JP2008166459A - Protective tape applying method and apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、半導体製品の製造工程において、所定の回路パターン等の形成処理がなされた半導体ウエハの表面を保護するために貼付する保護テープ貼付装置に関する。 The present invention relates to a protective tape affixing device for affixing a surface of a semiconductor wafer on which a predetermined circuit pattern or the like has been formed in a semiconductor product manufacturing process.
従来、半導体製品の製造工程において、表面に多数の回路パターンや素子が形成された半導体ウエハは、必要に応じて裏面を研磨して薄くするバックグラインド工程を経た後、各機能素子毎に切断するダイシング工程を経て、個々の半導体チップに分割している。半導体ウエハの裏面を研磨(バックグラインド)やエッチングする際には、半導体ウエハ表面保護のため、その半導体ウエハ表面に粘着性のある保護テープが貼付される。この保護テープで保護された半導体ウエハは、表面側を吸盤で吸着保持した状態で、裏面に対して研磨等の処理が施される。 Conventionally, in a manufacturing process of a semiconductor product, a semiconductor wafer having a large number of circuit patterns and elements formed on the surface is subjected to a back grinding process in which the back surface is polished and thinned as necessary, and then cut into each functional element. Through a dicing process, it is divided into individual semiconductor chips. When the back surface of the semiconductor wafer is polished (back grind) or etched, an adhesive protective tape is attached to the semiconductor wafer surface to protect the semiconductor wafer surface. The semiconductor wafer protected by the protective tape is subjected to a treatment such as polishing on the back surface in a state where the front side is sucked and held by a suction cup.
保護テープの貼付は、特許文献1〜3に開示されているように、ロール状に巻かれた保護テープの粘着剤が設けられた面を半導体ウエハ表面に向けて配置し、貼付ローラにより、半導体ウエハの一周縁部から反対側へ向かって貼り付けていく。この後、半導体ウエハの円形状に保護テープを切り抜いて、周縁部を巻き取る。円形に抜く工程は、特許文献1,2に開示されているように、カッタにより保護テープを半導体ウエハの外周に沿って切り抜くものである。
一般に、半導体ウエハに保護テープを貼付する際には、半導体ウエハを載置台に載置し、その上に貼付ローラを載置して、所定の力を加えながら保護テープを貼り付けている。しかし、保護テープを確実に半導体ウエハ表面に貼り付けるには、貼付ローラをある程度ゆっくりと移動させなければならず、効率が良くなかった。また、特許文献1〜3に開示されているように、貼付ローラは、保護テープの一周縁部から半導体ウエハ中心部へ向かうように移動する。このため、円弧状の半導体ウエハ表面の周縁に対して直線状のローラは、周縁部から内側へ入り込むように移動することとなり、半導体ウエハと保護テープとの間に空気を包含しやすいものであった。 In general, when a protective tape is applied to a semiconductor wafer, the semiconductor wafer is placed on a mounting table, an attaching roller is placed thereon, and the protective tape is attached while applying a predetermined force. However, in order to reliably apply the protective tape to the surface of the semiconductor wafer, the application roller has to be moved slowly to some extent, which is not efficient. Moreover, as disclosed in Patent Documents 1 to 3, the sticking roller moves from one peripheral edge portion of the protective tape toward the central portion of the semiconductor wafer. For this reason, the linear roller with respect to the peripheral edge of the arc-shaped semiconductor wafer surface moves so as to enter inward from the peripheral edge, and air is likely to be included between the semiconductor wafer and the protective tape. It was.
この発明は、上記従来技術の問題に鑑みて成されたもので、半導体ウエハに保護テープを効率良く貼付することができ、且つ空気を包含することなく周縁部まできれいに貼付可能な保護テープ貼付方法と装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and is capable of efficiently applying a protective tape to a semiconductor wafer, and can be applied to a peripheral edge cleanly without including air. And to provide a device.
