JP2008177464A - デチャックモニター方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
既存の静電チャック機構を備えた装置にも容易に応用でき、吸着保持状態にある基板を基板ホルダーから取外す際に、静電気の除電が十分に行われているか否かを評価できるデチャックモニター方法及び装置を提供する。
【解決手段】
処理室内で処理すべき被処理物を処理物ホルダーに装着する装着機構と、処理室内で処理された被処理物を処理物ホルダーから取外すデチャック機構とを有する被処理物の装着及び取外し装置と共に用いられるデチャックモニター装置であって、デチャック機構と連動し、被処理物を処理物ホルダーから取外す際の残留吸着力の変化を測定する吸着力変化の測定装置を設けたことを特徴としている。
【選択図】 図1
Description
図1には本発明の一実施形態によるデチャックモニター装置を備えた静電チャック装置を示し、1は処理室を構成している真空チャンバーであり、この真空チャンバー1の内部には図示したように静電チャック機構2が配置されている。静電チャック機構2は、ホットプレート3及び静電チャック部4を備えている。ホットプレート3は図示していないが内部にヒーターが組込まれ、かかるヒーターは例えば適当な電源に接続された電熱線又は適当な熱媒体源に連結された熱媒体循環路で構成され得る。そしてヒーターは温度制御装置によって予定の温度に調整できるようにされている。静電チャック部4は例えば板状導電体に絶縁体を被覆して構成され、上面に基板5を受けるようにされている。静電チャック部4の板状導電体は図示していない直流電源に接続され、この直流電源から直流電圧を静電チャック部4の板状導電体に印加することにより静電チャック部4と基板5との間に静電気を発生させて静電吸着力が作用するように構成されている。
まず基板5に対する所要の処理が完了したと仮定する。この段階で、静電チャック機構2における静電チャック部4への通電が止められ、そして昇降機構6における昇降シリンダー7へ図示していない圧搾空気供給装置から圧搾空気供給管路16及び圧力センサー17を通って圧搾空気が供給され、それによりロッド9は昇降シリンダー7内を上方へ動き、ロッド9の先端に固着された複数のリフトピン10はホットプレート3及び静電チャック部4にそれぞれ設けた対応した貫通孔3a、4a内を上向きに変位して基板5の裏面に当接する。この場合も、図面には示していないが、圧搾空気供給装置から昇降シリンダー7へ一定速度で圧搾空気がするように圧搾空気の流速を制御する速度制御装置が設けられており、そのため、昇降シリンダー7内でピストン9が作動されている際には昇降シリンダー7内の容積が増加しているため、圧力の変化は比較的緩やかである。静電チャック機構2による残留吸着力がない場合には、リフトピン10が基板5の裏面に当接しても基板5の重量分の振動が生じるだけなので、図5に実線で示すように下降限界位置Aから上昇限界位置Bまで昇降シリンダー7内の圧力は時間と共に実質的に直線状に増加する。これに対して、静電チャック機構2による残留吸着力がある場合には、リフトピン10が基板5の裏面に当接して停止すると、昇降シリンダー7内の圧力は急速に上昇し、図5の点線イ、ロ、ハで示すように残留吸着力の程度に応じて昇降シリンダー7内の圧力が変化する。一方、昇降機構6における昇降シリンダー7への圧搾空気の供給により昇降シリンダー7内の圧力が増加して基板5自体の重量と静電チャック機構2による残留吸着力との圧力に打ち勝つと、昇降シリンダー7内でピストン9が再び上昇し、昇降シリンダー7内の容積が増加するため、昇降シリンダー7内の圧力は低下し、図5の実線で示す通常の動作に戻る。このような昇降シリンダー7内の圧力の変化は、圧搾空気供給管路16に設けた圧力センサー17で測定することによって検出される。なお、図2の点線イは、静電チャック機構2による残留吸着力が比較的小さい場合であり、点線ロは、残留吸着力が中程度である場合であり、また点線は、例えば静電チャック機構2の交換を必要とするような残留吸着力が比較的大きい場合である。
2:静電チャック機構
3:ホットプレート
4:静電チャック部
5:基板
6:基板5の昇降機構
7:昇降シリンダー
8:ピストン
9:ロッド
10:リフトピン
11:ベローズ
12:検出板
13:変位センサー
14:変位量信号処理回路装置
15:表示又は警報装置
Claims (12)
- 処理室内で処理すべき被処理物を処理物ホルダーに装着する装着機構と、処理室内で処理された被処理物を処理物ホルダーから取外すデチャック機構とを有する被処理物の装着及び取外し装置と共に用いられるデチャックモニター装置であって、デチャック機構と連動し、被処理物を処理物ホルダーから取外す際の残留吸着力の変化を測定する吸着力変化の測定装置を設けたことを特徴とするデチャックモニター装置。
