JP2008158144A - Manufacturing method of cross prism - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a cross prism by which optical characteristics can be improved. <P>SOLUTION: At first two or more planar glass substrates are arranged by stepwise lamination and are temporarily adhered, then are cut with a predetermined angle and a predetermined spacing to form laminating division objects. Then a red light reflective film 13 is formed on one surface of the laminating division object, those are further arranged by stepwise lamination and are really adhered to form a laminate again. Thereafter the laminate is cut with the predetermined angle and the predetermined spacing to form third laminating division objects 42. Then a blue light reflective film 14 is formed on one surface of the third laminating division object 42. Then temporarily adhered part in the third laminating division object 42 is removed to separate the third laminating division object 42 into two or more prism column pairs 51a, 51b. Thereafter the first prism column pair 51a and the second prism column pair 51b are joined by real adhesion. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、クロスプリズムの製造方法に関し、特に、複数の基板を積層して同時に多数のクロスプリズムを製造するクロスプリズムの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a cross prism, and more particularly to a method for manufacturing a cross prism in which a plurality of substrates are stacked to manufacture a large number of cross prisms at the same time.

上記したクロスプリズムは、例えば、プロジェクタの色光合成光学系など、３つの変調光（例えば、赤色光、青色光、緑色光）を合成させるために用いられる。このクロスプリズムは、４つの直角二等辺三角プリズムが接合されて形成された略Ｘ字状の界面に２種類の波長分離膜が形成された光選択プリズム（ダイクロイックプリズム）である。このクロスプリズムを用いた投射型表示装置では、合成された光をスクリーン上に表示させることができる。   The above-described cross prism is used for synthesizing three modulated lights (for example, red light, blue light, and green light) such as a color light combining optical system of a projector. This cross prism is a light selection prism (dichroic prism) in which two types of wavelength separation films are formed on a substantially X-shaped interface formed by joining four right-angled isosceles triangular prisms. In the projection display device using this cross prism, the synthesized light can be displayed on the screen.

クロスプリズムの製造方法は、例えば、特許文献１に記載されている。それによれば、まず、図７（ａ）に示す工程で、矩形の板状透明基板１１１を階段状（例えば、板状透明基板１１１の接着面に対して４５°）に仮接着し、第１積層体１１２を形成する。次に、図７（ｂ）に示す工程で、第１積層体１１２を、例えば半直角（４５°）の角度で所定の間隔に切断して、第１積層分割体１１３を形成する。次に、図７（ｃ）に示す工程で、第１積層分割体１１３の上下面を研磨加工した後、ある波長を選択して反射する波長分離膜甲１１４を成膜する。   A method for manufacturing a cross prism is described in Patent Document 1, for example. According to this, first, in the step shown in FIG. 7A, the rectangular plate-like transparent substrate 111 is temporarily bonded in a stepped manner (for example, 45 ° with respect to the bonding surface of the plate-like transparent substrate 111). The stacked body 112 is formed. Next, in the step shown in FIG. 7B, the first stacked body 112 is cut at a predetermined interval, for example, at a semi-right angle (45 °) to form the first stacked divided body 113. Next, in the step shown in FIG. 7C, after polishing the upper and lower surfaces of the first laminated division body 113, the wavelength separation film former 114 that selects and reflects a certain wavelength is formed.

次に、図８（ａ）に示す工程では、第１積層分割体１１３の向きを１８０°変えて積層配置すると共に接着剤を用いて本接着して、第２積層体１２１を形成する。次に、図８（ｂ）に示す工程では、第２積層体１２１を、第１積層分割体１１３の上下となる面１１３ａ，１１３ｂに対して垂直及び所定の間隔に切断して、第２積層分割体１２２を形成する。次に、図８（ｃ）に示す工程では、第２積層分割体１２２の上下面を研磨し、波長分離膜乙１２３を成膜する。   Next, in the process illustrated in FIG. 8A, the first stacked divided body 113 is stacked by changing the orientation of the first stacked divided body 113 by 180 ° and is finally bonded using an adhesive to form the second stacked body 121. Next, in the step shown in FIG. 8B, the second stacked body 121 is cut perpendicularly and at a predetermined interval with respect to the upper and lower surfaces 113 a and 113 b of the first stacked divided body 113, thereby A divided body 122 is formed. Next, in the step shown in FIG. 8C, the upper and lower surfaces of the second laminated divided body 122 are polished to form the wavelength separation film B 123.

次に、図９（ａ）に示す工程では、仮接着した仮接着面１３１が略方形（クロスプリズムの形状）となるように、第２積層分割体１２２を積層すると共に、接着剤を用いて本接着し第３積層体１３２を形成する。次に、図９（ｂ）に示す工程では、第３積層体１３２を、切断ラインＬ１０１に沿って所定の間隔で平行に切断する。これにより、クロスプリズム１５１を多数含んだ矩形板状のクロスプリズム連結体１４１が形成される。次に、図９（ｃ）に示す工程では、クロスプリズム連結体１４１をホットプレート上に載置して加熱することにより、仮接着した部分を除去する。そして、本接着した部分で接合された４つの直角三角柱プリズム１５２からなるクロスプリズム１５１が分離される。   Next, in the step shown in FIG. 9A, the second stacked divided body 122 is stacked so that the temporarily bonded temporary bonding surface 131 has a substantially square shape (cross prism shape), and an adhesive is used. The third laminated body 132 is formed by the main bonding. Next, in the step shown in FIG. 9B, the third stacked body 132 is cut in parallel at predetermined intervals along the cutting line L101. As a result, a rectangular plate-shaped cross prism connecting body 141 including a large number of cross prisms 151 is formed. Next, in the step shown in FIG. 9C, the temporarily bonded portion is removed by placing the cross prism coupled body 141 on a hot plate and heating it. And the cross prism 151 which consists of the four right-angled triangular prisms 152 joined by the part which carried out this adhesion | attachment is isolate | separated.

特開２００１−３４３５０８号公報JP 2001-343508 A

しかしながら、図８（ｃ）に示す第２積層分割体１２２を形成した段階で、前工程（図７に示す工程など）で切断した際の平行度や研磨加工の精度、接着剤の厚みバラツキなどに起因して、波長分離膜甲１１４のピッチ誤差（累積誤差）が含まれた状態となっている。更に、図９（ａ）に示す工程で、ピッチ誤差が含まれた状態の第２積層分割体１２２を積層して第３積層体１３２を形成するので、図１０（ａ）に示すように、波長分離膜甲１１４の接合部に段差Ｈが生じる。これにより、完成したクロスプリズム１５１ａに光を通過させた際、段差Ｈ付近を通過する光の反射特性や透過特性が変化し、その結果、光が散乱するなど表示するべき画像情報が劣化するという問題がある。   However, at the stage of forming the second layered divided body 122 shown in FIG. 8C, the parallelism when cutting in the previous process (such as the process shown in FIG. 7), the accuracy of the polishing process, the thickness variation of the adhesive, etc. As a result, the pitch error (cumulative error) of the wavelength separation membrane 114 is included. Further, in the step shown in FIG. 9A, the second stacked divided body 122 including the pitch error is stacked to form the third stacked body 132. Therefore, as shown in FIG. A step H is generated at the junction of the wavelength separation membrane shell 114. As a result, when light is passed through the completed cross prism 151a, the reflection characteristics and transmission characteristics of the light passing through the vicinity of the step H are changed, and as a result, the image information to be displayed is degraded, for example, the light is scattered. There's a problem.