この発明は、半導体ウエハ表面及び半導体ウエハ表面の素子を保護する保護テープを、前記半導体ウエハ表面近くの上方に配置し、前記保護テープを貼付ローラにより前記半導体ウエハ表面に貼付する保護テープ貼付方法であって、所定温度に保温されたヒータテーブル上に前記半導体ウエハを載置して、前記半導体ウエハ表面の中心上に位置するように前記貼付ローラを配置し、前記貼付ローラを介して前記保護テープを前記半導体ウエハ表面に当接させ、前記貼付ローラを前記半導体ウエハの中央部から一方の周縁部に向かって移動させて前記保護テープを前記半導体ウエハ表面の約半分に貼付し、この後、前記貼付ローラを前記半導体ウエハの中央部へ戻して、前記保護テープを残りの前記半導体ウエハ表面に貼付する保護テープ貼付方法である。 The present invention is a protective tape attaching method in which a protective tape for protecting a semiconductor wafer surface and elements on the semiconductor wafer surface is disposed above the surface of the semiconductor wafer, and the protective tape is attached to the surface of the semiconductor wafer by an attaching roller. The semiconductor wafer is placed on a heater table kept at a predetermined temperature, the sticking roller is disposed so as to be positioned on the center of the surface of the semiconductor wafer, and the protective tape is interposed via the sticking roller. To the semiconductor wafer surface, the sticking roller is moved from the central portion of the semiconductor wafer toward one peripheral edge to stick the protective tape to about half of the semiconductor wafer surface. Affixing the adhering roller to the center of the semiconductor wafer and adhering the protective tape to the remaining surface of the semiconductor wafer It is the law.
またこの発明は、半導体ウエハ表面及び半導体ウエハ表面の素子を保護する保護テープ貼付方法であって、所定温度に保温されたヒータテーブル上に前記半導体ウエハを載置し、前記半導体ウエハ表面の側方に前記貼付ローラを配置し、前記貼付ローラ表面には、前記保護テープ表面との剥離性を高める表面処理が施され、前記ヒータテーブルの外側の外周テーブル上面には、前記保護テープ裏面の粘着性を抑えて流動性を高める表面処理が施され、前記貼付ローラを介して前記保護テープを前記半導体ウエハ表面に当接させ、前記貼付ローラを前記半導体ウエハの端から反対側の周縁部に向かって移動させて、前記保護テープを前記半導体ウエハ表面に貼付する保護テープ貼付方法である。 The present invention also relates to a method for applying a protective tape for protecting a semiconductor wafer surface and elements on the semiconductor wafer surface, wherein the semiconductor wafer is placed on a heater table kept at a predetermined temperature, and a lateral side of the semiconductor wafer surface is provided. The sticking roller is disposed on the surface of the sticking roller, and the surface of the sticking roller is subjected to a surface treatment for improving the peelability from the surface of the protective tape. Surface treatment is performed to suppress fluidity, and the protective tape is brought into contact with the surface of the semiconductor wafer via the sticking roller, and the sticking roller is moved from the end of the semiconductor wafer toward the peripheral edge on the opposite side. It is a protective tape sticking method of moving and sticking the protective tape on the surface of the semiconductor wafer.
さらに、前記貼付ローラに至る前記保護テープ裏面の粘着剤を、予め暖めて前記貼付ローラに送るものである。 Furthermore, the adhesive on the back surface of the protective tape reaching the sticking roller is preheated and sent to the sticking roller.
