JP2008128402A - Solenoid valve - Google Patents

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JP2008128402A JP2006315628A JP2006315628A JP2008128402A JP 2008128402 A JP2008128402 A JP 2008128402A JP 2006315628 A JP2006315628 A JP 2006315628A JP 2006315628 A JP2006315628 A JP 2006315628A JP 2008128402 A JP2008128402 A JP 2008128402A
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Hironori Ishikawa
浩規 石川
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Aisin Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a solenoid valve advantageous for reducing the size. <P>SOLUTION: The solenoid valve comprises a body 2 having an inlet port 30, an outlet port 31, and a master valve port 32, a master plunger 4, a master valve element 5 for opening the master valve port 32, and a master energizing element 6 for energizing the master plunger 4 in the direction of closing the master valve port 32. The master plunger 4 includes a slave operating chamber 45, a slave valve port 53, a slave plunger 8 for opening and closing the slave valve port 53, and a slave energizing element 47 for energizing the slave plunger 8 in the direction of closing the slave valve port 53. An excitation coil part 7 generates a magnetic attracting force for moving the master plunger 4 and the slave plunger 8 in the valve opening direction. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は気体または液体等の流体を流す電磁弁に関する。   The present invention relates to an electromagnetic valve for flowing a fluid such as gas or liquid.

従来、電磁弁として、ボディに形成された単一の弁口と、この弁口を閉鎖する単一の弁体と、第１、第２、第３の可動プランジャと、第１、第２、第３の励磁コイル部とを備えるものが知られている（特許文献１）。このものによれば、励磁コイル部の数はプランジャの数と同数個設けられている。第１、第２、第３の励磁コイル部は互いに独立して通電可能とされている。そして、第１の励磁コイル部に通電されると、第１プランジャが開弁方向に移動し、弁体を開弁させる。更に、第１の励磁コイル部および第２の励磁コイル部の双方に通電されると、第１プランジャおよび第２プランジャが開弁方向に移動し、弁体を開弁させる。この場合、第１プランジャによる開弁量と第２プランジャによる開弁量とが合計され、弁体の開弁量は更に増加する。更に、第１の励磁コイル部、第２の励磁コイル部および第３の励磁コイル部の三者に通電されると、第１プランジャ、第２プランジャおよび第３プランジャが開弁方向に移動し、弁体を更に開弁させる。この場合、第１プランジャによる開弁量と第２プランジャによる開弁量と第３プランジャによる開弁量とが合計され、弁体の開弁量は更に増加する。   Conventionally, as a solenoid valve, a single valve port formed in the body, a single valve body that closes the valve port, first, second, and third movable plungers, first, second, A thing provided with the 3rd exciting coil part is known (patent documents 1). According to this, the number of exciting coil portions is the same as the number of plungers. The first, second, and third exciting coil portions can be energized independently of each other. When the first exciting coil portion is energized, the first plunger moves in the valve opening direction and opens the valve body. Further, when both the first excitation coil portion and the second excitation coil portion are energized, the first plunger and the second plunger move in the valve opening direction, thereby opening the valve body. In this case, the valve opening amount by the first plunger and the valve opening amount by the second plunger are summed, and the valve opening amount of the valve body further increases. Furthermore, when the first excitation coil unit, the second excitation coil unit, and the third excitation coil unit are energized, the first plunger, the second plunger, and the third plunger move in the valve opening direction, The valve body is further opened. In this case, the valve opening amount by the first plunger, the valve opening amount by the second plunger, and the valve opening amount by the third plunger are summed, and the valve opening amount of the valve body further increases.

更に、別の電磁弁として、ボディにそれぞれ形成された第１、第２、第３の弁口と、第１の弁口を開閉する第１の弁体と、第２の弁口を開閉する第２の弁体と、第３の弁口を開閉する第３の弁体と、第１、第２、第３の弁体に共通する共通プランジャと、第１、第２、第３の励磁コイル部とを備えるものが知られている（特許文献２）。このものによれば、励磁コイル部の数は弁口の数と同数個である。つまり励磁コイル部の数は弁体の数と同数個である。そして、第１の励磁コイル部に通電されると、共通プランジャが開弁方向に移動し、第１の弁体を開弁させる。更に、第１の励磁コイル部および第２の励磁コイル部の双方に通電されると、共通プランジャが開弁方向に更に移動し、第１の弁体および第２の弁体の双方を開弁させ、第１の弁口および第２の弁口の双方を開放させる。この場合、第１の弁口による開弁量と第２の弁口による開弁量とが合計され、開弁量は増加する。更に、第１の励磁コイル部、第２の励磁コイル部および第３の励磁コイル部の三者に通電されると、共通プランジャが開弁方向に更に移動し、第１の弁体、第２の弁体および第３の弁体の三者を開弁させ、第１の弁口、第２の弁口および第３の弁口の三者を開放させる。この場合、第１の弁口による開弁量と第２の弁口による開弁量と第３の弁口による開弁量とが合計され、開弁量は最も増加する。
実公昭５９−３９２４９号公報 実公昭６０−５１６２号公報 Further, as another electromagnetic valve, first, second, and third valve ports respectively formed in the body, a first valve body that opens and closes the first valve port, and a second valve port that opens and closes A second valve element, a third valve element that opens and closes the third valve port, a common plunger common to the first, second, and third valve elements, and first, second, and third excitations What is provided with a coil part is known (patent document 2). According to this, the number of exciting coil portions is the same as the number of valve openings. That is, the number of exciting coil portions is the same as the number of valve bodies. When the first exciting coil portion is energized, the common plunger moves in the valve opening direction, and opens the first valve body. Further, when both the first exciting coil portion and the second exciting coil portion are energized, the common plunger further moves in the valve opening direction, and both the first valve body and the second valve body are opened. And both the first valve port and the second valve port are opened. In this case, the valve opening amount by the first valve port and the valve opening amount by the second valve port are summed, and the valve opening amount increases. Further, when the first excitation coil unit, the second excitation coil unit, and the third excitation coil unit are energized, the common plunger further moves in the valve opening direction, and the first valve body, The three valve bodies and the third valve body are opened, and the first valve opening, the second valve opening, and the third valve opening are opened. In this case, the valve opening amount by the first valve port, the valve opening amount by the second valve port, and the valve opening amount by the third valve port are summed, and the valve opening amount increases most.
Japanese Utility Model Publication No.59-39249 Japanese Utility Model Publication No. 60-5162

上記した特許文献１，２に係る技術によれば、サイズの小型化が要請されているが、必ずしも充分ではない。   According to the techniques according to Patent Documents 1 and 2 described above, size reduction is required, but it is not always sufficient.

