JP2008151530A - 磁界検出用半導体集積回路 - Google Patents
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Abstract
【課題】磁電変換素子の特性劣化などを検出できるようにする。
【解決手段】バスパー4にテスト電流I1が流されることによって検出部3bがホール素子2に生じる電圧を検出し、変動電圧ΔVが所定の判定しきい値よりも大きいことを条件として「異常」と判定し、出力部3cが出力電圧を一定電圧とするため、異常が生じたときでも出力部3cがテスト結果を外部に出力することができ、たとえホール素子2の特性劣化等の問題が生じたとしても外部回路5に情報伝達することができる。
【選択図】図2
【解決手段】バスパー4にテスト電流I1が流されることによって検出部3bがホール素子2に生じる電圧を検出し、変動電圧ΔVが所定の判定しきい値よりも大きいことを条件として「異常」と判定し、出力部3cが出力電圧を一定電圧とするため、異常が生じたときでも出力部3cがテスト結果を外部に出力することができ、たとえホール素子2の特性劣化等の問題が生じたとしても外部回路5に情報伝達することができる。
【選択図】図2
Description
本発明は、半導体チップ内に磁電変換素子を構成した磁界検出用半導体集積回路に関する。
例えばホール素子は、周知のように半導体のホール効果を利用して磁界を電気信号に変換する磁電変換素子として用いられる。尚、ホール素子による電流センサの一例が特許文献1に開示されている。この特許文献1に開示されている構成によれば、電流によって発生する磁界を検出する電流センサにおいて、電流中心からの距離が異なる位置に磁気抵抗素子を複数個設けている。
特開平7−209336号公報
磁電変換素子には電圧が印加されるため、磁電変換素子の断線、短絡などの故障については、外部から信号変化を検出することで故障検出可能であるものの、磁電変換素子の経時的な特性劣化、または、集積回路の特性が許容範囲から外れたとしても、この変化を半導体集積回路の外部から特定できないという問題を生じている。
本発明は、磁電変換素子の特性劣化などを検出できるようにした磁界検出用半導体集積回路を提供することを目的とする。
請求項1に係る発明によれば、導電パターンが磁電変換素子周辺に配設され当該導電パターンにテスト電流が流されることによって磁電変換素子に生じる電気信号を検出部により検出し、この検出された電気信号に基づいて出力部がテスト結果を外部に出力するため、磁電変換素子の特性劣化等の問題が生じたとしてもこの問題を半導体集積回路の外部から特定できるようになる。
請求項2に係る発明によれば、テスト電流を一定電流としているため、テスト電流を印加するタイミングを図って検出する必要なく磁電変換素子の特性劣化等の影響を認識しやすくなる。
請求項3に係る発明のように、電流印加回路が導電パターンにテスト電流を流すようにしても良い。この場合、電流印加タイミングを容易に調整できる。また、請求項4に係る発明のように、外部から導電パターンにテスト電流を流すようにしても良い。外部から導電パターンにテスト電流を流すことができれば導電パターンに対してより大電流を流すことができる。これにより、幅広い磁界印加範囲で磁界印加テストを実施できるようになる。
請求項5に係る発明によれば、多層構造の半導体チップ内の配線層によって導電パターンを構成しているため、磁電変換素子に対してテスト用の磁界をより近接して与えることができテスト精度をより向上できる。この場合、請求項6に係る発明のように、半導体チップ内の配線層をアルミ等の金属層及び/又は多結晶シリコン層によって構成すると良い。
請求項7に係る発明によれば、薄板状の磁電変換素子の周縁部脇に位置して半導体チップ内の層構造により導電パターンを構成しているため、磁電変換素子に対してテスト用の磁界をより近接して与えることができテスト精度をより向上できる。この場合、請求項8に係る発明のように、導電パターンを薄板状の磁電変換素子の周縁部に沿って形成すると良い。