またこの発明は、半導体ウエハの直上に配置され前記半導体ウエハ表面及び表面上の素子を保護する保護テープと、この保護テープを前記半導体ウエハ表面に貼付する貼付ローラと、この貼付ローラを駆動する貼付駆動装置を有した保護テープ貼付装置において、前記半導体ウエハが載せられ所定温度に保温された円形のヒータテーブルと、このヒータテーブルより大きな孔が形成され、前記ヒータテーブルの周縁部と所定間隔を空けて前記ヒータテーブルの周囲に配置された外周テーブルと、前記ヒータテーブル外周縁と前記外周テーブル間の間隙を埋め前記ヒータテーブルに対して上下動可能に設けられたリング部材とを備え、前記貼付ローラにより前記保護テープを前記半導体ウエハに貼付する際には、前記リング部材は、前記外周テーブルと面一若しくは上下に僅かの段差を有して位置するとともに、前記半導体ウエハ表面とほぼ面一若しくは僅かに高い位置であり、前記保護テープを前記半導体ウエハに貼付した後に、前記リング部材を降下させて、前記ヒータテーブルと外周テーブルとの間に隙間を形成して、保護テープを前記半導体ウエハ周縁で切り抜く保護テープ貼付装置である。 The present invention also provides a protective tape that is disposed immediately above a semiconductor wafer and protects the surface of the semiconductor wafer and the elements on the surface, a sticking roller that sticks the protective tape to the surface of the semiconductor wafer, and a sticking that drives the sticking roller. In a protective tape affixing device having a drive device, a circular heater table on which the semiconductor wafer is placed and kept at a predetermined temperature is formed, and a hole larger than the heater table is formed, and a predetermined interval is formed from a peripheral portion of the heater table. An outer peripheral table disposed around the heater table, and a ring member that fills a gap between the outer peripheral edge of the heater table and the outer peripheral table and is provided so as to move up and down with respect to the heater table. When the protective tape is affixed to the semiconductor wafer by the step, the ring member is The ring member is positioned so as to be flush with or slightly above and below the bull and is substantially flush with or slightly higher than the surface of the semiconductor wafer, and after attaching the protective tape to the semiconductor wafer, It is a protective tape applying device that lowers and forms a gap between the heater table and the outer peripheral table, and cuts out the protective tape at the periphery of the semiconductor wafer.
前記貼付ローラ表面には、前記保護テープ表面との剥離性を高める表面処理が施され、前記リング部材及び外周テーブルの少なくとも上面には、前記保護テープ裏面の粘着性を抑え流動性を高める表面処理が施されている。 The sticking roller surface is subjected to a surface treatment for improving the peelability from the surface of the protective tape, and at least the upper surface of the ring member and the outer peripheral table is a surface treatment for suppressing the adhesiveness of the back surface of the protective tape and increasing the fluidity. Is given.
前記貼付ローラはヒータを内蔵するとともに、前記貼付ローラと平行に、前記保護テープ裏面の粘着剤を暖める余熱ローラを備えたものである。 The sticking roller includes a heater and a preheating roller that warms the adhesive on the back surface of the protective tape in parallel with the sticking roller.
前記余熱ローラは、前記貼付ローラに対して両側に配置され、前記保護テープは、前記半導体ウエハの中央部からその両側の周縁部へ向かって、前記半導体ウエハへの貼付位置に対応して異なる側の前記予熱ローラを経て前記貼付ローラに送られるものである。 The preheating roller is disposed on both sides of the sticking roller, and the protective tape is different from the central part of the semiconductor wafer toward the peripheral part on both sides corresponding to the sticking position on the semiconductor wafer. The preheating roller is sent to the sticking roller.
前記外周テーブル上面には、前記保護テープからはみ出した余分な粘着剤を受ける逃げ溝を備え、前記逃げ溝は、前記外周テーブル上面で、前記ヒータテーブルに対して同心状または放射状に形成されている。 The upper surface of the outer peripheral table is provided with a relief groove that receives excess adhesive protruding from the protective tape, and the escape groove is formed concentrically or radially with respect to the heater table on the upper surface of the outer peripheral table. .