本発明は上記した実情に鑑みなされたものであり、サイズの小型化を図るのに有利な電磁弁を提供することを課題とする。   The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and an object thereof is to provide an electromagnetic valve that is advantageous in reducing the size.

（１）様相１に係る電磁弁は、（ａ）流体が流入する入口ポートと、流体が流出する出口ポートと、入口ポートと出口ポートとの間に設けられた親弁口と、親作動室とをもつボディと、（ｂ）ボディの親作動室内に移動可能に設けられた親プランジャと、（ｃ）親プランジャに取り付けられ親弁口を開閉する親弁体と、（ｄ）ボディの親作動室内に設けられ親弁体がボディの親弁口を閉弁する方向に親プランジャを付勢する親付勢要素と、（ｅ）ボディに設けられ親プランジャを開弁方向に移動させる磁気吸引力を通電により発生させる励磁コイル部とを具備しており、
（ｆ）親プランジャは、（i）空洞状をなす子作動室と、（ii）入口ポート、親弁口および出口ポートに連通可能に設けられ且つ親弁口の開口面積よりも小さな開口面積をもつ子弁口と、（iii）子作動室内に移動可能に配置され励磁コイル部の磁気吸引力により子弁口を開弁させる方向に移動する子プランジャと、（iv）子作動室内に設けられ、子プランジャが子弁口を閉弁する方向に子プランジャを付勢する子付勢要素とを具備していることを特徴とする。 (1) A solenoid valve according to aspect 1 includes: (a) an inlet port through which fluid flows, an outlet port through which fluid flows out, a parent valve port provided between the inlet port and the outlet port, and a parent working chamber (B) a parent plunger movably provided in the parent working chamber of the body, (c) a parent valve body attached to the parent plunger for opening and closing the parent valve port, and (d) a parent of the body. A parent biasing element provided in the working chamber for biasing the parent plunger in a direction in which the parent valve closes the parent valve port of the body; and (e) a magnetic attraction provided in the body for moving the parent plunger in the valve opening direction. An excitation coil unit that generates force by energization,
(F) The parent plunger is provided with (i) a hollow child working chamber, (ii) an opening area provided to be able to communicate with the inlet port, the parent valve port, and the outlet port, and having an opening area smaller than the opening area of the parent valve port. A child valve port, (iii) a child plunger that is movably disposed in the child working chamber and moves in a direction to open the child valve port by the magnetic attractive force of the exciting coil portion, and (iv) a child plunger that is provided in the child working chamber. And a child urging element for urging the child plunger in a direction in which the child plunger closes the child valve port.

励磁コイル部に通電されていないとき、親付勢要素の付勢力により親プランジャは付勢されて親弁口を閉鎖している。また、子付勢要素の付勢力により子プランジャは付勢されて子弁口を閉鎖している。このため流体は電磁弁を流れない。   When the excitation coil portion is not energized, the parent plunger is biased by the biasing force of the parent biasing element to close the parent valve port. Further, the child plunger is urged by the urging force of the child urging element to close the child valve port. For this reason, the fluid does not flow through the solenoid valve.

励磁コイル部に通電されると磁気吸引力が発生する。通電量が増加するにつれて、磁気吸引力が次第に増加する。子プランジャは親プランジャよりも軽量である。通電量が少ないときには磁気吸引力が少ないため、親プランジャは開弁しない。しかしながら子プランジャは親プランジャの空洞状の子作動室に収容されているため、親プランジャよりも小サイズであり且つ軽量である。この結果、子付勢要素の付勢力に抗しつつ、子プランジャが親プランジャよりも優先的に開弁方向に移動し、子弁口が開弁する。この結果、入口ポートの流体は開弁状態の子弁口を通り、出口ポートに吐出される。このように子弁口が開放しているものの、親弁口が開放していないため、電磁弁を流れる流体の流量は少ない。   When the excitation coil is energized, a magnetic attractive force is generated. As the amount of energization increases, the magnetic attractive force gradually increases. The child plunger is lighter than the parent plunger. Since the magnetic attractive force is small when the energization amount is small, the parent plunger does not open. However, since the child plunger is housed in the hollow child working chamber of the parent plunger, it is smaller and lighter than the parent plunger. As a result, the child plunger moves in the valve opening direction preferentially over the parent plunger while resisting the urging force of the child urging element, and the child valve opening is opened. As a result, the fluid in the inlet port passes through the valve opening in the opened state and is discharged to the outlet port. Although the child valve port is thus opened, the flow rate of the fluid flowing through the electromagnetic valve is small because the parent valve port is not opened.

