JP2006114104A - Magnetic transfer method, magnetic recording medium and magnetic recording device - Google Patents

Magnetic transfer method, magnetic recording medium and magnetic recording device Download PDF

Info

Publication number
JP2006114104A
JP2006114104A JP2004299161A JP2004299161A JP2006114104A JP 2006114104 A JP2006114104 A JP 2006114104A JP 2004299161 A JP2004299161 A JP 2004299161A JP 2004299161 A JP2004299161 A JP 2004299161A JP 2006114104 A JP2006114104 A JP 2006114104A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
disk
magnetic field
transfer
master
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004299161A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Makoto Nagao
信 長尾
Tetsushi Wakamatsu
哲史 若松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP2004299161A priority Critical patent/JP2006114104A/en
Priority to US11/248,292 priority patent/US7440207B2/en
Publication of JP2006114104A publication Critical patent/JP2006114104A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To accurately transfer a magnetized pattern by defining the permissible range of the applying direction of a transfer magnetic field when magnetic transfer is carried out. <P>SOLUTION: When a transfer-to-be-conducted disk, that is initially DC-magnetized, and a master disk 46 having a magnetic layer pattern, in which a ratio t/b, i.e., the ratio of a thickness t of a magnetic layer 48 to a length b along the circumference direction of a projected shape pattern is 0.5 to 4.0, are made to adhere to each other, magnetic field is applied along the circumference direction of the transfer-to-be-conducted disk and the master disk and the magnetic pattern of the master disk to to be transferred to the transfer-to-be-conducted disk, the magnetic transfer is conducted so that a ratio Hv/Hh where Hv is the magnetic field strength of the magnetic field along the circumference direction normal to the disk surface and Hh is magnetic field strength horizontal to the disk surface is set ≤0.629-0.0571×t/b. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、磁気転写方法、磁気記録媒体、及び磁気記録装置に係り、特に、ハードディスク装置等に用いられる磁気ディスクに、マスターディスクからフォーマット情報等の磁気情報パターンを転写するのに好適な磁気転写方法、該方法により製造される磁気記録媒体、及び該磁気記録媒体を備える磁気記録装置に関する。   The present invention relates to a magnetic transfer method, a magnetic recording medium, and a magnetic recording apparatus, and more particularly, a magnetic transfer suitable for transferring a magnetic information pattern such as format information from a master disk to a magnetic disk used in a hard disk device or the like. The present invention relates to a method, a magnetic recording medium manufactured by the method, and a magnetic recording apparatus including the magnetic recording medium.

近年、急速に普及しているハードディスクドライブに使用される磁気ディスク（ハードディスク）は、磁気ディスクメーカーよりドライブメーカーに納入された後、ドライブに組み込まれる前に、フォーマット情報やアドレス情報が書き込まれるのが一般的である。この書き込みは、磁気ヘッドにより行うこともできるが、これらのフォーマット情報やアドレス情報が書き込まれているマスターディスクより一括転写する方法が効率的であり、好ましい。   In recent years, magnetic disks (hard disks) used in hard disk drives, which have been rapidly spreading, are written with format information and address information before being installed in the drive after being delivered to the drive manufacturer by the magnetic disk manufacturer. It is common. Although this writing can be performed by a magnetic head, a method of batch transfer from a master disk in which these format information and address information are written is efficient and preferable.

この磁気転写技術は、マスターディスクと被転写ディスク（スレーブディスク）とを密着させた状態で、片側又は両側に電磁石装置、永久磁石装置等の磁界生成手段を配設して転写用磁界を印加し、マスターディスクの有する情報（たとえばサーボ信号）に対応する磁化パターンの転写を行うものである。   This magnetic transfer technology applies a magnetic field for transfer by arranging magnetic field generating means such as an electromagnet device or a permanent magnet device on one side or both sides in a state where a master disk and a disk to be transferred (slave disk) are in close contact with each other. The magnetic pattern corresponding to the information (for example, servo signal) of the master disk is transferred.

従来、この種の磁気転写技術として各種の提案がなされている（たとえば、特許文献１等。）。この特許文献１の提案は、磁気転写を行う際に、転写用磁界の印加角度がスレーブディスク面に対して垂直方向で±３０度以内とするものである。これにより、トラック方向に正確に転写用磁界を印加できる効果が得られるとされている。
特開２００２−２５１７２３号公報 Conventionally, various proposals have been made as this type of magnetic transfer technology (for example, Patent Document 1). The proposal of Patent Document 1 is such that when magnetic transfer is performed, the application angle of the transfer magnetic field is within ± 30 degrees in the direction perpendicular to the slave disk surface. As a result, it is said that an effect of accurately applying the transfer magnetic field in the track direction can be obtained.
JP 2002-251723 A

ところで、上記磁気転写方法では、マスターディスクの磁性層に形成した磁化パターンを、被転写ディスク（スレーブディスク）の記録面に転写する精度を向上させるために、マスターディスクの情報担持面と被転写ディスクの表面との密着性を確保した状態で、トラック方向に正確に転写用磁界を印加する必要がある。   By the way, in the above magnetic transfer method, in order to improve the accuracy of transferring the magnetization pattern formed on the magnetic layer of the master disk to the recording surface of the transfer disk (slave disk), the information carrying surface of the master disk and the transfer disk It is necessary to apply a magnetic field for transfer accurately in the track direction in a state where adhesion to the surface of the film is ensured.

しかしながら、このような従来技術において、転写用磁界のディスク表面に対し垂直な磁界強度と水平な磁界強度との強度比が空間的に変化するため、磁界生成手段とディスクとの相対移動に伴ってこの強度比が時系列的に変化する。その結果、被転写ディスクの再生信号のＣ／Ｎ比を低下させるという問題がある。   However, in such a conventional technique, the strength ratio between the magnetic field strength perpendicular to the disk surface of the transfer magnetic field and the horizontal magnetic field strength spatially changes. This intensity ratio changes in time series. As a result, there is a problem that the C / N ratio of the reproduction signal of the transferred disk is lowered.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、磁気転写を行う際の、転写用磁界の印加方向の許容範囲を規定して正確な磁化パターンの転写が行えるようにした磁気転写方法、該方法により製造される磁気記録媒体、及び該磁気記録媒体を備える磁気記録装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and a magnetic transfer method in which an allowable range in the direction of application of a magnetic field for transfer when performing magnetic transfer is specified and an accurate magnetization pattern can be transferred. An object of the present invention is to provide a magnetic recording medium manufactured by the method and a magnetic recording apparatus including the magnetic recording medium.

前記目的を達成するために、本発明は、被転写用ディスクの円周方向に磁界を加え、該被転写用ディスクを円周方向に初期直流磁化させる初期磁化工程と、初期直流磁化された前記被転写用ディスクと、その表面に形成された多数の突起状磁性層パターンであって、該磁性層の厚さｔと該突起状パターンの円周方向長さｂとの比ｔ／ｂが０．５〜４．０である磁性層パターンを有するマスターディスクとを密着させる密着工程と、磁界生成手段を設け、前記被転写用ディスクと前記マスターディスクの円周方向に磁界を加え、前記マスターディスクの磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる際に、前記円周方向の磁界のディスク表面に対し垂直な磁界強度Ｈｖとディスク表面に対し水平な磁界強度Ｈｈとの比Ｈｖ／Ｈｈが０．６２９−０．０５７１×ｔ／ｂ以下になるようにして磁気転写を行う磁気転写工程と、を備えることを特徴とする磁気転写方法を提供する。   In order to achieve the above object, the present invention provides an initial magnetization step in which a magnetic field is applied in a circumferential direction of a disk to be transferred, and initial DC magnetization is performed in the circumferential direction of the disk to be transferred, A disk to be transferred and a number of protruding magnetic layer patterns formed on the surface thereof, where the ratio t / b between the thickness t of the magnetic layer and the circumferential length b of the protruding pattern is 0. A master disk having a magnetic layer pattern of .5 to 4.0 and a magnetic field generating means, and applying a magnetic field in a circumferential direction of the transferred disk and the master disk, When the magnetic pattern is transferred to the disk to be transferred, the ratio Hv / Hh of the magnetic field strength Hv perpendicular to the disk surface of the circumferential magnetic field and the magnetic field strength Hh horizontal to the disk surface is 0. 62 Ensure a -0.0571 × t / b below provides a magnetic transfer method, characterized by comprising: a magnetic transfer step of performing magnetic transfer.