本発明は、光学特性を向上させることができるクロスプリズムの製造方法を提供することを目的とする。   An object of this invention is to provide the manufacturing method of the cross prism which can improve an optical characteristic.

上記課題を解決するために、本発明に係るクロスプリズムの製造方法は、４つの直角三角柱プリズムを略Ｘ字状に接着して形成されるクロスプリズムの製造方法であって、二以上の枚数の板状の透明基板を積層配置して仮接着し、前記仮接着面に半直角な角度で、前記透明基板の積層配置物を二以上の枚数の板状に切断して第１積層分割体と第２積層分割体とを形成する積層分割体形成工程と、前記第１積層分割体と前記第２積層分割体との片面に波長分離膜甲を成膜する波長分離膜甲形成工程と、前記波長分離膜甲を成膜後、前記第１積層分割体と前記第２積層分割体とを交互に、且つ前記波長分離膜甲を挟むように積層配置して本接着し、前記本接着面に垂直な角度で二以上の枚数の板状に切断して第３積層分割体を形成する積層分割体形成工程と、前記第３積層分割体の片面に波長分離膜乙を形成する波長分離膜乙形成工程と、前記第３積層分割体の仮接着部分を除去し、前記波長分離膜乙が形成された第１プリズム柱対と、前記波長分離膜乙が形成されていない第２プリズム柱対とに分離する積層分割体分離工程と、前記第１プリズム柱対と前記第２プリズム柱対とを、略方形となるように、且つ前記波長分離膜乙を挟むように本接着するプリズム柱対接合工程と、を有することを特徴とする。   In order to solve the above problems, a manufacturing method of a cross prism according to the present invention is a manufacturing method of a cross prism formed by adhering four right triangular prisms in a substantially X shape. A plate-like transparent substrate is laminated and temporarily bonded, and the laminated arrangement of the transparent substrates is cut into two or more plate-like shapes at an angle half-perpendicular to the temporary bonding surface, A laminated division forming step for forming a second laminated division, a wavelength separation membrane former forming step for forming a wavelength separation membrane former on one side of the first laminated division and the second laminated division, and After the wavelength separation film former is formed, the first laminated divided body and the second laminated divided body are alternately laminated and sandwiched so as to sandwich the wavelength separation film former, and are adhered to the main adhesion surface. Laminated division body that forms a third laminated division body by cutting into two or more plates at a vertical angle Forming the wavelength separation film B on one side of the third laminated divided body, removing the temporary adhesion portion of the third laminated divided body, and forming the wavelength separation film B A separated layered body separating step for separating the first prism column pair and the second prism column pair in which the wavelength separation film B is not formed, the first prism column pair and the second prism column pair, And a prism column pair joining step for main bonding so as to be substantially square and sandwiching the wavelength separation film B.

この方法によれば、積層分割体から複数の第１プリズム柱対と複数の第２プリズム柱対とを分離したあと、単数の第１プリズム柱対と単数の第２プリズム柱対とを接合する。従って、複数のプリズム柱対が積層された積層分割体を他の積層分割体と接合してクロスプリズムを製造する従来の方法と比較して、加工された際に蓄積されたピッチ誤差に影響されることなく、第１プリズム柱対と第２プリズム柱対とを精度良く接合することができる。よって、第１プリズム柱対に挟まれた波長分離膜甲の端部と、第２プリズム柱対に挟まれた波長分離膜甲の端部との接合部の段差を少なくすることができる。これにより、接合部の段差が投射する画像情報に及ぼす悪影響を抑えることができる。   According to this method, after separating the plurality of first prism column pairs and the plurality of second prism column pairs from the stacked divided body, the single first prism column pair and the single second prism column pair are joined. . Therefore, compared to the conventional method of manufacturing a cross prism by joining a laminated segment in which a plurality of prism column pairs are laminated with other laminated segments, it is affected by the pitch error accumulated during processing. The first prism column pair and the second prism column pair can be joined with high accuracy without any problem. Therefore, it is possible to reduce the level difference at the joint between the end portion of the wavelength separation membrane shell sandwiched between the first prism column pair and the end portion of the wavelength separation membrane shell sandwiched between the second prism column pair. Thereby, the bad influence which the level | step difference of a junction part has on the image information which projects can be suppressed.

本発明に係るクロスプリズムの製造方法では、前記プリズム柱対接合工程のあと、接合されたプリズム柱対をクロスプリズムの長さに切断して前記クロスプリズムを形成するクロスプリズム形成工程を有することを特徴とする。   The method for manufacturing a cross prism according to the present invention includes a cross prism forming step of forming the cross prism by cutting the joined prism column pair into a length of the cross prism after the prism column pair joining step. Features.

この方法によれば、プリズム柱対接合工程によって波長分離膜甲の接合部の段差が抑えられたプリズム柱対を、クロスプリズムのサイズに切断するので、波長分離膜甲の段差が抑えられたクロスプリズムを完成させることができる。   According to this method, the prism column pair in which the step of the joint portion of the wavelength separation membrane is suppressed by the prism column pair joining process is cut into the size of the cross prism, so that the cross in which the step of the wavelength separation membrane is suppressed. The prism can be completed.

本発明に係るクロスプリズムの製造方法では、前記プリズム柱対接合工程は、前記第１プリズム柱対に挟持された前記波長分離膜甲の端部と、前記第２プリズム柱対に挟持された前記波長分離膜甲の端部との位置を一致させて、前記第１プリズム柱対と前記第２プリズム柱対とを接合することを特徴とする。   In the method of manufacturing a cross prism according to the present invention, the prism column pair joining step includes the end of the wavelength separation membrane A sandwiched between the first prism column pair and the second prism column pair. The first prism column pair and the second prism column pair are joined to each other by matching the position with the end of the wavelength separation membrane back.

この方法によれば、波長分離膜甲の端部を合わせて接合するので、クロスプリズムの性能に大きな影響を及ぼす接合段差を少なくすることができ、クロスプリズムの性能を向上させることができる。   According to this method, since the end portions of the wavelength separation membrane are joined together, it is possible to reduce the joining step that greatly affects the performance of the cross prism, and to improve the performance of the cross prism.

本発明に係るクロスプリズムの製造方法では、前記透明基板は、光学ガラスであることを特徴とする。   In the method for manufacturing a cross prism according to the present invention, the transparent substrate is optical glass.

