平设置有两组升降变位板(29),升降变位板(29)均通过变位升降柱(28)与导料安装筒(17)连接。
9.根据权利要求8所述的一种导电膜生产用具有空气隔离结构的镀膜设备,其特征在于,所述升降变位板(29)上均等间距设置有若干导料滚筒(30),导料滚筒(30)之间的升降变位板(29)上均设置有电热板(31)。
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Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113235065A (zh) * | 2021-05-08 | 2021-08-10 | 深圳市智顺科技有限公司 | 一种导电膜的镀膜方法及其镀膜设备 |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6357768A (ja) * | 1986-03-12 | 1988-03-12 | Toobi:Kk | 高速移動フイルムの連続的イオンプレ−テイング装置 |
JPH01156473A (ja) * | 1987-12-14 | 1989-06-20 | Akai Electric Co Ltd | 薄膜磁気記録媒体の製造装置及びその使用方法 |
JPH06136538A (ja) * | 1992-10-22 | 1994-05-17 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 連続線材のコーティング装置 |
WO2008096510A1 (ja) * | 2007-02-02 | 2008-08-14 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | 連続成膜装置 |
TW200902736A (en) * | 2007-07-12 | 2009-01-16 | Inga Nano Technology Co Ltd | Coating apparatus and coating method for winding-type substrate |
CN101413109A (zh) * | 2008-11-18 | 2009-04-22 | 昆明理工大学 | 真空多功能连续镀膜装置 |
CN202865329U (zh) * | 2012-09-26 | 2013-04-10 | 深圳南玻显示器件科技有限公司 | 透明导电膜卷绕镀膜装置 |
CN103451615A (zh) * | 2013-05-13 | 2013-12-18 | 辽宁北宇真空科技有限公司 | 一种制备薄膜式电容负极碳箔的连续卷绕真空离子镀膜机 |
CN103526167A (zh) * | 2012-07-06 | 2014-01-22 | 杨宪杰 | 板材镀膜设备 |
WO2014156129A1 (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-02 | 株式会社神戸製鋼所 | 成膜装置及び成膜方法 |
CN104611680A (zh) * | 2015-02-09 | 2015-05-13 | 常州工学院 | 一种快速换靶双面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机 |
CN104651792A (zh) * | 2015-03-09 | 2015-05-27 | 常州工学院 | 一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线 |
CN108588668A (zh) * | 2018-04-28 | 2018-09-28 | 东北大学 | 用于制造柔性基底多层薄膜的卷绕镀膜*** |
CN109321891A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-02-12 | 张天 | 平板电脑pet防护膜镀膜装置 |
-
2019
- 2019-12-13 CN CN201911283623.3A patent/CN112095087B/zh active Active
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6357768A (ja) * | 1986-03-12 | 1988-03-12 | Toobi:Kk | 高速移動フイルムの連続的イオンプレ−テイング装置 |
JPH01156473A (ja) * | 1987-12-14 | 1989-06-20 | Akai Electric Co Ltd | 薄膜磁気記録媒体の製造装置及びその使用方法 |
JPH06136538A (ja) * | 1992-10-22 | 1994-05-17 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 連続線材のコーティング装置 |
WO2008096510A1 (ja) * | 2007-02-02 | 2008-08-14 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | 連続成膜装置 |
TW200902736A (en) * | 2007-07-12 | 2009-01-16 | Inga Nano Technology Co Ltd | Coating apparatus and coating method for winding-type substrate |
CN101413109A (zh) * | 2008-11-18 | 2009-04-22 | 昆明理工大学 | 真空多功能连续镀膜装置 |
CN103526167A (zh) * | 2012-07-06 | 2014-01-22 | 杨宪杰 | 板材镀膜设备 |
CN202865329U (zh) * | 2012-09-26 | 2013-04-10 | 深圳南玻显示器件科技有限公司 | 透明导电膜卷绕镀膜装置 |
WO2014156129A1 (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-02 | 株式会社神戸製鋼所 | 成膜装置及び成膜方法 |
CN103451615A (zh) * | 2013-05-13 | 2013-12-18 | 辽宁北宇真空科技有限公司 | 一种制备薄膜式电容负极碳箔的连续卷绕真空离子镀膜机 |
CN104611680A (zh) * | 2015-02-09 | 2015-05-13 | 常州工学院 | 一种快速换靶双面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机 |
CN104651792A (zh) * | 2015-03-09 | 2015-05-27 | 常州工学院 | 一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线 |
CN108588668A (zh) * | 2018-04-28 | 2018-09-28 | 东北大学 | 用于制造柔性基底多层薄膜的卷绕镀膜*** |
CN109321891A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-02-12 | 张天 | 平板电脑pet防护膜镀膜装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN112095087A (zh) | 2020-12-18 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant | ||
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