請求項9に係る発明によれば、導電パターンを矩形枠型に形成しているため、半導体集積回路内に導電パターンを効率よく配置することができ、集積回路内のスペースを無駄なく有効活用できる。
請求項17に係る発明によれば、リードフレームが導電パターンを構成しているため、例えば半導体の層構造で導電パターンを構成するのに比較して通電電流をより多く流すことができ、幅広い磁界印加範囲で磁界印加テストを実施できる。
(第1の実施形態)
以下、本発明の磁界検出用半導体集積回路を、ホール素子にテスト磁界を与えることによって自己診断(テスト)する機能を備えたホールICに適用した第1の実施形態について図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の磁界検出用半導体集積回路を、ホール素子にテスト磁界を与えることによって自己診断(テスト)する機能を備えたホールICに適用した第1の実施形態について図面を参照しながら説明する。
図1(a)および図1(b)は、ホールIC内のホール素子の周辺構造を縦断面図によって模式的に示しており、図2は、ホールIC内の電気的構成をブロック図によって概略的に示している。
図2に示すように、ホールIC1(磁界検出用半導体集積回路に相当)は、正方形もしくは矩形薄板状のホール素子2と、このホール素子2の周辺に配設されたIC回路部3と、このIC回路部3からテスト電流が印加可能に構成された導電パターンとしてのバスバー4とを備えて構成される。ホールIC1は、外部回路5から電圧Vccが与えられることによって動作する磁気センサ回路である。
ホール素子2は、周知のように半導体のホール効果を利用して磁界を電圧(電気信号)に変換する磁電変換素子であり、その構成材料としては、シリコン(Si)半導体や、インジウム砒素(InAs)、ガリウム砒素(GaAs)等の化合物半導体等が用いられる。
図1(a)および図1(b)は、ホール素子2およびバスパー4の配設関係の一例を模式的な縦断面図により示している。これらの図1(a)および図1(b)に示すように、ホール素子2は、ホールIC1を構成する絶縁層6の内部に埋込まれて構成されている。バスバー4は、ホール素子2の脇に離間して配設され、当該バスバー4の電流I1の経路がホール素子2の近隣位置に設けられている。
より具体的に詳述すれば、ホールIC1を構成する半導体チップ内は多層構造で構成され、当該多層構造内の一層を用いてホール素子2が半導体材料により例えば薄板状に埋込まれると共に、そのホール素子2の周縁部脇の近隣に位置してバスパー4が埋込まれている。図1(a)、図1(b)および図2に示すように、バスパー4がホール素子2の周縁部に沿って形成されていると良い。また図2に示すように、バスパー4は平面的には矩形枠型(コの字型)に形成されていると良い。
また図1(a)に示すように、ホール素子2とバスパー4は互いに異なる層に構成されていても良いし、図1(b)に示すように、ホール素子2とバスパー4は同一層に構成されていても良い。
バスパー4は、ホールIC1の多層構造内の一層内において例えば長尺な直線状のパターンによって平長板形状(薄板状)に構成されている。バスパー4は、例えば、アルミ等の金属層及び/又は不純物導入型の多結晶シリコンなどによる半導体層構造で構成されており、その厚さがサブミクロンオーダーで形成されているが、上述したようにホール素子2の近隣に配設されているため、一定のテスト電流I1(被測定電流)を流すことによって強いテスト磁界をホール素子2に与えることができる。
IC回路部3は、電流印加回路3a、検出部3b、出力部3cなどの電気的機能ブロックに分割構成される。電流印加回路3aは、外部回路5から電圧Vccの供給を受けてバスパー4に対し所定の一定の電流I1をテスト電流として流すことを可能とした電流源を備えた周辺回路である。検出部3bは、ホール素子2に対して電気的に接続されており、ホール素子2に生じた電圧(電気信号)を検出する。出力部3cは、検出部3bの検出電圧に基づいてテスト結果を外部に出力するように構成されている。