励磁コイル部に通電される通電量が更に増加すると、磁気吸引力が更に増加する。すると、親プランジャが開弁方向に移動し始め、親弁口が開弁し始める。この結果、高圧側の入口ポートの流体は開弁状態の親弁口を通り、低圧側の出口ポートに吐出される。このように子弁口よりも大きな開口面積を有する親弁口が開放しているため、電磁弁を流れる流体の流量は多い。なお、親弁口が開放されているときには、子弁口は開放されていても良いし、閉鎖されていても良い。上記したように本発明の電磁弁によれば、入口ポートから出口ポートに流れる流体の流量を調整することができる。   When the energization amount energized to the exciting coil portion further increases, the magnetic attractive force further increases. Then, the parent plunger starts to move in the valve opening direction, and the parent valve port starts to open. As a result, the fluid at the high-pressure side inlet port passes through the parent valve opening and is discharged to the low-pressure side outlet port. Since the parent valve opening having an opening area larger than the child valve opening is thus opened, the flow rate of the fluid flowing through the electromagnetic valve is large. When the parent valve port is opened, the child valve port may be opened or closed. As described above, according to the solenoid valve of the present invention, the flow rate of the fluid flowing from the inlet port to the outlet port can be adjusted.

更に、親プランジャに形成されている空洞状をなす子作動室に子プランジャが配置されているため、親プランジャの軸芯が延設されている方向において、親プランジャのサイズと子プランジャのサイズとが重なり、サイズの小型化が図られている。   Furthermore, since the child plunger is arranged in the hollow child operation chamber formed in the parent plunger, the size of the parent plunger and the size of the child plunger in the direction in which the axis of the parent plunger is extended, Overlapping, the size is reduced.

上記したボディは、流体が流入する入口ポートと、流体が流出する出口ポートと、入口ポートと出口ポートとの間に設けられた親弁口と、親作動室とをもつ。流体としては液体でも気体でも良く、水素ガス等の燃料、窒素やアルゴンなどの不活性ガス、空気、酸素ガス、水蒸気が例示される。入口ポートは流体供給源に接続されている。出口ポートは流体消費部（例えば燃料電池）、流体排出部等に接続されている。親弁口の開口面積は子弁口の開口面積よりも大きく設定されている。親プランジャは、ボディの親作動室内に移動可能に設けられている。親プランジャは、励磁コイル部に通電するときに形成される磁路の一部を形成する。   The above-described body has an inlet port through which fluid flows, an outlet port through which fluid flows out, a parent valve port provided between the inlet port and the outlet port, and a parent working chamber. The fluid may be liquid or gas, and examples thereof include fuel such as hydrogen gas, inert gas such as nitrogen and argon, air, oxygen gas, and water vapor. The inlet port is connected to a fluid supply. The outlet port is connected to a fluid consumption unit (for example, a fuel cell), a fluid discharge unit, and the like. The opening area of the parent valve opening is set larger than the opening area of the child valve opening. The parent plunger is movably provided in the parent working chamber of the body. The parent plunger forms a part of a magnetic path formed when energizing the exciting coil unit.

親弁体は、親プランジャに取り付けられており、親弁口を開閉する。親付勢要素はボディの親作動室内に設けられており、親弁体がボディの親弁口を閉弁する方向に親プランジャを付勢する。親付勢要素としてはバネが例示される。バネはコイル状のバネ、板状のバネ等が例示される。励磁コイル部は、ボディに設けられており、親プランジャおよび子プランジャを開弁方向に移動させる磁気吸引力を通電により発生させる。   The parent valve body is attached to the parent plunger and opens and closes the parent valve port. The parent biasing element is provided in the parent working chamber of the body, and biases the parent plunger in a direction in which the parent valve body closes the parent valve port of the body. An example of the parent biasing element is a spring. Examples of the spring include a coil spring and a plate spring. The exciting coil unit is provided in the body, and generates a magnetic attraction force that moves the parent plunger and the child plunger in the valve opening direction by energization.

上記した親プランジャは、空洞状をなす子作動室と、子弁口と、子プランジャと、子付勢要素とを備えている。子作動室は親プランジャの内部において空洞状をなす。子弁口は、入口ポート、親弁口および出口ポートに連通可能に設けられており、且つ、親弁口の開口面積よりも小さな開口面積をもつ。子プランジャは、子作動室内に移動可能に配置されており、移動に伴い子弁口を開閉する。子プランジャは、励磁コイル部に通電するときに形成される磁路の一部を形成する。子付勢要素は子作動室内に設けられており、子プランジャが子弁口を閉弁する方向に子プランジャを付勢する。子付勢要素としてはバネが例示される。バネはコイル状のバネ、板状のバネ等が例示される。子付勢要素の付勢力は親付勢要素の付勢力よりも小さく設定されていることが好ましいが、必ずしもこれに限らない。例えば、開弁力を発生させる磁束を親プランジャよりも子プランジャに優先的に透過させ得る場合、あるいは、子プランジャが親プランジャよりも著しく軽量である場合等には、子付勢要素の付勢力と親付勢要素の付勢力とが同じ場合でも良い。   The above-described parent plunger includes a hollow child working chamber, a child valve port, a child plunger, and a child biasing element. The child working chamber has a hollow shape inside the parent plunger. The child valve port is provided so as to be able to communicate with the inlet port, the parent valve port and the outlet port, and has an opening area smaller than the opening area of the parent valve port. The child plunger is movably disposed in the child working chamber, and opens and closes the child valve port as the child plunger moves. The child plunger forms a part of a magnetic path formed when the exciting coil portion is energized. The child urging element is provided in the child working chamber and urges the child plunger in a direction in which the child plunger closes the child valve port. An example of the child biasing element is a spring. Examples of the spring include a coil spring and a plate spring. The biasing force of the child biasing element is preferably set smaller than the biasing force of the parent biasing element, but is not necessarily limited thereto. For example, when the magnetic flux that generates the valve opening force can be transmitted to the child plunger preferentially over the parent plunger, or when the child plunger is significantly lighter than the parent plunger, the biasing force of the child biasing element And the biasing force of the parent biasing element may be the same.