この発明の保護テープ貼付方法によれば、保護テープがヒータにより温められ、粘着剤の粘度が低下し、半導体ウエハ表面の凹凸に容易に馴染み、貼付速度を上げることができ、作業効率が良くなるとともに、保護テープ表面に凹凸が出ず、後工程での半導体ウエハの吸着を確実なものにする。また、貼付した保護テープに気泡が残らず、後工程での不良の発生を抑えるものである。 According to the method for applying the protective tape of the present invention, the protective tape is heated by the heater, the viscosity of the pressure-sensitive adhesive is decreased, the unevenness on the surface of the semiconductor wafer is easily adjusted, the application speed can be increased, and the working efficiency is improved. At the same time, the surface of the protective tape is not uneven, and the semiconductor wafer is reliably adsorbed in the subsequent process. Further, no bubbles remain on the attached protective tape, and the occurrence of defects in the subsequent process is suppressed.
またこの発明の保護テープ調装置によれば、テープ貼付速度を上げることができ、作業効率を上げ、保護テープ表面の平面度も高いものにすることができる。また、保護テープに気泡が残らず、半導体ウエハ周縁部にもきれいに確実に貼付することができ、半導体素子の製造工程における作業性を向上させ、歩留まりも向上させることができるものである。 Further, according to the protective tape preparation device of the present invention, the tape application speed can be increased, the working efficiency can be increased, and the flatness of the surface of the protective tape can be increased. In addition, no bubbles remain on the protective tape, and the protective tape can be securely and reliably affixed to the periphery of the semiconductor wafer, improving the workability in the manufacturing process of the semiconductor element and improving the yield.
以下、この発明の保護テープ貼付装置について、図1〜図3を基にして説明する。この実施形態の保護テープ貼付装置10は、図1に示すように、図示しないヒータを内蔵、表面が平滑な金属製の円盤から成るヒータテーブル16が設けられている。ヒータテーブル16は、半導体ウエハ12が載置されるもので、保護テープ14と対向するように位置し、複数の支柱材15を介して、基台17に固定されている。ヒータテーブル16の外周外側には、図2に示すように、所定の幅の隙間から成るカッター溝18を空けて、外周テーブル20が設けられている。外周テーブル20の上面は、ヒータテーブル16に半導体ウエハ12が載置された際の、半導体ウエハ12の表面に形成された凸部12aの上面と、半導体ウエハ12表面との間に位置する。
Hereinafter, the protective tape sticking apparatus of this invention is demonstrated based on FIGS. 1-3. As shown in FIG. 1, the protective tape applying apparatus 10 of this embodiment is provided with a heater table 16 including a heater (not shown) and a metal disk having a smooth surface. The heater table 16 is on which the
半導体ウエハ12の表面に貼付される保護テープ14は、図2に示すように、ポリエチレンテレフタレート(PET)などから成る数十μm程度の樹脂製テープ基材14aに、数百μm程度の厚さに粘着剤14bが塗布されて形成されている。この粘着剤14bの厚さは、半導体ウエハ12表面の凸部12aより厚く、所定の温度、例えば60℃程度の温度により軟化してゲル状になるものである。また、図3に示すように、保護テープ14の幅は、ヒータテーブル16より広く、後述する逃げ溝24上に幅方向の両端部が位置するように形成されている。