本発明者らは、円周方向の磁界の、ディスク表面に対し垂直な磁界強度Ｈｖとディスク表面に対し水平な磁界強度Ｈｈとの比Ｈｖ／Ｈｈが０．６２９−０．０５７１×ｔ／ｂ以下になるようにして磁気転写を行うことにより、被転写ディスクの再生信号のＣ／Ｎ比を向上させるとともに、再生信号の波形を良好ならしめることを見出した。   The inventors of the present invention have a ratio Hv / Hh between the magnetic field strength Hv perpendicular to the disk surface and the magnetic field strength Hh horizontal to the disk surface of the circumferential magnetic field of 0.629-0.0571 × t / b. It has been found that by performing magnetic transfer in the following manner, the C / N ratio of the reproduction signal of the transferred disk is improved and the waveform of the reproduction signal is improved.

したがって、本発明によれば、転写信号のＣ／Ｎ比が向上し、転写信号波形が良好になり、その結果、トラッキング特性が良好になる。   Therefore, according to the present invention, the C / N ratio of the transfer signal is improved, the transfer signal waveform is improved, and as a result, the tracking characteristics are improved.

本発明の磁気記録方法において、前記磁界生成手段に対し密着状態にある前記被転写用ディスクと前記マスターディスクとを相対移動させながら磁気転写を行うことが好ましい。このように、磁界生成手段と磁気媒体とを相対移動させることにより、磁気転写効率が向上する。   In the magnetic recording method of the present invention, it is preferable to perform magnetic transfer while relatively moving the disk to be transferred and the master disk in close contact with the magnetic field generating means. Thus, the magnetic transfer efficiency is improved by relatively moving the magnetic field generating means and the magnetic medium.

また、本発明の磁気記録方法において、前記円周方向の磁界による、密着状態にある前記被転写用ディスクと前記マスターディスクとへの磁界印加を円周方向に１周以上行った後に、磁界強度を所定値まで減少させ、その後に前記磁界生成手段に対する密着状態にある前記被転写用ディスクと前記マスターディスクとの相対移動を停止させることが好ましい。   In the magnetic recording method of the present invention, the magnetic field strength is applied after the magnetic field is applied to the transfer target disk and the master disk in a close contact state by the circumferential magnetic field one or more times in the circumferential direction. Is preferably decreased to a predetermined value, and then the relative movement between the transfer-receiving disk and the master disk that is in close contact with the magnetic field generating means is stopped.

このように、円周方向に１周分の転写後に、磁界強度を所定値まで漸減させ、しかる後に相対移動を停止させるのであれば、転写精度が受ける影響はより少なくなり、再生信号のＣ／Ｎ比は良好になる。   In this way, if the magnetic field strength is gradually reduced to a predetermined value after one round of transfer in the circumferential direction and then the relative movement is stopped, the transfer accuracy is less affected, and the C / The N ratio becomes good.

また、本発明は、前記磁気転写方法によってサーボ情報を記録したことを特徴とする磁気記録媒体を提供する。このような磁気転写方法によれば、Ｃ／Ｎ比の良好な磁気記録媒体が得られる。   The present invention also provides a magnetic recording medium in which servo information is recorded by the magnetic transfer method. According to such a magnetic transfer method, a magnetic recording medium having a good C / N ratio can be obtained.

本発明の磁気記録媒体において、反強磁性結合を生じる磁性層を有することが好ましい。このような反強磁性結合を生じる磁性層を有する磁気記録媒体は、高密度記録が可能であるうえ、熱安定性が高いため、本発明の効果を一層発揮できる。   The magnetic recording medium of the present invention preferably has a magnetic layer that generates antiferromagnetic coupling. Since the magnetic recording medium having such a magnetic layer that generates antiferromagnetic coupling is capable of high density recording and has high thermal stability, the effects of the present invention can be further exhibited.

また、本発明は、前記の磁気記録媒体を備えたことを特徴とする磁気記録装置を提供する。このような磁気記録媒体を使用すれば、Ｃ／Ｎ比の良好な磁気記録装置（ハードディスクドライブ等）が得られる。   The present invention also provides a magnetic recording apparatus comprising the above magnetic recording medium. If such a magnetic recording medium is used, a magnetic recording apparatus (such as a hard disk drive) having a good C / N ratio can be obtained.

以上説明したように、本発明によれば、転写信号のＣ／Ｎ比が向上し、転写信号波形が良好になり、その結果、トラッキング特性が良好になる。   As described above, according to the present invention, the C / N ratio of the transfer signal is improved, the transfer signal waveform is improved, and as a result, the tracking characteristics are improved.

以下、添付図面に従って、本発明に係る磁気転写方法、磁気記録媒体、及び磁気記録装置の好ましい実施の形態について詳説する。図１は、本発明に係る磁気転写方法を実施するための磁気転写装置１０の要部斜視図である。図２は、マスターディスク４６の表面の微細な突起状パターンを示す部分拡大斜視図である。   Hereinafter, preferred embodiments of a magnetic transfer method, a magnetic recording medium, and a magnetic recording apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a perspective view of a main part of a magnetic transfer apparatus 10 for carrying out a magnetic transfer method according to the present invention. FIG. 2 is a partially enlarged perspective view showing a fine protrusion pattern on the surface of the master disk 46.

磁気転写装置１０において、磁気転写時には、図６（ａ）に示される後述する初期直流磁化を行った後の、スレーブディスク（被転写用ディスク）４０のスレーブ面（磁気記録面）を、マスターディスク４６の情報担持面に接触させ、所定の押圧力で密着させることができるようになっている。そして、このスレーブディスク４０とマスターディスク４６との密着状態で、磁界生成手段３０により転写用磁界を印加してサーボ信号等の磁化パターンを転写記録することができるようになっている。   In the magnetic transfer device 10, during magnetic transfer, the slave surface (magnetic recording surface) of the slave disk (transfer target disk) 40 after initial DC magnetization described later shown in FIG. 46 is brought into contact with the information carrying surface and can be brought into close contact with a predetermined pressing force. Then, with the slave disk 40 and the master disk 46 in close contact with each other, a magnetic field for transfer can be applied by the magnetic field generating means 30 to transfer and record a magnetic pattern such as a servo signal.

マスターディスク４６は円盤状に形成され、図２に示されるように、基板４７の片面に磁性層４８による微細な突起状パターンが形成された転写情報担持面が形成されており、基板４７の反対側の面が不図示の密着手段に保持されている。この微細な突起状パターンの形成は、後述するフォトファブリケーション法等によりなされる。このマスターディスク４６の片面（転写情報担持面）は、スレーブディスク４０と密着される。   The master disk 46 is formed in a disk shape, and as shown in FIG. 2, a transfer information carrying surface on which a fine projection pattern is formed on one surface of the substrate 47 is formed opposite to the substrate 47. The side surface is held by a close contact means (not shown). The fine protrusion pattern is formed by a photofabrication method to be described later. One side (transfer information carrying surface) of the master disk 46 is in close contact with the slave disk 40.

微細な突起状パターンは、平面視で長方形であり、厚さｔの磁性層４８が形成された状態で、トラック方向（図中の太矢印方向）の長さｂと、半径方向の長さｌとよりなる。この長さｂとｌの最適値は、記録密度や記録信号波形等により異なるが、たとえば、長さｂを８０ｎｍに、長さｌを２００ｎｍにできる。   The fine protrusion pattern is rectangular in plan view, and in the state where the magnetic layer 48 having a thickness t is formed, the length b in the track direction (thick arrow direction in the figure) and the length l in the radial direction. And more. The optimum values of the lengths b and l vary depending on the recording density, the recording signal waveform, and the like. For example, the length b can be 80 nm and the length l can be 200 nm.

この微細な突起状パターンはサーボ信号の場合は、半径方向に長く形成される。この場合、たとえば、半径方向の長さｌが０．０５〜２０μｍ、トラック方向（円周方向）の長さが０．０５〜５μｍであることが好ましい。この範囲で半径方向の方が長いパターンを選ぶことが、サーボ信号の情報を担持するパターンとしては好ましい。   In the case of a servo signal, this fine projection pattern is formed long in the radial direction. In this case, for example, the length l in the radial direction is preferably 0.05 to 20 μm, and the length in the track direction (circumferential direction) is preferably 0.05 to 5 μm. It is preferable to select a pattern having a longer radial direction within this range as a pattern carrying servo signal information.

基板２７表面の微細な突起状パターンの深さ（突起の高さ）は、８０〜８００ｎｍの範囲が好ましく、１００〜６００ｎｍの範囲がより好ましい。   The depth of the fine protrusion pattern (projection height) on the surface of the substrate 27 is preferably in the range of 80 to 800 nm, and more preferably in the range of 100 to 600 nm.

