JP2008159703A - 薄型磁気部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電気絶縁膜により軟磁性粒子を被覆してなる複合軟磁性粒子をシート化するグリーンシート製造工程と、得られたグリーンシートをホットプレスする工程と、ホットプレス後のグリーンシートを熱処理する熱処理工程を少なくとも有する薄型磁気部品の製造方法であって、ホットプレス時の最高温度が600℃未満であり、熱処理時の最高温度が600℃以下であることを特徴とする薄型磁気部品の製造方法。
【選択図】なし
Description
これに伴い、電子機器に搭載される電源として高効率かつ小型のスイッチング電源に対する要求が高まっている。特にノート型パソコンや携帯電話等の小型情報機器、薄型CRT、フラットパネルディスプレイに用いられるスイッチング電源では、小型・薄型化が強く求められている。
従来のスイッチング電源では、その主要な構成部品であるトランスやリアクトルなどの磁気部品が大きな体積を占めており、スイッチング電源を小型・薄型化するためには、これらの磁気部品の体積を縮小することが必要不可欠となっていた。
金属磁性材料は、一般に高い飽和磁束密度と透磁率を有するが、電気抵抗率が低いため、特に高周波数領域では、渦電流損失が大きくなってしまう。スイッチング電源では、回路を高周波駆動することにより、高効率化および小型化する傾向にあるが、上記の渦電流損失の影響から金属磁性材料をスイッチング電源用の磁気部品の磁芯として使用することは困難である。
しかしながら、トランスやリアクトルを小型化した場合、コイルに流す電流は同じでも磁芯にかかる磁場は強くなってしまう。一般に、フェライトの飽和磁束密度は金属磁性材料に比べて小さく、スイッチング電源の磁気部品の磁芯として使用した場合、上記の理由によりその小型化には限界がある。
急速加熱熱処理とは、最高到達温度を550℃以上、600℃以下、好ましくは580〜600℃とし、少なくとも550℃以上における昇温速度及び降温速度を100℃以上、好ましくは200℃/min以上の速度で行い、最高到達温度での保持時間を2000秒以下とする熱処理である。昇温速度及び降温速度の上限は用いる熱処理装置の装置特性で決まる値である。
粒子径8μmのNi78FeMo5パーマロイ(Niが78重量%、Moが5重量%、残りがFeからなるパーマロイ)粉末表面に珪酸膜を形成した。即ち、パーマロイ粉末を水ガラス水溶液に投入した。水ガラスは組成がNa20・xSiO2・nH20(x=2〜4)で、これを水に溶かした溶液はアルカリ性を示す。この水溶液に液のpHが8.5になるまで塩酸を滴下した。塩酸滴下により水ガラスが加水分解してゲル状の珪酸(H2SiO3)がパーマロイ粉末表面に析出した。次に、パーマロイ粉末を水で洗浄した後、乾燥させて、珪酸膜被覆パーマロイ粉末を得た。珪酸膜の膜厚は10nmであった。
実施例1と同様にして、粒子径8μmのNi78FeMo5パーマロイ粉末表面に珪酸膜を形成した。珪酸膜の膜厚は10nmであった。この珪酸膜被覆パーマロイ粉末をプレスで圧縮成形し、外径8mm、内径3mm、厚さ0.5mmのリング状成形体を作製した。プレス圧力は784MPa(8トン重/cm2)とした。成形体の理論密度は約90%であった。この成形体を実施例1と同様に大気中で温度600℃、保持時間1000秒、加熱速度300℃/min、冷却速度熱300℃/minの条件で急速加熱熱処理を行った。B−Hアナライザを用いて透磁率を、周波数を変えながら測定した。測定時の交流磁場振幅は40A/mであった。2MHzでμ′が136、μ″が6の成形体を得た。このときの相対損失係数(μ″/μ′2)は3.2×10−4であった。直流重畳磁場が500A/mの時のμ′は132であった。圧縮成形機の制約から、成形体の大きさは、厚さ0.5mmの成形体の場合、最大25mm角が限界であり、それを超える大きさのものは作成できず、1回の成形で得られる外径8mmのリング状成形体は最高9個までであり、生産性に優れるとはいえないものであり、成形体の面積が大きくなればなるほど、用いる成形機は高価なものとなり、生産コストが高くならざるを得ないものであった。
Claims (4)
- 電気絶縁膜により軟磁性粒子を被覆してなる複合軟磁性粒子をシート化するグリーンシート製造工程と、得られたグリーンシートをホットプレスする工程と、ホットプレス後のグリーンシートを熱処理する熱処理工程を少なくとも有する薄型磁気部品の製造方法であって、ホットプレス時の最高温度が600℃未満であり、熱処理時の最高温度が600℃以下であることを特徴とする薄型磁気部品の製造方法。
- グリーンシート製造工程が、前記複合軟磁性粒子をドクターブレード法によりシート化するものであることを特徴とする請求項1記載の薄型磁気部品の製造方法。
- 前記熱処理工程における熱処理が急速加熱熱処理であることを特徴とする請求項1または2記載の薄型磁気部品の製造方法。
- 前記電気絶縁膜が水ガラスの加水分解により析出した珪酸を軟磁性粒子に付着させて表面に成膜された珪酸膜であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の薄型磁気部品の製造方法。
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