（２）様相２に係る電磁弁によれば、上記様相において、子弁口は、親弁体にこれの厚み方向に貫通するように形成されていることを特徴とする。この場合、子弁口を形成するための部品を用いずとも良く、部品点数の削減を図り得、あるいは、子弁口をボディ自体に形成せずとも良く、ボディの内部構造の複雑化を回避でき、電磁弁の小型化を図るのに有利となる。   (2) According to the electromagnetic valve according to aspect 2, in the above aspect, the child valve port is formed so as to penetrate the parent valve body in the thickness direction thereof. In this case, it is not necessary to use the parts for forming the child valve opening, and the number of parts can be reduced, or the child valve opening need not be formed in the body itself, thereby avoiding the complexity of the internal structure of the body. This is advantageous in reducing the size of the solenoid valve.

（３）様相３に係る電磁弁によれば、上記様相において、子プランジャは、親プランジャの子作動室の内部に収容されていることを特徴とする。子プランジャは、親プランジャに内包されるため、電磁弁の小型化を図るのに有利である。この場合、子プランジャの底部（子弁口側）に凸部を形成できる。凸部は、親プランジャの先端部の内周壁面に接近するように、子プランジャの径外方向に突出していることが好ましい。この結果、子プランジャの凸部と親プランジャの先端部との間の磁気抵抗が低減され、磁路の磁束が子プランジャの凸部と親プランジャの先端部を透過し易くなり、子プランジャへの磁気吸引力を確保できる。この場合、子プランジャの開弁を親プランジャの開弁よりも早期に行うことができる。   (3) According to the solenoid valve according to aspect 3, in the above aspect, the child plunger is housed in the child working chamber of the parent plunger. Since the child plunger is contained in the parent plunger, it is advantageous for reducing the size of the electromagnetic valve. In this case, a convex part can be formed in the bottom part (child valve port side) of a child plunger. It is preferable that the convex portion protrudes outward in the radial direction of the child plunger so as to approach the inner peripheral wall surface of the tip portion of the parent plunger. As a result, the magnetic resistance between the convex portion of the child plunger and the distal end portion of the parent plunger is reduced, and the magnetic flux in the magnetic path is easily transmitted through the convex portion of the child plunger and the distal end portion of the parent plunger. Magnetic attraction can be secured. In this case, the child plunger can be opened earlier than the parent plunger.

（４）様相４に係る電磁弁によれば、上記様相において、親プランジャは、励磁コイル部で発生する磁束を子プランジャに透過させると共に親プランジャの開弁よりも子プランジャの開弁を促進させる磁路案内部を備えていることを特徴とする。この場合、励磁コイル部で発生する開弁用の磁束を磁路案内部により案内し、子プランジャに透過させる。このため、子プランジャの開弁を親プランジャの開弁よりも促進させることができる。磁路案内部としては、透磁率が低い非磁性材料（例えばオーステナイト系のステンレス鋼またはアルミニウム等）、透磁率が低い空気等の流体（気体）が存在する空洞で形成できる。非磁性材料や流体（例えば気体）は、親プランジャや子プランジャを構成する材料よりも透磁率が低いため、子プランジャが優先的に移動して開弁されるように、開弁用の磁束を案内できる。   (4) According to the electromagnetic valve according to aspect 4, in the above aspect, the parent plunger transmits the magnetic flux generated in the exciting coil portion to the child plunger and promotes the opening of the child plunger more than the opening of the parent plunger. A magnetic path guide part is provided. In this case, the magnetic flux for valve opening generated in the exciting coil section is guided by the magnetic path guide section and transmitted through the child plunger. For this reason, the valve opening of the child plunger can be promoted more than the valve opening of the parent plunger. The magnetic path guide portion can be formed of a non-magnetic material having a low magnetic permeability (for example, austenitic stainless steel or aluminum) or a cavity containing a fluid (gas) such as air having a low magnetic permeability. Non-magnetic materials and fluids (for example, gas) have a lower magnetic permeability than the materials that make up the parent plunger and child plunger, so that the magnetic flux for valve opening should be reduced so that the child plunger moves preferentially and is opened. I can guide you.

（５）様相５に係る電磁弁によれば、上記様相において、子付勢要素の付勢力は親付勢要素の付勢力よりも小さく設定されていることを特徴とする。このため子プランジャの開弁動作を、親プランジャの開弁動作よりも確実に早期に行なうことができる。   (5) According to the solenoid valve according to aspect 5, in the above aspect, the urging force of the child urging element is set smaller than the urging force of the parent urging element. For this reason, the valve opening operation of the child plunger can be surely performed earlier than the valve opening operation of the parent plunger.

本発明に係る電磁弁によれば、親弁口が開弁せずに子弁口のみが開弁しているときには、子弁口の開弁による流量特性が得られる。更に、親弁口が開弁すると、親弁口の開弁による流量特性が得られる。親プランジャの子作動室に子プランジャは配置されている。このため親プランジャの軸長方向の寸法と、子プランジャの軸長方向の寸法とが重なるため、当該軸長方向におけるサイズの小型化を図ることができる。   According to the solenoid valve of the present invention, when the parent valve port is not opened and only the child valve port is opened, the flow rate characteristic by opening the child valve port is obtained. Further, when the parent valve port is opened, the flow rate characteristic due to the opening of the parent valve port is obtained. The child plunger is disposed in the child working chamber of the parent plunger. For this reason, since the dimension in the axial length direction of the parent plunger and the dimension in the axial length direction of the child plunger overlap, the size in the axial length direction can be reduced.

（実施形態１）
本発明の実施形態について図１〜図５を参照しつつ説明する。図１に示すように、電磁弁１は、ボディ２と、親プランジャ４と、親弁体５と、親付勢要素としての親バネ６と、励磁コイル部７とを備えている。親プランジャ４は、鉛直線に沿っている軸芯Ｍ１をもつ。ここで、軸芯Ｍ１と平行な方向を軸長方向とする。軸芯Ｍ１と直交する方向を軸直角方向とする。 (Embodiment 1)
An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 1, the electromagnetic valve 1 includes a body 2, a parent plunger 4, a parent valve body 5, a parent spring 6 as a parent urging element, and an exciting coil unit 7. The parent plunger 4 has an axis M1 along the vertical line. Here, a direction parallel to the axis M1 is defined as an axial length direction. A direction orthogonal to the axis M1 is defined as a direction perpendicular to the axis.