一方、磁性層４８の厚さｔと突起状パターンのトラック方向長さｂとの比ｔ／ｂは、０．５〜４．０の範囲にすることが求められる。比ｔ／ｂがこの範囲を外れると、再生信号のＣ／Ｎ比が低下するからである。この詳細は、後述する実施例で示される。   On the other hand, the ratio t / b between the thickness t of the magnetic layer 48 and the length b in the track direction of the protruding pattern is required to be in the range of 0.5 to 4.0. This is because when the ratio t / b is out of this range, the C / N ratio of the reproduction signal is lowered. Details of this will be described in an embodiment described later.

マスターディスク４６において、基板４７がＮｉ等を主体とした強磁性体の場合には、この基板４７のみで磁気転写が可能であり、磁性層４８は被覆しなくてもよいが、転写特性のよい磁性層４８を設けることにより、より良好な磁気転写が行える。基板４７が非磁性体の場合には、磁性層４８を設けることが必要である。マスターディスク４６の磁性層４８は、保磁力Ｈｃが４８ｋＡ／ｍ（≒６００Ｏｅ）以下の軟磁性層であることが好ましい。   In the master disk 46, when the substrate 47 is a ferromagnetic material mainly composed of Ni or the like, magnetic transfer can be performed only by the substrate 47, and the magnetic layer 48 may not be covered, but the transfer characteristics are good. By providing the magnetic layer 48, better magnetic transfer can be performed. When the substrate 47 is a nonmagnetic material, it is necessary to provide the magnetic layer 48. The magnetic layer 48 of the master disk 46 is preferably a soft magnetic layer having a coercive force Hc of 48 kA / m (≈600 Oe) or less.

マスターディスク４６の基板４７としては、ニッケル、シリコン、石英ガラス等各種組成のガラス、アルミニウム、合金、各種組成のセラミックス、合成樹脂等が使用できる。この基板４７表面の凹凸パターンの形成は、フォトファブリケーション法や、フォトファブリケーション法等で形成した原盤によるスタンパー法、等によって行える。   As the substrate 47 of the master disk 46, glass of various compositions such as nickel, silicon, quartz glass, aluminum, alloys, ceramics of various compositions, synthetic resins, and the like can be used. The uneven pattern on the surface of the substrate 47 can be formed by a photofabrication method, a stamper method using a master disk formed by a photofabrication method, or the like.

スタンパー法における原盤の形成は、たとえば、以下のように行える。表面が平滑なガラス板（又は石英ガラス板）の上にスピンコート法等によりフォトレジストの層を形成し、プレベーク後に、このガラス板を回転させながら、サーボ信号に対応して変調したレーザー光（又は電子ビーム）を照射し、フォトレジスト層の略全面に所定のパターン、たとえば各トラックに回転中心から半径方向に線状に延びるサーボ信号に相当するパターンを円周上の各フレームに対応する部分に露光する。   Formation of the master in the stamper method can be performed, for example, as follows. A photoresist layer is formed on a glass plate (or quartz glass plate) having a smooth surface by spin coating or the like, and after pre-baking, the laser plate is rotated in response to a servo signal while rotating the glass plate ( Or a portion corresponding to each frame on the circumference of a predetermined pattern, for example, a pattern corresponding to a servo signal extending linearly in the radial direction from the center of rotation to each track. To expose.

その後、フォトレジストの層を現像処理し、露光部分が除去されたフォトレジストの層により形成された凹凸形状を有するガラス原盤を得る。次いで、ガラス原盤の表面の凹凸パターンを基に、この表面にメッキ（電鋳）を施し所定厚さまで形成することにより、表面にポジ状の凹凸パターンを有するＮｉ基板を作成する。そして、この基板をガラス原盤から剥離する。   Thereafter, the photoresist layer is developed to obtain a glass master having a concavo-convex shape formed by the photoresist layer from which the exposed portion has been removed. Next, based on the concavo-convex pattern on the surface of the glass master, the surface is plated (electroformed) to form a predetermined thickness, thereby creating a Ni substrate having a positive concavo-convex pattern on the surface. Then, the substrate is peeled from the glass master.

この基板をそのままプレス原盤とするか、凹凸パターン上に必要に応じて軟磁性層、保護膜等を被覆してプレス原盤とする。   This substrate is used as a press master as it is, or a soft master layer, a protective film, etc. are coated on the concavo-convex pattern as necessary to form a press master.

また、ガラス原盤にメッキを施して、電鋳により第２の原盤を作成し、この第２の原盤に更にメッキを施して、電鋳によりネガ状凹凸パターンを有する反転原盤を作成してもよい。更に、第２の原盤にメッキを施して電鋳を行うか、低粘度の樹脂を押し付けて硬化させるかした、第３の原盤を作成し、第３の原盤にメッキを施して電鋳を行い、ポジ状凹凸パターンを有する基板を作成してもよい。   Alternatively, the glass master may be plated to create a second master by electroforming, and the second master may be further plated to create a reversing master having a negative uneven pattern by electroforming. . Furthermore, the second master is plated and electroformed, or a low-viscosity resin is pressed and cured to create a third master, and the third master is plated and electroformed. A substrate having a positive uneven pattern may be formed.

基板の材料としては、金属ではＮｉ又はＮｉ合金を使用することができる。この基板を作成するメッキ法としては、無電解メッキ、電鋳、スパッタリング、イオンプレーティングを含む各種の金属成膜法等が適用できる。   As the material of the substrate, Ni or Ni alloy can be used as the metal. As a plating method for producing this substrate, various metal film forming methods including electroless plating, electroforming, sputtering, and ion plating can be applied.

磁性層４８（軟磁性層）の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜する。磁性層４８の磁性材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＺｒ、ＣｏＮｂＴａＺｒ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉ、ＦｅＮｉＭｏ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＡｌ、ＦｅＴａＮ）、Ｎｉ、Ｎｉ合金（ＮｉＦｅ）を用いることができる。特に、ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉが好ましく用いることができる。磁性層４８の厚さｔは、５０ｎｍ〜５００ｎｍの範囲が好ましく、１００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲が更に好ましい。   The magnetic layer 48 (soft magnetic layer) is formed by depositing a magnetic material by a vacuum film forming means such as a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a plating method, or the like. As a magnetic material of the magnetic layer 48, Co, Co alloy (CoNi, CoNiZr, CoNbTaZr, etc.), Fe, Fe alloy (FeCo, FeCoNi, FeNiMo, FeAlSi, FeAl, FeTaN), Ni, Ni alloy (NiFe) should be used. Can do. In particular, FeCo and FeCoNi can be preferably used. The thickness t of the magnetic layer 48 is preferably in the range of 50 nm to 500 nm, and more preferably in the range of 100 nm to 400 nm.

なお、磁性層４８の上にダイヤモンドライクカーボン等の保護膜を設けることが好ましく、保護膜の上に更に潤滑剤層を設けてもよい。この場合、保護膜として厚さが５〜３０ｎｍのダイヤモンドライクカーボン膜と潤滑剤層とする構成が好ましい。また、磁性層４８と保護膜との間に、Ｓｉ等の密着強化層を設けてもよい。潤滑剤は、スレーブディスク４０との接触過程で生じるずれを補正する際の、摩擦による傷の発生などの耐久性の劣化を改善する効果を有する。   A protective film such as diamond-like carbon is preferably provided on the magnetic layer 48, and a lubricant layer may be further provided on the protective film. In this case, the protective film is preferably a diamond-like carbon film having a thickness of 5 to 30 nm and a lubricant layer. Further, an adhesion strengthening layer such as Si may be provided between the magnetic layer 48 and the protective film. The lubricant has an effect of improving the deterioration of durability such as the occurrence of scratches due to friction when correcting the deviation caused in the contact process with the slave disk 40.

マスターディスク４６として、前記のプレス原盤を用いて樹脂基板を作製し、その表面に磁性層を設けて形成してもよい。樹脂基板の樹脂材料としては、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレートなどのアクリル樹脂、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体などの塩化ビニル樹脂、エポキシ樹脂、アモルファスポリオレフィン及びポリエステルなどが使用できる。   The master disk 46 may be formed by producing a resin substrate using the above-mentioned press master and providing a magnetic layer on the surface thereof. As the resin material of the resin substrate, acrylic resin such as polycarbonate and polymethyl methacrylate, vinyl chloride resin such as polyvinyl chloride and vinyl chloride copolymer, epoxy resin, amorphous polyolefin, and polyester can be used.

