JP2008139417A - ペリクル収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 樹脂のシート材を成形してペリクル収納容器本体とし、容器本体外形の対角線を横切り、なおかつ他のリブと交差しない複数のリブを容器本体に設ける。捩れ変形に対してリブが高い抵抗力を発揮し、また、リブ自身が変形の起点となることが無い。その結果、補強体を用いずとも容器本体の剛性、特には捩れ方向の剛性を著しく高めることができ、軽量かつ高剛性のペリクル収納容器を低コストで得ることができる。
【選択図】 図1
Description
しかしながら、真空成形の場合、肉厚のものが成形できないこと、リブである程度の補強はできるものの、基本的に同じ板厚のシートを折り曲げるだけなので、高剛性のものが作りにくいという問題がある。
従来用いられてきた補強用リブは、図5に示すような、基本的に外形の対角線54a、54bを結ぶ方向に設けられたX字型のものであった。しかし、この相互に交差するX字型のリブでは、予期に反して、その交差部(連続部)59が存在することによって、捩れ方向の剛性が極度に低下し、図6に示すように何れか一方の対角線に沿ってトレイが捻れて、対頂点が近づくように曲がってしまう。
そのため、リブだけでは十分な剛性が確保できず、例えば特許文献2に示すように、別の補強体と締結して剛性を確保することが行われていた。
また、補強体自体だけでなく補強体を容器本体に締結するための部品が必要になるうえ、それを容器本体に組み付ける工数も必要になるため、容器本体だけの場合と比較してコストが大幅に増加する。また、この他に、補強体と容器本体の間隙の洗浄が困難であるという清浄度に関する問題もある。
以上のことから、本発明の目的は、他の補強体を用いずとも、保管、輸送中の外力に耐え、内部に収納したペリクルへの異物付着を防止する十分な剛性を有する、軽量かつ低コストのペリクル収納容器を提供することにある。
ここで、前記リブが横切る対角線と成す角度は30度以上であること(請求項2)が好ましい。また、前記リブは他のリブと交差しないことが必要であるが、端部で他のリブもしくはペリクルを載置する台座に接続(請求項3)されていても良い。
そして、前記リブの各々において、リブの高さは一様でなく、異なる高さの領域を有する(請求項4)こととすれば、このリブの効果を最大限発揮する剛性に優れた形状とすることができる。
本発明は、一辺が500mmを超えるような大型のペリクル収納容器について適用した場合に特に効果が大きい。しかし、この大きさに限定されるものではなく、樹脂のシート材を成形したペリクル収納容器であれば、一辺が200mmといった小型のものでも適用可能である。小型のものでは剛性の問題は少ないが、構造により剛性をより高めることができれば、シート厚を薄くすることができ、大型のものと同様に軽量化、コストダウンが可能となる。
図1は本発明によるペリクル収納容器(本体)の一例を示す概略図、図2はペリクル収納容器全体の斜視図である。また、図5は従来用いられてきたリブ構造の容器本体、図6は図5の容器本体の角部を持ち上げた際の変形の態様を示したものである。
このとき、本来はこの捻れ変形にリブ53bが対抗する必要があるが、交差するリブ53aによりこのリブが交差部59で切断されているため、十分な抵抗力を発揮することが出来ない。
しかも、交差するリブ53aは対角線54bとほぼ一致しているため、このリブ自体が最も屈曲しやすくなり、図6に示す如く変形の基点となってしまう。
本発明はこの点に鑑み成されたもので、本発明者は種々の形状を試作し、比較検討の結果、本発明を完成させた。
容器本体21、蓋体22は樹脂板材の接着により製作することもできるが、清浄度、量産性の面から真空成形法により製作されることが特に望ましい。
また、蓋体、容器本体の材質は、アクリル、ABS、PVCなどの樹脂から適宜選択することができるが、帯電による異物付着を低減するため、帯電防止材料を使用することが好適である。そして、蓋体は内部を確認しやすくするため透明または半透明、容器本体は付着した異物を確認しやすいよう黒色であることが良い。
一般に用いられているペリクルの外形長辺・短辺の比率では、ほとんどの場合、このようなデザインの方が収まり良く、図1の例よりも実用的である。
リブは捻れ変形時、図4および図6に示すようにそれ自身が変形の屈曲線になりやすいが、このように、リブ41中に別の面(段差部により生じた面42)を設けることで、リブ自体の変形量を小さくすることができる。言い換えれば、この面42は、リブ41を補強するための別の補強リブを構成しているとも言える。
そして、これらリブの幅、高さ、配置、本数、断面形状等は、必要とされる容器本体の剛性および成形性に応じて適宜設計すればよく、これらの図の形態に何ら限定されるものではない。
帯電防止ABS(黒色)のシート材を用い、真空成形法により図8に示す形状のペリクル収納容器本体81を製作した。