図１に示すように、ボディ２は、金属または硬質樹脂で形成された親ボディ２０と、親ボディ２０に取り付けられた磁路形成部材として機能すると共に透磁率が高い材料で形成されたヨーク２１と、磁路形成部材として機能すると共に透磁率が高い材料で形成されたリング状の固定鉄心２２と、バネ荷重調整具２４と、透磁率が低い材料である非磁性材料で形成された支持部材２６とをもつ。支持部材２６は、親プランジャ４を外周側から覆う筒部２６ａと、筒部２６ａの一端（下端）から径外方向に延設されたリング状のフランジ部２６ｃとで形成されている。このため、励磁コイル部７への通電により形成される磁路Ｗ１を、親プランジャ４のうち親弁体５側の先端部４ｐに案内する機能をもつ。   As shown in FIG. 1, the body 2 includes a parent body 20 formed of metal or hard resin, and a yoke 21 that functions as a magnetic path forming member attached to the parent body 20 and is formed of a material having high magnetic permeability. And a ring-shaped stationary iron core 22 that functions as a magnetic path forming member and is made of a material having a high magnetic permeability, a spring load adjuster 24, and a support member that is made of a nonmagnetic material that is a material having a low magnetic permeability 26. The support member 26 is formed by a cylindrical portion 26a that covers the parent plunger 4 from the outer peripheral side, and a ring-shaped flange portion 26c that extends radially outward from one end (lower end) of the cylindrical portion 26a. For this reason, it has the function to guide the magnetic path W1 formed by energization to the exciting coil part 7 to the tip part 4p on the parent valve body 5 side of the parent plunger 4.

図１に示すように、ヨーク２１は、軸長方向に沿って延設されている筒部２１ａと、筒部２１ａの軸長方向の一端（下端）から軸直角方向に沿って外方に延設されている第１フランジ部２１ｃと、筒部２１ａの軸長方向の他端（上端）から軸直角方向に沿って外方に延設されている第２フランジ部２１ｄとをもつ。固定鉄心２２はリング形状をなしており、ヨーク２１の内側において親プランジャ４の上側に配置されている。固定鉄心２２は、軸直角方向に沿っている第１リング面２２ａと、第１リング面２２ａの内周端に繋がると共に軸長方向に沿った円筒形状をなす第１内周壁面２２ｂと、第１内周壁面２２ｂの上端に繋がると共に軸直角方向に沿った第２リング面２２ｃと、第２リング面２２ｃの内周端に繋がると共に軸長方向に沿った第２内周壁面２２ｄと、第２内周壁面２２ｄで区画されている取付孔２２ｅとを備えている。第１リング面２２ａ、第１内周壁面２２ｂ、第２内周壁面２２ｄ、第１リング面２２ａ、第２リング面２２ｃは軸芯Ｍ１の回りを１周している。   As shown in FIG. 1, the yoke 21 extends outward along a direction perpendicular to the axis from a cylindrical portion 21 a extending along the axial length direction and one end (lower end) of the cylindrical portion 21 a in the axial length direction. It has the 1st flange part 21c provided, and the 2nd flange part 21d extended outward from the other end (upper end) of the axial direction of the cylinder part 21a along the direction orthogonal to an axis. The fixed iron core 22 has a ring shape and is disposed on the upper side of the parent plunger 4 inside the yoke 21. The fixed iron core 22 includes a first ring surface 22a extending in a direction perpendicular to the axis, a first inner peripheral wall surface 22b connected to the inner peripheral end of the first ring surface 22a and having a cylindrical shape along the axial length direction, A second ring surface 22c connected to the upper end of the first inner peripheral wall surface 22b and along the direction perpendicular to the axis; a second inner peripheral wall surface 22d connected to the inner peripheral end of the second ring surface 22c and along the axial length direction; 2 and a mounting hole 22e defined by an inner peripheral wall surface 22d. The first ring surface 22a, the first inner peripheral wall surface 22b, the second inner peripheral wall surface 22d, the first ring surface 22a, and the second ring surface 22c make one round around the axis M1.

図１に示すように、ボディ２は、流体が流入するように横方向に開口する高圧側の入口ポート３０と、流体が流出するように下方向に開口する低圧側の出口ポート３１と、入口ポート３０と出口ポート３１との間に設けられた円形状の親弁口３２と、親弁口３２に対面する親作動室３４とをもつ。入口ポート３０は流体供給源３０Ａ（例えば水素ガス、水素含有ガスなどの燃料を供給する燃料供給源）に接続されている。親弁口３２は、ボディ２の筒体２７の弁座２８の先端部（上端部）に円形状に形成されている。親弁口３２の軸芯Ｍ２は上下方向（重力方向）に沿っており、軸芯Ｍ１と同軸的とされている。弁座２８の外壁面２８ｐは、下方に向かうにつれて径大となる円錐面状をなす傾斜面をもち、水分などを流下させ得るようにされている。   As shown in FIG. 1, the body 2 includes a high-pressure side inlet port 30 that opens laterally so that fluid flows in, a low-pressure side outlet port 31 that opens downward so that fluid flows out, and an inlet A circular parent valve port 32 provided between the port 30 and the outlet port 31 and a parent working chamber 34 facing the parent valve port 32 are provided. The inlet port 30 is connected to a fluid supply source 30A (for example, a fuel supply source that supplies fuel such as hydrogen gas or hydrogen-containing gas). The parent valve port 32 is formed in a circular shape at the tip (upper end) of the valve seat 28 of the cylinder 27 of the body 2. The axis M2 of the parent valve port 32 extends along the vertical direction (the direction of gravity) and is coaxial with the axis M1. The outer wall surface 28p of the valve seat 28 has an inclined surface having a conical surface shape that becomes larger in diameter toward the lower side so that moisture or the like can flow down.