このうち、耐湿性、寸法安定性及び価格などの点からポリカーボネートが好ましい。成形品にばりがある場合は、これをバーニシュ又は研磨加工により除去する。また、紫外線硬化樹脂、電子線硬化樹脂などを使用して、プレス原盤にスピンコート、バーコート等の塗布によりマスターディスク４６を形成してもよい。樹脂基板のパターン突起の高さは、５０〜１０００ｎｍの範囲が好ましく、１００〜５００ｎｍの範囲が更に好ましい。   Of these, polycarbonate is preferable from the viewpoints of moisture resistance, dimensional stability, and price. If there is a flash in the molded product, it is removed by burnishing or polishing. Alternatively, the master disk 46 may be formed on the press master by spin coating, bar coating, or the like using an ultraviolet curable resin, an electron beam curable resin, or the like. The height of the pattern protrusions on the resin substrate is preferably in the range of 50 to 1000 nm, and more preferably in the range of 100 to 500 nm.

この樹脂基板の表面の微細パターンの上に磁性層４８を被覆しマスターディスク４６を得る。磁性層４８の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜方法、メッキ法などによる成膜方法で行える。   A magnetic layer 48 is coated on the fine pattern on the surface of the resin substrate to obtain a master disk 46. The magnetic layer 48 can be formed by depositing a magnetic material using a vacuum deposition method such as vacuum deposition, sputtering, or ion plating, or a deposition method such as plating.

一方、マスターディスク４６の形成方法の１種であるフォトファブリケーション法は、以下の手順で行う。先ず、たとえば、平板状の基板の平滑な表面にフォトレジストを塗布し、サーボ信号のパターンに応じたフォトマスクを用いた露光、現像処理により、情報に応じたパターンを形成させる。   On the other hand, the photofabrication method, which is one of the methods for forming the master disk 46, is performed according to the following procedure. First, for example, a photoresist is applied to a smooth surface of a flat substrate, and a pattern corresponding to information is formed by exposure and development processing using a photomask corresponding to a servo signal pattern.

次いで、エッチング工程により、パターンに応じて基板のエッチングを行い、磁性層４８の厚さに相当する深さの穴を形成する。次いで、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜方法、メッキ法等により、形成した穴に対応した厚さで基板の表面まで磁性材料を成膜する。   Next, in the etching process, the substrate is etched according to the pattern to form a hole having a depth corresponding to the thickness of the magnetic layer 48. Next, a magnetic material is formed on the surface of the substrate with a thickness corresponding to the formed hole by a vacuum film formation method such as a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a plating method, or the like.

次いで、フォトレジストをリフトオフ法で除去し、表面を研磨して、ばりがある場合には、これを取り除くとともに、表面を平滑化する。   Next, the photoresist is removed by a lift-off method, and the surface is polished to remove any flash, and the surface is smoothed.

次に、スレーブディスク４０について説明する。スレーブディスク４０は、両面又は片面に磁気記録層が形成されたハードディスク、フレキシブルディスク等の円盤状磁気記録媒体であり、マスターディスク４６に密着させる以前に、グライドヘッド、研磨体などにより表面の微小突起又は付着塵埃を除去するクリーニング処理（バーニッシィング等）が必要に応じて施される。また、スレーブディスク４０には予め初期磁化が施される。この詳細は後述する。   Next, the slave disk 40 will be described. The slave disk 40 is a disk-shaped magnetic recording medium such as a hard disk or a flexible disk having a magnetic recording layer formed on both sides or one side. Or the cleaning process (burnishing etc.) which removes adhering dust is given as needed. The slave disk 40 is preliminarily magnetized in advance. Details of this will be described later.

スレーブディスク４０としては、ハードディスク、高密度フレキシブルディスク等の円盤状磁気記録媒体が使用できる。スレーブディスク４０の磁気記録層には、塗布型磁気記録層、メッキ型磁気記録層、又は金属薄膜型磁気記録層が採用できる。   As the slave disk 40, a disk-shaped magnetic recording medium such as a hard disk or a high-density flexible disk can be used. As the magnetic recording layer of the slave disk 40, a coating type magnetic recording layer, a plating type magnetic recording layer, or a metal thin film type magnetic recording layer can be adopted.

金属薄膜型磁気記録層の磁性材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒ、ＣｏＰｔＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒＮｂＴａ、ＣｏＣｒＢ、ＣｏＮｉ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＰｔ、ＦｅＣｏＮｉ）を用いることができる。これらは、磁束密度が大きいこと、磁界印加方向と同じ方向（面内記録なら面内方向）の磁気異方性を有していることより、明瞭な転写が行えるため好ましい。   As the magnetic material of the metal thin film type magnetic recording layer, Co, Co alloy (CoPtCr, CoCr, CoPtCrTa, CoPtCrNbTa, CoCrB, CoNi, etc.), Fe, Fe alloy (FeCo, FePt, FeCoNi) can be used. These are preferable because clear transfer can be performed because of high magnetic flux density and magnetic anisotropy in the same direction as the magnetic field application direction (in-plane direction for in-plane recording).

そして磁性材料の下（支持体側）に必要な磁気異方性を付与するために、非磁性の下地層を設けることが好ましい。この下地層には、結晶構造と格子定数を磁性層４８に合わすことが必要である。そのためには、Ｃｒ、ＣｒＴｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＮｉＡｌ、Ｒｕ等を用いることが好ましい。   In order to provide the necessary magnetic anisotropy under the magnetic material (on the support side), it is preferable to provide a nonmagnetic underlayer. This underlayer needs to match the crystal structure and lattice constant to the magnetic layer 48. For that purpose, it is preferable to use Cr, CrTi, CoCr, CrTa, CrMo, NiAl, Ru or the like.

マスターディスク４６による磁気転写は、図１に示されるように、スレーブディスク４０の片面にマスターディスク４６を密着させて片面に逐次転写を行う場合と、スレーブディスク４０の両面にそれぞれマスターディスク４６、４６を密着させて両面で同時転写を行う場合とがある。なお、マスターディスク４６には、スレーブディスク４０と密着させる前に、付着した塵埃を除去するクリーニング処理が必要に応じて施される。   As shown in FIG. 1, the magnetic transfer by the master disk 46 includes a case where the master disk 46 is brought into close contact with one side of the slave disk 40 and sequential transfer is performed on one side, and a case where the master disks 46 and 46 are respectively applied to both sides of the slave disk 40. May be used for simultaneous transfer on both sides. The master disk 46 is subjected to a cleaning process to remove the adhering dust as needed before being brought into close contact with the slave disk 40.

転写用磁界を印加する磁界生成手段３０は、密着手段に保持されたスレーブディスク４０及びマスターディスク４６の半径方向に延びるギャップ３１を有するコア３２にコイル３３が巻き付けられた電磁石装置３４、３４が上下両側に配設されてなり、上下で同じ方向にトラック方向と平行な磁力線Ｇ（図３、図４参照）を有する転写用磁界を印加できるようになっている。この図３及び図４は、転写用磁界の印加方法を示す図であり、図３は平面図であり、図４は断面図である。   The magnetic field generating means 30 for applying the transfer magnetic field includes electromagnet devices 34 and 34 each having a coil 33 wound around a core 32 having a gap 31 extending in the radial direction of the slave disk 40 and the master disk 46 held by the contact means. The magnetic field for transfer which is arrange | positioned at both sides and has the magnetic force line G (refer FIG. 3, FIG. 4) parallel to a track direction in the same direction up and down can be applied now. 3 and 4 are diagrams showing a method of applying a transfer magnetic field, FIG. 3 is a plan view, and FIG. 4 is a cross-sectional view.

磁界印加時には、スレーブディスク４０及びマスターディスク４６を一体に回転させつつ磁界生成手段３０によって転写用磁界を印加し、マスターディスク４６の転写情報をスレーブディスク４０のスレーブ面に磁気的に転写記録できるように回転手段が設けられている。なお、この構成以外に、磁界生成手段３０を回転移動させるように設ける構成も採用できる。   When a magnetic field is applied, a transfer magnetic field is applied by the magnetic field generating means 30 while rotating the slave disk 40 and the master disk 46 together so that the transfer information of the master disk 46 can be magnetically transferred and recorded on the slave surface of the slave disk 40. The rotating means is provided. In addition to this configuration, a configuration in which the magnetic field generation unit 30 is provided to be rotationally moved can be employed.