- デチャック機構が昇降機構及び圧縮空気シリンダーを備え、吸着力変化の測定装置が、デチャック機構における圧縮空気シリンダーと連動し、処理物ホルダーからの被処理物の変位量を測定する変位センサーから成ることを特徴とする請求項1に記載のデチャックモニター装置。
- デチャック機構が昇降機構及び圧縮空気シリンダーを備え、吸着力変化の測定装置が、デチャック機構における圧縮空気シリンダーへの圧縮空気の圧力を測定する圧力センサーから成ることを特徴とする請求項1に記載のデチャックモニター装置。
- デチャック機構が昇降機構及び圧縮空気シリンダーを備え、吸着力変化の測定装置が、デチャック機構における圧縮空気シリンダーと組合わされ、圧縮空気シリンダーの動作量を測定するエンコーダーから成ることを特徴とする請求項1に記載のデチャックモニター装置。
- デチャック機構がベローズを備え、吸着力変化の測定装置が、デチャック機構における圧縮空気シリンダーとベローズとの間に設けられ、圧縮又は引張り強さを測定するロードセルから成ることを特徴とする請求項1に記載のデチャックモニター装置。
- デチャック機構が電動シリンダーを備え、吸着力変化の測定装置が、電動シリンダーのトルク値、電力値或いは負荷率を計測する計測器から成ることを特徴とする請求項1に記載のデチャックモニター装置。
- 吸着力変化の測定装置で測定された吸着力の変化に基づき残留吸着力が予定のレベルを超えた時にアラーム信号を発生するアラーム信号発生装置が設けられていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載のデチャックモニター装置。
- 処理室内で処理すべき被処理物を処理物ホルダーに装着する装着機構と、処理室内で処理された被処理物を処理物ホルダーから取外すデチャック機構とを有する被処理物の装着及び取外し装置を用いたデチャックモニター方法であって、
デチャック機構と連動するように設けた変位センサーで処理物ホルダーからの被処理物の変位量を測定し、測定した被処理物の変位量を微分してその傾きの最大値を求めることを特徴とするデチャックモニター方法。 - 処理室内で処理すべき被処理物を処理物ホルダーに装着する装着機構と、処理室内で処理された被処理物を処理物ホルダーから取外すデチャック機構とを有する被処理物の装着及び取外し装置を用いたデチャックモニター方法であって、
デチャック機構における圧縮空気シリンダーへの圧縮空気の圧力を測定し、測定した圧縮空気の圧力を微分してその傾きの最大値を求めることを特徴とするデチャックモニター方法。 - 処理室内で処理すべき被処理物を処理物ホルダーに装着する装着機構と、処理室内で処理された被処理物を処理物ホルダーから取外すデチャック機構とを有する被処理物の装着及び取外し装置を用いたデチャックモニター方法であって、
デチャック機構における圧縮空気シリンダーと連動してパルス出力を発生するエンコーダーを用いて圧縮空気シリンダーの動作量を測定し、測定した動作量を微分してその傾きの最大値を求めることを特徴とするデチャックモニター方法。 - 処理室内で処理すべき被処理物を処理物ホルダーに装着する装着機構と、処理室内で処理された被処理物を処理物ホルダーから取外すデチャック機構とを有する被処理物の装着及び取外し装置を用いたデチャックモニター方法であって、
デチャック機構における電動シリンダーとベローズとの間に挿置したロードセルにより圧縮又は引張り強さを測定し、測定した圧縮又は引張り強さのピーク値から吸着力を測定することを特徴とするデチャックモニター方法。 - 処理室内で処理すべき被処理物を処理物ホルダーに装着する装着機構と、処理室内で処理された被処理物を処理物ホルダーから取外すデチャック機構とを有する被処理物の装着及び取外し装置を用いたデチャックモニター方法であって、
デチャック機構における電動シリンダーの電力値、トルク値或いは負荷率を測定し、測定した電力値、トルク値或いは負荷率の増加量から吸着力を測定することを特徴とするデチャックモニター方法。
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JP2007011228A JP2008177464A (ja) | 2007-01-22 | 2007-01-22 | デチャックモニター方法及び装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2007
- 2007-01-22 JP JP2007011228A patent/JP2008177464A/ja active Pending
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