出口ポート３１の内壁面３１ｉは円筒形状をなしており、内径が上下方向に沿って実質的に同一とされている。出口ポート３１は流体消費部３１Ａ（例えば燃料電池の燃料極）側に繋がる。入口ポート３０と出口ポート３１との間にはリング通路３６が設けられている。リング通路３６は、入口ポート３０、出口ポート３１、親弁口３２に連通または連通可能とされている。   The inner wall surface 31i of the outlet port 31 has a cylindrical shape, and the inner diameter is substantially the same along the vertical direction. The outlet port 31 is connected to the fluid consuming part 31A (for example, the fuel electrode of the fuel cell). A ring passage 36 is provided between the inlet port 30 and the outlet port 31. The ring passage 36 communicates with or can communicate with the inlet port 30, the outlet port 31, and the parent valve port 32.

図１に示すように、親プランジャ４は透磁率が高い金属材料（例えば鉄系等の軟磁性材料）で形成されており、固定鉄心２２の下面側に対面するようにボディ２の親作動室３４内において固定鉄心２２の下方に配置されている。親プランジャ４は、親作動室３４内において矢印Ｈ１，Ｈ２方向（上下方向、重力方向）に沿って移動可能に設けられている。   As shown in FIG. 1, the parent plunger 4 is made of a metal material having a high magnetic permeability (for example, a soft magnetic material such as iron), and the parent working chamber of the body 2 faces the lower surface side of the fixed iron core 22. 34 is disposed below the fixed iron core 22. The parent plunger 4 is provided in the parent working chamber 34 so as to be movable along the directions of arrows H1, H2 (vertical direction, gravity direction).

図２に示すように、親プランジャ４は、軸長方向に沿った円筒形状の第１外周壁面４ａと、第１外周壁面４ａの上端に繋がる円錐面状の対向面４ｂと、円錐面状の対向面４ｂの上端に繋がると共に軸長方向に沿った円筒形状の第２外周壁面４ｃと、第２外周壁面４ｃの上端に繋がると共に軸直角方向に沿った第１リング面４ｄとをもつ。円錐面状の対向面４ｂは、固定鉄心２２に向かうにつれて外径が小さくなるように傾斜している。なお、第１外周壁面４ａ、対向面４ｂ、第２外周壁面４ｃ、リング面４ｄは、それぞれ、軸芯Ｍ１の回りで１周している。   As shown in FIG. 2, the main plunger 4 includes a cylindrical first outer peripheral wall surface 4a along the axial length direction, a conical surface 4b connected to the upper end of the first outer peripheral wall surface 4a, and a conical surface. It has a cylindrical second outer peripheral wall surface 4c that is connected to the upper end of the opposing surface 4b and extends in the axial direction, and a first ring surface 4d that is connected to the upper end of the second outer peripheral wall surface 4c and extends in the direction perpendicular to the axis. The conical surface 4 b is inclined so that the outer diameter decreases as it goes toward the fixed iron core 22. The first outer peripheral wall surface 4a, the opposing surface 4b, the second outer peripheral wall surface 4c, and the ring surface 4d each make one round around the axis M1.

更に図２に示すように、親プランジャ４は、上面に、つまり固定鉄心２２に対向する面に、空洞状の親バネ室４０を有する。親バネ室４０は固定鉄心２２の下側に位置しており、固定鉄心２２に向けて開口している。親バネ室４０は、軸長方向に沿った内周壁面４０ｉと、軸直角方向に沿った座面４０ｘとを備えている。   Further, as shown in FIG. 2, the parent plunger 4 has a hollow parent spring chamber 40 on the upper surface, that is, on the surface facing the fixed iron core 22. The parent spring chamber 40 is located below the fixed iron core 22 and opens toward the fixed iron core 22. The parent spring chamber 40 includes an inner peripheral wall surface 40i along the axial length direction and a seating surface 40x along the axis perpendicular direction.

図２に示すように、親プランジャ４の円錐面状の対向面４ｂは、固定鉄心２２の第１リング面２２ａにリング状の隙間９ａを介して対面する。親プランジャ４の第２外周壁面４ｃは、固定鉄心２２の第１内周壁面２２ｂにリング状の隙間９ｂを介して対面する。親プランジャ４の第１外周壁面４ａは、支持部材２６の筒部２６ａにリング状の隙間９ｃを介して対面する。親プランジャ４の第１外周壁面４ａには、親プランジャ４の姿勢を安定化させるガイドリング８０が設けられている。要するに、ガイドリング８０は、親プランジャ４の第１外周壁面４ａと支持部材２６の筒部２６ａとの間に介在しておれば良い。親プランジャ４の第２外周壁面４ｃは、固定鉄心２２の第１内周壁面２２ｂにリング状の隙間９ｄを介して対面する。   As shown in FIG. 2, the conical surface 4 b of the parent plunger 4 faces the first ring surface 22 a of the fixed iron core 22 via the ring-shaped gap 9 a. The second outer peripheral wall surface 4c of the parent plunger 4 faces the first inner peripheral wall surface 22b of the fixed iron core 22 via a ring-shaped gap 9b. The first outer peripheral wall surface 4a of the parent plunger 4 faces the cylindrical portion 26a of the support member 26 via a ring-shaped gap 9c. A guide ring 80 that stabilizes the posture of the parent plunger 4 is provided on the first outer peripheral wall surface 4 a of the parent plunger 4. In short, the guide ring 80 may be interposed between the first outer peripheral wall surface 4 a of the parent plunger 4 and the cylindrical portion 26 a of the support member 26. The second outer peripheral wall surface 4c of the parent plunger 4 faces the first inner peripheral wall surface 22b of the fixed iron core 22 through a ring-shaped gap 9d.

