JP2008165884A - Magnetic transfer method, master recording medium, perpendicular magnetic recording medium, and magnetic recording and reproducing device - Google Patents

Magnetic transfer method, master recording medium, perpendicular magnetic recording medium, and magnetic recording and reproducing device Download PDF

Info

Publication number
JP2008165884A
JP2008165884A JP2006353108A JP2006353108A JP2008165884A JP 2008165884 A JP2008165884 A JP 2008165884A JP 2006353108 A JP2006353108 A JP 2006353108A JP 2006353108 A JP2006353108 A JP 2006353108A JP 2008165884 A JP2008165884 A JP 2008165884A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
recording medium
master
transfer
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006353108A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Makoto Nagao
信 長尾
Naoto Fujiwara
直人 藤原
Shoichi Nishikawa
正一 西川
Katsuhiro Nishimaki
克洋 西牧
Ryuji Sugita
龍二 杉田
Hiroshi Komine
啓史 小峰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Corp filed Critical Fujifilm Corp
Priority to JP2006353108A priority Critical patent/JP2008165884A/en
Publication of JP2008165884A publication Critical patent/JP2008165884A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To perform magnetic transfer with a high S/N ratio and to reproduce information recorded by a magnetic head by using an electric circuit for reproducing signal processing. <P>SOLUTION: A magnetic transfer method includes: an initially magnetizing step for perpendicularly magnetizing a perpendicular magnetic recording medium in which a perpendicular magnetic recording layer is formed on the surface of a disk-like substrate in one direction; an adhesion step for adhesively sticking the surface of the perpendicular magnetic recording medium initially magnetized by the initially magnetizing step on which the perpendicular magnetic recording layer is formed and the surface of a master recording medium on which a magnetic layer is formed according to information to be recorded for transferring information to the perpendicular magnetic recording medium to each other; and a magnetically transferring step for performing magnetic transfer by rotating a magnetic field applying means relatively to the adhesively stuck perpendicular magnetic recording medium and master recording medium around the center of the perpendicular magnetic recording medium while applying a magnetic field by the magnetic field applying means applying a magnetic field parallel to the adhesively stuck perpendicular magnetic recording medium and master recording medium. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、磁気転写方法、マスター記録媒体、垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置に関するものであり、特に、垂直磁気記録媒体に磁気転写を行うための磁気転写方法、マスター記録媒体、垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置に関するものである。   The present invention relates to a magnetic transfer method, a master recording medium, a perpendicular magnetic recording medium, and a magnetic recording / reproducing apparatus. In particular, the present invention relates to a magnetic transfer method for performing magnetic transfer on a perpendicular magnetic recording medium, a master recording medium, and a perpendicular magnetic recording. The present invention relates to a medium and a magnetic recording / reproducing apparatus.

近年、磁気記録再生装置は、小型でかつ大容量を実現するために、記録密度の高密度化の傾向にある。特に、代表的な磁気記憶装置であるハードディスクドライブの分野では、技術の進歩が急激である。   In recent years, magnetic recording / reproducing apparatuses have a tendency to increase the recording density in order to realize a small size and a large capacity. In particular, in the field of hard disk drives, which are typical magnetic storage devices, technological progress is rapid.

このような記録密度の高密度化の手法としては、磁気ヘッドとして、磁気抵抗素子型ヘッド（ＭＲヘッド）の実用化により、磁気記録媒体における狭トラックピッチ化が可能となったが、磁気ヘッドが狭いトラックを正確に走査し、高い再生信号のＳ／Ｎを得るためには、磁気ヘッドのトラッキングサーボ技術が重要となる。このため現在のハードディスクドライブでは、ディスクにおいて一定の角度間隔ごとに、トラッキング用サーボ信号やアドレス情報、再生クロック信号等があらかじめ記録された領域を設けており、磁気ヘッドは、これらの信号を再生することにより、ヘッドの位置を確認、修正しながら正確にトラッキングすることができる。   As a technique for increasing the recording density, the magnetic recording head can be made narrower by the practical use of a magnetoresistive element type head (MR head). In order to accurately scan a narrow track and obtain a high reproduction signal S / N, the tracking servo technology of the magnetic head is important. For this reason, in current hard disk drives, an area in which tracking servo signals, address information, reproduction clock signals, etc. are recorded in advance is provided at regular angular intervals on the disk, and the magnetic head reproduces these signals. Thus, it is possible to accurately track the head while confirming and correcting the position of the head.

これらトラッキング用サーボ信号やアドレス信号等をあらかじめ記録することは、プリフォーマット記録と呼ばれ、磁気記録媒体に情報を記録再生する際の基準となるものであるため一般的に最初に行われる。現在では、プリフォーマット記録は、厳密に位置を制御しながら順次行う方式がとられており、多大な時間を要し、又、専用のサーボ記録装置が相当高価であることから、磁気記録媒体や磁気記録再生装置のコストが非常に高くなってしまうという問題点がある。   Recording these servo signals for tracking, address signals, and the like in advance is called preformat recording, and is generally performed first because it serves as a reference for recording and reproducing information on a magnetic recording medium. At present, preformat recording is performed sequentially with precise position control, requiring a lot of time, and a dedicated servo recording device is quite expensive. There is a problem that the cost of the magnetic recording / reproducing apparatus becomes very high.

このため、このプリフォーマット記録について、マスターディスク（マスター記録媒体）を用いて一括転写する磁気転写方式が提案されている。この方式によればプリフォーマット記録を短時間に低コストで行うことができる。   For this reason, a magnetic transfer system has been proposed in which pre-format recording is batch-transferred using a master disk (master recording medium). According to this method, preformat recording can be performed in a short time and at low cost.

この磁気転写方式は、マスターディスク（マスター記録媒体）と転写用磁気ディスク（磁気記録媒体、スレーブディスク）とを密接させた状態で、片側又は両側に電磁石装置、または、永久磁石装置等の磁界印加手段により、転写用磁界を印加することにより、マスターディスクに記録された情報（例えば、トラッキング用サーボ信号等の情報）の転写を行い、プリフォーマット記録をおこなうものである。   In this magnetic transfer system, a magnetic disk such as an electromagnet device or a permanent magnet device is applied to one side or both sides of a master disk (master recording medium) and a transfer magnetic disk (magnetic recording medium, slave disk) in close contact with each other. By applying a transfer magnetic field by means, information recorded on the master disk (for example, information such as a tracking servo signal) is transferred and preformat recording is performed.

また、磁気記録媒体を高密度化する手法としては、垂直磁気記録方式がある。垂直磁気記録は、従来の磁性層に面内磁化膜を用いた場合と比べ、記録密度は向上するものの記録再生の方式が異なるものである。よって、上記のように、磁気転写方式による一括転写によりプリフォーマット記録を行う場合、面内磁化膜を用いた場合と異なる方式がとられている。   As a method for increasing the density of the magnetic recording medium, there is a perpendicular magnetic recording method. In the perpendicular magnetic recording, the recording density is improved but the recording / reproducing method is different from that in the case where the in-plane magnetic film is used for the conventional magnetic layer. Therefore, as described above, when preformat recording is performed by batch transfer by the magnetic transfer method, a method different from the case of using the in-plane magnetization film is employed.

特許文献１では、垂直磁化膜からなる磁気記録層を有する転写用磁気ディスクについて、プリフォーマット情報を垂直磁気記録する際に、転写用磁気ディスク及びマスターディスクに対し垂直に磁界を印加することによりプリフォーマット情報を転写し記録をおこなうビットプリント（ＢＰ）の発明が開示されている。   In Patent Document 1, when a pre-format information is perpendicularly recorded on a transfer magnetic disk having a magnetic recording layer made of a perpendicularly magnetized film, a magnetic field is applied perpendicularly to the transfer magnetic disk and the master disk. An invention of bit print (BP) for transferring and recording format information is disclosed.

特許文献２では、垂直磁化膜からなる磁気記録層を有する転写用磁気ディスクについて、プリフォーマット情報を垂直磁気記録する際に、転写用磁気ディスク及びマスターディスクに対し平行に磁界を印加することによりプリフォーマット情報を転写し記録をおこなうエッジプリント（ＥＰ）の発明が開示されている。
特開平１０−４０５４４号公報 特開２００１−２９７４３３号公報 In Patent Document 2, for a transfer magnetic disk having a magnetic recording layer made of a perpendicular magnetization film, when preformat information is recorded perpendicularly, a magnetic field is applied in parallel to the transfer magnetic disk and the master disk. An invention of edge printing (EP) for transferring and recording format information is disclosed.
JP 10-40544 A JP 2001-297433 A

しかしながら、ビットプリント（ＢＰ）では、磁気ヘッドで記録された波形と同等の再生波形を得ることができるため、サーボ情報を磁気転写により記録し、サーボ補正情報を磁気ヘッドで記録した場合であっても、良好な再生信号を得ることができるが、マスターディスクに形成された凹凸パターンの凸部に本来凹部に存在する磁束が集中することから、凹部の領域或いは凸部の領域の広狭により、凸部における磁束密度が異なり、このため磁気転写された情報はムラのある信号となり、磁気転写された信号のＳ／Ｎが全体として低下してしまう。   However, in the bit print (BP), a reproduced waveform equivalent to the waveform recorded by the magnetic head can be obtained. Therefore, the servo information is recorded by magnetic transfer and the servo correction information is recorded by the magnetic head. Although a good reproduction signal can be obtained, the magnetic flux originally present in the concave portion concentrates on the convex portion of the concave / convex pattern formed on the master disk. The magnetic flux density in the part is different, and therefore the magnetically transferred information becomes a nonuniform signal, and the S / N of the magnetically transferred signal is lowered as a whole.

一方、エッジプリント（ＥＰ）では、凹部の領域の広狭により、磁束密度が変化することはないため、均一な磁気転写を行うことができ、高いＳ／Ｎを得ることができるが、エッジプリントにより記録される情報の信号波形は、磁気ヘッドにより記録される信号波形とは異なるため、磁気ヘッド用の再生信号処理のための電気回路をそのまま用いて磁気ヘッドで書かれた信号と磁気転写で書かれた信号とを共に適切に読み取ることは困難であった。   On the other hand, in edge printing (EP), since the magnetic flux density does not change due to the width of the recess area, uniform magnetic transfer can be performed and high S / N can be obtained. Since the signal waveform of the recorded information is different from the signal waveform recorded by the magnetic head, the signal written by the magnetic head and the magnetic transfer are written using the electric circuit for reproducing signal processing for the magnetic head as it is. It was difficult to properly read the received signal together.

本発明は、上記事情に鑑み、本発明による方式で磁気転写を行うことにより、高いＳ／Ｎを得ることができるとともに、磁気ヘッドにより記録された情報を再生するための信号処理のための電気回路で再生することが可能な磁気転写方法、マスター記録媒体、これにより磁気転写された垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置を提供するものである。   In view of the above circumstances, the present invention can obtain a high S / N ratio by performing magnetic transfer by the method according to the present invention, and can perform electrical processing for signal processing for reproducing information recorded by a magnetic head. A magnetic transfer method and a master recording medium that can be reproduced by a circuit, a perpendicular magnetic recording medium magnetically transferred by the method, and a magnetic recording / reproducing apparatus are provided.

請求項１に記載の発明は、円盤状の基板の表面に垂直磁気記録層を形成した垂直磁気記録媒体に情報を転写するため記録すべき情報に応じて磁性層を形成したマスター記録媒体の磁性層の形成された面とを密着させる密着工程と、前記密着させた垂直磁気記録媒体とマスター記録媒体に平行な磁界を印加する磁界印加手段により磁界を印加しつつ、前記密着させた垂直磁気記録媒体とマスター記録媒体に対し、前記垂直磁気記録媒体の中心を軸に、前記磁界印加手段を相対的に回転させることにより磁気転写をおこなう磁気転写工程からなる磁気転写方法である。   According to the first aspect of the present invention, the magnetic property of the master recording medium in which the magnetic layer is formed in accordance with the information to be recorded in order to transfer the information to the perpendicular magnetic recording medium in which the perpendicular magnetic recording layer is formed on the surface of the disk-shaped substrate. An adhesion step for closely adhering the surface on which the layer is formed; and the adhering perpendicular magnetic recording while applying a magnetic field by a magnetic field applying means for applying a magnetic field parallel to the adhering perpendicular magnetic recording medium and the master recording medium The magnetic transfer method includes a magnetic transfer step in which magnetic transfer is performed by rotating the magnetic field applying unit relative to the medium and the master recording medium about the center of the perpendicular magnetic recording medium.