IC回路部3には、電流印加回路3a、検出部3b、出力部3cがテスト用に搭載されているため、これらの回路が互いに同期してテスト処理を行うことによってテスト電流を流すタイミングや検出タイミング、出力タイミングなどの連携を簡単に行うことができ、外部回路5に依存することなくホールIC1単体での自己診断を容易に行うことができる。
図3は、このようなホールICの使用形態を概略的に示している。
この図3に示すように、ホールIC1は、SIP(System in Package)化されており、外部に設けられた磁石7から磁界が与えられると、この磁界を磁気検知面2a(図1(a)および図1(b)参照)にて検知し、IC回路部3の検出部3bおよび出力部3cを通じて外部回路5に対し測定結果を出力するように構成されている。
この図3に示すように、ホールIC1は、SIP(System in Package)化されており、外部に設けられた磁石7から磁界が与えられると、この磁界を磁気検知面2a(図1(a)および図1(b)参照)にて検知し、IC回路部3の検出部3bおよび出力部3cを通じて外部回路5に対し測定結果を出力するように構成されている。
上記構成のテスト時の作用について図4および図5を参照しながら説明する。本実施形態に係るホールIC1には、当該ホールIC1の特性が許容範囲から外れたり経時的な特性劣化を生じることを想定し、内部で自己診断する機能が設けられている。図4は、ホールICが単体でテストするときの自己診断動作をフローチャートにより概略的に示しており、図5は、検出結果に応じた出力電圧の時間変化を概略的に示している。
まず図5に示すように、テストを開始するときには電流印加回路3aが所定のバイアス電流をバスバー4に印加する。検出部3bはこのときホール素子2に生じた電圧を検出し出力部3cの出力電圧OUTがある所定時間だけ一定の基準電圧V1となることを確認し、その上で外部から磁界が検出されていないと判断した上で診断開始する。
図4に示すように、電流印加回路3aがバスバー4にテスト用の一定の所定電流I1を通電させる(ステップS1)。すると、ホール素子2には磁界に応じた電圧変動ΔVを生じる。検出部3bはこの電圧変動ΔVが所定範囲に収まっているか否かを判定する。電流印加回路3aがテスト電流I1の電流値をある一定値に設定してバスバー4に電流I1を印加すると、ホール素子2が正常に動作している場合には磁界変化に対するホール素子2の検出電圧変化(感度)もある範囲内に収束する。したがって、電圧変動ΔVが判定用しきい値以下であれば「正常」であると判定し(ステップS3:NO)、電圧変動ΔVが判定用しきい値よりも大きいことを条件として「異常」であると判定する(ステップS3:YES)。ステップS3において「異常」と判定された場合には、出力電圧OUTを固定電圧V2として外部回路5に与えることで外部回路5に対して「異常」であることを情報伝達する。逆に「正常」である場合には、電圧V1に変動電圧ΔVを加えた電圧V3を出力電圧OUTとして出力する。
本実施形態によれば、バスパー4にテスト電流I1が流されることによってホール素子2に生じる電圧を検出部3bにより検出し、変動電圧ΔVが所定の判定しきい値よりも大きいことを条件として「異常」と判定し、出力電圧OUTを一定電圧V2とするため、異常が生じたときでも出力部3cが異常であるというテスト結果を外部に出力することができ、たとえホール素子2の特性劣化等の問題が生じたとしてもホールIC1が単独で問題を検出することができ、この旨を外部回路5に対して情報伝達することができる。
テスト電流I1を一定電流としているため、検出部3bはテスト電流I1が印加されるタイミングを図って検出する必要がなくなりホール素子2の特性劣化等の影響を認識しやすい。電流印加回路3aをホールIC1内に備えているため、他の検出部3bや出力部3cと同期をとってテスト電流I1をバスバー4に印加することができ、タイミングを図って検出する必要がなくなりホール素子2の特性劣化等の影響を認識しやすい。