この収納容器本体81の大きさは、外形690×540mm、高さ30mm、シートの厚さは3mmとした。各リブの幅は20mmである。対角線を横切るリブ83の他に、さらに補強のため中央部にリブ83とほぼ平行に配置されたリブ84を設けている。
リブ83の天面と段差面の接続角度は直角が望ましいが、成形性を考慮して60度とした。なお、中央部に配置したリブ84は、輸送中にペリクル膜が揺れて接触することを防ぐため、高さは20mmと低くした。
そして、この容器本体にペリクルを固定するために、収納するペリクルの位置に合わせてPPS製の固定ピン85およびABS製のピンホルダー86をボルト(図示せず)にて取り付けた。固定ピン85はピンホルダー86中に挿入保持されるが、ロック機構により脱着が可能な構造となっている。
その後、クリーンルーム内にて清浄に純水洗浄を行い、完成したペリクル収納容器本体81のペリクル載置台82に実際にペリクル87を搭載し、固定ピン85にて固定した。
また、固定ピン85を取り外し、ペリクルフレーム87の固定ピン85が挿入されていた冶具孔を観察したが、特に汚染は見られなかった。そして、この容器本体の重量は1.38kgであった。
上記実施例と同様にして、真空成形法により図9に示す形状のペリクル収納容器本体91を製作し、この容器本体91に固定ピン94およびピンホルダー95を取り付けた。その後、クリーンルーム内にて清浄に純水洗浄を行い、完成した容器本体91のペリクル載置台92に実際にペリクル96を搭載し、固定ピン94にて固定した。
評価として、上記実施例と同様に、この容器本体91を水平に静置した後、容器本体の1箇所のコーナー部を少し上方へ持ち上げてみた。すると、この容器本体91はリブ93に沿って図6の如く大きく折れ曲がりが生じていた。
上記実施例、比較例1と同様にして、真空成形法により図7に示す形状のペリクル収納容器本体71を製作し、固定ピン72およびピンホルダー73を取り付けた。
また、この容器本体71の外側には補強のための6000系アルミニウム合金の棒状補強体75,76(幅40mm×厚さ5mm)を日の字型に組み合わせ、ABS樹脂製のピンホルダー73、補強体固定具74および容器本体71とボルト(図示せず)にてしっかりと締結し、容器本体を完成させた。
その後、クリーンルーム内にて清浄に純水洗浄を行い、完成した容器本体に実際にペリクル77を搭載し、固定ピン72にて固定した。
その結果、容器本体にはほとんど捩れ変形は認められず、また、搭載したペリクルも容器本体表面にしっかりと固定されたままで外観上も特に不具合は認められなかった。
そして、固定ピン72をペリクル77の冶具孔から引き抜き、暗室内のハロゲンランプにて観察したが、冶具孔周辺は全く清浄なままであった。
しかしながら、この容器本体の重量は2.96kgであり、上記実施例と比較して2倍以上の重量であった。
12 ペリクル載置台
13 リブ
14 容器本体の外形に基づく対角線
a リブが横切る対角線と成す角度
21 ペリクル収納容器本体
22 蓋体
23 クリップ
31 ペリクル収納容器本体
32 ペリクル載置台座
33a、33b、33c、33d リブ
34 リブ
35 容器本体の外形に基づく対角線
41 リブ
42 段差部により生じた面
51 ペリクル収納容器本体
52 ペリクル載置台
53a、53b リブ
54a、54b 容器本体外形に基づく対角線
55、56、57、58 容器本体コーナー部
59 リブの交差部
71 ペリクル収納容器本体
72 ペリクル固定ピン
73 ピンホルダー
74 補強体固定具
75 アルミニウム合金製補強体(短)
76 アルミニウム製補強体(長)
77 ペリクル
81 ペリクル収納容器本体
82 ペリクル載置台
83 リブ
84 リブ
85 (ペリクル用)固定ピン
86 ピンホルダー
87 ペリクル
91 ペリクル収納容器本体
92 ペリクル載置台
93 リブ
94 ペリクル固定ピン
95 ピンホルダー
96 ペリクル
Claims (4)
- ペリクルを載置する容器本体と、ペリクルを被覆すると共に容器本体と周縁部で嵌め合い係止する蓋体からなるペリクル収納容器において、容器本体は樹脂のシート材を成形したものであり、容器本体外形の対角線を横切り、なおかつ他のリブと交差しない複数のリブを容器本体に設けたことを特徴とするペリクル収納容器。
- 前記リブが横切る対角線と成す角度は30度以上であることを特徴とする請求項1に記載のペリクル収納容器。
- 前記リブは端部で他のリブもしくはペリクルを載置する台座に接続されていることを特徴とする請求項1または2に記載のペリクル収納容器。
- 前記リブの各々において、リブの高さは一様でなく、異なる高さの領域を有することを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のペリクル収納容器。
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