転写用磁界は、最適転写磁界強度範囲（スレーブディスク４０の保磁力Ｈｃの０．６〜１．３倍）の最大値を越える磁界強度がトラック方向のいずれにも存在せず、最適転写磁界強度範囲内の磁界強度となる部分が１つのトラック方向で少なくとも１カ所以上存在し、これと逆向きのトラック方向の磁界強度がいずれのトラック方向位置においても最適転写磁界強度範囲の最小値未満である磁界強度分布の磁界をトラック方向の一部分で発生させている。   The transfer magnetic field does not have any magnetic field strength exceeding the maximum value in the optimum transfer magnetic field strength range (0.6 to 1.3 times the coercive force Hc of the slave disk 40) in any of the track directions. There are at least one portion having a magnetic field strength within the range in one track direction, and the magnetic field strength in the opposite track direction is less than the minimum value of the optimum transfer magnetic field strength range at any track position. A magnetic field having a magnetic field strength distribution is generated in a part of the track direction.

磁界生成手段３０は、図１の構成と異なり、スレーブディスク４０の片側にのみ配設するように構成してもよい。また、磁界生成手段３０としては、他の実施の形態として、図５（ａ）〜（ｃ）に示されるような転写用磁界を生成する電磁石装置又は永久磁石装置を、スレーブディスク４０の両側又は片側に配設してもよい。   Unlike the configuration of FIG. 1, the magnetic field generation unit 30 may be configured to be disposed only on one side of the slave disk 40. Further, as another example of the magnetic field generating means 30, an electromagnet device or a permanent magnet device that generates a transfer magnetic field as shown in FIGS. It may be arranged on one side.

図５（ａ）の磁界生成手段２２は、スレーブディスク４０の半径方向に延びる１つの電磁石９０（又は永久磁石）のスレーブ面と平行な両側部が反対磁極に構成され、トラック方向に磁界を生成する。   The magnetic field generation means 22 in FIG. 5A is configured such that both sides parallel to the slave surface of one electromagnet 90 (or permanent magnet) extending in the radial direction of the slave disk 40 are configured as opposite magnetic poles, and generates a magnetic field in the track direction. To do.

図５（ｂ）の磁界生成手段２４は、所定間隔でスレーブディスク４０の半径方向に延びる２つの平行電磁石９２、９３（又は永久磁石）のスレーブ面に向かう端面が反対磁極に構成され、トラック方向に磁界を生成する。   In the magnetic field generating means 24 of FIG. 5B, the end faces of the two parallel electromagnets 92 and 93 (or permanent magnets) extending in the radial direction of the slave disk 40 at predetermined intervals are configured as opposite magnetic poles, and the track direction To generate a magnetic field.

図５（ｃ）の磁界生成手段２６は、断面Ｕ字状で半径方向に延びる永久磁石９４（又は電磁石）のスレーブ面に向かう２つの平行端面が反対磁極に構成され、トラック方向に磁界を生成する。   The magnetic field generating means 26 in FIG. 5C is configured such that two parallel end faces toward the slave surface of a permanent magnet 94 (or electromagnet) extending in the radial direction with a U-shaped cross section are configured as opposite magnetic poles, and generate a magnetic field in the track direction. To do.

次に、上記のように構成された磁気転写装置１０による磁気転写方法について説明する。   Next, a magnetic transfer method using the magnetic transfer apparatus 10 configured as described above will be described.

図６は、磁気転写方法の基本工程を示す図である。図６のうち（ａ）は、磁場を一方向に印加してスレーブディスク４０を初期直流磁化する工程を、（ｂ）は、マスターディスク４６とスレーブディスク４０とを密着して反対方向に磁界を印加する工程を、（ｃ）は、は磁気転写後の状態をそれぞれ示す。また、図７は、図６（ｂ）における磁気転写の状態を説明する斜視図である。なお、各図は模式図であり各部の寸法は実際とは異なる比率で示している。   FIG. 6 is a diagram showing basic steps of the magnetic transfer method. 6A shows a process of applying a magnetic field in one direction to initially DC magnetize the slave disk 40. FIG. 6B shows a process in which the master disk 46 and the slave disk 40 are in close contact with each other and a magnetic field is applied in the opposite direction. (C) shows the state after magnetic transfer, respectively. FIG. 7 is a perspective view for explaining the state of magnetic transfer in FIG. Each figure is a schematic diagram, and the dimensions of each part are shown in proportions different from actual ones.

先ず、図６（ａ）に示されるように、スレーブディスク４０に初期磁界Ｈｉをトラック方向（円周方向）の一方向に印加して予め初期磁化（直流消磁）を行う。この初期磁化は、スレーブディスク４０の保磁力Ｈｃ以上の磁界強度部分をトラック方向位置で少なくとも１カ所以上有する磁界、好ましくは、スレーブディスク４０の保磁力Ｈｃ以上の磁界強度部分をトラック方向位置で一方向のみで有しており、逆方向の磁界強度はいずれのトラック方向位置でのスレーブディスク４０の保磁力未満である磁界強度分布の磁界を使用する。この磁界を、トラック方向の一部分で発生させ、スレーブディスク４０又は磁界をトラック方向に回転させることにより、全トラックの初期磁化（直流消磁）を行う。   First, as shown in FIG. 6A, initial magnetization (DC demagnetization) is performed in advance by applying an initial magnetic field Hi to the slave disk 40 in one direction in the track direction (circumferential direction). This initial magnetization is a magnetic field having at least one magnetic field strength portion of the slave disk 40 that is equal to or greater than the coercive force Hc in the track direction position. A magnetic field having a magnetic field strength distribution that is only in the direction and whose magnetic field strength in the reverse direction is less than the coercive force of the slave disk 40 at any track position is used. This magnetic field is generated in a part in the track direction, and the slave disk 40 or the magnetic field is rotated in the track direction, whereby initial magnetization (DC demagnetization) of all tracks is performed.

次いで、図６（ｂ）及び図７に示されるように、このスレーブディスク４０のスレーブ面（磁気記録面）とマスターディスク４６の基板４７の微細凹凸パターンに磁性層４８が被覆されてなる情報担持面とを密着させ、スレーブディスク４０のトラック方向に初期磁界Ｈｉとは逆方向に転写用磁界Ｈｄを印加して磁気転写を行う。   Next, as shown in FIG. 6B and FIG. 7, the information carrier in which the magnetic layer 48 is coated on the slave surface (magnetic recording surface) of the slave disk 40 and the fine uneven pattern of the substrate 47 of the master disk 46. The surface is brought into close contact, and magnetic transfer is performed by applying a transfer magnetic field Hd in the direction opposite to the initial magnetic field Hi in the track direction of the slave disk 40.

その結果、図６（ｃ）に示されるように、スレーブディスク４０のスレーブ面（トラック）にはマスターディスク４６の情報担持面の磁性層４８の密着凸部と凹部空間との形成パターンに応じた磁化パターンが転写記録される。   As a result, as shown in FIG. 6C, the slave surface (track) of the slave disk 40 corresponds to the formation pattern of the close-contact convexity and the concave space of the magnetic layer 48 on the information carrying surface of the master disk 46. A magnetization pattern is transferred and recorded.

なお、マスターディスク４６の基板４７の凹凸パターンが、図６のポジパターンと逆の凹凸形状のネガパターンの場合であっても、初期磁界Ｈｉの方向及び転写用磁界Ｈｄの方向をこれと逆方向にすることによって、同様の磁化パターンが転写記録できる。   Even if the concave / convex pattern of the substrate 47 of the master disk 46 is a negative pattern having a concave / convex shape opposite to the positive pattern of FIG. 6, the direction of the initial magnetic field Hi and the direction of the transfer magnetic field Hd are opposite to this. By doing so, the same magnetization pattern can be transferred and recorded.

磁気転写の際に、重要であるのは、円周方向の転写用磁界Ｈｄのうち、ディスク表面に対し垂直な磁界強度Ｈｄｖとディスク表面に対し水平な磁界強度Ｈｄｈとの比Ｈｄｖ／Ｈｄｈを０．６２９−０．０５７１×ｔ／ｂ以下になるようにして磁気転写を行うことである。なお、ｔ／ｂは既述したように、磁性層４８の厚さｔと突起状パターンのトラック方向（円周方向）長さｂとの比であり、０．５〜４．０の範囲にあることが求められる。   In magnetic transfer, it is important that the ratio Hdv / Hdh between the magnetic field strength Hdv perpendicular to the disk surface and the magnetic field strength Hdh perpendicular to the disk surface of the circumferential transfer magnetic field Hd is 0. .629-0.0571 × t / b or less for magnetic transfer. As described above, t / b is the ratio of the thickness t of the magnetic layer 48 to the track direction (circumferential direction) length b of the protruding pattern, and is in the range of 0.5 to 4.0. It is required to be.