これにより磁気ヘッドで記録した波形に近い再生波形が得られる。   As a result, a reproduced waveform close to the waveform recorded by the magnetic head is obtained.

しかし、後述するようにサイドピークSPが生じるため、S/Nがあまり高くない。これを更に向上させるためには下記の方法がある。第１の方法は、再生の分解能を決めている再生ヘッドのギャップ長を考慮にいれたマスター記録媒体の磁気記録層のビットパターンのダウントラック方向の間隔にすることである。ある値以下にすると磁気記録媒体にノイズとなる信号が記録されていても再生できないため、ノイズにはならない。   However, since the side peak SP occurs as will be described later, the S / N is not so high. In order to further improve this, there are the following methods. The first method is to set the interval in the down track direction of the bit pattern of the magnetic recording layer of the master recording medium in consideration of the gap length of the reproducing head that determines the reproducing resolution. If the value is less than a certain value, even if a signal that causes noise is recorded on the magnetic recording medium, it cannot be reproduced, and therefore it does not become noise.

請求項２に記載の発明は、このことが記載されている。   This is described in the invention described in claim 2.

請求項２に記載の発明は、円盤状の基板の表面に垂直磁気記録層を形成した垂直磁気記録媒体を同一方向に垂直磁化する初期磁化工程と、前記初期磁化工程により初期磁化された垂直磁気記録媒体の前記垂直磁気記録層の形成された面と、前記垂直磁気記録媒体に情報を転写するため記録すべき情報に応じて磁性層を形成したマスター記録媒体の磁性層の形成された面とを密着させる密着工程と、前記密着させた垂直磁気記録媒体とマスター記録媒体に平行な磁界を印加する磁界印加手段により磁界を印加しつつ、前記密着させた垂直磁気記録媒体とマスター記録媒体に対し、前記垂直磁気記録媒体の中心を軸に、前記磁界印加手段を相対的に回転させることにより磁気転写をおこなう磁気転写工程からなる磁気転写方法であって、前記マスター記録媒体に形成されたビットパターンのダウントラック方向の間隔が、前記磁気転写された垂直磁気記録媒体を再生する際に用いられる再生磁気ヘッドの片側ギャップ長の０．８倍以下であることを特徴とする磁気転写方法である。   According to a second aspect of the present invention, there is provided an initial magnetization step in which a perpendicular magnetic recording medium having a perpendicular magnetic recording layer formed on the surface of a disk-shaped substrate is perpendicularly magnetized in the same direction, and the perpendicular magnetism initially magnetized by the initial magnetization step. A surface of the recording medium on which the perpendicular magnetic recording layer is formed, and a surface of the master recording medium on which a magnetic layer is formed in accordance with information to be recorded in order to transfer information to the perpendicular magnetic recording medium. A close contact step, and a magnetic field applying means for applying a magnetic field parallel to the close contact perpendicular magnetic recording medium and the master recording medium while applying a magnetic field to the close contact perpendicular magnetic recording medium and the master recording medium. A magnetic transfer method comprising a magnetic transfer step of performing magnetic transfer by rotating the magnetic field applying means relative to the center of the perpendicular magnetic recording medium, The interval in the down-track direction of the bit pattern formed on the recording medium is 0.8 times or less the gap length on one side of the reproducing magnetic head used when reproducing the magnetically transferred perpendicular magnetic recording medium. The magnetic transfer method is characterized.

請求項３項には上記の発明で、現在のHDD（ハードディスクドライブ）の記録密度100〜200Gbits／in2でSP（サブピーク）が生じないマスター記録媒体の磁気記録層のビットパターンのダウントラック方向の間隔を選定した記載を行った。   According to the third aspect of the present invention, in the present invention, the spacing in the down-track direction of the bit pattern of the magnetic recording layer of the master recording medium in which SP (sub-peak) does not occur at the recording density of 100 to 200 Gbits / in 2 of the current HDD (hard disk drive) The description which selected was performed.

請求項３に記載の発明は、円盤状の基板の表面に垂直磁気記録層を形成した垂直磁気記録媒体を同一方向に垂直磁化する初期磁化工程と、前記初期磁化工程により初期磁化された垂直磁気記録媒体の前記垂直磁気記録層の形成された面と、前記垂直磁気記録媒体に情報を転写するため記録すべき情報に応じて磁性層を形成したマスター記録媒体の磁性層の形成された面とを密着させる密着工程と、前記密着させた垂直磁気記録媒体とマスター記録媒体に平行な磁界を印加する磁界印加手段により磁界を印加しつつ、前記密着させた垂直磁気記録媒体とマスター記録媒体に対し、前記垂直磁気記録媒体の中心を軸に、前記磁界印加手段を相対的に回転させることにより磁気転写をおこなう磁気転写工程からなる磁気転写方法であって、前記マスター記録媒体に形成された磁気記録層のビットパターンのダウントラック方向の間隔が１０〔ｎｍ〕〜８０〔ｎｍ〕以下であることを特徴とする磁気転写方法である。   According to a third aspect of the present invention, there is provided an initial magnetization step in which a perpendicular magnetic recording medium having a perpendicular magnetic recording layer formed on the surface of a disk-shaped substrate is perpendicularly magnetized in the same direction, and the perpendicular magnetism initially magnetized by the initial magnetization step. A surface of the recording medium on which the perpendicular magnetic recording layer is formed, and a surface of the master recording medium on which a magnetic layer is formed in accordance with information to be recorded in order to transfer information to the perpendicular magnetic recording medium. A close contact step, and a magnetic field applying means for applying a magnetic field parallel to the close contact perpendicular magnetic recording medium and the master recording medium while applying a magnetic field to the close contact perpendicular magnetic recording medium and the master recording medium. A magnetic transfer method comprising a magnetic transfer step of performing magnetic transfer by rotating the magnetic field applying means relative to the center of the perpendicular magnetic recording medium, A magnetic transfer method, wherein a distance down-track direction of the bit pattern of the magnetic recording layer formed on over the recording medium is not more than 10 [nm] to 80 [nm].

S/Nを上げる第２の方法はマスター記録媒体の磁気記録層のビットパターンの断面形状を台形にする方法である。これを請求項４に記載した。   A second method for increasing the S / N is a method in which the cross-sectional shape of the bit pattern of the magnetic recording layer of the master recording medium is trapezoidal. This is described in claim 4.

請求項４に記載の発明は、円盤状の基板の表面に垂直磁気記録層を形成した垂直磁気記録媒体を同一方向に垂直磁化する初期磁化工程と、前記初期磁化工程により初期磁化された垂直磁気記録媒体の前記垂直磁気記録層の形成された面と、前記垂直磁気記録媒体に情報を転写するため記録すべき情報に応じて磁性層を形成したマスター記録媒体の磁性層の形成された面とを密着させる密着工程と、前記密着させた垂直磁気記録媒体とマスター記録媒体に平行な磁界を印加する磁界印加手段により磁界を印加しつつ、前記密着させた垂直磁気記録媒体とマスター記録媒体に対し、前記垂直磁気記録媒体の中心を軸に、前記磁界印加手段を相対的に回転させることにより磁気転写をおこなう磁気転写工程からなる磁気転写方法であって、前記マスター記録媒体に形成された磁気記録層のビットパターンの前記マスター記録媒体に垂直でダウントラック方向の断面が、前記垂直磁気記録媒体との密着する側が狭くマスター記録媒体の基板側が広く形成されていることを特徴とする磁気転写方法である。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an initial magnetization step in which a perpendicular magnetic recording medium having a perpendicular magnetic recording layer formed on the surface of a disk-shaped substrate is perpendicularly magnetized in the same direction, and the perpendicular magnetism initially magnetized by the initial magnetization step. A surface of the recording medium on which the perpendicular magnetic recording layer is formed, and a surface of the master recording medium on which a magnetic layer is formed in accordance with information to be recorded in order to transfer information to the perpendicular magnetic recording medium. A close contact step, and a magnetic field applying means for applying a magnetic field parallel to the close contact perpendicular magnetic recording medium and the master recording medium while applying a magnetic field to the close contact perpendicular magnetic recording medium and the master recording medium. A magnetic transfer method comprising a magnetic transfer step of performing magnetic transfer by rotating the magnetic field applying means relative to the center of the perpendicular magnetic recording medium, -The cross-section of the bit pattern of the magnetic recording layer formed on the recording medium perpendicular to the master recording medium and in the down-track direction is narrow on the side closely contacting the perpendicular magnetic recording medium, and the substrate side of the master recording medium is wide. This is a magnetic transfer method.

請求項５に記載の発明は、前記磁気転写方法により、前記マスター記録媒体より磁気転写される情報が、サーボ信号情報であることを特徴とする請求項１から４に記載の磁気転写方法である。   The invention according to claim 5 is the magnetic transfer method according to claim 1, wherein information magnetically transferred from the master recording medium by the magnetic transfer method is servo signal information. .

請求項６に記載の発明は、垂直磁気記録媒体に情報を転写するための磁気転写に用いられ、磁気転写の際には面内に磁界を印加することに磁気転写を行うためのマスター記録媒体であって、前記マスター記録媒体に形成された磁気記録層のビットパターンのダウントラック方向の間隔が、１０〔ｎｍ〕〜８０〔ｎｍ〕以下であることを特徴とするマスター記録媒体である。   The invention according to claim 6 is used for magnetic transfer for transferring information to a perpendicular magnetic recording medium, and a master recording medium for performing magnetic transfer by applying a magnetic field in the plane at the time of magnetic transfer. The master recording medium is characterized in that the distance in the down-track direction of the bit pattern of the magnetic recording layer formed on the master recording medium is 10 [nm] to 80 [nm] or less.

請求項７に記載の発明は、垂直磁気記録媒体に情報を転写するための磁気転写に用いられ、磁気転写の際には面内に磁界を印加することに磁気転写を行うためのマスター記録媒体であって、前記マスター記録媒体に形成された磁気記録層のビットパターンのダウントラック方向の間隔が、前記磁気転写された垂直磁気記録媒体を再生する際に用いられる磁気ヘッドのギャップ長の０．８倍以下であることを特徴とするマスター記録媒体である。   The invention according to claim 7 is used for magnetic transfer for transferring information to a perpendicular magnetic recording medium, and a master recording medium for performing magnetic transfer by applying a magnetic field in the plane during magnetic transfer. The interval in the down-track direction of the bit pattern of the magnetic recording layer formed on the master recording medium is 0. 0 of the gap length of the magnetic head used when reproducing the magnetically transferred perpendicular magnetic recording medium. The master recording medium is characterized in that it is 8 times or less.

請求項８に記載の発明は、垂直磁気記録媒体に情報を転写するための磁気転写に用いられ、磁気転写の際には面内に磁界を印加することに磁気転写を行うためのマスター記録媒体であって、前記マスター記録媒体に形成された磁気記録層のビットパターンの前記マスター記録媒体に垂直方向の断面が、ダウントラック方向において、前記垂直磁気記録媒体との密着する側の方向に対し広く形成されていることを特徴とするマスター記録媒体である。   The invention according to claim 8 is used for magnetic transfer for transferring information to a perpendicular magnetic recording medium, and at the time of magnetic transfer, a master recording medium for performing magnetic transfer by applying a magnetic field in a plane. The cross section in the direction perpendicular to the master recording medium of the bit pattern of the magnetic recording layer formed on the master recording medium is wider than the direction in close contact with the perpendicular magnetic recording medium in the down track direction. A master recording medium is formed.

請求項９に記載の発明は、前記磁気転写方法により、前記マスター記録媒体より磁気転写される情報が、サーボ信号情報であることを特徴とする請求項５から８に記載のマスター記録媒体である。   The invention according to claim 9 is the master recording medium according to claim 5, wherein the information magnetically transferred from the master recording medium by the magnetic transfer method is servo signal information. .

請求項１０に記載の発明は、請求項１から４に記載されている磁気転写方法により磁気転写されたことを特徴とする垂直磁気記録媒体である。
請求項１１に記載の発明は、請求項１から４のいずれかに記載した磁気転写方法により磁気転写された垂直磁気記録媒体を備えたことを特徴とする磁気記録再生装置である。 A tenth aspect of the present invention is a perpendicular magnetic recording medium that is magnetically transferred by the magnetic transfer method according to the first to fourth aspects.
An eleventh aspect of the present invention is a magnetic recording / reproducing apparatus comprising a perpendicular magnetic recording medium magnetically transferred by the magnetic transfer method according to any one of the first to fourth aspects.