この方法によれば、光学ガラスを用いてクロスプリズムを形成するので、様々な製造方法（切断角度など）を用いたとしても、光学特性に影響を与えることなくクロスプリズムを製造することができる。   According to this method, since the cross prism is formed using the optical glass, the cross prism can be manufactured without affecting the optical characteristics even if various manufacturing methods (cutting angle or the like) are used.

以下、本発明を具体化した実施形態について、図面を参照しながら説明する。   DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the invention will be described with reference to the drawings.

図１は、クロスプリズムの構造を示す模式図である。以下、クロスプリズムの構造を、図１を参照しながら説明する。   FIG. 1 is a schematic diagram showing the structure of a cross prism. Hereinafter, the structure of the cross prism will be described with reference to FIG.

図１に示すように、クロスプリズム１１は、例えば、プロジェクタの色光合成光学系（例えば、赤色光、緑色光、青色光の合成）などに用いられ、４つの直角三角柱プリズム（以下、「直角プリズム」という。）１２を有する。クロスプリズム１１は、例えば、光学ガラスによって構成されている。クロスプリズム１１は、第１直角プリズム１２ａと、第２直角プリズム１２ｂと、第３直角プリズム１２ｃと、第４直角プリズム１２ｄとを有し、それぞれ高さが等しい直角二等辺三角柱に形成されている。クロスプリズム１１は、直角プリズム１２の直角をなす側面１２ｅが互いに接着剤（図示せず）で接合されて構成される四角柱（直方体または立方体）である。   As shown in FIG. 1, the cross prism 11 is used, for example, in a color light combining optical system of a projector (for example, combining red light, green light, and blue light). "). The cross prism 11 is made of, for example, optical glass. The cross prism 11 includes a first right-angle prism 12a, a second right-angle prism 12b, a third right-angle prism 12c, and a fourth right-angle prism 12d, and is formed into a right-angled isosceles triangular prism having the same height. . The cross prism 11 is a quadrangular prism (a rectangular parallelepiped or a cube) configured by joining side surfaces 12e of the right-angle prism 12 at right angles to each other with an adhesive (not shown).

４つの直角プリズム１２で構成される接合面には、波長分離膜甲としての赤色光反射膜１３（１３ａ，１３ｂ）と、波長分離膜乙としての青色光反射膜１４とが略Ｘ字状に形成されている。第１直角プリズム１２ａと第２直角プリズム１２ｂとの間には、赤色光反射膜１３を構成する赤色光反射膜１３ａが形成されている。第３直角プリズム１２ｃと第４直角プリズム１２ｄとの間には、赤色光反射膜１３を構成する赤色光反射膜１３ｂが形成されている。このように、赤色光反射膜１３と青色光反射膜１４とが略Ｘ字状に形成されていることにより、クロスプリズム１１の一面から、例えば、赤色光（Ｒ）、緑色光（Ｇ）、青色光（Ｂ）が合成された光を出射することが可能となっている。なお、例えば、クロスプリズム１１の一面には、反射防止膜１５が形成されている。   A red light reflecting film 13 (13a, 13b) as a wavelength separating film and a blue light reflecting film 14 as a wavelength separating film B are formed in a substantially X shape on the joint surface formed by four right-angle prisms 12. Is formed. A red light reflecting film 13a constituting the red light reflecting film 13 is formed between the first right angle prism 12a and the second right angle prism 12b. A red light reflecting film 13b constituting the red light reflecting film 13 is formed between the third right angle prism 12c and the fourth right angle prism 12d. As described above, the red light reflection film 13 and the blue light reflection film 14 are formed in a substantially X shape, so that, for example, red light (R), green light (G), It is possible to emit light synthesized from blue light (B). For example, an antireflection film 15 is formed on one surface of the cross prism 11.

第１直角プリズム１２ａと第３直角プリズム１２ｃとの間、更に、第２直角プリズム１２ｂと第４直角プリズム１２ｄとの間には、青色光反射膜１４が連続して形成されている。つまり、この青色光反射膜１４によって、赤色光反射膜１３ａと赤色光反射膜１３ｂとが分離されている。   A blue light reflection film 14 is continuously formed between the first right-angle prism 12a and the third right-angle prism 12c, and between the second right-angle prism 12b and the fourth right-angle prism 12d. That is, the blue light reflection film 14 separates the red light reflection film 13a and the red light reflection film 13b.

分離された赤色光反射膜１３ａと赤色光反射膜１３ｂとは、互いの接合部１６の段差が抑えられることにより、損失があるものの、特性（反射特性、透過特性など）が劣化することが抑えられる。しかしながら、この接合部１６の段差が大きくなることにより特性の劣化が大きくなり、例えば、表示するべき画像情報が劣化するという問題が発生する。   The separated red light reflecting film 13a and the red light reflecting film 13b are suppressed from being deteriorated in characteristics (reflection characteristics, transmission characteristics, etc.), although there is a loss due to suppression of the level difference between the joint portions 16. It is done. However, when the level difference of the joint portion 16 is increased, the characteristic is greatly deteriorated. For example, there is a problem that image information to be displayed is deteriorated.

図２〜図６は、クロスプリズムの製造方法を工程順に示す斜視図である。以下、クロスプリズムの製造方法を、図２〜図６を参照しながら説明する。なお、図２〜図６に示す製造方法は、板状の透明基板を多段状に重ねて製造する方法であり、クロスプリズムを一度に多数製造することが可能となっている。   2 to 6 are perspective views showing a method of manufacturing a cross prism in the order of steps. Hereinafter, the manufacturing method of the cross prism will be described with reference to FIGS. The manufacturing method shown in FIGS. 2 to 6 is a method in which plate-like transparent substrates are stacked in a multistage manner, and a large number of cross prisms can be manufactured at one time.

図２（ａ）に示す工程では、光学ガラスからなる矩形のガラス基板２１の上面２２及び下面２２を鏡面研磨加工（ラッピング加工やポリッシュ加工など）する。また、引き続く工程において、複数のガラス基板２１を用いることから、複数のガラス基板２１に鏡面研磨加工を施す。   In the step shown in FIG. 2A, the upper surface 22 and the lower surface 22 of the rectangular glass substrate 21 made of optical glass are mirror-polished (such as lapping or polishing). Further, since the plurality of glass substrates 21 are used in the subsequent process, mirror polishing is performed on the plurality of glass substrates 21.

