JP5126657B2 - 研磨装置 - Google Patents
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Description
10 ウェハ保持装置
20 研磨ヘッド 21 研磨部材
22 研磨パッド 23 研磨面
30 回転駆動装置 31 サーボモータ
36 モータ電流センサー基板(電流検出器)
37 信号処理基板(トルク算出部)
38 トルクモニター(判定部および表示部)
39 エンコーダ(位置測定器)
Claims (4)
- 被研磨物を保持する保持装置と、前記保持装置に保持された前記被研磨物を研磨可能な研磨部材と、前記被研磨物に対して前記研磨部材を相対移動させる駆動装置とを備え、前記研磨部材を該研磨部材よりも大きい前記被研磨物に当接させながら前記駆動装置により相対移動させて前記被研磨物の研磨を行うように構成された研磨装置において、
前記駆動装置は、前記研磨部材を前記相対移動させるためのトルクを生ずる電気モータを有して構成されており、
前記トルクを生ずるために前記電気モータに供給される電流の大きさを検出する電流検出器と、
前記電流検出器に検出された前記電流の大きさに基づいて、前記トルクの大きさを算出するトルク算出部と、
前記トルク算出部で算出される前記トルクの変化に基づいて、装置の異常の有無を判定する判定部と、
前記トルク算出部で算出された前記トルクの大きさを表示する表示部と、
前記被研磨物に対する前記研磨部材の相対位置を測定する位置測定器とを備え、
前記表示部は、前記位置測定器により測定された前記研磨部材の前記相対位置とともに、前記研磨部材が前記相対位置に位置するときの前記トルクの大きさを表示し、
前記判定部は、前記研磨中における前記相対位置の変化に応じた、前記研磨部材と前記被研磨物との接触面積の変化に伴う前記トルクの変化に基づいて、装置の異常の有無を判定することを特徴とする研磨装置。 - 正常な研磨における前記研磨部材の相対位置と前記トルクの大きさとの関係が記憶されたデータテーブルを備え、
前記判定部は、前記研磨中における前記相対位置の変化に応じた前記トルクの変化と、前記データテーブルに記憶された前記関係とを比較することにより、装置の異常の有無を判定することを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記駆動装置において、前記電気モータにより前記研磨部材を回転駆動するように構成されることを特徴とする請求項1または2に記載の研磨装置。
- 前記電気モータがサーボモータであり、
前記トルクを生ずるために必要な前記サーボモータの駆動電流を該サーボモータに出力供給するサーボアンプを備え、
前記電流検出器は、前記サーボアンプから出力されて前記サーボモータに供給される前記駆動電流の大きさを検出することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の研磨装置。
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