磁気ヘッド記録用に設計されたサーボ信号に対して本方法を用いる場合は位相を磁気ヘッドで再生した場合と全くあわせるためには、SAMから次ぎの信号の位置をずらして行うことが出来る。   When this method is used for a servo signal designed for magnetic head recording, the position of the next signal can be shifted from the SAM in order to completely match the phase with the case where the phase is reproduced by the magnetic head.

本発明における垂直磁気媒体の磁気転写方法およびこれに用いられるマスター記録媒体では、磁気ヘッド用の再生信号処理のための電気回路を用いて磁気ヘッドで書かれた信号と磁気転写で書かれた信号とを共に適切にかつ高Ｓ／Ｎで読み取ることが可能な再生波形で垂直磁気記録媒体に磁気転写を行うことができる。   In a magnetic transfer method of a perpendicular magnetic medium and a master recording medium used therefor in the present invention, a signal written by a magnetic head and a signal written by magnetic transfer using an electric circuit for reproducing signal processing for the magnetic head Can be transferred to a perpendicular magnetic recording medium with a reproduction waveform that can be read appropriately and at a high S / N.

以下、本発明の第１の実施の形態にかかる磁気転写方法について添付図面に基づき説明する。   Hereinafter, a magnetic transfer method according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

〔転写用磁気ディスク〕
図１（ａ）に示すように、最初に磁気記録媒体である転写用磁気ディスク４０の初期磁化を行う。以下、これに用いられる転写用磁気ディスク４０について説明する。 [Magnetic disk for transfer]
As shown in FIG. 1A, first, initial magnetization of a transfer magnetic disk 40, which is a magnetic recording medium, is performed. The transfer magnetic disk 40 used for this will be described below.

転写用磁気ディスク４０は円盤状の基板の表面の片面或いは、両面に垂直磁化膜からなる磁性層が形成されたものであり、高密度ハードディスク等が挙げられる。   The transfer magnetic disk 40 is one in which a magnetic layer made of a perpendicular magnetization film is formed on one surface or both surfaces of a disk-shaped substrate, and examples thereof include a high-density hard disk.

円盤状の基板は、ガラスやＡｌ（アルミニウム）等の材料から構成されており、この基板上に非磁性層を形成した後、磁性層を形成する。   The disk-shaped substrate is made of a material such as glass or Al (aluminum), and a magnetic layer is formed after forming a nonmagnetic layer on the substrate.

非磁性層は、後に形成する磁性層の垂直磁気異方性を大きくする等の理由により設けられる。非磁性層に用いられる材料は、Ｔｉ（チタン）、Ｃｒ（クロム）、ＣｒＴｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＮｉＡｌ、Ｒｕ（ルテニウム）、Ｐｄ（パラジウム）等が好ましい。非磁性層は、スパッタリング法により上記材料を成膜することにより形成する。非磁性層の厚さは、１０ｎｍ〜１５０ｎｍであることが好ましく、２０ｎｍ〜８０ｎｍであることが更に好ましい。   The nonmagnetic layer is provided for reasons such as increasing the perpendicular magnetic anisotropy of the magnetic layer to be formed later. The material used for the nonmagnetic layer is preferably Ti (titanium), Cr (chromium), CrTi, CoCr, CrTa, CrMo, NiAl, Ru (ruthenium), Pd (palladium), or the like. The nonmagnetic layer is formed by depositing the above material by a sputtering method. The thickness of the nonmagnetic layer is preferably 10 nm to 150 nm, and more preferably 20 nm to 80 nm.

磁性層は、垂直磁化膜により形成されており、磁性層に情報が記録される。磁性層に用いられる材料は、Ｃｏ（コバルト）、Ｃｏ合金（ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒ、ＣｏＰｔＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒＮｂＴａ、ＣｏＣｒＢ、ＣｏＮｉ、ＣｏＳｍ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＰｔ、ＦｅＣｏＮｉ等）等が好ましい。上記材料に酸素、ＳｉＯ２等を加えることにより磁性層成膜時に基板を加熱することがなくても良好な磁気特性を得ることができるため好ましい。これらの材料は、磁束密度が大きく、垂直磁気異方性を有しているため、磁気記録媒体の記録密度を高めることができ、転写特性にも優れている。磁性層は、スパッタリング法により上記材料を成膜することにより形成する。磁性層の厚さは、１０ｎｍ〜５００ｎｍであることが好ましく、２０ｎｍ〜２００ｎｍであることが更に好ましい。 The magnetic layer is formed of a perpendicular magnetization film, and information is recorded on the magnetic layer. The material used for the magnetic layer is preferably Co (cobalt), Co alloy (CoPtCr, CoCr, CoPtCrTa, CoPtCrNbTa, CoCrB, CoNi, CoSm, etc.), Fe, Fe alloy (FeCo, FePt, FeCoNi, etc.) and the like. It is preferable to add oxygen, SiO 2 or the like to the above material because good magnetic properties can be obtained without heating the substrate during the formation of the magnetic layer. Since these materials have a high magnetic flux density and perpendicular magnetic anisotropy, they can increase the recording density of the magnetic recording medium and have excellent transfer characteristics. The magnetic layer is formed by depositing the above material by a sputtering method. The thickness of the magnetic layer is preferably 10 nm to 500 nm, and more preferably 20 nm to 200 nm.

尚、必要に応じて、基板と非磁性層との間に、軟磁性層を設ける場合がある。磁性層の垂直磁化状態を安定させ、記録再生時の感度を向上させるためである。軟磁性層の厚さは、５０ｎｍ〜２０００ｎｍであることが好ましく、８０ｎｍ〜４００ｎｍであることが更に好ましい。   If necessary, a soft magnetic layer may be provided between the substrate and the nonmagnetic layer. This is to stabilize the perpendicular magnetization state of the magnetic layer and improve the sensitivity during recording and reproduction. The thickness of the soft magnetic layer is preferably 50 nm to 2000 nm, and more preferably 80 nm to 400 nm.

具体的に、本実施の形態では、転写用磁気ディスクの基板として、外形９５ｍｍ（３．５インチ）の円盤状のガラス基板を用いた。スパッタリング装置のチャンバー内にガラス基板を設置し、１．３３×１０−５Ｐａ（１．０×１０−７Ｔｏｒｒ）まで減圧した後、チャンバー内にＡｒ（アルゴン）ガスを導入し、Ｒｕターゲットを用い、放電させることによりスパッタリング成膜をおこなう。この時の基板温度は常温である。これにより、Ｒｕからなる非磁性層を６０ｎｍ成膜する。 Specifically, in the present embodiment, a disk-shaped glass substrate having an outer diameter of 95 mm (3.5 inches) is used as the substrate of the magnetic disk for transfer. A glass substrate is set in the chamber of the sputtering apparatus, and after reducing the pressure to 1.33 × 10 −5 Pa (1.0 × 10 −7 Torr), Ar (argon) gas is introduced into the chamber, and the Ru target is Sputtering film formation is performed by using and discharging. The substrate temperature at this time is room temperature. Thereby, a nonmagnetic layer made of Ru is formed to a thickness of 60 nm.

この後、上記と同様にＡｒガスを導入し、同じチャンバー内にあるＣｏＣｒＰｔ−ＳｉＯ２ターゲットを用い、放電させることによりスパッタリング成膜をおこなう。この時の基板温度は常温である。これにより、ＣｏＣｒＰｔ−ＳｉＯ２からなる磁性層を２５ｎｍ成膜する。 Thereafter, Ar gas is introduced in the same manner as described above, and sputtering film formation is performed by discharging using a CoCrPt—SiO 2 target in the same chamber. The substrate temperature at this time is room temperature. Thereby, a magnetic layer made of CoCrPt—SiO 2 is formed to a thickness of 25 nm.

以上のプロセスにより、ガラス基板に、非磁性層と磁性層が成膜された転写用磁気ディスクが形成される。   By the above process, a transfer magnetic disk having a nonmagnetic layer and a magnetic layer formed on a glass substrate is formed.

このように作製された転写用磁気ディスク４０は、飽和磁化Ｍｓが６×１０５〔Ａ／ｍ〕（６００〔ｅｍｕ／ｃｃ〕）、保磁力Ｈｃが４００ｋＡ／ｍ（５００Ｏｅ）である。 The magnetic disk for transfer 40 thus produced has a saturation magnetization Ms of 6 × 10 5 [A / m] (600 [emu / cc]) and a coercive force Hc of 400 kA / m (500 Oe).

〔転写用磁気ディスクの初期磁化〕
次に、図１（ａ）に示すように、形成した転写用磁気ディスク４０の初期磁化を行う。初期磁化Ｈｉは、転写用磁気ディスク４０のディスク面に対し、垂直方向の磁界を印加することにより行われる。この垂直方向の磁界の印加は、具体的には、永久磁石や電磁石によりディスク面に垂直な磁界を発生させ、これを転写用磁気ディスクに印加し、磁性層を同一の垂直磁化向きにすることによりおこなわれる。これにより、図４（ａ）に示すように、転写用磁気ディスク４０の磁性層４０ｂは、一方向に垂直磁化される。 [Initial magnetization of magnetic disk for transfer]
Next, as shown in FIG. 1A, initial magnetization of the formed transfer magnetic disk 40 is performed. The initial magnetization Hi is performed by applying a perpendicular magnetic field to the disk surface of the transfer magnetic disk 40. Specifically, the perpendicular magnetic field is generated by generating a magnetic field perpendicular to the disk surface by a permanent magnet or an electromagnet and applying it to the magnetic disk for transfer so that the magnetic layer has the same perpendicular magnetization direction. Is done. Thereby, as shown in FIG. 4A, the magnetic layer 40b of the transfer magnetic disk 40 is perpendicularly magnetized in one direction.

このとき印加される初期磁化Ｈｉの磁界強度は、転写用磁気ディスクの面上で４００ｋＡ／ｍ（４０００Ｏｅ）以上になるように調整して印加される。   The magnetic field strength of the initial magnetization Hi applied at this time is adjusted and applied so as to be 400 kA / m (4000 Oe) or more on the surface of the transfer magnetic disk.

〔マスターディスク〕
次に、マスターディスクについて説明する。 [Master disk]
Next, the master disk will be described.

マスターディスク４６は、図２に示すように、石英ガラス（ＳｉＯ２）等各種組成のガラス、各種組成のセラミックス、合成樹脂等の非磁性体からなる基板４７上に、磁性層のビットパターン４８を形成したものであり、初期磁化を行った転写用磁気ディスク４０と密着させる密着工程、その後の磁気転写工程において用いる。 As shown in FIG. 2, the master disk 46 has a bit pattern 48 of a magnetic layer on a substrate 47 made of non-magnetic material such as glass of various compositions such as quartz glass (SiO 2 ), ceramics of various compositions, and synthetic resin. It is formed, and is used in an adhesion process in which the magnetic disk for transfer 40 that has been initially magnetized is brought into intimate contact, and a subsequent magnetic transfer process.

マスターディスク４６の形成方法は、フォトファブリケーション法や、フォトファブリケーション法により作製した原盤を用いたスタンパー法等により作製する。   The master disk 46 is formed by a photofabrication method, a stamper method using a master produced by the photofabrication method, or the like.

以下、スタンパー法について説明する。スタンパー法では、プレス原盤を用いるが、このプレス原盤の作製工程について説明する。表面が平滑なガラスや石英ガラスからなる円形の基板上に、フォトレジスト層をスピンコート等により塗布し、プリベーク後に、この円形の基板を回転させながら、記録する信号に対応して変調したレーザ光（或いは電子ビーム）をフォトレジスト層に照射し、フォトレジスト層の略全面に所定のパターンを形成する。   Hereinafter, the stamper method will be described. In the stamper method, a press master is used, and a manufacturing process of this press master will be described. Laser light that has been modulated on a circular substrate made of glass or quartz glass with a smooth surface by applying a photoresist layer by spin coating, etc., and rotating this circular substrate after pre-baking, and modulating it in response to the signal to be recorded (Or an electron beam) is applied to the photoresist layer to form a predetermined pattern on substantially the entire surface of the photoresist layer.