As shown in FIG. 2, the
カッター溝18には、ヒータテーブル16の厚みより僅かに厚く形成された金属製のリング部材22が、ヒータテーブル16と外周テーブル20との間に上下動可能な僅かの隙間のみ空けて位置している。リング部材22の下端は、外側へフランジ状に延出した形状に形成され、図示しない装置により昇降可能に形成されている。また、図2に示すように、リング部材22が最上位置に位置した際のリング部材22の上面は、ヒータテーブル16に半導体ウエハ12が載置された際の、半導体ウエハ12の表面に形成された凸部12aの上面と、半導体ウエハ12表面との間に位置し、外周テーブル20の表面と面一に位置する。
In the
外周テーブル20は、図3に示すように、外形が矩形の板状に形成され、ヒータテーブル16の厚みより僅かに薄く形成されて、四隅近傍にて支持部材21を介し基台17等へ取り付けられている。外周テーブル20の上面は、上昇位置にあるリング部材22の上面と面一に形成され、表面には粘着剤が粘着しない非粘着処理が施されている。また、外周テーブル20表面には、ヒータテーブル16と同心円状に、所定の間隔で、例えば、5重に形成された複数の円弧状の溝が設けられ、保護テープ14の粘着剤14bの逃げ溝24が形成されている。逃げ溝24は、外周テーブル20の長手方向両側の中央付近にて止められている。
As shown in FIG. 3, the outer peripheral table 20 is formed in a rectangular plate shape, is formed slightly thinner than the heater table 16, and is attached to the
リング部材22及び外周テーブル20の上面は、保護テープ14の粘着剤14bの粘着性を抑えて、後述するようにゲル状樹脂の流動性を高めるため表面処理が施されている。表面処理は、フッ素樹脂コーティング等である。
The upper surface of the
ヒータテーブル16の上方には、ヒータテーブル16の直径よりも僅かに長く保護テープ14の幅程度の長さの貼付ローラ26が設けられている。この貼付ローラ26は、内部に電気ヒータ等の加温装置を内蔵し、金属や硬質樹脂などの硬い素材により形成されている。貼付ローラ26は、ヒータテーブル16及び外周テーブル20上面と平行にローラ支持部28に軸支されている。ローラ支持部28は貼付駆動装置30と一体に設けられ、昇降及び左右に図示しないモータ等により移動可能に形成されている。
Above the heater table 16, a
貼付ローラ26の表面は、保護テープ14の粘着剤14bの粘着性を抑えて、後述するようにゲル状樹脂の流動性を高めるため表面処理が施されている。表面処理は、フッ素樹脂コーティング等である。
The surface of the sticking
貼付ローラ26の両側には、図1に示すように、保護テープ14を予熱する予熱ローラ32が設けられた第一予熱部34a及び第二予熱部34bが各々形成され、各予熱ローラ32の下方には、転向ローラ36が各々設けられている。保護テープ14は、図1において、右側から左側に送られ、第一予熱部34aの上流側には、保護テープ14を巻回した図示しないテープ送り装置にテープロールが取り付けられ、第二予熱部34bの下流側には、外周テーブル20の外側に、テープ把持部38が位置している。
As shown in FIG. 1, a first preheating
テープ把持部38には、回動可能に形成された把持ローラ40aと、把持ローラ40aの上方から下降し、保護テープ14を把持可能に形成された把持片40bからなる把持部40が設けられている。把持片40bの把持ローラ40aとの当接面は、把持ローラ40a外周と同じ曲率で凹状に、湾曲形成されている。テープ把持部38に隣接して、テープ把持部38から送り出された保護テープ14を狭持して送り出す、大小の径の一対のローラによる狭持ローラ42が設けられている。
The
次に、この実施形態のテープ貼付装置10の動作について説明する。まず、図1に示すように、図示しないテープ送り装置のテープロールから送られた保護テープ14は、貼付駆動装置30右側に位置する第一予熱部34aの転向ローラ36の下方から、予熱ローラ32の外側へ回り込み、S字状に巻回され貼付駆動装置30の貼付ローラ26下側へ送られている。さらに、貼付ローラ26から、第二予熱部34bの予熱ローラ32の外側に回り込み、下方の転向ローラ36にS字状に巻回され、左外側へ引き出される。引き出された保護テープ14は、半導体ウエハ12に貼付された後、図示しないカッタにより、半導体ウエハ12の外周部で抜き取られ、取り残された周縁部が、テープ把持部38の把持部40を経由して、狭持ローラ42により狭持され、図示しない廃棄部で廃棄される。