この条件を図により説明する。図８は、比Ｈｄｖ／Ｈｄｈと比ｔ／ｂの最適範囲を説明するグラフであり、比ｔ／ｂをｘ軸に、比Ｈｄｖ／Ｈｄｈ（単位：％）をｙ軸にとってある。このグラフにおいて、比Ｈｄｖ／Ｈｄｈと比ｔ／ｂの最適範囲は、比ｔ／ｂが０．５で比Ｈｄｖ／Ｈｄｈが６０％の点と比ｔ／ｂが４で比Ｈｄｖ／Ｈｄｈが４０％の点とを結ぶ直線、すなわち、ｙ＝０．６２９−０．０５７１ｘの直線と、比ｔ／ｂが０．５の直線と、比ｔ／ｂが４の直線と、ｘ軸（ｙ＝０の直線）の４本の直線で囲まれた斜線の範囲である。   This condition will be described with reference to the drawings. FIG. 8 is a graph for explaining the optimum ranges of the ratio Hdv / Hdh and the ratio t / b, where the ratio t / b is on the x axis and the ratio Hdv / Hdh (unit:%) is on the y axis. In this graph, the optimum range of the ratio Hdv / Hdh and the ratio t / b is such that the ratio t / b is 0.5 and the ratio Hdv / Hdh is 60%, the ratio t / b is 4, and the ratio Hdv / Hdh is 40. %, I.e., a straight line with y = 0.629-0.0571x, a straight line with a ratio t / b of 0.5, a straight line with a ratio t / b of 4, and an x-axis (y = This is a hatched area surrounded by four straight lines.

すなわち、転写用磁界Ｈｄのディスク表面に対し垂直な磁界強度Ｈｄｖとディスク表面に対し水平な磁界強度Ｈｄｈは、電磁石装置３４のコア３２のギャップ３１との相対位置によって変化する。既述の図４において、水平位置Ｃ（中央の円内）においてはＨｄｖ／Ｈｄｈは０であり、水平位置Ｒ（右の円内）及び水平位置Ｌ（左の円内）においてはＨｄｖ／Ｈｄｈは≠０である。   That is, the magnetic field strength Hdv perpendicular to the disk surface of the transfer magnetic field Hd and the magnetic field strength Hdh horizontal to the disk surface vary depending on the relative position of the gap 32 of the core 32 of the electromagnet device 34. In FIG. 4 described above, Hdv / Hdh is 0 at the horizontal position C (in the center circle), and Hdv / Hdh at the horizontal position R (in the right circle) and the horizontal position L (in the left circle). Is not 0.

このように、磁石のＮ極とＳ極との中間位置では、水平磁界強度Ｈｄｈが最大であり、垂直磁界強度Ｈｄｖが０となる。これに対し、磁石のＮ極とＳ極との中間位置より離れるにしたがって、水平磁界強度Ｈｄｈが減少するとともに、垂直磁界強度Ｈｄｖが増加していく。   Thus, at the intermediate position between the N pole and S pole of the magnet, the horizontal magnetic field strength Hdh is maximum and the vertical magnetic field strength Hdv is zero. In contrast, the horizontal magnetic field strength Hdh decreases and the vertical magnetic field strength Hdv increases as the distance from the intermediate position between the N and S poles of the magnet increases.

したがって、円周方向の転写用磁界Ｈｄの比Ｈｄｖ／Ｈｄｈをマスターディスク４６の比ｔ／ｂに対応させて、図８の斜線範囲に入るように磁界生成手段３０の各構成（電磁石装置３４のギャップ３１、コア３２、コイル３３）や、磁界生成手段３０とディスク表面の距離等を最適に設定する必要がある。   Therefore, each configuration of the magnetic field generation means 30 (the electromagnet device 34 of the electromagnet device 34) is set so that the ratio Hdv / Hdh of the transfer magnetic field Hd in the circumferential direction corresponds to the ratio t / b of the master disk 46 and falls within the hatched range in FIG. It is necessary to optimally set the gap 31, the core 32, the coil 33), the distance between the magnetic field generating means 30 and the disk surface, and the like.

以上の構成によれば、磁界生成手段３０とディスクとの相対移動に伴ってこの垂直と水平との強度比が時系列的に変化しても、転写精度が受ける影響は少ない。その結果、スレーブディスク４０の再生信号のＣ／Ｎ比を低下させるということもない。   According to the above configuration, even if the vertical / horizontal intensity ratio changes in time series with relative movement of the magnetic field generating means 30 and the disk, the transfer accuracy is less affected. As a result, the C / N ratio of the reproduction signal of the slave disk 40 is not lowered.

このスレーブディスク４０は、磁気記録装置（ハードディスクドライブ）に組み込んで好適に使用できる。これに使用されるハードディスクドライブとしては、各ドライブメーカーより販売されている公知の各種装置を使用すればよい。   The slave disk 40 can be suitably used by being incorporated in a magnetic recording device (hard disk drive). As the hard disk drive used for this, various known devices sold by each drive manufacturer may be used.

以上、本発明に係る磁気転写方法、磁気記録媒体、及び磁気記録装置の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、各種の態様が採り得る。   The embodiments of the magnetic transfer method, the magnetic recording medium, and the magnetic recording apparatus according to the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various aspects can be adopted.

たとえば、上記実施形態においては、スレーブディスク４０（密着したマスターディスク４６も）を連続回転させながら、磁界生成手段３０によりスレーブディスク４０に磁気転写を行っているが、スレーブディスク４０及びマスターディスク４６への磁界印加を円周方向に１周以上行った後に、磁界強度を所定値まで減少させ、その後にスレーブディスク４０及びマスターディスク４６の回転を停止させる構成も採用できる。   For example, in the above embodiment, magnetic transfer is performed to the slave disk 40 by the magnetic field generation means 30 while the slave disk 40 (also the closely attached master disk 46) is continuously rotated. It is also possible to adopt a configuration in which the magnetic field strength is reduced to a predetermined value after the magnetic field application of 1 or more in the circumferential direction is performed, and then the rotation of the slave disk 40 and the master disk 46 is stopped.

このように、円周方向に１周分の転写後に、磁界強度を所定値まで漸減させ、しかる後に回転を停止させるのであれば、転写精度が受ける影響は非常に少なくなり、再生信号のＣ／Ｎ比は良好になる。   As described above, if the magnetic field strength is gradually reduced to a predetermined value after one round of transfer in the circumferential direction and then the rotation is stopped, the influence of the transfer accuracy is very small, and the C / The N ratio becomes good.

以下に説明する条件でスレーブディスク４０及びマスターディスク４６を作製し、磁界生成手段３０を使用して磁気転写を行い、転写時の条件での垂直磁界強度Ｈｄｖと水平磁界強度Ｈｄｈとの比率を測定するとともに、各条件における転写後のスレーブディスク４０の再生信号のＣ／Ｎ比を評価した。   The slave disk 40 and the master disk 46 are manufactured under the conditions described below, and magnetic transfer is performed using the magnetic field generation unit 30, and the ratio of the vertical magnetic field strength Hdv and the horizontal magnetic field strength Hdh under the transfer conditions is measured. In addition, the C / N ratio of the reproduction signal of the slave disk 40 after the transfer under each condition was evaluated.

マスターディスク４６は、Ｎｉスタンパー法により作製した。先ず、円盤中心から半径方向２０〜４０ｍｍの位置まで、幅０．５μｍの等間隔放射状ラインで、ライン間隔が半径方向２０ｍｍの最内周位置で０．５μｍ間隔であるような、深さ０．２μｍの円盤状パターンを有するＮｉ基板を作成した。   The master disk 46 was produced by the Ni stamper method. First, at a depth of 0.1 μm from the center of the disk to a radial direction of 20 to 40 mm, with an equidistant radial line having a width of 0.5 μm and a line interval of 0.5 μm at the innermost circumferential position in the radial direction of 20 mm. A Ni substrate having a disk-shaped pattern of 2 μm was prepared.

この際、成膜後の磁性層４８の厚さｔと突起状パターンのトラック方向長さｂとの比ｔ／ｂが０．３〜５．０の範囲となるもの５種のＮｉ基板を作成した。   At this time, five types of Ni substrates were prepared in which the ratio t / b between the thickness t of the magnetic layer 48 after film formation and the length b in the track direction of the protruding pattern was in the range of 0.3 to 5.0. did.