例えば、サーボ信号を記録する場合では、各トラックに回転中心から半径方向に線状に延びるサーボ信号に相当するパターンが露光される。その後、露光した基板を現像液に浸漬することにより、フォトレジスト層の露光された部分が除去され、これにより、ガラス基板上の所定の領域にフォトレジスト層が形成されたガラス原盤が作製される。このガラス原盤上のフォトレジスト層が形成されている面の表面に、Ｎｉメッキ（電鋳）を行い、表面にポジ状の凹凸パターンを有するＮｉ原盤を所定の厚さまで形成し、このＮｉ原盤をガラス原盤から剥離する。このＮｉ原盤をスタンパー用のプレス原盤（金型）として用いることも可能であるが、必要に応じてこのＮｉ原盤の凹凸パターン上に軟磁性層、保護膜等を被覆してスタンパー用のプレス原盤（金型）とする。このように軟磁性層、保護膜等を形成することにより、その後に作製する転写用磁気ディスクの磁気特性が向上するからである。   For example, when a servo signal is recorded, a pattern corresponding to a servo signal extending linearly in the radial direction from the center of rotation is exposed on each track. Thereafter, the exposed substrate is immersed in a developer to remove the exposed portion of the photoresist layer, thereby producing a glass master having a photoresist layer formed in a predetermined region on the glass substrate. . Ni plating (electroforming) is performed on the surface of the surface of the glass master on which the photoresist layer is formed, and a Ni master having a positive uneven pattern on the surface is formed to a predetermined thickness. Peel from the glass master. Although this Ni master can be used as a stamp master press (die), if necessary, a soft magnetic layer, a protective film, etc. may be coated on the concave / convex pattern of the Ni master stamp master press. (Mold). This is because the formation of the soft magnetic layer, the protective film, and the like improves the magnetic characteristics of the subsequently produced transfer magnetic disk.

尚、現像後所定の領域にフォトレジスト層の形成されたガラス原盤の表面にメッキを施して、第２の原盤を作製し、第２の原盤の表面に更にＮｉメッキを施して、ネガ状の凹凸を有するＮｉ原盤を作製してもよい。更に、第２の原盤の表面にメッキを施すか、低粘度の樹脂を押し付けて硬化させることにより第３の原盤を作製し、第３の原盤の表面にＮｉメッキを施すことにより、ポジ状の凹凸を有するＮｉ原盤を作製してもよい。   After the development, the surface of the glass master having a photoresist layer formed in a predetermined area is plated to produce a second master, and the surface of the second master is further Ni-plated to form a negative You may produce the Ni original disk which has an unevenness | corrugation. Further, the surface of the second master is plated, or a low-viscosity resin is pressed and cured to produce a third master, and the surface of the third master is Ni-plated to form a positive You may produce the Ni original disk which has an unevenness | corrugation.

Ｎｉ原盤を構成する材料としては、Ｎｉ及びＮｉ合金が主に用いられる。このＮｉ原盤を形成する方法としては、先に説明した電界メッキや無電解メッキによるメッキ法の他、スパッタリングやイオンプレーティングといった真空成膜法によっても作製することが可能である。尚、基板上に塗布されるレジストはポジ型、ネガ型のどちらでも使用可能であるが、ポジ型とネガ型では、露光パターンが反転することに注意する必要がある。
次に、このように形成したＮｉ原盤をプレス原盤として、射出成型等により樹脂基板４７を作製し、その表面に磁性層のビットパターン４８を形成する。樹脂基板４７の樹脂材料としては、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレートなどのアクリル樹脂、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体などの塩化ビニル樹脂、エポキシ樹脂、アモルファスポリオレフィン及びポリエステルなどが挙げられる。これらの樹脂材料の中では、耐湿性、寸法安定性及び価格などの点から、現在のところポリカーボネートが好ましい。射出成型により樹脂基板４７を形成した場合、成型品である樹脂基板４７にバリ等が生じる場合があるが、このようなバリ等はバーニシュ又は研磨加工により除去する。
また、射出成型以外の方法により樹脂基板４７を形成する方法として、紫外線硬化樹脂、電子線硬化樹脂などを使用する方法もある。この場合、プレス原盤に紫外線硬化樹脂、電子線硬化樹脂をスピンコート、バーコート等の手法により塗布した後、紫外線或いは電子線を照射することにより硬化させた後、プレス原盤より剥離することにより樹脂基板４７が形成される。 Ni and Ni alloys are mainly used as the material constituting the Ni master. As a method of forming this Ni master, it is possible to produce by a vacuum film forming method such as sputtering or ion plating in addition to the plating method by the electroplating or electroless plating described above. The resist applied on the substrate can be either a positive type or a negative type. However, it should be noted that the exposure pattern is reversed between the positive type and the negative type.
Next, using the Ni master thus formed as a press master, a resin substrate 47 is produced by injection molding or the like, and a bit pattern 48 of a magnetic layer is formed on the surface thereof. Examples of the resin material of the resin substrate 47 include acrylic resins such as polycarbonate and polymethyl methacrylate, vinyl chloride resins such as polyvinyl chloride and vinyl chloride copolymers, epoxy resins, amorphous polyolefins, and polyesters. Among these resin materials, polycarbonate is currently preferred from the viewpoints of moisture resistance, dimensional stability and price. When the resin substrate 47 is formed by injection molding, burrs or the like may occur on the resin substrate 47 that is a molded product. Such burrs or the like are removed by burnishing or polishing.
Further, as a method of forming the resin substrate 47 by a method other than injection molding, there is a method using an ultraviolet curable resin, an electron beam curable resin, or the like. In this case, an ultraviolet curable resin or an electron beam curable resin is applied to the press master by spin coating, bar coating, or the like, then cured by irradiating ultraviolet rays or an electron beam, and then peeled off from the press master. A substrate 47 is formed.

次に、図３に基づきマスターディスク４６の作製方法について具体的に説明する。   Next, a method for producing the master disk 46 will be specifically described with reference to FIG.

図３（ａ）に以上の工程により作製された樹脂基板４７を示す。図に示すように、樹脂基板の表面には、突起状のパターンが設けられている。   FIG. 3A shows the resin substrate 47 manufactured by the above steps. As shown in the figure, a projection-like pattern is provided on the surface of the resin substrate.

本実施の形態では、突起状のパターンは、長さ８０ｍｍ、長さ２００ｍｍのパターンが形成されており、形成される突起状のパターンの高さ（深さ）は、２０ｎｍ〜３００ｎｍの範囲が好ましく、３０ｎｍ〜２００ｎｍがより好ましい。   In the present embodiment, the protrusion pattern has a length of 80 mm and a length of 200 mm, and the height (depth) of the protrusion pattern to be formed is preferably in the range of 20 nm to 300 nm. 30 nm to 200 nm is more preferable.

この後、図３（ｂ）に示すように、形成された樹脂基板４７の突起状パターンの形成されている面にスピンコーター等によりフォトレジスト４９を塗布し、フォトレジスト４９を硬化させる。具体的には、フォトレジスト４９がネガレジストである場合には、紫外線等を照射して重合させる。一方、ポジレジストである場合には、ベーキング処理を行って重合させる。フォトレジスト４９はスピンコーター等では均一に広がるため、樹脂基板４７の表面の突起状パターンである凸部では薄く、それ以外の凹部では厚く形成される。   Thereafter, as shown in FIG. 3B, a photoresist 49 is applied to the surface of the formed resin substrate 47 on which the protruding pattern is formed by a spin coater or the like, and the photoresist 49 is cured. Specifically, when the photoresist 49 is a negative resist, it is polymerized by irradiation with ultraviolet rays or the like. On the other hand, in the case of a positive resist, a baking process is performed for polymerization. Since the photoresist 49 spreads evenly with a spin coater or the like, the photoresist 49 is formed with a thin projection on the surface of the resin substrate 47 and thick with the other depressions.

この後、図３（ｃ）に示すように、酸素ガスを導入したアッシングを行うことにより、フォトレジスト４９の一部を除去する。具体的には、樹脂基板４７の突起状パターンの表面が露出したところで、アッシングを停止する。アッシングでは、厚さ方向に均等にレジスト４９が除去されるため、樹脂基板４７の突起状パターンの凸部の表面が露出しても、凹部ではレジスト４９が厚く形成されているため、この領域のレジスト４９は残存している。   Thereafter, as shown in FIG. 3C, ashing with oxygen gas introduced is performed to remove a part of the photoresist 49. Specifically, ashing is stopped when the surface of the protruding pattern of the resin substrate 47 is exposed. In ashing, since the resist 49 is removed evenly in the thickness direction, even if the surface of the convex portion of the projection pattern of the resin substrate 47 is exposed, the resist 49 is formed thick in the concave portion. The resist 49 remains.

マスターディスク４６の磁性層のビットパターンの断面を台形に成形する方法は例えば堆積物による側壁保護法か レジストマスク後退を用いて行うことができる。   The method of forming the cross section of the bit pattern of the magnetic layer of the master disk 46 into a trapezoid can be performed by using, for example, a side wall protection method using a deposit or a resist mask receding.

例えば前者はCHF3, CF4(現条件では使用していない)などのCF系ガスをプラズマ中で解離させ、CF系（フルオロカーボン）の重合物が生成させ、基板上に堆積させる。   For example, the former dissociates CF-based gases such as CHF3 and CF4 (not used under the current conditions) in plasma, and a CF-based (fluorocarbon) polymer is generated and deposited on the substrate.

重合物は基板表面にもれなく堆積するが、基板垂直方向にイオンが入射されているため、側壁部の堆積物は比較的除去されにくく、これを利用して、積極的に堆積物をつけるような条件で、溝を埋めながらエッチングすることにより角度をつける。   The polymer deposits on the surface of the substrate without fail. However, since ions are incident in the vertical direction of the substrate, the deposit on the side wall portion is relatively difficult to remove, and this is used to positively deposit the deposit. Under certain conditions, an angle is formed by etching while filling the groove.

後者はエッチングの際、入射イオンのエネルギーを比較的高めにすることで、レジストマスクを積極的に削るような条件を用いると、平坦部より、角部の方が早く削られるため、マスクの幅が徐々に縮小して開口部が徐々に広がっていきますので、結果的に角度がついた形状が得られる。   In the latter, the energy of incident ions is made relatively high at the time of etching, and if the conditions that aggressively cut the resist mask are used, the corners are cut faster than the flat parts, so the width of the mask As the aperture gradually shrinks and the opening gradually widens, an angled shape is obtained as a result.

この後、図３（ｄ）に示すように、軟磁性体からなる磁性膜５０の成膜をおこなう。磁性膜５０を構成する材料は、保磁力Ｈｃが４８ｋＡ／ｍ（≒６００Ｏｅ）以下の軟磁性材料により構成されていることが好ましい。具体的には、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＺｒ、ＣｏＮｂＴａＺｒ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉ、ＦｅＮｉＭｏ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＡｌ、ＦｅＴａＮ）、Ｎｉ、Ｎｉ合金（ＮｉＦｅ）等が挙げられる。特に好ましいのは、磁気特性からＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉである。又、磁性膜５０の厚さは、２０ｎｍ〜３００ｎｍの範囲が好ましく、特に、３０ｎｍ〜２００ｎｍの範囲が更に好ましい。磁性膜５０は、上記材料のターゲットを用いスパッタリング等により行われる。   Thereafter, as shown in FIG. 3D, a magnetic film 50 made of a soft magnetic material is formed. The material constituting the magnetic film 50 is preferably made of a soft magnetic material having a coercive force Hc of 48 kA / m (≈600 Oe) or less. Specific examples include Co, Co alloys (CoNi, CoNiZr, CoNbTaZr, etc.), Fe, Fe alloys (FeCo, FeCoNi, FeNiMo, FeAlSi, FeAl, FeTaN), Ni, Ni alloys (NiFe), and the like. Particularly preferred are FeCo and FeCoNi because of their magnetic properties. Further, the thickness of the magnetic film 50 is preferably in the range of 20 nm to 300 nm, and more preferably in the range of 30 nm to 200 nm. The magnetic film 50 is formed by sputtering or the like using a target of the above material.