ホールIC1内の多層構造の配線層によってバスバー4を構成しているため、ホール素子2に対してより近接して磁界を与えることができテスト精度をより向上できる。薄板状のホール素子2の周縁部脇に位置してバスバー4を構成しているため、ホール素子2に対してより近接して磁界を与えることができ、幅広い磁界印加範囲で磁界印加テストを実施できる。ホール素子2の周縁部に沿ってバスバー4を構成しているため、ホール素子2に対してより近接して磁界を与えることができ、幅広い磁界印加範囲で磁界印加テストを実施できる。また、従来構造に比較して部品点数を削減できるため筐体に対する搭載性を良化できる。
バスバー4を矩形枠型(コの字型)に構成しているため、ホールIC1内にバスバー4を効率よく配置することができ、ホールIC1による半導体チップ内のスペースを無駄なく有効活用でき、1枚の半導体ウェハから得られる半導体チップの製造個数も増すことができる。
特許文献1の構成では、測定電流が流れる導体と複数の磁気抵抗素子を設置することで複数のセンサを作成し、それぞれの出力を比較している。このため複数の磁気抵抗素子に対応して回路部も複数必要となる。本実施形態によれば、電流印加回路3a、検出部3b、出力部3cをそれぞれ1つのみで構成しているため、回路を小規模化してホール素子2の特性劣化を検出することができ、ホールIC1が単独で自己診断できる。
(第2の実施形態)
図6は、本発明の第2の実施形態の説明を示すもので、前述実施形態と異なるところは、外部から導電パターンにテスト電流を印加しているところにある。また、外部からリードフレームを介して導電パターンに印加しているところにある。前述実施形態と同一部分については同一符号を付して以下異なる部分のみ説明する。
図6は、本発明の第2の実施形態の説明を示すもので、前述実施形態と異なるところは、外部から導電パターンにテスト電流を印加しているところにある。また、外部からリードフレームを介して導電パターンに印加しているところにある。前述実施形態と同一部分については同一符号を付して以下異なる部分のみ説明する。
図6は、ホールICと外部回路の接続状態を模式的に示している。この図6に示すように、外部回路5に代わる外部回路15は、ホールIC1に代わるホールIC11に対してテスト電流I2を印加する機能を備えている。具体的には、ホールIC11の半導体パッケージにはリードフレーム16が固着されており、バスバー4にはリードフレーム16を通じて外部回路15から電流を印加可能に構成されている。すなわち、外部回路15からバスパー4にテスト電流を流すことができるように構成されている。
前述実施形態と同様に、バスパー4にテスト電流が流れるとホール素子2に磁界が与えられるが、検出部3bは、当該磁界によってホール素子2に生じる電圧(電気信号)を検出し、出力部3cはこの検出電圧に応じたテスト結果を外部回路15に対して出力するようになっている。
本実施形態によれば、外部回路15からテスト電流をバスバー4に印加可能になっているため、ホールIC内部からバスバー4に電流を印加する構成に比較して、より大電流をホールIC11内に印加できるようになる。
(第3の実施形態)
図7は、本発明の第3の実施形態を示すもので、前述実施形態と異なるところは、リードフレームによってテスト電流を印加するための導電パターンを構成しているところにある。前述実施形態と同一部分については同一符号を付して説明を省略し、以下異なる部分についてのみ説明する。
図7は、本発明の第3の実施形態を示すもので、前述実施形態と異なるところは、リードフレームによってテスト電流を印加するための導電パターンを構成しているところにある。前述実施形態と同一部分については同一符号を付して説明を省略し、以下異なる部分についてのみ説明する。
図7は、ホールIC1に代わるホールIC17の構成を模式的に示している。この図7に示すように、IC回路部3には、ワイヤボンディング等を介してリードフレーム18が導電パターンとして接続されている。このリードフレーム18は、半導体パッケージ内部に独立して構成され、リードフレーム18に流れる電流I3の経路の周辺にホール素子2が配設されている。リードフレーム18は、矩形状のホール素子2の周縁部に沿って矩形枠型(例えばコの字型)に配設されている。