図２（ｂ）に示す工程では、ガラス基板２１に反射防止膜１５（ＡＲ膜）を形成する。なお、ガラス基板２１への反射防止膜１５の形成は、必要に応じて形成しなくてもよい。ここでは、例えば、完成したクロスプリズム１１における光を通過する面のうち一面のみに反射防止膜１５を形成するものとし、ガラス基板２１の一方の面に反射防止膜１５を形成した第１ガラス基板２１ａと、ガラス基板２１に反射防止膜１５を形成しない第２ガラス基板２１ｂとの２種類を形成する。   In the step shown in FIG. 2B, an antireflection film 15 (AR film) is formed on the glass substrate 21. Note that the antireflection film 15 may be formed on the glass substrate 21 as necessary. Here, for example, the first glass substrate in which the antireflection film 15 is formed on only one of the surfaces through which light passes in the completed cross prism 11 and the antireflection film 15 is formed on one surface of the glass substrate 21. Two types are formed: 21 a and a second glass substrate 21 b on which the antireflection film 15 is not formed on the glass substrate 21.

図２（ｃ）に示す工程では、第１ガラス基板２１ａを階段状に積層して仮接着する。階段状に積層される第１ガラス基板２１ａは、例えば、第１ガラス基板２１ａの端縁２３を結ぶ仮想平面と第１ガラス基板２１ａの上面又は下面とのなす角度が４５°である。なお、４５°で積層するために、図示しない、水平な板状のベースと、このベースから４５°の傾斜角度で上方に傾斜して固定された傾斜側壁とからなる治具を用いるようにしてもよい。そして、この治具の傾斜側壁に押し当てながら順次第１ガラス基板２１ａを積層させることにより、略平行四辺形状の第１積層体２４となる。   In the step shown in FIG. 2C, the first glass substrate 21a is laminated stepwise and temporarily bonded. In the first glass substrate 21a stacked in a staircase shape, for example, an angle formed by a virtual plane connecting the edge 23 of the first glass substrate 21a and the upper surface or the lower surface of the first glass substrate 21a is 45 °. In order to laminate at 45 °, a jig composed of a horizontal plate-like base (not shown) and an inclined side wall fixed at an inclination angle of 45 ° from the base is fixed. Also good. Then, the first glass substrate 21a is sequentially laminated while being pressed against the inclined side wall of the jig, whereby the first laminated body 24 having a substantially parallelogram shape is obtained.

第１ガラス基板２１ａの接着面には、予めパラフィン等の剥離可能な仮接着剤（図示せず）を塗布しておき、互いの第１ガラス基板２１ａを仮接着状態にする。また、上記と同様の方法により、反射防止膜１５が形成されていない第２ガラス基板２１ｂを積層し、第２積層体２５を形成する。なお、パラフィン以外の仮接着剤、例えば、ＵＶ光で仮硬化し温水で除去できる仮接着剤を用いてもよい。   A temporary adhesive (not shown) such as paraffin is applied in advance to the bonding surface of the first glass substrate 21a, so that the first glass substrates 21a are temporarily bonded to each other. Moreover, the 2nd laminated body 25 is formed by laminating | stacking the 2nd glass substrate 21b in which the antireflection film 15 is not formed by the method similar to the above. A temporary adhesive other than paraffin, for example, a temporary adhesive that is temporarily cured with UV light and can be removed with warm water may be used.

図３（ａ）に示す工程（積層分割体形成工程）では、第１積層体２４と第２積層体２５とを、第１ガラス基板２１ａ（第２ガラス基板２１ｂ）の端縁２３を結ぶ仮想平面と平行（ガラス基板２１の底面に対し半直角４５°）に所定の間隔で切断ラインＬ１１に沿って切断する。切断する方法として、例えば、ワイヤーソー等の切断手段が用いられる。切断ラインＬ１１の間隔は、最終的に製造しようとするクロスプリズム１１の寸法、形状に応じて設定する。以上のような切断によって、図３（ｂ）に示す、第１積層分割体３１及び第２積層分割体３２が形成される。第１積層分割体３１及び第２積層分割体３２は、正面形状が横長の平行四辺形の積層体である。   In the step shown in FIG. 3A (laminated divided body forming step), the first laminated body 24 and the second laminated body 25 are virtually connected to the edge 23 of the first glass substrate 21a (second glass substrate 21b). Cut along the cutting line L11 at a predetermined interval parallel to the plane (semi-perpendicular 45 ° with respect to the bottom surface of the glass substrate 21). As a method for cutting, for example, a cutting means such as a wire saw is used. The interval between the cutting lines L11 is set according to the size and shape of the cross prism 11 to be finally manufactured. By the cutting as described above, the first stacked divided body 31 and the second stacked divided body 32 shown in FIG. 3B are formed. The 1st lamination division body 31 and the 2nd lamination division body 32 are lamination bodies of a parallelogram whose front shape is horizontally long.

図３（ｃ）に示す工程では、切断面である第１積層分割体３１の上下面３１ａ及び第２積層分割体３２の上下面３２ａに、鏡面研磨加工を施す。鏡面研磨加工は、上記したような、ラッピング加工やポリッシュ加工などである。なお、前記した加工方法の他に、研削加工を用いてもよい。   In the step shown in FIG. 3C, mirror polishing is applied to the upper and lower surfaces 31a of the first stacked divided body 31 and the upper and lower surfaces 32a of the second stacked divided body 32, which are cut surfaces. The mirror polishing process is a lapping process or a polishing process as described above. In addition to the above-described processing method, grinding may be used.

図４（ａ）に示す工程（波長分離膜甲形成工程）では、第１積層分割体３１及び第２積層分割体３２に、例えば、赤色光反射膜１３（ＲＤＭ：レッド・ダイクロイック・ミラー）を形成する。赤色光反射膜１３は、例えば、無機物の薄膜が多層に形成された誘電体多層膜である。また、赤色光反射膜１３は、例えば、真空蒸着法やスパッタ法によって形成される。また、赤色光反射膜１３は、例えば、波長６００ｎｍ前後の成分を反射させる反射膜である。まず、第１積層分割体３１の一方の面に赤色光反射膜１３を形成する。次に、第２積層分割体３２の一方の面にも、例えば上記と同様の方法によって、赤色光反射膜１３を形成する。   In the step (wavelength separation film former forming process) shown in FIG. 4A, for example, a red light reflection film 13 (RDM: red dichroic mirror) is provided on the first laminated divided body 31 and the second laminated divided body 32. Form. The red light reflecting film 13 is, for example, a dielectric multilayer film in which inorganic thin films are formed in multiple layers. The red light reflecting film 13 is formed by, for example, a vacuum deposition method or a sputtering method. The red light reflecting film 13 is a reflecting film that reflects components having a wavelength of around 600 nm, for example. First, the red light reflecting film 13 is formed on one surface of the first stacked divided body 31. Next, the red light reflection film 13 is also formed on one surface of the second stacked divided body 32 by, for example, the same method as described above.