この後、図３（ｅ）に示すように、リフトオフによりレジスト４９上に形成されている磁性膜の除去をおこなう。具体的には、磁性膜５０が成膜された基板４７を有機溶剤等に浸漬させることにより、レジスト４９の上に形成された磁性膜５０は、レジスト４９とともに除去される。   Thereafter, as shown in FIG. 3E, the magnetic film formed on the resist 49 is removed by lift-off. Specifically, the magnetic film 50 formed on the resist 49 is removed together with the resist 49 by immersing the substrate 47 on which the magnetic film 50 is formed in an organic solvent or the like.

このように作製されたマスターディスク４６は、凸部の領域に磁性層４８が形成されているが、この凸部の領域の磁性層のビットパターン４８のダウントラック方向の間隔Ｔは、後述するように１０〔ｎｍ〕〜８０〔ｎｍ〕以下であることが望ましい。また、間隔Ｔは再生磁気ヘッドの片側ギャップ長の０．８倍以下であることが望ましい。   The master disk 46 manufactured in this manner has a magnetic layer 48 formed in the convex region. The interval T in the down-track direction of the bit pattern 48 of the magnetic layer in the convex region is described later. It is desirable that it is 10 [nm]-80 [nm] or less. The interval T is preferably 0.8 times or less of the one-side gap length of the reproducing magnetic head.

以上のプロセスにより、図２に示すような基板４７の突起状のパターンの上面に磁性層のビットパターン４８が放射状に形成されたサーボ信号等の情報が記録されているマスターディスク４６が出来上がる。   Through the above process, the master disk 46 is recorded in which information such as servo signals in which the bit patterns 48 of the magnetic layer are formed radially on the upper surface of the protruding pattern of the substrate 47 as shown in FIG.

尚、磁性層のビットパターン４８の上にダイヤモンドライクカーボン等の保護膜や、更に、保護膜上に潤滑剤層を設けてもよい。後述するように、マスターディスク４６は、転写用磁気ディスク４０と密着させるため、マスターディスク４６の磁性層のビットパターン４８の形成されている面は密着面となる。このため密着させた際に磁性層のビットパターン４８が傷つき、マスターディスク４６として使用できなくなることを防止するためである。また、潤滑剤層は、転写用磁気ディスク４０との接触の際に生じる摩擦による傷の発生などを防止し、耐久性を向上させる効果がある。   A protective film such as diamond-like carbon may be provided on the bit pattern 48 of the magnetic layer, and a lubricant layer may be provided on the protective film. As will be described later, since the master disk 46 is in close contact with the transfer magnetic disk 40, the surface of the magnetic layer of the master disk 46 on which the bit pattern 48 is formed becomes an adhesive surface. This is to prevent the bit pattern 48 of the magnetic layer from being damaged and being unable to be used as the master disk 46 when adhered. In addition, the lubricant layer has an effect of preventing the occurrence of scratches due to friction generated when contacting the transfer magnetic disk 40 and improving durability.

具体的には、保護膜としては、厚さが２〜３０ｎｍのダイヤモンドライクカーボン膜を形成し、更にその上に潤滑剤層を形成した構成が好ましい。また、磁性層４８と、保護膜との密着性を強化するため、磁性層４８上にＳｉ等の密着強化層を形成し、その後保護膜を形成してもよい。   Specifically, the protective film preferably has a structure in which a diamond-like carbon film having a thickness of 2 to 30 nm is formed and a lubricant layer is further formed thereon. Further, in order to reinforce the adhesion between the magnetic layer 48 and the protective film, an adhesion reinforcing layer such as Si may be formed on the magnetic layer 48 and then the protective film may be formed.

〔密着工程〕
次に、図１（ｂ）に示すように密着工程において、上記工程により作製したマスターディスク４６の突起状のパターンの形成されている面と、転写用磁気ディスク４０の磁性層４０ｂの形成されている面とを所定の押圧力で密着させる。 [Contact process]
Next, as shown in FIG. 1B, in the adhesion step, the surface on which the projection-like pattern of the master disk 46 produced by the above steps is formed and the magnetic layer 40b of the transfer magnetic disk 40 are formed. The surface is in close contact with a predetermined pressing force.

転写用磁気ディスク４０には、マスターディスク４６に密着させる前に、グライドヘッド、研磨体等により、表面の微少突起又は付着塵埃を除去するクリーニング処理（バーニッシング等）が必要に応じて施される。   Before being brought into close contact with the master disk 46, the transfer magnetic disk 40 is subjected to a cleaning process (burnishing or the like) for removing minute projections or adhering dust on the surface by a glide head, a polishing body, or the like as necessary.

尚、密着工程では、図１（ｂ）に示すように、転写用磁気ディスク４０の片面にマスターディスク４６を密着させる場合と、両面に磁性層の形成された転写用磁気ディスク４０の両面にマスターディスク４６を密着させる場合とがある。後者の場合では、両面を同時転写することができる利点がある。   In the contact step, as shown in FIG. 1B, the master disk 46 is brought into close contact with one side of the transfer magnetic disk 40, and the master is placed on both sides of the transfer magnetic disk 40 having a magnetic layer formed on both sides. The disk 46 may be brought into close contact. The latter case has an advantage that both sides can be transferred simultaneously.

〔転写工程〕
面内の転写磁界が少なすぎると図６ｃのように十分な再生波形強度Sが得られない。 [Transfer process]
If the in-plane transfer magnetic field is too small, a sufficient reproduction waveform intensity S cannot be obtained as shown in FIG.

大きすぎるとマスターディスクの磁性層の両端に逆向きの転写磁界が出て、微分波形となり、EPとなる。適切な値をとる必要がある。ほぼHc近傍がよい。   If it is too large, a reverse transfer magnetic field will appear at both ends of the magnetic layer of the master disk, resulting in a differential waveform and EP. It is necessary to take an appropriate value. Near Hc is good.

〔本発明における磁気転写原理〕
次に、磁気転写によりマスターディスク４６に記録されている情報が転写用磁気ディスク４０に転写されるが、この磁気転写原理について、図５、図６に基づいて説明する。 [Principle of magnetic transfer in the present invention]
Next, information recorded on the master disk 46 is transferred to the transfer magnetic disk 40 by magnetic transfer. The principle of this magnetic transfer will be described with reference to FIGS.

図５(ａ)、図６（ａ）は、マスターディスク４６の凸部の領域に形成された磁性層４８のパターンを示す。このマスターディスク４６に対し垂直に磁界を印加した場合、即ち、ビットプリントを行った場合では、転写用磁気ディスク４０における磁性層４０ｂの磁化向きは、図５(ｂ)に示すように磁化される。このように記録された転写用磁気ディスク４０を再生した場合、図６(ｂ)に示す波形となり、再生ヘッドで再生することは可能であるが、利用できる磁界が十分大きくないこと、磁気転写にムラがあることからＳ／Ｎは良くない。   FIGS. 5A and 6A show patterns of the magnetic layer 48 formed in the convex region of the master disk 46. FIG. When a magnetic field is applied perpendicularly to the master disk 46, that is, when bit printing is performed, the magnetization direction of the magnetic layer 40b in the transfer magnetic disk 40 is magnetized as shown in FIG. . When the recording magnetic disk 40 recorded in this way is reproduced, the waveform shown in FIG. 6B is obtained, and it can be reproduced by the reproducing head. However, the magnetic field that can be used is not sufficiently large. S / N is not good due to unevenness.

次に、マスターディスク４６に対し平行な磁界、即ち面内磁界を印加した場合について説明する。図５(ｃ)は、印加した面内磁界が弱い場合であるが、この場合、マスターディスク４６の磁性層４８の図面上左側のエッジ部分が反転する。このように磁気転写された転写用磁気ディスク４０を再生した場合の波形を図６(ｃ)に示す。図６(ｃ)に示すように、この場合の再生波形の振幅は小さく、Ｓ／Ｎも極めて低いため実用的ではない。   Next, a case where a parallel magnetic field, that is, an in-plane magnetic field is applied to the master disk 46 will be described. FIG. 5C shows a case where the applied in-plane magnetic field is weak. In this case, the left edge portion of the magnetic layer 48 of the master disk 46 is reversed. FIG. 6C shows a waveform when the magnetic disk for transfer 40 thus magnetically transferred is reproduced. As shown in FIG. 6 (c), the amplitude of the reproduced waveform in this case is small and the S / N is extremely low, which is not practical.

次に、印加する面内磁界の印加強度を更に高めた場合における磁気転写される垂直磁気記録媒体４０の磁性層４０ｂにおける磁化向きを図５（ｄ）に示す。マスターディスク４６の磁性層４８の形成されている領域では、磁束は磁性層４８を貫くが、磁性層４８の形成されていない領域では、転写用磁気ディスク４０の磁性層４０ｂを貫くため、図面では上向きに垂直磁化されていたものが、一旦面内に磁化される。この後、面内磁界の印加を停止することにより、この領域の磁化向きは静磁気エネルギーを最小にすべく上又は下方向にランダムに向き、遷移領域Ｄを形成する。このように磁気転写された転写用磁気ディスク４０を再生ヘッドにより再生した場合の波形を図６（ｄ）に示す。図６（ｄ）に示すように、再生信号の振幅は再生ヘッドで再生可能であり、振幅も十分なものを得ることができる。しかしながら、更に詳細に見ると遷移領域Ｄにおいて、垂直磁化した領域と隣接する部分においては、垂直磁化した領域からの漏れ磁界の影響により、磁気回路を閉じる方向の磁化向き成分が増加するためサイドピークＳＰが形成される。このサイドピークＳＰはノイズの原因となり、Ｓ／Ｎを低下させてしまう。   Next, FIG. 5D shows the magnetization direction in the magnetic layer 40b of the perpendicular magnetic recording medium 40 to be magnetically transferred when the applied intensity of the in-plane magnetic field to be applied is further increased. In the region where the magnetic layer 48 of the master disk 46 is formed, the magnetic flux penetrates the magnetic layer 48, but in the region where the magnetic layer 48 is not formed, it penetrates the magnetic layer 40b of the transfer magnetic disk 40. What was perpendicularly magnetized upward is once magnetized in the plane. Thereafter, by stopping the application of the in-plane magnetic field, the magnetization direction of this region is randomly oriented upward or downward to minimize the magnetostatic energy, and the transition region D is formed. FIG. 6D shows a waveform when the magnetic disk for transfer 40 thus magnetically transferred is reproduced by a reproducing head. As shown in FIG. 6 (d), the reproduction signal can be reproduced by the reproduction head, and a sufficient amplitude can be obtained. However, in more detail, in the transition region D, in the portion adjacent to the perpendicularly magnetized region, the magnetization direction component in the direction of closing the magnetic circuit increases due to the influence of the leakage magnetic field from the perpendicularly magnetized region. SP is formed. This side peak SP causes noise and lowers the S / N.

このサイドピークＳＰについて、図７に基づき説明する。図７（ａ）に、マスターディスク４６の凸部の領域に形成された磁性層４８のパターンを示す。図７（ｂ）は、このマスターディスク４６を用いて磁気転写された転写用磁気ディスク４０の磁性層４０ｂの磁化の状態を上面よりみた図である。磁性層４８の形成されていない領域は、遷移領域Ｄ（図５）を形成するが、磁気転写された領域に隣接している部分では、磁気回路が閉じる方向に磁化が向き易くなり、その結果、図７（ｃ）に示すように、再生ヘッドにより再生波形は、サイドピークＳＰを有する波形となるのである。   The side peak SP will be described with reference to FIG. FIG. 7A shows a pattern of the magnetic layer 48 formed in the convex region of the master disk 46. FIG. 7B is a view of the state of magnetization of the magnetic layer 40b of the transfer magnetic disk 40 magnetically transferred using the master disk 46, as viewed from above. The region where the magnetic layer 48 is not formed forms the transition region D (FIG. 5). However, in the portion adjacent to the magnetically transferred region, the magnetization tends to be directed in the direction in which the magnetic circuit is closed. As shown in FIG. 7C, the reproduction waveform by the reproduction head is a waveform having a side peak SP.