リードフレーム18は、その厚さが例えば数百μm〜数mmの範囲であり、半導体の多層構造を用いて導電パターンを構成するのに比較して厚い。したがって、前述実施形態に比較してもリードフレーム18に対して大きなテスト電流I3を流すことができ、ホール素子2に対して強いテスト磁界を印加できる。しかも、ホール素子2の周辺の近隣に配設されているため、強いテスト磁界を与えることができる。
本実施形態によれば、リードフレーム18を使用しているため大電流を印加することができる。
また、外部回路15からIC回路部3に電圧を与え、IC回路部3がリードフレーム18に対してテスト電流I3を流すため、リードフレーム18に対して大きなテスト電流I3を流すことができ、ホール素子2に対して強いテスト磁界を与えることができる。これにより、幅広い範囲で磁界印加テストを実施できる。
また、外部回路15からIC回路部3に電圧を与え、IC回路部3がリードフレーム18に対してテスト電流I3を流すため、リードフレーム18に対して大きなテスト電流I3を流すことができ、ホール素子2に対して強いテスト磁界を与えることができる。これにより、幅広い範囲で磁界印加テストを実施できる。
(第4の実施形態)
図8は、本発明の第4の実施形態を示すもので、前述実施形態と異なるところは、外部からリードフレーム18に直接電流を印加するように構成しているところにある。前述実施形態と同一部分については同一符号を付して説明を省略し、以下異なる部分についてのみ説明する。
図8は、本発明の第4の実施形態を示すもので、前述実施形態と異なるところは、外部からリードフレーム18に直接電流を印加するように構成しているところにある。前述実施形態と同一部分については同一符号を付して説明を省略し、以下異なる部分についてのみ説明する。
図8は、ホールIC1に代わるホールIC19の構成を模式的に示している。この図8に示すように、外部回路15は、リードフレーム18に対して電流I4を印加可能に構成されている。すなわち外部回路15は、リードフレーム18に対して大きな電流I4を直接印加できるように構成されている。したがって、前述実施形態に比較してもリードフレーム18に対して大きなテスト電流I4を流すことができ、ホール素子2に対して強いテスト磁界を与えることができる。これにより幅広い磁界印加範囲で磁界印加テストを実施できる。
(他の実施形態)
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下に示す変形または拡張が可能である。
導電パターンとしてバスパー4を矩形枠型(コの字型)に構成した実施形態を示したが、これに代えて、U字型またはC字型に構成しても良いし、コイル状に構成しても良い。
ホールIC1内部にコンデンサを設け、コンデンサの蓄電電圧によってテスト電流を印加するように構成しても良い。
磁電変換素子としてホール素子2を適用したが、その他、磁気抵抗効果(MRE:Magneto Resistive Effect)素子、磁気インピーダンス(MI:Magneto Impedance)素子等を適用できる。
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下に示す変形または拡張が可能である。
導電パターンとしてバスパー4を矩形枠型(コの字型)に構成した実施形態を示したが、これに代えて、U字型またはC字型に構成しても良いし、コイル状に構成しても良い。
ホールIC1内部にコンデンサを設け、コンデンサの蓄電電圧によってテスト電流を印加するように構成しても良い。
磁電変換素子としてホール素子2を適用したが、その他、磁気抵抗効果(MRE:Magneto Resistive Effect)素子、磁気インピーダンス(MI:Magneto Impedance)素子等を適用できる。
図面中、1、11、17、19はホールIC(磁界検出用半導体集積回路)、2はホール素子(磁電変換素子)、3aは電流印加回路、3bは検出部、3cは出力部、4はバスバー(導電パターン)、5、15は外部回路、18はリードフレームを示す。