図１に示すように、親弁体５は、親プランジャ４のうち軸直角方向に沿った底面（下面）に接着または溶着等の接合手段により取り付けられており、親弁口３２に対面している。親弁体５は円形の盤状をなしており、弁座２８に着座して親弁口３２を閉鎖する。親弁体５は、親プランジャ４の底面（下面）に固着された盤状の第１部材５１と、第１部材５１に固着され盤状の第２部材５２とで形成されている。第２部材５２は第１部材５１よりも弁座２８側に設けられており、弁座２８に着座する。親弁体５が弁座２８から離れると、親弁口３２が開放される。親弁体５を構成する第１部材５１の材質としては非磁性材料（例えばオーステナイト系のステンレス鋼、アルミニウム合金、セラミックス、樹脂等）が好ましい。その理由としては、親プランジャ４の先端部４ｐおよび子プランジャ８の凸部８ｙに磁束を良好に透過させ、磁路Ｗ１による磁気吸引力を親プランジャ４および子プランジャ８に作用させるためである。第２部材５２の材質としては、ゴムや樹脂等のシール性をもつ高分子材料で形成されていることが好ましい。   As shown in FIG. 1, the parent valve body 5 is attached to the bottom surface (lower surface) of the parent plunger 4 along the direction perpendicular to the axis by bonding means such as adhesion or welding, and faces the parent valve port 32. Yes. The parent valve body 5 has a circular disc shape and is seated on the valve seat 28 to close the parent valve port 32. The parent valve body 5 is formed of a disk-shaped first member 51 fixed to the bottom surface (lower surface) of the parent plunger 4 and a disk-shaped second member 52 fixed to the first member 51. The second member 52 is provided closer to the valve seat 28 than the first member 51 and is seated on the valve seat 28. When the parent valve body 5 is separated from the valve seat 28, the parent valve port 32 is opened. The material of the first member 51 constituting the parent valve body 5 is preferably a nonmagnetic material (for example, austenitic stainless steel, aluminum alloy, ceramics, resin, etc.). The reason is that the magnetic flux is satisfactorily transmitted to the tip portion 4p of the parent plunger 4 and the convex portion 8y of the child plunger 8, and the magnetic attractive force by the magnetic path W1 is applied to the parent plunger 4 and the child plunger 8. The material of the second member 52 is preferably formed of a polymer material having a sealing property such as rubber or resin.

子弁口５３は円筒形状をなしており、親弁体５の中央域において、親弁体５の厚み方向に貫通してオリフィス状に形成されている。親弁体５と親プランジャ４の先端部４ｐとの間に通路５４が形成されている。通路５４は入口ポート３０に連通していると共に、子作動室４５に連通している。   The child valve port 53 has a cylindrical shape, and is formed in an orifice shape in the central region of the parent valve body 5 so as to penetrate in the thickness direction of the parent valve body 5. A passage 54 is formed between the parent valve body 5 and the distal end portion 4 p of the parent plunger 4. The passage 54 communicates with the inlet port 30 and also communicates with the child working chamber 45.

図１に示すように、親バネ６はボディ２の親作動室３４内に軸芯Ｍ１を包囲するように設けられている。親バネ６は、親弁体５がボディ２の親弁口３２を閉弁する方向（矢印Ｈ２方向、下方向）に親プランジャ４を付勢する。親バネ６の一端部は親バネ室４０に収容され、親バネ室４０の座面４０ｘに着座している。親バネ６の他端部は、バネ荷重調整具２４の座面２４ｘに着座している。バネ荷重調整具２４は固定鉄心２２の取付孔２２ｅに着脱可能に取り付けられている。具体的には、バネ荷重調整具２４の雄螺子部２４ｐは固定鉄心２２の取付孔２２ｅの雌螺子部２２ｆに着脱可能に取り付けられている。雌螺子部２２ｆおよび雄螺子部２４ｐの螺合により、バネ荷重調整具２４を矢印Ｈ１，Ｈ２方向に前進後退させれば、親バネ６による付勢力は調整される。   As shown in FIG. 1, the parent spring 6 is provided in the parent working chamber 34 of the body 2 so as to surround the shaft core M1. The parent spring 6 biases the parent plunger 4 in a direction (arrow H2 direction, downward direction) in which the parent valve body 5 closes the parent valve port 32 of the body 2. One end of the parent spring 6 is accommodated in the parent spring chamber 40 and is seated on the seating surface 40 x of the parent spring chamber 40. The other end of the parent spring 6 is seated on the seating surface 24 x of the spring load adjustment tool 24. The spring load adjuster 24 is detachably attached to the attachment hole 22 e of the fixed iron core 22. Specifically, the male screw portion 24p of the spring load adjusting tool 24 is detachably attached to the female screw portion 22f of the attachment hole 22e of the fixed iron core 22. If the spring load adjuster 24 is moved forward and backward in the directions of the arrows H1 and H2 by screwing the female screw portion 22f and the male screw portion 24p, the urging force by the parent spring 6 is adjusted.

励磁コイル部７はボディ２に設けられており、親プランジャ４および子プランジャ８を開弁方向（矢印Ｈ１方向、上方向）に移動させる磁気吸引力を生成する磁路Ｗ１を通電により発生させる。励磁コイル部７は、筒形状のボビン７０と、ボビン７０に巻き付けられた励磁巻線７１とを備えている。ボビン７０は樹脂製であり、筒部７０ａとフランジ部７０ｃ，７０ｄとをもつ。筒部７０ａおよびフランジ部７０ｃ，７０ｄにより、励磁巻線７１は包囲されている。   The exciting coil unit 7 is provided in the body 2, and generates a magnetic path W1 that generates a magnetic attractive force that moves the parent plunger 4 and the child plunger 8 in the valve opening direction (arrow H1 direction, upward direction) by energization. The exciting coil unit 7 includes a cylindrical bobbin 70 and an exciting winding 71 wound around the bobbin 70. The bobbin 70 is made of resin and has a cylindrical portion 70a and flange portions 70c and 70d. The exciting winding 71 is surrounded by the cylindrical portion 70a and the flange portions 70c and 70d.