本発明における実施の形態では、この状態における磁気転写を利用したものである。更に、図７に基づき具体的に説明すると、図８（ａ）に、マスターディスク４６の凸部の領域に形成された磁性層４８のビットパターンを示す。図８（ｂ）に、このマスターディスク４６を用い図６（ｄ）に示す状態と同じ強度の面内磁界を印加した場合に転写用磁気ディスク４０に記録された情報を再生した場合の波形を示す。図８（ｂ）に示すように、この状態ではサイドピークＳＰが発生するが、マスターディスク４６の磁性層４８のビットパターンのダウントラック方向の間隔Ｔを、100〜200Gbits/in2のＨＤＤで使用される片側ギャップ長ｇを有する再生磁気ヘッドでは１０〔ｎｍ〕以上〜８０〔ｎｍ〕以下とすると、図８（ｃ）に示すように、再生波形においてサイドピークＳＰは再生ヘッドの分解能が十分でないために検出されず、再生ヘッドで再生した場合良好な再生信号となるのである。従って100〜200Gbits/in2のＨＤＤではマスターディスク４６の磁性層４８のビットパターンの間隔Ｔは１０〔ｎｍ〕以上〜８０〔ｎｍ〕以下に設定することが好ましい。   In the embodiment of the present invention, magnetic transfer in this state is used. More specifically, based on FIG. 7, FIG. 8A shows a bit pattern of the magnetic layer 48 formed in the convex region of the master disk 46. FIG. FIG. 8B shows a waveform when information recorded on the transfer magnetic disk 40 is reproduced when an in-plane magnetic field having the same strength as that shown in FIG. 6D is applied using the master disk 46. Show. As shown in FIG. 8B, a side peak SP occurs in this state, but the interval T in the down-track direction of the bit pattern of the magnetic layer 48 of the master disk 46 is used in an HDD of 100 to 200 Gbits / in 2. In a reproducing magnetic head having a one-side gap length g of 10 nm to 80 [nm], as shown in FIG. 8C, the side peak SP in the reproducing waveform has insufficient resolution of the reproducing head. Therefore, a good reproduction signal is obtained when the reproduction head reproduces. Accordingly, in the HDD of 100 to 200 Gbits / in 2, the bit pattern interval T of the magnetic layer 48 of the master disk 46 is preferably set to 10 [nm] or more and 80 [nm] or less.

一方、磁性層４８のビットパターンの間隔Ｔは、再生磁気ヘッドの片側ギャップ長ｇに関係しておりそのギャップ長ｇの０．８倍以下にすることでサイドピークＳＰが生じないことが判明した。従って磁性層４８のビットパターンのダウントラック方向の間隔Ｔは、再生磁気ヘッドの片側ギャップ長ｇの０．８倍以下であることが好ましい。   On the other hand, the bit pattern interval T of the magnetic layer 48 is related to the one-side gap length g of the reproducing magnetic head, and it has been found that the side peak SP does not occur when the gap length g is 0.8 times or less. . Accordingly, the interval T in the down-track direction of the bit pattern of the magnetic layer 48 is preferably 0.8 times or less of the one-side gap length g of the reproducing magnetic head.

この場合の再生ヘッドの片側ギャップとは、シールドの内側からＭＲ素子の端部までの距離を意味するものである。更に、磁気転写の際に印加する面内磁界の印加強度を高めた場合において、磁気転写される垂直磁気記録媒体４０の磁性層４０ｂにおける磁化向きを図５（ｅ）に示す。マスターディスク４６の磁性層４８の形成された領域の両端部分は、図面では左側が下向きに、右側は上向きに磁化されるが、それ以外の領域では、転写用磁気ディスク４０の磁性層４０ｂ内に印加される面内磁界の磁束が進入し一旦面内磁界となるが、その後面内磁界の印加をとめることにより、この部分の磁化向きはランダムな磁化向きとなる。このようにマスターディスク４６の磁性層４８のエッジ領域のみ情報が垂直の磁化として記録される。これがエッジプリントにより磁気転写であり、磁気転写された情報を再生ヘッドで再生した場合の波形は、図６（ｅ）に示すように、記録された信号はビットを微分した形状に近い成分からなる波形となり、通常の磁気ヘッドで記録した再生波形と異なる。よって、情報を再生するための電気回路が必要となり、記録ヘッドにより記録された情報を再生する再生ヘッドと同一の電気回路をそのまま使用して磁気ヘッド記録の再生信号ととを共に適切にかつ高Ｓ／Ｎで読み取ることは極めて困難である。   The one-side gap of the reproducing head in this case means the distance from the inside of the shield to the end of the MR element. Further, FIG. 5E shows the magnetization direction in the magnetic layer 40b of the perpendicular magnetic recording medium 40 to be magnetically transferred when the intensity of the in-plane magnetic field applied during magnetic transfer is increased. In the drawing, both end portions of the area where the magnetic layer 48 of the master disk 46 is formed are magnetized downward on the left side and upward on the right side, but in the other areas, the magnetic layer 40b of the transfer magnetic disk 40 is in the magnetic layer 40b. The applied magnetic flux of the in-plane magnetic field enters and once becomes an in-plane magnetic field, but when the application of the in-plane magnetic field is stopped thereafter, the magnetization direction of this portion becomes a random magnetization direction. In this way, information is recorded as perpendicular magnetization only in the edge region of the magnetic layer 48 of the master disk 46. This is magnetic transfer by edge printing, and the waveform when the magnetically transferred information is reproduced by the reproducing head is as shown in FIG. 6E. The recorded signal is composed of components close to the shape obtained by differentiating the bits. The waveform is different from the reproduction waveform recorded by a normal magnetic head. Therefore, an electric circuit for reproducing information is required, and the same electric circuit as that of the reproducing head for reproducing information recorded by the recording head is used as it is. Reading with S / N is extremely difficult.

以上より、本発明の実施の形態では、磁気転写の際、面内に磁界を印加することにより、転写用磁気ディスク４０の磁性層４０ｂは、図５（ｄ）に示すように磁気転写されることに基づくものである。   As described above, in the embodiment of the present invention, the magnetic layer 40b of the transfer magnetic disk 40 is magnetically transferred as shown in FIG. 5D by applying a magnetic field in the plane during magnetic transfer. It is based on.

〔磁気転写工程〕
次に、以上の磁気転写の説明を踏まえ、図１（ｃ）に基づき本実施の形態における磁気転写工程を説明する。 [Magnetic transfer process]
Next, based on the above description of magnetic transfer, the magnetic transfer process in the present embodiment will be described with reference to FIG.

上記密着工程により転写用磁気ディスク４０とマスターディスク４６とを密着させたものについて、磁界印加手段３０により磁界を印加する。これにより生じた磁束は、コア３２内の矢印の向きに生じ、ギャップ３１より漏れた記録用磁界Ｈｄの磁束が、転写用磁気ディスク４０とマスターディスク４６に進入することにより磁気転写が行われる。   A magnetic field is applied by the magnetic field applying means 30 for the magnetic disk 40 for transfer and the master disk 46 that are brought into close contact with each other in the contact step. The magnetic flux generated thereby is generated in the direction of the arrow in the core 32, and magnetic transfer is performed when the magnetic flux of the recording magnetic field Hd leaked from the gap 31 enters the transfer magnetic disk 40 and the master disk 46.

磁気転写装置の磁界印加手段３０は、コア３２に不図示のコイルが巻きつけられた電磁石からなるものであり、このコイルに電流を流すことによりギャップ３１に磁界が発生する構造になっている。発生する磁界の向きは、コイルに流す電流の向きによって変えることができる。本実施の形態では、マスターディスク４６及び転写用磁気ディスク４０に対し、平行に磁界を印加することができるものである。   The magnetic field applying means 30 of the magnetic transfer apparatus is composed of an electromagnet in which a coil (not shown) is wound around a core 32, and has a structure in which a magnetic field is generated in the gap 31 by passing a current through the coil. The direction of the generated magnetic field can be changed depending on the direction of the current flowing through the coil. In the present embodiment, a magnetic field can be applied in parallel to the master disk 46 and the transfer magnetic disk 40.

磁気転写は、転写用磁気ディスク４０及びマスターディスク４６を密着させたものを回転させつつ、磁界印加手段３０によって転写用磁界を印加するため、回転手段３６が設けられている。尚、回転手段３６は、この構成以外にも、磁界印加手段３０を回転させる機構を設け、転写用磁気ディスク４０及びマスターディスク４６に対し、相対的に回転させる手法であってもよい。   In the magnetic transfer, a rotating means 36 is provided for applying a magnetic field for transfer by the magnetic field applying means 30 while rotating the magnetic disk 40 for transfer and the master disk 46 in close contact with each other. In addition to this configuration, the rotating unit 36 may be a method of providing a mechanism for rotating the magnetic field applying unit 30 and rotating it relative to the transfer magnetic disk 40 and the master disk 46.

図４に、転写用磁気ディスク４０の磁性層４０ｂにおいて、情報が記録される状態を示す。図４（ａ）は、前述した初期磁化工程により初期化された後の転写用磁気ディスク４０であり、磁性層４０ｂは一方向に初期磁化Ｐｉされている。   FIG. 4 shows a state where information is recorded in the magnetic layer 40 b of the transfer magnetic disk 40. FIG. 4A shows the transfer magnetic disk 40 after being initialized by the above-described initial magnetization process, and the magnetic layer 40b is initially magnetized Pi in one direction.

図４（ｂ）は、マスターディスク４６及び転写用磁気ディスク４０のディスク面に平行に、記録用磁界Ｈｄを印加した際の状態を示す。マスターディスク４６の磁性層４８の設けられた領域では、磁界印加手段３０により記録用磁界Ｈｄを印加することにより、磁性層４８より漏れ磁界が生じ、磁束Ｇが発生する。この磁束Ｇは、磁性層４８のエッジ部分では、転写用磁気ディスク４０の磁性層４０ｂに対し、ほぼ垂直である。これにより、転写用磁気ディスク４０の磁化向きは反転し、情報が記録される。即ち、転写用磁気ディスク４０の磁性層４０ｂは、あらかじめ、図４（ａ）に示すよう、下向きに初期磁化Ｐｉされている。これに記録用磁界Ｈｄを印加すると、マスターディスク４６の磁性層４８の磁界印加方向後方では、磁性層４８のエッジ部分より漏れる磁束Ｇは、ほぼ垂直に上向きに発生し、これにより転写用磁気ディスク４０の磁性層４０ｂの磁化向きは反転し上向きとなった記録磁化Ｐｄにより情報が記録される。   FIG. 4B shows a state when a recording magnetic field Hd is applied parallel to the disk surfaces of the master disk 46 and the transfer magnetic disk 40. In the area of the master disk 46 where the magnetic layer 48 is provided, a magnetic field for recording Hd is applied by the magnetic field applying means 30 to generate a leakage magnetic field from the magnetic layer 48 and generate a magnetic flux G. The magnetic flux G is substantially perpendicular to the magnetic layer 40 b of the transfer magnetic disk 40 at the edge portion of the magnetic layer 48. As a result, the magnetization direction of the transfer magnetic disk 40 is reversed and information is recorded. That is, the magnetic layer 40b of the transfer magnetic disk 40 is previously initially magnetized Pi downward as shown in FIG. When a magnetic field for recording Hd is applied thereto, the magnetic flux G leaking from the edge portion of the magnetic layer 48 is generated substantially vertically upward at the rear side of the magnetic layer 48 in the magnetic layer 48 of the master disk 46, whereby the transfer magnetic disk Information is recorded by the recording magnetization Pd in which the magnetization direction of the 40 magnetic layer 40b is reversed and turned upward.

尚、マスターディスク４６の磁性層４８の形成されている領域の中央部分では、磁束の殆どは磁性層４８内を貫通しているため、外部には殆ど漏れることはなく、この領域の転写用磁気ディスク４０の磁性層４０ｂの磁化向きに影響を与えることは殆どない。よって、転写用磁気ディスク４０の磁性層４０ｂの磁化向きは、初期磁化Ｐｉの状態を保ったままである。また、マスターディスク４６の磁性層４８の磁界印加方向前方では、磁性層４８のエッジ部分より漏れる磁束Ｇは、ほぼ垂直に下向きに発生する。この方向は、初期磁化Ｐｉの磁化向きと同じ方向であるため、この領域の磁化向きは、初期磁化Ｐｉの状態を保ったままである。   In the central portion of the area where the magnetic layer 48 of the master disk 46 is formed, most of the magnetic flux penetrates through the magnetic layer 48, and therefore hardly leaks to the outside. The magnetization direction of the magnetic layer 40b of the disk 40 is hardly affected. Therefore, the magnetization direction of the magnetic layer 40b of the transfer magnetic disk 40 remains in the state of the initial magnetization Pi. Further, the magnetic flux G leaking from the edge portion of the magnetic layer 48 is generated substantially vertically downward in front of the magnetic layer 48 of the master disk 46 in the magnetic field application direction. Since this direction is the same direction as the magnetization direction of the initial magnetization Pi, the magnetization direction of this region remains in the state of the initial magnetization Pi.

