JP2008183712A - 研磨パッドへの研磨液供給装置及び研磨パッドへの研磨液供給方法 - Google Patents
研磨パッドへの研磨液供給装置及び研磨パッドへの研磨液供給方法 Download PDFInfo
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Abstract
少量のスラリであっても研磨パッド上にスラリを均一に供給して高精度なウェーハの研磨を可能とするウェーハ研磨装置及びウェーハ研磨方法を提供すること。
【解決手段】
表面に溝が形成され、ウェーハの研磨を行う研磨パッドの前記表面に研磨液を供給する装置において、上下に延びる複数の糸状の部材を束ねた刷毛状部材と、前記刷毛状部材の下端を前記研磨パッド表面に近接、又は接触させる手段と、前記刷毛状部材との間に働く界面張力によって生じる毛細管現象により前記刷毛状部材を均一に流下する程度の量の研磨液を、前記刷毛状部材の上部へ供給する研磨液供給手段と、前記研磨パッドを前記刷毛状部材に対して相対的に移動させる手段と、を備え、前記研磨パッド表面に近接、又は接触した状態の前記刷毛状部材の上部に供給された前記研磨液を、該刷毛状部材に沿って流下させて前記研磨パッド表面に供給することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
B に移動してトランスファーロボット30のアンロード用アーム30Bに受け渡す。
象等の効果により研磨液供給部材2を均一に流下する。流下した研磨液は、研磨パッド4と研磨液供給部材2との間に働く界面張力により少量であっても研磨パッド4上へ均一に広がり、研磨パッド4の回転と研磨液供給部材2の移動により研磨パッド4表面へ均一に供給される。
ウェーハ圧力
3psi
リテーナ圧力
1psi
研磨パッド回転数
80rpm
キャリア回転数
80rpm
スラリ供給レート
100ml/min
研磨パッド
IC1400−Pad D30.3(ニッタハース社製)
研磨時間
60sec
エアーフロート流量
49L/min
スラリ(研磨液)
ヒュームドシリカスラリー
SS25(1:1水希釈)(キャボット社製)
ウェーハ
酸化膜付き12inchウェーハ
(PETEOS on Si)
ドレッシング方法
In−situドレッシング
ドレッシング力
4kgf
(4インチドレッサー:三菱マテリアル社製)
ドレス揺動周期
1times/10sec
ドレッサ回転数
88rpm
従来構成の研磨液供給手段としては、PFAチューブを研磨パッド上部に配置する。PFAチューブは直径6mmとし、研磨パッドの中心より50mmの場所に研磨液としてのスラリを滴下する。
を流下して、研磨パッド上に形成された溝ではなく研磨パッドの表面部分にだけ選択的に供給され、供給されたスラリのほとんどが研磨に関与したためである。
Claims (8)
- 表面に溝が形成され、ウェーハの研磨を行う研磨パッドの前記表面に研磨液を供給する装置において、
上下に延びる複数の糸状の部材を束ねた刷毛状部材と、
前記刷毛状部材の下端を前記研磨パッド表面に近接、又は接触させる手段と、
前記刷毛状部材との間に働く界面張力によって生じる毛細管現象により前記刷毛状部材を均一に流下する程度の量の研磨液を、前記刷毛状部材の上部へ供給する研磨液供給手段と、
前記研磨パッドを前記刷毛状部材に対して相対的に移動させる手段と、を備え、
前記研磨パッド表面に近接、又は接触した状態の前記刷毛状部材の上部に供給された前記研磨液を、該刷毛状部材に沿って流下させて前記研磨パッド表面に供給することを特徴とする研磨パッドへの研磨液供給装置。 - 前記研磨液供給手段は、前記研磨パッドの中央部から周辺部に向けて該研磨パッドの半径方向に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッドへの研磨液供給装置。
- 前記刷毛状部材は、該刷毛状部材を流下した前記研磨液が、前記研磨パッドに形成された溝の底部と接触しない位置に設けられることを特徴とする請求項1又は2に記載の研磨パッドへの研磨液供給装置。
- 前記研磨液供給手段には、研磨液を前記刷毛状部材に供給する研磨液供給管が設けられ、前記研磨液供給管は、該研磨液供給管側面に水平に形成されたスリットに接するように設けられた前記刷毛状部材へ、該研磨液供給管内に一定量以上貯留し前記スリットより流出した前記研磨液を供給することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の研磨パッドへの研磨液供給装置。
- 前記研磨液供給管には、該研磨液供給管の水平度を計測するための傾斜センサが設けられていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の研磨パッドへの研磨液供給装置。
- 前記刷毛状部材は、高分子樹脂素材により形成されていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の研磨パッドへの研磨液供給装置。
- 前記ウェーハ研磨装置は、前記研磨液を供給した後の前記刷毛状部材を洗浄する洗浄装置が備えられていることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の研磨パッドへの研磨液供給装置。
- 上下に延びる複数の糸状の部材を束ねた刷毛状部材を用いて、表面に溝が形成され、ウェーハの研磨を行う研磨パッドの前記表面に研磨液を供給する方法において、
前記刷毛状部材の下端を前記研磨パッド表面に近接、又は接触させるステップと、
前記研磨パッド表面に近接、又は接触した状態の前記刷毛状部材との間に働く界面張力によって生じる毛細管現象により前記刷毛状部材を均一に流下する程度の量の研磨液を、前記刷毛状部材の上部へ供給するとともに、前記研磨パッドを前記刷毛状部材に対して相対的に移動させることにより、該刷毛状部材の上部に供給された研磨液を、該刷毛状部材に沿って流下させて前記研磨パッド表面に供給するステップと、
を備えることを特徴とする研磨パッドへの研磨液供給方法。
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