真空成膜装置を使用して、室温下で１．３３×１０-5Ｐａ（１０-7Ｔｏｒｒ）まで減圧した後に、アルゴンガスを導入して０．４Ｐａ（３×１０-3Ｔｏｒｒ）とした条件下で、Ｎｉ基盤上に厚さ２００ｎｍのＦｅＣｏ膜（軟磁性層）を形成し、マスターディスク４６とした。このマスターディスク４６の保磁力Ｈｃは８ｋＡ／ｍ（１００Ｏｅ）、磁束密度Ｍｓは２８．９Ｔ（２３０００Ｇａｕｓｓ）であった。 After reducing the pressure to 1.33 × 10 −5 Pa (10 −7 Torr) at room temperature using a vacuum film forming apparatus, argon gas was introduced to obtain 0.4 Pa (3 × 10 −3 Torr). Under the conditions, a FeCo film (soft magnetic layer) having a thickness of 200 nm was formed on the Ni substrate to obtain a master disk 46. This master disk 46 had a coercive force Hc of 8 kA / m (100 Oe) and a magnetic flux density Ms of 28.9 T (23000 Gauss).

スレーブディスク４０は、薄膜のガラスハードディスクとした。真空成膜装置を使用して、室温下で１．３３×１０-5Ｐａ（１０-7Ｔｏｒｒ）まで減圧した後に、アルゴンガスを導入して０．４Ｐａ（３×１０-3Ｔｏｒｒ）とした条件下で、ガラス板を２００℃に加熱し、ＣｒＴｉ６０ｎｍ、ＣｏＣｒＰｔ２５ｎｍ、磁束密度Ｍｓが５．７Ｔ（４５００Ｇａｕｓｓ）、保磁力Ｈｃが１９９ｋＡ／ｍ（２５００Ｏｅ）の外径９５ｍｍ（３．５インチ型）のハードディスクを作製した。 The slave disk 40 was a thin glass hard disk. After reducing the pressure to 1.33 × 10 −5 Pa (10 −7 Torr) at room temperature using a vacuum film forming apparatus, argon gas was introduced to obtain 0.4 Pa (3 × 10 −3 Torr). Under the conditions, the glass plate was heated to 200 ° C., CrTi 60 nm, CoCrPt 25 nm, the magnetic flux density Ms was 5.7 T (4500 Gauss), the coercive force Hc was 199 kA / m (2500 Oe), and the outer diameter was 95 mm (3.5 inch type). A hard disk was made.

磁気転写は、図１に示される構成で行った。先ず、ピーク磁界強度がスレーブディスク４０の表面において、スレーブディスク４０の保磁力Ｈｃの２倍の３９８ｋＡ／ｍ（５０００Ｏｅ）となるように、リング型ヘッド電磁石装置３４を配置して、スレーブディスク４０の初期直流磁化を行った。   The magnetic transfer was performed with the configuration shown in FIG. First, the ring-type head electromagnet device 34 is arranged so that the peak magnetic field strength is 398 kA / m (5000 Oe) which is twice the coercive force Hc of the slave disk 40 on the surface of the slave disk 40. Initial direct current magnetization was performed.

次に、初期直流磁化したスレーブディスク４０とマスターディスク４６とを密着させて、ピーク磁界強度がスレーブディスク４０の表面において２０７ｋＡ／ｍ（２６００Ｏｅ）となるように、電磁石装置３４の電流を調整して配置した。   Next, the slave disk 40 and the master disk 46 that are initially DC magnetized are brought into close contact with each other, and the current of the electromagnet device 34 is adjusted so that the peak magnetic field strength is 207 kA / m (2600 Oe) on the surface of the slave disk 40. Arranged.

このとき、垂直磁界強度Ｈｄｖと水平磁界強度Ｈｄｈとの比率が０．１〜０．９まで変化するように、密着状態のスレーブディスク４０とマスターディスク４６とを移動させて、電磁石装置３４とのクリアランスを数段階に変化させた。そして、電磁石装置３４により、初期直流磁化とは逆向きに転写磁界を印加して磁気転写を行った。なお、スレーブディスク４０とマスターディスク４６との密着は、ゴム板を挟んでアルミニウム板上から加圧した。   At this time, the slave disk 40 and the master disk 46 in close contact with each other are moved so that the ratio of the vertical magnetic field strength Hdv and the horizontal magnetic field strength Hdh changes from 0.1 to 0.9. The clearance was changed in several stages. The electromagnet device 34 applied a transfer magnetic field in the direction opposite to the initial direct current magnetization to perform magnetic transfer. The slave disk 40 and the master disk 46 were pressed from above the aluminum plate with a rubber plate interposed therebetween.

電磁変換特性測定装置（協同電子社製ＬＳ−９０）によりスレーブディスク４０の転写信号の評価を行った。ヘッドには、再生ヘッドギャップが０．０６μｍ、再生トラック幅が０．１４μｍ、記録ヘッドギャップが０．４μｍ、記録トラック幅が２．４μｍであるＭＲヘッドを使用した。読み込んだ信号をスペクトロアナライザーで周波数分解し、１次信号のピーク強度Ｃと外挿した媒体ノイズＮの差（Ｃ／Ｎ）を測定した。   The transfer signal of the slave disk 40 was evaluated using an electromagnetic conversion characteristic measuring device (LS-90 manufactured by Kyodo Electronics Co., Ltd.). An MR head having a reproducing head gap of 0.06 μm, a reproducing track width of 0.14 μm, a recording head gap of 0.4 μm, and a recording track width of 2.4 μm was used as the head. The read signal was frequency-resolved with a spectroanalyzer, and the difference (C / N) between the peak intensity C of the primary signal and the extrapolated medium noise N was measured.

また、スレーブディスク４０とマスターディスク４６を取り外し、磁場測定端子を挿入し、端子と電磁石装置３４とのクリアランスを数段階に変化させて、各条件における垂直磁界強度Ｈｄｖと水平磁界強度Ｈｄｈとをそれぞれ測定した。   In addition, the slave disk 40 and the master disk 46 are removed, a magnetic field measurement terminal is inserted, and the clearance between the terminal and the electromagnet device 34 is changed in several stages, so that the vertical magnetic field strength Hdv and the horizontal magnetic field strength Hdh in each condition are changed. It was measured.

実施例の結果を図９の表に示す。このＣ／Ｎ比（単位：ｄＢ）は、比ｔ／ｂが０．５で比Ｈｄｖ／Ｈｄｈが０．５のものの値を基準値０ｄＢとして比較した結果である。   The results of the examples are shown in the table of FIG. The C / N ratio (unit: dB) is a result of comparison with a reference value of 0 dB when the ratio t / b is 0.5 and the ratio Hdv / Hdh is 0.5.

更に、図９の表（実施例の結果）を既述の図８の比Ｈｄｖ／Ｈｄｈと比ｔ／ｂの最適範囲を説明するグラフにプロットして図１０とした。このグラフにおいて、各円内の数値がＣ／Ｎ比である。   Further, the table of FIG. 9 (result of the example) is plotted in FIG. 10 by plotting it on the graph for explaining the optimum range of the ratio Hdv / Hdh and the ratio t / b of FIG. In this graph, the numerical value in each circle is the C / N ratio.

図１０に示されるように、本発明で規定する最適範囲（斜線の範囲）のＣ／Ｎ比は、いずれも良好な値を示しており、これ以外の範囲のＣ／Ｎ比は、いずれも劣っていることが読み取れる。これにより、本発明の効果が確認できた。   As shown in FIG. 10, the C / N ratio in the optimum range (shaded area) defined in the present invention is a good value, and the C / N ratio in the other ranges is all I can see that it is inferior. Thereby, the effect of the present invention was confirmed.

なお、本発明の範囲にある上記のスレーブディスク４０を、ドライブメーカより販売されている磁気記録装置（ハードディスクドライブ）に組み込んで（既存のハードディスクと置き換えて）特性を評価したところ、良好なトラッキング特性が得られた。   When the above-mentioned slave disk 40 within the scope of the present invention was incorporated into a magnetic recording device (hard disk drive) sold by a drive manufacturer (replaced with an existing hard disk) and the characteristics were evaluated, good tracking characteristics were obtained. was gotten.