さらに、マスターディスク４６の磁性層４８の形成されていない領域の中央部では、磁性層４８より漏れた磁束Ｇは、転写用磁気ディスク４０の磁性層４０ｂに対しほぼ平行であるため、この領域では磁界が印加されている間は面内磁化状態となるが、面内磁界の印加を停止することにより、ランダムな垂直磁化領域を形成する。この領域が遷移領域Ｄであり、磁化向きがランダムであるため、再生ヘッドで再生した場合では、磁化されていない場合と同様の再生信号となる。よって、図４（ｂ）では、マスターディスク４６の磁性層４８の磁界の印加方向後方の磁性層４０ｂのエッジ部分において、転写用磁気ディスク４０の磁性層４０ｂに垂直磁気の磁化向きとして情報が転写される。   Further, in the central portion of the area where the magnetic layer 48 of the master disk 46 is not formed, the magnetic flux G leaked from the magnetic layer 48 is substantially parallel to the magnetic layer 40b of the transfer magnetic disk 40. While the magnetic field is applied, the in-plane magnetization state is maintained, but by stopping the application of the in-plane magnetic field, a random perpendicular magnetization region is formed. Since this region is the transition region D and the magnetization direction is random, when reproduced by the reproducing head, the reproduced signal is the same as that when not magnetized. Therefore, in FIG. 4B, information is transferred as the magnetization direction of perpendicular magnetism to the magnetic layer 40b of the magnetic disk for transfer 40 at the edge portion of the magnetic layer 40b behind the magnetic layer 48 of the master disk 46 in the magnetic field application direction. Is done.

図４（ｃ）に、以上のプロセスにより転写された転写用磁気ディスク４０の磁性層４０ｂの状態を示す。図に示すように、転写用磁気ディスク４０の磁性層４０ｂには、初期磁化された磁化Ｐｉの状態を保った領域と、マスターディスク４６からの情報が転写され磁化向きが反転した磁化Ｐｄの状態の領域、そして遷移領域Ｄが形成される。   FIG. 4C shows the state of the magnetic layer 40b of the transfer magnetic disk 40 transferred by the above process. As shown in the figure, in the magnetic layer 40b of the transfer magnetic disk 40, an area where the magnetization Pi is initially magnetized, and a magnetization Pd where the information from the master disk 46 is transferred and the magnetization direction is reversed. And a transition region D are formed.

尚、本実施の形態に用いられるマスターディスク４６は、図４（ｂ）に示す構造以外にも、図９（ａ）に示すように、平板上の基板４７上に磁性層４８が形成されたものや、図９（ｂ）に示すように、磁性層４８が基板４７に埋め込まれた構造のものであっても良く、本実施の形態に記載した方法と同様の方法により磁気転写を行うことができる。   In addition to the structure shown in FIG. 4B, the master disk 46 used in the present embodiment has a magnetic layer 48 formed on a flat substrate 47 as shown in FIG. 9A. Or a structure in which the magnetic layer 48 is embedded in the substrate 47 as shown in FIG. 9B, and magnetic transfer is performed by the same method as described in this embodiment. Can do.

〔第２の実施の形態〕
第２の実施の形態は、マスターディスク４６に形成される磁性層４８のマスター記録媒体に垂直方向の断面の形状が、トラック方向において、前記垂直磁気記録媒体との密着する側の方向に対し広く形成されているものである。 [Second Embodiment]
In the second embodiment, the cross-sectional shape of the magnetic layer 48 formed on the master disk 46 in the direction perpendicular to the master recording medium is wider than the direction in close contact with the perpendicular magnetic recording medium in the track direction. Is formed.

具体的には、図１０（ａ）に示すようにマスターディスク４６は、基板４７上に台形形状の磁性層４８が形成されたものであり、磁気転写を行う際、転写用磁気ディスク４０の磁性層４０ｂにおいて、磁束Ｇが広がるためSP（サブピーク）の形成を抑えることができるのである。   Specifically, as shown in FIG. 10A, the master disk 46 has a trapezoidal magnetic layer 48 formed on a substrate 47. When performing magnetic transfer, the magnetic disk 40 has a magnetic layer. Since the magnetic flux G spreads in the layer 40b, the formation of SP (sub-peak) can be suppressed.

尚、本実施の形態におけるマスターディスク４６は、図１０（ｂ）に示すように、基板４７に磁性層４８が埋め込まれた構造のものであっても良い。   Note that the master disk 46 in the present embodiment may have a structure in which a magnetic layer 48 is embedded in a substrate 47 as shown in FIG.

以上のように、マスターディスク４６より情報が磁気転写された転写用磁気ディスク４０は、ハードディスク等の磁気記録装置に組み込まれて使用する。具体的には、現在市販されているハードディスクドライブに組み込んで使用する。これにより、記録密度の高い磁気記録装置を得ることができる。   As described above, the transfer magnetic disk 40 onto which information is magnetically transferred from the master disk 46 is used by being incorporated in a magnetic recording device such as a hard disk. Specifically, it is used by being incorporated in a currently available hard disk drive. Thereby, a magnetic recording apparatus with a high recording density can be obtained.

〔第３の実施の形態〕
再生波形の分解能は再生磁気ヘッドのギャップ長に依存する。ギャップ長が広いと分解能が下がり、細部の信号が有られない。サブピークSPはマスターディスクの磁性層（ビットパターン）間隔と再生磁気ヘッドの片側ギャップ長の関係を調べた結果、磁性層のビットパターンのダウントラック方向の間隔が再生磁気ヘッドの片側ギャップ長の、０．８倍以下にするとほとんど生じないことがわかった。これは１００〜２００Gbits／in2のＨＤＤで使用される片側ギャップ長ｇを有する再生磁気ヘッドでは、ビットパターンのダウントラック方向の間隔が１０ｎｍ〜８０ｎｍ以下であった。 [Third Embodiment]
The resolution of the reproduced waveform depends on the gap length of the reproducing magnetic head. If the gap length is wide, the resolution is lowered and there is no detailed signal. The sub-peak SP is the result of examining the relationship between the magnetic layer (bit pattern) interval of the master disk and the one-side gap length of the reproducing magnetic head, and as a result, the interval in the down-track direction of the bit pattern of the magnetic layer is 0 of the one-side gap length of the reproducing magnetic head. It was found that it hardly occurred when the ratio was less than 8 times. In the reproducing magnetic head having a one-side gap length g used in an HDD of 100 to 200 Gbits / in 2, the interval in the down track direction of the bit pattern was 10 nm to 80 nm or less.

以上、本発明の磁気転写方法、磁気記録媒体等について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行うことは可能である。   The magnetic transfer method and magnetic recording medium of the present invention have been described in detail above. However, the present invention is not limited to the above examples, and various improvements and modifications are made without departing from the scope of the present invention. It is possible.

本発明の第１の実施の形態における磁気転写方法の工程の概要図Schematic diagram of the steps of the magnetic transfer method according to the first embodiment of the present invention. 本発明に係るマスターディスクの平面図Plan view of a master disk according to the present invention 本発明の第１の実施の形態におけるマスターディスクの形成方法の工程図Process drawing of the formation method of the master disk in the 1st Embodiment of this invention 本発明の第１の実施の形態における磁気転写方法の工程の説明図Explanatory drawing of the process of the magnetic transfer method in the 1st Embodiment of this invention 磁気転写された転写用磁気ディスクの磁性層の磁化状態を示す断面図Sectional view showing the magnetization state of the magnetic layer of the magnetic disk for magnetic transfer 磁気転写された転写用磁気ディスクの再生波形図Playback waveform diagram of magnetic transfer magnetic disk サイドピークの説明図Illustration of side peak 本発明の第１の実施の形態における転写用磁気ディスクの再生波形図FIG. 4 is a reproduction waveform diagram of the magnetic disk for transfer according to the first embodiment of the present invention. 本発明の第１の実施の形態における別のマスターディスクの断面図Sectional drawing of another master disk in the 1st Embodiment of this invention 本発明の第２の実施の形態における別のマスターディスクの断面図Sectional drawing of another master disk in the 2nd Embodiment of this invention

符号の説明Explanation of symbols

１０…磁気転写装置、３０…磁界印加手段、３１…ギャップ、３２…コア、３４…電磁石、３６…回転手段、４０…転写用磁気ディスク（スレーブディスク）、４０ｂ…磁性層、４６…マスターディスク、４７…基板、４８…磁性層、Ｇ…磁束、Ｈｄ…記録用磁界、Ｐｉ…初期磁化、Ｐｄ…記録磁化、Ｄ…遷移領域   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Magnetic transfer apparatus, 30 ... Magnetic field application means, 31 ... Gap, 32 ... Core, 34 ... Electromagnet, 36 ... Rotation means, 40 ... Magnetic disk for transfer (slave disk), 40b ... Magnetic layer, 46 ... Master disk, 47: substrate, 48: magnetic layer, G: magnetic flux, Hd: recording magnetic field, Pi: initial magnetization, Pd: recording magnetization, D: transition region

Claims (11)