図４（ｂ）に示す工程では、第１積層分割体３１と第２積層分割体３２とを、交互に積層すると共に本接着して第３積層体４１を形成する。まず、反射防止膜１５が形成された第１積層分割体３１と、反射防止膜１５が形成されていない第２積層分割体３２とを接着剤（図示せず）を用いて接着する。本接着に用いられる接着剤としては、例えば、ＵＶ接着剤が挙げられる。ＵＶ接着剤は、例えば、波長３００ｎｍ〜４００ｎｍに出力特性のある紫外線光源を用いることにより硬化する。また、粘度の低いＵＶ接着剤を用いれば、硬化時間が短くて済み、硬化時の熱の発生も少なくて済む。   In the step shown in FIG. 4B, the first stacked divided body 31 and the second stacked divided body 32 are alternately stacked and finally bonded to form the third stacked body 41. First, the 1st lamination division body 31 in which antireflection film 15 was formed, and the 2nd lamination division body 32 in which antireflection film 15 was not formed are pasted up using an adhesive (not shown). Examples of the adhesive used for the main adhesion include a UV adhesive. The UV adhesive is cured by using, for example, an ultraviolet light source having output characteristics at a wavelength of 300 nm to 400 nm. If a UV adhesive having a low viscosity is used, the curing time can be shortened and the generation of heat during curing can be reduced.

まず、赤色光反射膜１３が上面にくるように、第１積層分割体３１と第２積層分割体３２とを交互に配置する。このとき、第１積層分割体３１と第２積層分割体３２との端面が平行にならないように（互いの端面が９０°で交差するように）配置する。接着剤は、第１積層分割体３１又は第２積層分割体３２のどちらか一方に塗布して、貼り合わせ後に硬化させる。そのあと同様の手順で、第１積層分割体３１と第２積層分割体３２とが交互になるように接着する。   First, the first laminated division bodies 31 and the second laminated division bodies 32 are alternately arranged so that the red light reflection film 13 is on the upper surface. At this time, it arrange | positions so that the end surface of the 1st lamination | stacking division body 31 and the 2nd lamination | stacking division body 32 may not become parallel (each other end surface cross | intersects at 90 degrees). The adhesive is applied to either the first layered divided body 31 or the second layered divided body 32 and cured after bonding. Thereafter, in the same procedure, the first stacked divided body 31 and the second stacked divided body 32 are bonded in an alternating manner.

図４（ｃ）に示す工程（積層分割体形成工程）では、第３積層体４１を切断して、第３積層分割体４２を形成する。第３積層体４１の切断は、第１積層分割体３１及び第２積層分割体３２の上下面３１ａ，３２ａ（図３（ｃ）参照）と直交する切断ラインＬ１２に沿って切断する。各切断ラインＬ１２は、交差部４３に沿ったラインである。   In the step shown in FIG. 4C (laminated divided body forming step), the third laminated body 41 is cut to form the third laminated divided body 42. The 3rd laminated body 41 is cut | disconnected along the cutting line L12 orthogonal to the upper-lower surfaces 31a and 32a (refer FIG.3 (c)) of the 1st laminated division body 31 and the 2nd laminated division body 32. FIG. Each cutting line L12 is a line along the intersection 43.

図５（ａ）に示す工程では、第３積層分割体４２の上下面を鏡面研磨する。鏡面研磨する面としては、各切断ラインＬ１２に沿って切断された切断面である。鏡面研磨加工は、例えば、上記したようなラッピング加工やポリッシュ加工などである。   In the step shown in FIG. 5A, the upper and lower surfaces of the third laminated divided body 42 are mirror-polished. The surface to be mirror-polished is a cut surface cut along each cutting line L12. The mirror polishing process is, for example, a lapping process or a polishing process as described above.

図５（ｂ）に示す工程（波長分離膜乙形成工程）では、第３積層分割体４２の一方の面に、例えば、青色光反射膜１４（ＢＤＭ：ブルー・ダイクロイック・ミラー）を形成する。青色光反射膜１４は、例えば、赤色光反射膜１３と同様に、無機物の薄膜が多層に形成された誘電体多層膜である。また、青色光反射膜１４は、例えば、真空蒸着法やスパッタ法によって形成される。また、青色光反射膜１４は、例えば、波長４５０ｎｍ前後の成分を反射させる反射膜である。   In the step shown in FIG. 5B (wavelength separation film formation step), for example, a blue light reflection film 14 (BDM: blue dichroic mirror) is formed on one surface of the third laminated divided body 42. The blue light reflection film 14 is, for example, a dielectric multilayer film in which inorganic thin films are formed in multiple layers, similarly to the red light reflection film 13. The blue light reflecting film 14 is formed by, for example, a vacuum deposition method or a sputtering method. The blue light reflection film 14 is a reflection film that reflects components having a wavelength of around 450 nm, for example.

図５（ｃ）に示す工程（積層分割体分離工程）では、第３積層分割体４２を仮接着した部分を除去して、複数のプリズム柱対５１（５１ａ，５１ｂ）に分離形成する。第３積層分割体４２を分離させることにより、青色光反射膜１４が形成された第１プリズム柱対５１ａと、青色光反射膜１４が形成されていない第２プリズム柱対５１ｂとに分離される。仮接着剤を除去する方法として、例えば、ホットプレート（図示せず）が用いられる。ホットプレート上に、第３積層分割体４２を載置して加熱することにより、仮接着剤が溶解して除去され、第１プリズム柱対５１ａと第２プリズム柱対５１ｂとに分離する。   In the step shown in FIG. 5C (laminated divided body separating step), the portion where the third laminated divided body 42 is temporarily bonded is removed to form a plurality of prism column pairs 51 (51a, 51b). By separating the third laminated divided body 42, the first prism column pair 51a on which the blue light reflecting film 14 is formed and the second prism column pair 51b on which the blue light reflecting film 14 is not formed are separated. . As a method for removing the temporary adhesive, for example, a hot plate (not shown) is used. By placing and heating the third laminated divided body 42 on the hot plate, the temporary adhesive is dissolved and removed, and the first prism column pair 51a and the second prism column pair 51b are separated.

図６（ａ）に示す工程（プリズム柱対接合工程）では、第１プリズム柱対５１ａと第２プリズム柱対５１ｂとを略方形となるように接合すると共に接着剤を用いて本接着し、クロスプリズム体６１を形成する。本接着に用いられる接着剤としては、上記したように、例えば、ＵＶ接着剤が挙げられる。ＵＶ接着剤は、上記したように、例えば、波長３００ｎｍ〜４００ｎｍに出力特性のある紫外線光源を用いることにより硬化する。接着剤は、第１プリズム柱対５１ａ又は第２プリズム柱対５１ｂのどちらか一方に塗布して、貼り合わせ後に硬化させる。   In the step shown in FIG. 6A (prism column pair joining step), the first prism column pair 51a and the second prism column pair 51b are joined so as to be substantially square, and are finally bonded using an adhesive, A cross prism body 61 is formed. As above-mentioned as an adhesive agent used for this adhesion | attachment, UV adhesive agent is mentioned, for example. As described above, the UV adhesive is cured by using, for example, an ultraviolet light source having output characteristics at a wavelength of 300 nm to 400 nm. The adhesive is applied to either the first prism column pair 51a or the second prism column pair 51b, and is cured after bonding.