Claims (18)
- 外部から与えられる磁界を検知し電気信号に変換する磁電変換素子を備えた磁界検出用半導体集積回路であって、
前記磁電変換素子周辺に配設された導電パターンと、
前記導電パターンにテスト電流が流されることによって前記磁電変換素子に生じる電気信号を検出する検出部と、
この検出部により検出された電気信号に基づいてテスト結果を出力する出力部とを備えたことを特徴とする磁界検出用半導体集積回路。 - 前記テスト電流は一定の電流であることを特徴とする請求項1記載の磁界検出用半導体集積回路。
- 前記導電パターンにテスト電流を流す電流印加回路を備えたことを特徴とする請求項1または2記載の磁界検出用半導体集積回路。
- 前記導電パターンに流すテスト電流が外部から印加可能に構成されていることを特徴とする請求項1または2記載の磁界検出用半導体集積回路。
- 前記導電パターンは、多層構造の半導体チップ内の配線層により構成されていることを特徴とする請求項1ないし4の何れかに記載の磁界検出用半導体集積回路。
- 前記半導体チップ内の配線層は、アルミ等の金属層及び/又は多結晶シリコン層によって構成されていることを特徴とする請求項5記載の磁界検出用半導体集積回路。
- 前記磁電変換素子は、多層構造の半導体チップ内の所定層に対して薄板状に構成され、
前記導電パターンは、前記薄板状の磁電変換素子の周縁部脇に位置して半導体チップ内の層構造により構成されていることを特徴とする請求項1ないし6の何れかに記載の磁界検出用半導体集積回路。 - 前記導電パターンは、前記薄板状の磁電変換素子の周縁部に沿って形成されていることを特徴とする請求項7記載の磁界検出用半導体集積回路。
- 前記導電パターンは、矩形枠型に形成されていることを特徴とする請求項1ないし8の何れかに記載の磁界検出用半導体集積回路。
- 前記導電パターンは、U字型またはC字型に形成されていることを特徴とする請求項1ないし8の何れかに記載の磁界検出用半導体集積回路。
- 前記導電パターンは、コイル状に構成されていることを特徴とする請求項1ないし8の何れかに記載の磁界検出用半導体集積回路。
- 前記磁電変換素子は、多層構造の半導体チップ内の所定層に対して薄板状に構成され、
前記導電パターンは、半導体チップ内において前記磁電変換素子と同一層に構成されていることを特徴とする請求項1ないし11の何れかに記載の磁界検出用半導体集積回路。 - 前記磁電変換素子は、多層構造の半導体チップ内の所定層に対して薄板状に構成され、
前記導電パターンは、半導体チップ内において前記磁電変換素子と異なる層に構成されていることを特徴とする請求項1ないし11の何れかに記載の磁界検出用半導体集積回路。 - 前記磁電変換素子は、ホール素子であることを特徴とする請求項1ないし13の何れかに記載の磁界検出用半導体集積回路。
- 前記ホール素子は、その構成材料がシリコン(Si)による半導体材料や、インジウム砒素(InAs)、または、ガリウム砒素(GaAs)による化合物半導体材料によって構成されていることを特徴とする請求項14記載の磁界検出用半導体集積回路。
- 前記磁電変換素子は、磁気抵抗効果(MRE:Magneto Resistive Effect)素子、または、磁気インピーダンス(MI:Magneto Impedance)素子により構成されていることを特徴とする請求項1ないし13の何れかに記載の磁界検出用半導体集積回路。
- 半導体集積回路の内部配線としてリードフレームを備え、
前記リードフレームが、前記導電パターンを構成していることを特徴とする請求項1ないし16の何れかに記載の磁界検出用半導体集積回路。 - 外部から蓄電するコンデンサを備え、
前記蓄電されたコンデンサからテスト電流を印加可能に構成されていることを特徴とする請求項1ないし17の何れかに記載の磁界検出用半導体集積回路。
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