円盤状の基板の表面に垂直磁気記録層を形成した垂直磁気記録媒体に情報を転写するため記録すべき情報に応じて磁性層を形成したマスター記録媒体の磁性層の形成された面を密着させる密着工程と、前記密着させた垂直磁気記録媒体とマスター記録媒体に平行な磁界を印加する磁界印加手段により磁界を印加しつつ、前記密着させた垂直磁気記録媒体とマスター記録媒体に対し、前記垂直磁気記録媒体の中心を軸に、前記磁界印加手段を相対的に回転させることにより磁気転写をおこなう磁気転写工程からなる磁気転写方法。   In order to transfer information to a perpendicular magnetic recording medium having a perpendicular magnetic recording layer formed on the surface of a disk-shaped substrate, the surface of the master recording medium having the magnetic layer formed thereon is brought into close contact with the information to be recorded. And applying the magnetic field by a magnetic field applying means for applying a magnetic field parallel to the closely contacted perpendicular magnetic recording medium and the master recording medium, while applying the magnetic field to the closely contacted perpendicular magnetic recording medium and the master recording medium. A magnetic transfer method comprising a magnetic transfer step in which magnetic transfer is performed by relatively rotating the magnetic field applying means about the center of a magnetic recording medium. 円盤状の基板の表面に垂直磁気記録層を形成した垂直磁気記録媒体を同一方向に垂直磁化する初期磁化工程と、前記初期磁化工程により初期磁化された垂直磁気記録媒体の前記垂直磁気記録層の形成された面と、前記垂直磁気記録媒体に情報を転写するため記録すべき情報に応じて磁性層を形成したマスター記録媒体の磁性層の形成された面とを密着させる密着工程と、前記密着させた垂直磁気記録媒体とマスター記録媒体に平行な磁界を印加する磁界印加手段により磁界を印加しつつ、前記密着させた垂直磁気記録媒体とマスター記録媒体に対し、前記垂直磁気記録媒体の中心を軸に、前記磁界印加手段を相対的に回転させることにより磁気転写をおこなう磁気転写工程からなる磁気転写方法であって、前記マスター記録媒体に形成された磁気記録層のビットパターンのダウントラック方向の間隔が、前記磁気転写された垂直磁気記録媒体を再生する際に用いられる再生磁気ヘッドの片側ギャップ長の０．８倍以下であることを特徴とする磁気転写方法。   An initial magnetization step of perpendicularly magnetizing a perpendicular magnetic recording medium having a perpendicular magnetic recording layer formed on the surface of a disk-shaped substrate in the same direction, and the perpendicular magnetic recording layer of the perpendicular magnetic recording medium initially magnetized by the initial magnetization step An adhesion step for bringing the formed surface into close contact with the surface on which the magnetic layer of the master recording medium on which the magnetic layer is formed according to the information to be recorded for transferring information to the perpendicular magnetic recording medium; While applying a magnetic field by magnetic field applying means for applying a magnetic field parallel to the perpendicular magnetic recording medium and the master recording medium, the perpendicular magnetic recording medium and the master recording medium are centered on the perpendicular magnetic recording medium and the master recording medium. A magnetic transfer method comprising a magnetic transfer step of performing magnetic transfer by rotating the magnetic field applying means relative to a shaft, wherein the magnetic transfer method is formed on the master recording medium. The interval in the down-track direction of the bit pattern of the air recording layer is 0.8 times or less the gap length on one side of a reproducing magnetic head used when reproducing the magnetically transferred perpendicular magnetic recording medium. Magnetic transfer method. 円盤状の基板の表面に垂直磁気記録層を形成した垂直磁気記録媒体を同一方向に垂直磁化する初期磁化工程と、前記初期磁化工程により初期磁化された垂直磁気記録媒体の前記垂直磁気記録層の形成された面と、前記垂直磁気記録媒体に情報を転写するため記録すべき情報に応じて磁性層を形成したマスター記録媒体の磁性層の形成された面とを密着させる密着工程と、前記密着させた垂直磁気記録媒体とマスター記録媒体に平行な磁界を印加する磁界印加手段により磁界を印加しつつ、前記密着させた垂直磁気記録媒体とマスター記録媒体に対し、前記垂直磁気記録媒体の中心を軸に、前記磁界印加手段を相対的に回転させることにより磁気転写をおこなう磁気転写工程からなる磁気転写方法であって、前記マスター記録媒体に形成された磁気記録層のビットパターンのダウントラック方向の間隔が１０〔ｎｍ〕〜８０〔ｎｍ〕以下であることを特徴とする磁気転写方法。   An initial magnetization step of perpendicularly magnetizing a perpendicular magnetic recording medium having a perpendicular magnetic recording layer formed on the surface of a disk-shaped substrate in the same direction, and the perpendicular magnetic recording layer of the perpendicular magnetic recording medium initially magnetized by the initial magnetization step An adhesion step for bringing the formed surface into close contact with the surface on which the magnetic layer of the master recording medium on which the magnetic layer is formed according to the information to be recorded for transferring information to the perpendicular magnetic recording medium; While applying a magnetic field by magnetic field applying means for applying a magnetic field parallel to the perpendicular magnetic recording medium and the master recording medium, the perpendicular magnetic recording medium and the master recording medium are centered on the perpendicular magnetic recording medium and the master recording medium. A magnetic transfer method comprising a magnetic transfer step of performing magnetic transfer by rotating the magnetic field applying means relative to a shaft, wherein the magnetic transfer method is formed on the master recording medium. Magnetic transfer method interval down track direction of the bit pattern of the air recording layer is equal to or less than 10 [nm] to 80 [nm]. 円盤状の基板の表面に垂直磁気記録層を形成した垂直磁気記録媒体を同一方向に垂直磁化する初期磁化工程と、前記初期磁化工程により初期磁化された垂直磁気記録媒体の前記垂直磁気記録層の形成された面と、前記垂直磁気記録媒体に情報を転写するため記録すべき情報に応じて磁性層を形成したマスター記録媒体の磁性層の形成された面とを密着させる密着工程と、前記密着させた垂直磁気記録媒体とマスター記録媒体に平行な磁界を印加する磁界印加手段により磁界を印加しつつ、前記密着させた垂直磁気記録媒体とマスター記録媒体に対し、前記垂直磁気記録媒体の中心を軸に、前記磁界印加手段を相対的に回転させることにより磁気転写をおこなう磁気転写工程からなる磁気転写方法であって、前記マスター記録媒体に形成された磁気記録層のビットパターンの前記マスター記録媒体に垂直でダウントラック方向の断面が、前記垂直磁気記録媒体との密着する側が狭くマスター記録媒体の基板側が広く形成されていることを特徴とする磁気転写方法。   An initial magnetization step of perpendicularly magnetizing a perpendicular magnetic recording medium having a perpendicular magnetic recording layer formed on the surface of a disk-shaped substrate in the same direction, and the perpendicular magnetic recording layer of the perpendicular magnetic recording medium initially magnetized by the initial magnetization step An adhesion step for bringing the formed surface into close contact with the surface on which the magnetic layer of the master recording medium on which the magnetic layer is formed according to the information to be recorded for transferring information to the perpendicular magnetic recording medium; While applying a magnetic field by magnetic field applying means for applying a magnetic field parallel to the perpendicular magnetic recording medium and the master recording medium, the perpendicular magnetic recording medium and the master recording medium are centered on the perpendicular magnetic recording medium and the master recording medium. A magnetic transfer method comprising a magnetic transfer step of performing magnetic transfer by rotating the magnetic field applying means relative to a shaft, wherein the magnetic transfer method is formed on the master recording medium. A magnetic transfer characterized in that a bit pattern of a gas recording layer is perpendicular to the master recording medium and has a cross-section in the down-track direction, wherein the side closely contacting the perpendicular magnetic recording medium is narrow and the substrate side of the master recording medium is wide Method. 前記磁気転写方法により、前記マスター記録媒体より磁気転写される情報が、サーボ信号情報であることを特徴とする請求項１から４に記載の磁気転写方法。   5. The magnetic transfer method according to claim 1, wherein information magnetically transferred from the master recording medium by the magnetic transfer method is servo signal information. 垂直磁気記録媒体に情報を転写するための磁気転写に用いられ、磁気転写の際には面内に磁界を印加することに磁気転写を行うためのマスター記録媒体であって、前記マスター記録媒体に形成された磁気記録層のビットパターンのダウントラック方向の間隔が、１０〔ｎｍ〕〜８０〔ｎｍ〕以下であることを特徴とするマスター記録媒体。   A master recording medium used for magnetic transfer for transferring information to a perpendicular magnetic recording medium, and performing magnetic transfer by applying a magnetic field in the plane during magnetic transfer, A master recording medium, wherein an interval in a down-track direction of a bit pattern of a formed magnetic recording layer is 10 [nm] to 80 [nm] or less. 垂直磁気記録媒体に情報を転写するための磁気転写に用いられ、磁気転写の際には面内に磁界を印加することに磁気転写を行うためのマスター記録媒体であって、前記マスター記録媒体に形成された磁気記録層のビットパターンのダウントラック方向の間隔が、前記磁気転写された垂直磁気記録媒体を再生する際に用いられる磁気ヘッドのギャップ長の０．８倍以下であることを特徴とするマスター記録媒体。   A master recording medium used for magnetic transfer for transferring information to a perpendicular magnetic recording medium, and performing magnetic transfer by applying a magnetic field in the plane during magnetic transfer, The interval in the down-track direction of the bit pattern of the formed magnetic recording layer is 0.8 times or less of the gap length of the magnetic head used when reproducing the magnetically transferred perpendicular magnetic recording medium. Master recording medium to be used. 垂直磁気記録媒体に情報を転写するための磁気転写に用いられ、磁気転写の際には面内に磁界を印加することに磁気転写を行うためのマスター記録媒体であって、前記マスター記録媒体に形成された磁性層の前記マスター記録媒体に垂直方向の断面が、ダウントラック方向において、前記垂直磁気記録媒体との密着する側の方向に対し広く形成されていることを特徴とするマスター記録媒体。   A master recording medium used for magnetic transfer for transferring information to a perpendicular magnetic recording medium, and performing magnetic transfer by applying a magnetic field in the plane during magnetic transfer, A master recording medium, wherein a cross section of the formed magnetic layer in a direction perpendicular to the master recording medium is formed wider in a down track direction than a direction in close contact with the perpendicular magnetic recording medium. 前記磁気転写方法により、前記マスター記録媒体より磁気転写される情報が、サーボ信号情報であることを特徴とする請求項６から８に記載のマスター記録媒体。   9. The master recording medium according to claim 6, wherein information magnetically transferred from the master recording medium by the magnetic transfer method is servo signal information. 前記請求項１から５に記載されている磁気転写方法により磁気転写されたことを特徴とする垂直磁気記録媒体。   6. A perpendicular magnetic recording medium that is magnetically transferred by the magnetic transfer method according to claim 1. 請求項１から５のいずれかに記載した磁気転写方法により磁気転写された垂直磁気記録媒体を備えたことを特徴とする磁気記録再生装置。   A magnetic recording / reproducing apparatus comprising a perpendicular magnetic recording medium magnetically transferred by the magnetic transfer method according to claim 1.
JP2006353108A 2006-12-27 2006-12-27 Magnetic transfer method, master recording medium, perpendicular magnetic recording medium, and magnetic recording and reproducing device Pending JP2008165884A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006353108A JP2008165884A (en) 2006-12-27 2006-12-27 Magnetic transfer method, master recording medium, perpendicular magnetic recording medium, and magnetic recording and reproducing device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006353108A JP2008165884A (en) 2006-12-27 2006-12-27 Magnetic transfer method, master recording medium, perpendicular magnetic recording medium, and magnetic recording and reproducing device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008165884A true JP2008165884A (en) 2008-07-17

Family

ID=39695147

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006353108A Pending JP2008165884A (en) 2006-12-27 2006-12-27 Magnetic transfer method, master recording medium, perpendicular magnetic recording medium, and magnetic recording and reproducing device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008165884A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010108580A (en) * 2008-09-30 2010-05-13 Fujifilm Corp Method for producing concavo-convex member, concavo-convex member, magnetic transfer method, and perpendicular magnetic recording medium

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001297433A (en) * 2000-04-14 2001-10-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd Magnetic recording method to perpendicular magnetic recoding medium using master information carrier
JP2002083421A (en) * 2000-06-28 2002-03-22 Fuji Electric Co Ltd Magnetic transfer method for perpendicular magnetic recording medium

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001297433A (en) * 2000-04-14 2001-10-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd Magnetic recording method to perpendicular magnetic recoding medium using master information carrier
JP2002083421A (en) * 2000-06-28 2002-03-22 Fuji Electric Co Ltd Magnetic transfer method for perpendicular magnetic recording medium

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010108580A (en) * 2008-09-30 2010-05-13 Fujifilm Corp Method for producing concavo-convex member, concavo-convex member, magnetic transfer method, and perpendicular magnetic recording medium

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20020086291A (en) Master carrier for magnetic transfer
JP2009070473A (en) Master carrier for magnetic transfer, magnetic transfer method and magnetic recording medium
JP2008065910A (en) Master recording medium, magnetic transfer method, magnetic transfer device, magnetic recording medium produced by same, and magnetic recording and reproducing device
US7593175B2 (en) Magnetic transfer method, magnetic transfer apparatus, magnetic recording medium and magnetic record reproduction system
US20080239533A1 (en) Method of magnetic transfer and magnetic recording medium
US7667908B2 (en) Magnetic transfer method for perpendicular magnetic recording medium, perpendicular magnetic recording medium, and magnetic recording apparatus
JP2008165884A (en) Magnetic transfer method, master recording medium, perpendicular magnetic recording medium, and magnetic recording and reproducing device
JP4046480B2 (en) Magnetic transfer method and magnetic transfer apparatus
KR20030070832A (en) Producing method of master carrier for magnetic transfer
JP2007012143A (en) Method and device for dc demagnetization of magnetic recording medium, and magnetic transfer method
US20070002480A1 (en) DC demagnetization method and apparatus for magnetic recording medium and magnetic transfer method and apparatus
JP2007242165A (en) Master medium for perpendicular magnetic transfer, perpendicular magnetic transfer method, perpendicular magnetic recording medium and perpendicular magnetic recorder
JP2007317333A (en) Master recording medium, magnetic transfer method, magnetic recording medium manufactured thereby and magnetic recording and reproducing device
JP4362730B2 (en) Master recording medium for magnetic transfer and method for manufacturing magnetic recording medium
JP4089904B2 (en) Method for manufacturing magnetic recording medium
JP2007012142A (en) Magnetic transfer method and device thereof
JP2006202401A (en) Master disk for magnetic transfer, magnetic recording medium, and magnetic recording device
JP2006114104A (en) Magnetic transfer method, magnetic recording medium and magnetic recording device
JP4847489B2 (en) Master carrier for magnetic transfer and method for producing the same
JP2007299461A (en) Servo signal inspection method, magnetic recording medium, and magnetic recording/reproducing device
JP2007310943A (en) Magnetic transfer master carrier, magnetic transfer method, magnetic recording medium thereby manufactured, and magnetic recording/reproducing device
JP2003228829A (en) Magnetic transfer method
JP2007257696A (en) Magnetic transfer method, magnetic recording medium, and magnetic recording and reproducing device
JP2006120266A (en) Magnetic transfer method, magnetic recording medium, and magnetic recording apparatus
JP2009252341A (en) Magnetic transfer master carrier, magnetic transfer method, and vertical magnetic recording medium

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Effective date: 20090904

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100203

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20100531