本発明に係る磁気転写方法を実施するための磁気転写装置の要部斜視図1 is a perspective view of a main part of a magnetic transfer apparatus for carrying out a magnetic transfer method according to the present invention. マスターディスクの表面の微細凹凸パターンを示す部分拡大斜視図Partial enlarged perspective view showing fine uneven pattern on the surface of the master disk 転写用磁界の印加方法を示す平面図Plan view showing how to apply magnetic field for transfer 転写用磁界の印加方法を示す断面図Sectional view showing application method of transfer magnetic field 磁界生成手段の他の構成を示す図The figure which shows the other structure of a magnetic field production | generation means 磁気転写方法の基本工程を示す図Diagram showing basic steps of magnetic transfer method 図６（ｂ）における磁気転写の状態を説明する斜視図FIG. 6B is a perspective view for explaining the state of magnetic transfer in FIG. 比Ｈｄｖ／Ｈｄｈと比ｔ／ｂの最適範囲を説明するグラフGraph explaining the optimum range of ratio Hdv / Hdh and ratio t / b 実施例の結果を示す表Table showing results of examples 実施例の結果を示すグラフThe graph which shows the result of an Example

符号の説明Explanation of symbols

１０…磁気転写装置、２２、２４、２６…磁界生成手段、３０…磁界生成手段、３１…ギャップ、３２…コア、３３…コイル、３４…電磁石装置、４０…スレーブディスク（被転写用ディスク）、４６…マスターディスク   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Magnetic transfer apparatus 22, 24, 26 ... Magnetic field production | generation means, 30 ... Magnetic field production | generation means, 31 ... Gap, 32 ... Core, 33 ... Coil, 34 ... Electromagnet apparatus, 40 ... Slave disk (disc for transfer), 46 ... Master disk

Claims (6)

被転写用ディスクの円周方向に磁界を加え、該被転写用ディスクを円周方向に初期直流磁化させる初期磁化工程と、
初期直流磁化された前記被転写用ディスクと、その表面に形成された多数の突起状磁性層パターンであって、該磁性層の厚さｔと該突起状パターンの円周方向長さｂとの比ｔ／ｂが０．５〜４．０である磁性層パターンを有するマスターディスクとを密着させる密着工程と、
磁界生成手段を設け、前記被転写用ディスクと前記マスターディスクの円周方向に磁界を加え、前記マスターディスクの磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる際に、前記円周方向の磁界のディスク表面に対し垂直な磁界強度Ｈｖとディスク表面に対し水平な磁界強度Ｈｈとの比Ｈｖ／Ｈｈが０．６２９−０．０５７１×ｔ／ｂ以下になるようにして磁気転写を行う磁気転写工程と、
を備えることを特徴とする磁気転写方法。 An initial magnetization step of applying a magnetic field in the circumferential direction of the disk to be transferred, and initial DC magnetization of the disk to be transferred in the circumferential direction;
An initial DC magnetized disk to be transferred, and a number of projecting magnetic layer patterns formed on the surface, wherein the thickness t of the magnetic layer and the circumferential length b of the projecting pattern An adhesion process in which a master disk having a magnetic layer pattern having a ratio t / b of 0.5 to 4.0 is adhered;
A magnetic field generating means for applying a magnetic field in a circumferential direction of the transferred disk and the master disk, and transferring the magnetic pattern of the master disk to the transferred disk; A magnetic transfer step of performing magnetic transfer so that a ratio Hv / Hh of a magnetic field strength Hv perpendicular to the surface to a magnetic field strength Hh horizontal to the disk surface is 0.629-0.0571 × t / b or less. ,
A magnetic transfer method comprising: 前記磁界生成手段に対し密着状態にある前記被転写用ディスクと前記マスターディスクとを相対移動させながら磁気転写を行う請求項１に記載の磁気転写方法。   The magnetic transfer method according to claim 1, wherein the magnetic transfer is performed while relatively moving the disk to be transferred and the master disk in close contact with the magnetic field generation unit. 前記円周方向の磁界による、密着状態にある前記被転写用ディスクと前記マスターディスクとへの磁界印加を円周方向に１周以上行った後に、磁界強度を所定値まで減少させ、その後に前記磁界生成手段に対する密着状態にある前記被転写用ディスクと前記マスターディスクとの相対移動を停止させる請求項２に記載の磁気転写方法。   After applying the magnetic field to the transfer target disk and the master disk in close contact with the magnetic field in the circumferential direction one or more times in the circumferential direction, the magnetic field strength is reduced to a predetermined value, and then The magnetic transfer method according to claim 2, wherein the relative movement between the transfer target disk and the master disk that is in close contact with the magnetic field generation unit is stopped. 前記請求項１〜３のいずれか１項に記載の磁気転写方法によってサーボ情報を記録したことを特徴とする磁気記録媒体。   A magnetic recording medium on which servo information is recorded by the magnetic transfer method according to claim 1. 反強磁性結合を生じる磁性層を有することを特徴とする請求項４に記載の磁気記録媒体。   The magnetic recording medium according to claim 4, further comprising a magnetic layer that generates antiferromagnetic coupling. 前記請求項４又は５に記載の磁気記録媒体を備えたことを特徴とする磁気記録装置。   A magnetic recording apparatus comprising the magnetic recording medium according to claim 4.
JP2004299161A 2004-10-13 2004-10-13 Magnetic transfer method, magnetic recording medium and magnetic recording device Pending JP2006114104A (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004299161A JP2006114104A (en) 2004-10-13 2004-10-13 Magnetic transfer method, magnetic recording medium and magnetic recording device
US11/248,292 US7440207B2 (en) 2004-10-13 2005-10-13 Magnetic-transfer method, magnetic recording medium, and magnetic recording device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004299161A JP2006114104A (en) 2004-10-13 2004-10-13 Magnetic transfer method, magnetic recording medium and magnetic recording device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006114104A true JP2006114104A (en) 2006-04-27

Family

ID=36382513

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004299161A Pending JP2006114104A (en) 2004-10-13 2004-10-13 Magnetic transfer method, magnetic recording medium and magnetic recording device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006114104A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012230034A (en) * 2011-04-27 2012-11-22 Tohoku Tokushuko Kk Magnetostriction measuring device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012230034A (en) * 2011-04-27 2012-11-22 Tohoku Tokushuko Kk Magnetostriction measuring device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100665001B1 (en) Method of magnetic transfer
JP2008065910A (en) Master recording medium, magnetic transfer method, magnetic transfer device, magnetic recording medium produced by same, and magnetic recording and reproducing device
US7593175B2 (en) Magnetic transfer method, magnetic transfer apparatus, magnetic recording medium and magnetic record reproduction system
JP4046480B2 (en) Magnetic transfer method and magnetic transfer apparatus
JP2007012143A (en) Method and device for dc demagnetization of magnetic recording medium, and magnetic transfer method
KR20030007107A (en) Master carrier for magnetic transfer
US20070002480A1 (en) DC demagnetization method and apparatus for magnetic recording medium and magnetic transfer method and apparatus
JP2006114104A (en) Magnetic transfer method, magnetic recording medium and magnetic recording device
US7440207B2 (en) Magnetic-transfer method, magnetic recording medium, and magnetic recording device
US7532420B2 (en) Master disk for magnetic transfer, magnetic recording medium and magnetic recording apparatus
JP3986951B2 (en) Master carrier for magnetic transfer and magnetic transfer method
JP2007242165A (en) Master medium for perpendicular magnetic transfer, perpendicular magnetic transfer method, perpendicular magnetic recording medium and perpendicular magnetic recorder
US7663827B2 (en) Method of initializing perpendicular magnetic recording medium, perpendicular magnetic recording medium and magnetic recording apparatus
US7641822B2 (en) Master information carrier for magnetic transfer and a method for producing the carrier
JP2008010028A (en) Magnetic transfer method for perpendicular magnetic recording medium, perpendicular magnetic recording medium, and magnetic recording device
JP2007012142A (en) Magnetic transfer method and device thereof
JP2003091806A (en) Master carrier for magnetic transfer
JP2006120266A (en) Magnetic transfer method, magnetic recording medium, and magnetic recording apparatus
JP4089904B2 (en) Method for manufacturing magnetic recording medium
JP4362730B2 (en) Master recording medium for magnetic transfer and method for manufacturing magnetic recording medium
JP3964452B2 (en) Master carrier for magnetic transfer
JP2008165884A (en) Magnetic transfer method, master recording medium, perpendicular magnetic recording medium, and magnetic recording and reproducing device
JP2004241023A (en) Master carriers for magnetic transfer
JP2007317333A (en) Master recording medium, magnetic transfer method, magnetic recording medium manufactured thereby and magnetic recording and reproducing device
JP2006216101A (en) Magnetic transfer master disk, magnetic recording medium, and magnetic recording device

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Effective date: 20070109

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712