Next, operation | movement of the tape sticking apparatus 10 of this embodiment is demonstrated. First, as shown in FIG. 1, the
次に、貼付駆動装置30のテープ貼付動作について説明する。まず、ヒータテーブル16に、図示しない搬送装置により半導体素子を形成する半導体ウエハ12が搬送され、凹凸部12aのある面を上向きにして載置される。このとき、リング部材22は上昇し、図2に示すように、外周テーブル20とほぼ面一で、半導体ウエハ12の凹凸部12aの上端部と半導体ウエハ12表面の中間付近に位置している。ヒータテーブル16に載置された半導体ウエハ12は、ヒータテーブル16に内蔵されたヒータにより、例えば60℃程度に温められる。また、このとき、貼付駆動装置30及び第一予熱部34aは、図1に示すように、図面右端に退避しており、第二予熱部34bは左側に退避している。またテープ把持部38により、保護テープ14が把持されている。
Next, the tape sticking operation of the sticking
そして、半導体ウエハ12がヒータテーブル16に載せられた後、半導体ウエハ12の上方で、貼付駆動装置30及び第一予熱部34aが、右方向から中央付近へ向かって移動する。このとき、保護テープ14は、第一予熱部34aの予熱ローラ32及び貼付ローラ26に接することにより、約60℃まで温められる。貼付駆動装置30は、図1の矢印線で示すように、半導体ウエハ12の中央付近を僅かに通過したところで、下降を始めるととともに、図1の右方向へ所定の速さで移動する。これにより、半導体ウエハ12表面の中央部から貼付ローラ26により保護テープ14を所定の力で押圧し、同時に、図1の右側へ貼付ローラ26が回転しながら貼付駆動装置30が移動する。このときも、貼付ローラ26に内蔵されたヒータにより、貼付ローラ26が温められているので、保護テープ14の粘着剤14bは温められて、半導体ウエハ12へ確実に押し付けられ粘着する。
After the
図1に示す半導体ウエハ12の右半分に保護テープ14を貼り付け、外周テーブル20の端部を越える所定位置まで貼付駆動装置30が移動すると、貼付駆動装置30は上昇する。次に、第一予熱部34aを、所定の退避位置に留めた状態で、貼付駆動装置30は、図1の左方向へ移動する。半導体ウエハ12中央よりやや右側付近に位置すると、左方向へ所定の速さで移動しながら、同時に下降を始める。そして、半導体ウエハ12中央付近から、貼付ローラ26により、先の貼付位置と一部重複して保護テープ14を半導体ウエハ12へ押圧して貼付する。このときも、図1で示す左側へ、貼付ローラ26を回転させながら貼付駆動装置30が移動する。保護テープ14は、第二予熱部34bの予熱ローラ32により、例えば、約60℃まで温められている。さらに、貼付ローラ26に内蔵されたヒータにより保護テープ14は温められながら、半導体ウエハ12へ押し付けられ貼付される。図1に示す半導体ウエハ12の左半分に保護テープ14を貼り付けて、外周テーブル20の端部を越えて所定位置まで貼付駆動装置30が移動すると、貼付駆動装置30は上昇する。
When the
続いて、カッター溝18に嵌合しているリング部材22が下降し、カッター溝18に沿って、図示しないカッターにより保護テープ14が半導体ウエハ12の外周で切り抜かれる。この後、貼付駆動装置30は、所定の高さに上昇した状態で、図1の右方向へ第二予熱部34bと共に移動を始める。このとき、第二予熱部34bが、外周テーブル20上を通過する際、円形に切り取られた残りである外周テーブル20上面に貼り付いた保護テープ14を引き剥がして行く。さらに、貼付駆動装置30及び第一予熱部34aが図面右方向に退避して、保護テープ14の残り部分は外周テーブル20から完全に剥がされる。
Subsequently, the
次に、テープ把持部38の把持部40の把持が解除され、図示しない装置により狭持ローラ42を介して保護テープ14が巻き取られ、ヒータテーブル16上に新しい保護テープ14が位置する。以降、上記手順が繰り返される。
Next, the gripping of the gripping
この実施形態のテープ貼付装置10によれば、保護テープ14がヒータテーブル16、貼付ローラ26、及び各予熱ローラ32により温められ、粘着剤14bの粘度が低下し、半導体ウエハ12表面の凹凸に容易に馴染み、貼付速度を上げることができ、作業効率が良くなる。さらに、保護テープ14表面が正確に平坦に形成され、凹凸が出ず、後工程での半導体ウエハの吸着を確実なものにする。また、貼付ローラ26を半導体ウエハ12の中央部から周縁部へ移動させて貼付しているので、貼付した保護テープ14と半導体ウエハ12との間に気泡が残らず、後工程での不良の発生を抑える。
According to the tape applicator 10 of this embodiment, the
また、保護テープ14を温めて粘着剤14bの粘度を落としても、カッター溝18のリング部材22により、粘着剤14bがカッター溝18に垂れることがなく、さらに、リング部材22は、半導体ウエハ12の表面よりも僅かに高いので、粘着剤14bが保護テープ14の外周断面から外側へ垂れたりせず、外周付近でも粘着剤14bが所定の厚みを保持して粘着するものである。外周テーブル20上面には、逃げ溝24が形成され、貼付ローラ26により貼付されてはみ出した粘着剤14bが入り込み、余分な粘着剤14bが、不用意に広がることがない。