以上により、第１プリズム柱対５１ａを構成する第１直角プリズム１２ａと第２直角プリズム１２ｂとの間には、赤色光反射膜１３ａが形成される。一方、第２プリズム柱対５１ｂを構成する第３直角プリズム１２ｃと第４直角プリズム１２ｄとの間には、赤色光反射膜１３ｂが形成される。   As described above, the red light reflecting film 13a is formed between the first right-angle prism 12a and the second right-angle prism 12b constituting the first prism column pair 51a. On the other hand, a red light reflecting film 13b is formed between the third right-angle prism 12c and the fourth right-angle prism 12d constituting the second prism column pair 51b.

このように、第１プリズム柱対５１ａに形成された赤色光反射膜１３ａの端部と、第２プリズム柱対５１ｂに形成された赤色光反射膜１３ｂの端部とを接合する前に、図５（ｃ）に示す工程で、第３積層分割体４２を構成する複数のプリズム柱対５１（５１ａ，５１ｂ）を分離させることで、第３積層分割体４２に含まれる赤色光反射膜１３のピッチ誤差（累積誤差）を解消させることができる。その結果、クロスプリズム体６１を形成した際、赤色光反射膜１３ａの端部と、赤色光反射膜１３ｂの端部との接合部に、段差が発生することを抑えることができる。   Thus, before joining the end of the red light reflecting film 13a formed on the first prism column pair 51a and the end of the red light reflecting film 13b formed on the second prism column pair 51b, FIG. In the step shown in FIG. 5C, by separating the plurality of prism column pairs 51 (51a, 51b) constituting the third stacked divided body 42, the red light reflecting film 13 included in the third stacked divided body 42 is separated. Pitch error (cumulative error) can be eliminated. As a result, when the cross prism body 61 is formed, it is possible to suppress the occurrence of a step at the junction between the end of the red light reflection film 13a and the end of the red light reflection film 13b.

また、図４（ｃ）に示す工程において、第３積層体４１から第３積層分割体４２に切断する際、正規の切断ラインＬ１２に対し傾斜して切断する場合がある。従来であれば、赤色光反射膜１３の面を合わせるために、第３積層分割体４２を回転させるなどして合わせようとしても、複数のプリズム柱対５１（５１ａ，５１ｂ）がプレート状に接合されているので、角度の調整が困難である。しかしながら、本実施形態では、第３積層分割体４２からプリズム柱対５１（５１ａ，５１ｂ）にそれぞれ分離して、単数の第１プリズム柱対５１ａと単数の第２プリズム柱対５１ｂとを接合するので、切断ラインＬ１２に対し傾斜して切断したとしても、第１プリズム柱対５１ａと第２プリズム柱対５１ｂとの角度の調整をしやすくすることができる。これにより、従来、赤色光反射膜１３ａと赤色光反射膜１３ｂとの膜面の角度精度が３０秒〜１分あったものが、０秒〜３０秒に抑えることができる。   Further, in the step shown in FIG. 4C, when cutting from the third stacked body 41 to the third stacked divided body 42, the cutting may be performed with an inclination with respect to the regular cutting line L12. In the prior art, a plurality of prism column pairs 51 (51a, 51b) are joined in a plate shape even if the third laminated divided body 42 is rotated in order to match the surface of the red light reflecting film 13 or the like. Therefore, it is difficult to adjust the angle. However, in the present embodiment, the single stacked first prism column pair 51a and the single second prism column pair 51b are joined by separating the third stacked divided body 42 into prism column pairs 51 (51a and 51b). Therefore, even if the cutting is performed with an inclination with respect to the cutting line L12, the angle between the first prism column pair 51a and the second prism column pair 51b can be easily adjusted. As a result, the conventional film surface angle accuracy of the red light reflecting film 13a and the red light reflecting film 13b can be suppressed to 0 seconds to 30 seconds.

図６（ｂ）に示す工程（クロスプリズム形成工程）では、クロスプリズム体６１を所定の長さに切断する。所定の長さとは、クロスプリズム１１の長さである。   In the step (cross prism forming step) shown in FIG. 6B, the cross prism body 61 is cut into a predetermined length. The predetermined length is the length of the cross prism 11.

以上の製造方法により、図６（ｃ）に示すような、赤色光反射膜１３ａと赤色光反射膜１３ｂとの段差が抑えられたクロスプリズム１１が完成する。このような製造方法によれば、図５（ｃ）に示す工程において、第３積層分割体４２を仮接着部から分離するので、図６（ａ）に示す工程のように、赤色光反射膜１３ａの端部と赤色光反射膜１３ｂの端部とを合わせてクロスプリズム体６１を形成できる。よって、従来の累積ピッチ誤差を含む状態で接合する方法と比較して、段差Ｈ（図１０（ｂ）参照）を少なくすることができる。本実施形態によれば、３μｍ〜１２μｍあった従来の段差Ｈが、クロスプリズム体６１の手前側や奥側の段差（ズレ）も含め、３μｍ以下に抑えることができる。これにより、スクリーン上に投影する画像を、従来と比較して正規の画像に近づけて表示させることができる。更に、複数のガラス基板２１を多段状に積層して形成する方法を用いれば、一度にたくさんの、更に品質のバラツキが抑えられたクロスプリズムを形成することができる。   By the above manufacturing method, the cross prism 11 in which the step between the red light reflecting film 13a and the red light reflecting film 13b is suppressed as shown in FIG. 6C is completed. According to such a manufacturing method, since the third laminated divided body 42 is separated from the temporary adhesion portion in the step shown in FIG. 5C, the red light reflection film is formed as in the step shown in FIG. The cross prism body 61 can be formed by combining the end of 13a and the end of the red light reflecting film 13b. Therefore, the level difference H (see FIG. 10B) can be reduced as compared with the conventional method of joining in a state including the accumulated pitch error. According to this embodiment, the conventional level difference H of 3 μm to 12 μm can be suppressed to 3 μm or less, including the level difference (displacement) on the near side and the back side of the cross prism body 61. As a result, the image projected on the screen can be displayed closer to the regular image than in the conventional case. Furthermore, if a method of laminating a plurality of glass substrates 21 in a multi-stage shape is used, a large number of cross prisms can be formed at a time with further reduced quality variations.

以上詳述したように、本実施形態のクロスプリズム１１の製造方法によれば、以下に示す効果が得られる。   As described above in detail, according to the method for manufacturing the cross prism 11 of the present embodiment, the following effects can be obtained.

（１）本実施形態によれば、第１プリズム柱対５１ａと第２プリズム柱対５１ｂとを接合する前に、図５（ｃ）に示す工程において、複数のプリズム柱対５１（５１ａ，５１ｂ）からなる第３積層分割体４２を分離するので、第３積層分割体４２を形成するまでに蓄積された赤色光反射膜１３のピッチ誤差（赤色光反射膜１３の間隔のバラツキ）を解消させることが可能となる。よって、第６（ａ）に示す工程において、第１プリズム柱対５１ａと第２プリズム柱対５１ｂとを接合する際、赤色光反射膜１３ａと赤色光反射膜１３ｂとを合わせながら接合することができる。これにより、赤色光反射膜１３ａと赤色光反射膜１３ｂとの段差が抑えられた高精度なクロスプリズム１１を形成することができる。その結果、例えば、２つの赤色光反射膜１３（１３ａ，１３ｂ）の接合付近の光の散乱がなくなり、スクリーン上に正規の画像に近い画像を表示させることができる。更に、複数ある第１プリズム柱対５１ａ及び第２プリズム柱対５１ｂの中から、赤色光反射膜１３の位置が揃うものを選択して接合することができるので、歩留まりが向上し生産コストを下げることができる。   (1) According to the present embodiment, before joining the first prism column pair 51a and the second prism column pair 51b, in the step shown in FIG. 5C, a plurality of prism column pairs 51 (51a, 51b). ) Is separated, the pitch error of the red light reflecting film 13 accumulated until the third laminated divided body 42 is formed (variation in the spacing between the red light reflecting films 13) is eliminated. It becomes possible. Therefore, in the step shown in FIG. 6A, when the first prism column pair 51a and the second prism column pair 51b are bonded, the red light reflection film 13a and the red light reflection film 13b may be bonded together. it can. Thereby, the highly accurate cross prism 11 in which a step between the red light reflecting film 13a and the red light reflecting film 13b is suppressed can be formed. As a result, for example, light scattering near the junction of the two red light reflecting films 13 (13a, 13b) is eliminated, and an image close to a regular image can be displayed on the screen. Furthermore, since it is possible to select and join the plurality of first prism column pairs 51a and second prism column pairs 51b with the same position of the red light reflecting film 13, the yield can be improved and the production cost can be reduced. be able to.

（２）本実施形態によれば、クロスプリズム１１をプレート状のガラス基板２１から形成するので、クロスプリズム１１を三角柱の原料を貼りあわせて形成する方法と比較して、かかる費用を抑えることができる。加えて、複数のガラス基板２１を多段状に積層して形成する方法を用いれば、一度にたくさんのクロスプリズム１１を形成することができる。   (2) According to the present embodiment, since the cross prism 11 is formed from the plate-shaped glass substrate 21, it is possible to reduce the cost compared to a method in which the cross prism 11 is formed by bonding triangular prism raw materials. it can. In addition, if a method of laminating a plurality of glass substrates 21 in a multistage manner is used, a large number of cross prisms 11 can be formed at a time.

（３）本実施形態によれば、ガラス基板２１からプレート状の第１積層分割体３１（第２積層分割体３２）や第３積層分割体４２を形成し、これらに研磨加工や赤色光反射膜１３、更に青色光反射膜１４を形成するので、一つずつ加工する方法と比較して、効率良く又品質のバラツキを抑えて加工することができる。   (3) According to the present embodiment, the plate-like first laminated divided body 31 (second laminated divided body 32) and the third laminated divided body 42 are formed from the glass substrate 21, and polishing or red light reflection is formed on these. Since the film 13 and the blue light reflecting film 14 are formed, the film can be processed efficiently and with less variation in quality as compared with the method of processing one by one.

なお、実施形態は上記に限定されず、以下のような形態で実施することもできる。   In addition, embodiment is not limited above, It can also implement with the following forms.

（変形例１）
上記したように、クロスプリズム１１を構成する直角プリズム１２は、直角二等辺三角形に限定されず、例えば、略直角な角を有する三角柱の形状を有していてもよい。 (Modification 1)
As described above, the right-angle prism 12 constituting the cross prism 11 is not limited to a right-angled isosceles triangle, and may have, for example, a triangular prism shape having a substantially right angle.

（変形例２）
上記したように、クロスプリズム１１に形成する波長分離膜は、赤色光反射膜１３や青色光反射膜１４に限定されず、必要な波長分離膜（反射膜）を適宜選定して形成することが望ましい。 (Modification 2)
As described above, the wavelength separation film formed on the cross prism 11 is not limited to the red light reflection film 13 and the blue light reflection film 14, and a necessary wavelength separation film (reflection film) may be appropriately selected and formed. desirable.

（変形例３）
上記したように、赤色光反射膜１３ａと赤色光反射膜１３ｂとを分離する形成方法に代えて、青色光反射膜１４が分離するようにしてもよい。波長分離膜（反射膜）は、分離させたくない膜の優先順位を基に決定することが望ましい。 (Modification 3)
As described above, instead of the forming method of separating the red light reflecting film 13a and the red light reflecting film 13b, the blue light reflecting film 14 may be separated. The wavelength separation film (reflection film) is desirably determined based on the priority order of films that are not desired to be separated.

（変形例５）
上記のように、クロスプリズム１１を３つの光（例えば、赤色光、緑色光、青色光）を合成する色光合成光学系として用いることに限定されず、例えば、光の進行方向を逆にすれば、色光分離光学系として用いることができる。 (Modification 5)
As described above, the cross prism 11 is not limited to being used as a color light combining optical system that combines three lights (for example, red light, green light, and blue light). For example, if the light traveling direction is reversed, It can be used as a color light separation optical system.

（変形例６）
上記したように、クロスプリズム１１の１面に反射防止膜１５をつけるために、図２（ｂ）の工程において、第１ガラス基板２１ａの片面に反射防止膜１５を形成することに限定されず、例えば、クロスプリズム１１の４面に反射防止膜１５をつけるために、第１ガラス基板２１ａの両面（第２ガラス基板２１ｂの両面）に反射防止膜１５を形成するようにしてもよい。反射防止膜１５は、製品の仕様に応じて適宜選択して形成する。 (Modification 6)
As described above, in order to attach the antireflection film 15 to one surface of the cross prism 11, it is not limited to forming the antireflection film 15 on one surface of the first glass substrate 21a in the process of FIG. For example, in order to attach the antireflection film 15 to the four surfaces of the cross prism 11, the antireflection film 15 may be formed on both surfaces of the first glass substrate 21a (both surfaces of the second glass substrate 21b). The antireflection film 15 is appropriately selected and formed according to product specifications.