Even if the
なお、この発明の保護テープ貼付方法と装置は上記実施形態に限定されるものではなく、所定温度に保温されたヒータテーブル上に前記半導体ウエハを載置し、前記半導体ウエハ表面の側方に前記貼付ローラを配置し、前記貼付ローラを介して前記保護テープを前記半導体ウエハ表面に当接させ、前記貼付ローラを前記半導体ウエハの端から反対側の周縁部に向かって移動させて、前記保護テープを前記半導体ウエハ表面に貼付しても良い。この場合も、前記貼付ローラ表面には、前記保護テープ表面との剥離性を高める表面処理が施され、前記ヒータテーブルの外側の外周テーブル上面やリング部材上面には、前記保護テープ裏面の粘着性を抑えて流動性を高める表面処理が施されていることにより、綺麗な貼り付けが可能となる。 The method and apparatus for applying the protective tape of the present invention is not limited to the above embodiment, and the semiconductor wafer is placed on a heater table kept at a predetermined temperature, and the semiconductor wafer is placed on the side of the semiconductor wafer surface. An affixing roller is disposed, the protective tape is brought into contact with the surface of the semiconductor wafer via the affixing roller, and the affixing roller is moved from the end of the semiconductor wafer toward the peripheral edge on the opposite side, and the protective tape May be affixed to the surface of the semiconductor wafer. Also in this case, the surface of the sticking roller is subjected to a surface treatment for improving the peelability from the surface of the protective tape, and the adhesive surface of the back surface of the protective tape is applied to the outer peripheral table upper surface and the ring member upper surface outside the heater table. By applying a surface treatment that suppresses the fluidity and enhances the fluidity, it is possible to achieve a beautiful pasting.
また、逃げ溝24の形状は、図4に示すように、ヒータテーブル16に対して放射状に形成されていても良い。また、保護する半導体ウエハに合わせて、ヒータテーブルや外周テーブル、リング部材などの大きさを適宜設定可能なものである。さらに、保護テープの幅に合わせて逃げ溝を構成する溝の本数や太さ、形状を変更することができ、粘着剤や保護テープの材質などにあわせて、適宜設定可能なものである。その他、各部材の形状や素材など適宜変更可能である。
Further, the shape of the
10 保護テープ貼付装置
12 半導体ウエハ
12a 凸部
14 保護テープ
16 ヒータテーブル
18 カッター溝
20 外周テーブル
22 リング部材
24 逃げ溝
26 貼付ローラ
30 貼付駆動装置
32 予熱ローラ
34a 第一予熱部
34b 第二予熱部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Protective
Claims (9)
9. The protective tape applying device according to claim 8, wherein the escape groove is formed concentrically or radially with respect to the heater table on the upper surface of the outer peripheral table.
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