クロスプリズムの構成を模式的に示す斜視図。The perspective view which shows the structure of a cross prism typically. クロスプリズムの製造方法を工程順に示す斜視図。The perspective view which shows the manufacturing method of a cross prism in order of a process. クロスプリズムの製造方法を工程順に示す斜視図。The perspective view which shows the manufacturing method of a cross prism in order of a process. クロスプリズムの製造方法を工程順に示す斜視図。The perspective view which shows the manufacturing method of a cross prism in order of a process. クロスプリズムの製造方法を工程順に示す斜視図。The perspective view which shows the manufacturing method of a cross prism in order of a process. クロスプリズムの製造方法を工程順に示す斜視図。The perspective view which shows the manufacturing method of a cross prism in order of a process. 従来のクロスプリズムの製造方法を工程順に示す断面図。Sectional drawing which shows the manufacturing method of the conventional cross prism in order of a process. 従来のクロスプリズムの製造方法を工程順に示す断面図。Sectional drawing which shows the manufacturing method of the conventional cross prism in order of a process. 従来のクロスプリズムの製造方法を工程順に示す模式図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は斜視図、（ｃ）は斜視図。It is a schematic diagram which shows the manufacturing method of the conventional cross prism in order of a process, (a) is sectional drawing, (b) is a perspective view, (c) is a perspective view. 従来のクロスプリズムの製造方法を示す断面図。Sectional drawing which shows the manufacturing method of the conventional cross prism.

符号の説明Explanation of symbols

１１…クロスプリズム、１２…直角プリズム、１２ａ…第１直角プリズム、１２ｂ…第２直角プリズム、１２ｃ…第３直角プリズム、１２ｄ…第４直角プリズム、１２ｅ…側面、１３…波長分離膜甲としての赤色光反射膜、１３ａ…赤色光反射膜、１３ｂ…赤色光反射膜、１４…波長分離膜乙としての青色光反射膜、１５…反射防止膜、１６…接合部、２１…透明基板としてのガラス基板、２１ａ…第１ガラス基板、２１ｂ…第２ガラス基板、２２…上下面、２３…端縁、２４…第１積層体、２５…第２積層体、３１…第１積層分割体、３１ａ…上下面、３２…第２積層分割体、３２ａ…上下面、４１…第３積層体、４２…第３積層分割体、４３…交差部、５１…プリズム柱対、５１ａ…第１プリズム柱対、５１ｂ…第２プリズム柱対、６１…クロスプリズム体。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Cross prism, 12 ... Right angle prism, 12a ... 1st right angle prism, 12b ... 2nd right angle prism, 12c ... 3rd right angle prism, 12d ... 4th right angle prism, 12e ... Side surface, 13 ... As wavelength separation film former Red light reflection film, 13a ... Red light reflection film, 13b ... Red light reflection film, 14 ... Blue light reflection film as wavelength separation film, 15 ... Antireflection film, 16 ... Junction, 21 ... Glass as transparent substrate Substrate, 21a ... first glass substrate, 21b ... second glass substrate, 22 ... upper and lower surfaces, 23 ... edge, 24 ... first laminated body, 25 ... second laminated body, 31 ... first laminated divided body, 31a ... Upper and lower surfaces, 32 ... 2nd laminated division body, 32a ... Upper and lower surfaces, 41 ... 3rd laminated body, 42 ... 3rd laminated division body, 43 ... Intersection, 51 ... Prism column pair, 51a ... 1st prism column pair, 51b ... 2nd prism column pair, 61 Cross prism body.

Claims (4)

４つの直角三角柱プリズムを略Ｘ字状に接着して形成されるクロスプリズムの製造方法であって、
二以上の枚数の板状の透明基板を積層配置して仮接着し、前記仮接着された面に半直角な角度で、前記透明基板の積層配置物を二以上の枚数の板状に切断して第１積層分割体と第２積層分割体とを形成する積層分割体形成工程と、
前記第１積層分割体と前記第２積層分割体との片面に波長分離膜甲を成膜する波長分離膜甲形成工程と、
前記波長分離膜甲を成膜後、前記第１積層分割体と前記第２積層分割体とを交互に、且つ前記波長分離膜甲を挟むように積層配置して本接着し、前記本接着された面に垂直な角度で二以上の枚数の板状に切断して第３積層分割体を形成する積層分割体形成工程と、
前記第３積層分割体の片面に波長分離膜乙を形成する波長分離膜乙形成工程と、
前記第３積層分割体の仮接着部分を除去し、前記波長分離膜乙が形成された第１プリズム柱対と、前記波長分離膜乙が形成されていない第２プリズム柱対とに分離する積層分割体分離工程と、
前記第１プリズム柱対と前記第２プリズム柱対とを、略方形となるように、且つ前記波長分離膜乙を挟むように本接着するプリズム柱対接合工程と、
を有することを特徴とするクロスプリズムの製造方法。 A method of manufacturing a cross prism formed by adhering four right triangular prisms in a substantially X shape,
Two or more plate-like transparent substrates are stacked and temporarily bonded, and the transparent substrate stacked arrangement is cut into two or more plates at a semi-perpendicular angle to the temporarily bonded surface. A laminated division forming step of forming the first laminated division and the second laminated division;
A wavelength separation membrane former forming step of forming a wavelength separation membrane former on one side of the first lamination division and the second lamination division;
After the wavelength separation film former is formed, the first laminated division body and the second lamination division body are alternately laminated and sandwiched so as to sandwich the wavelength separation film upper, and the main adhesion is performed. A layered divided body forming step of forming a third layered divided body by cutting into two or more sheets at an angle perpendicular to the surface;
A wavelength separation film B forming step of forming a wavelength separation film B on one side of the third laminated divided body;
The temporary separation part of the third laminated division body is removed, and the first prism column pair in which the wavelength separation film B is formed and the second prism column pair in which the wavelength separation film B is not formed are separated A divided body separation step;
A prism column pair joining step for permanently adhering the first prism column pair and the second prism column pair so as to be substantially square and sandwiching the wavelength separation film B;
A method for producing a cross prism, comprising: 請求項１に記載のクロスプリズムの製造方法であって、
前記プリズム柱対接合工程のあと、接合されたプリズム柱対をクロスプリズムの長さに切断して前記クロスプリズムを形成するクロスプリズム形成工程を有することを特徴とするクロスプリズムの製造方法。 It is a manufacturing method of the cross prism according to claim 1,
A method of manufacturing a cross prism, comprising: a cross prism forming step of forming the cross prism by cutting the bonded prism column pair into a cross prism length after the prism column pair joining step. 請求項１又は２に記載のクロスプリズムの製造方法であって、
前記プリズム柱対接合工程は、前記第１プリズム柱対に挟持された前記波長分離膜甲の端部と、前記第２プリズム柱対に挟持された前記波長分離膜甲の端部との位置を一致させて、前記第１プリズム柱対と前記第２プリズム柱対とを接合することを特徴とするクロスプリズムの製造方法。 A method of manufacturing a cross prism according to claim 1 or 2,
In the prism column pair joining step, the positions of the end of the wavelength separation membrane back sandwiched between the first prism column pair and the end of the wavelength separation membrane back sandwiched between the second prism column pair are determined. A method of manufacturing a cross prism, characterized in that the first prism column pair and the second prism column pair are joined together. 請求項１に記載のクロスプリズムの製造方法であって、
前記透明基板は、光学ガラスであることを特徴とするクロスプリズムの製造方法。 It is a manufacturing method of the cross prism according to claim 1,
The method for manufacturing a cross prism, wherein the transparent substrate is optical glass.

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