さて本実施形態によれば、図１に示すように、親プランジャ４は、空洞状をなす子作動室４５と、子弁口５３と、子作動室４５内に移動可能に配置された子プランジャ８と、子作動室４５内に設けられた子付勢要素としての子バネ４７とを備えている。子作動室４５は親プランジャ４の底面において開口している。図２に示すように、子作動室４５は、入口ポート３０、親弁口３２および出口ポート３１に連通可能に設けられている。子作動室４５は、軸長方向に沿っている円筒形状の第１内周壁面４５ａと、軸長方向に沿っている円筒形状の第２内周壁面４５ｂと、第１内周壁面４５ａと第２内周壁面４５ｂとを軸直角方向に沿って繋ぐ第１リング面４５ｃと、第２内周壁面４５ｂの上端に繋がると共に軸直角方向に沿った第２リング面４５ｄとをもつ。第１リング面４５ｃと第２内周壁面４５ｂとでリング状の段部４５ｋを形成している。子作動室４５は子バネ室４８に連通する。子バネ室４８には、コイル状の子バネ４７が同軸的に収容されている。子バネ室４８と親バネ室４０とは、連通路４９により連通している。   Now, according to the present embodiment, as shown in FIG. 1, the parent plunger 4 includes a hollow child working chamber 45, a child valve port 53, and a child plunger that is movably disposed in the child working chamber 45. 8 and a child spring 47 as a child urging element provided in the child working chamber 45. The child working chamber 45 is open at the bottom surface of the parent plunger 4. As shown in FIG. 2, the child working chamber 45 is provided so as to communicate with the inlet port 30, the parent valve port 32, and the outlet port 31. The child working chamber 45 includes a cylindrical first inner peripheral wall surface 45a along the axial length direction, a cylindrical second inner peripheral wall surface 45b along the axial length direction, a first inner peripheral wall surface 45a, and a first inner wall surface 45a. 2 has a first ring surface 45c that connects the inner peripheral wall surface 45b along the direction perpendicular to the axis, and a second ring surface 45d that connects to the upper end of the second inner peripheral wall surface 45b and extends along the direction perpendicular to the axis. The first ring surface 45c and the second inner peripheral wall surface 45b form a ring-shaped step 45k. The child working chamber 45 communicates with the child spring chamber 48. A coil-shaped child spring 47 is coaxially accommodated in the child spring chamber 48. The child spring chamber 48 and the parent spring chamber 40 communicate with each other through a communication path 49.

図２に示すように、子弁口５３の開口面積は、親弁口３２の開口面積よりも小さくされている。子プランジャ８は透磁率が高い金属（例えば鉄系）で形成されており、親プランジャ４よりも軽量化および小サイズ化されている。子プランジャ８は、子作動室４５内において上下方向（矢印Ｈ１，Ｈ２方向、重力方向）に沿って移動可能に配置されており、移動に伴い子弁口５３を開閉する。図２に示すように、子プランジャ８は、軸長方向に沿って延設された円筒形状の第１外周壁面８ａと、第１外周壁８ａから径大端側が延設された円錐面状をなす円錐面状の対向面８ｂと、円錐面状の対向面８ｂの径小端側から軸長方向に沿って延設された円筒形状の第２外周壁面８ｃとを備えている。   As shown in FIG. 2, the opening area of the child valve port 53 is made smaller than the opening area of the parent valve port 32. The child plunger 8 is formed of a metal (for example, iron) having a high magnetic permeability, and is lighter and smaller than the parent plunger 4. The child plunger 8 is disposed so as to be movable in the vertical direction (arrow H1, H2 direction, gravity direction) in the child working chamber 45, and opens and closes the child valve port 53 as it moves. As shown in FIG. 2, the child plunger 8 has a cylindrical first outer peripheral wall surface 8a extending along the axial length direction, and a conical surface shape having a large diameter end extending from the first outer peripheral wall 8a. And a cylindrical second outer peripheral wall surface 8c extending from the small diameter end side of the conical surface 8b along the axial length direction.

図２に示すように、子プランジャ８の第１外周壁面８ａは、親プランジャ４の内周壁面４５ａにリング状の隙間９ｓを介して対面する。子プランジャ８の第１外周壁面８ａには、子プランジャ８の姿勢を安定化させるガイドリング８５が設けられている。要するに、ガイドリング８５は、子プランジャ８の第１外周壁面８ａと親プランジャ４の内周壁面４５ａとの間に介在していれば良い。   As shown in FIG. 2, the first outer peripheral wall surface 8a of the child plunger 8 faces the inner peripheral wall surface 45a of the parent plunger 4 via a ring-shaped gap 9s. A guide ring 85 that stabilizes the posture of the child plunger 8 is provided on the first outer peripheral wall surface 8 a of the child plunger 8. In short, the guide ring 85 only needs to be interposed between the first outer peripheral wall surface 8 a of the child plunger 8 and the inner peripheral wall surface 45 a of the parent plunger 4.

図２に示すように、子プランジャ８の円錐面状の対向面８ｂは、親プランジャ４の第１リング面４５ｃおよび段部４５ｋにリング状の隙間９ｔを介して対面する。子プランジャ８の第２外周壁面８ｃは、親プランジャ４の第２内周壁面４５ｂにリング状の隙間９ｕを介して対面する。   As shown in FIG. 2, the conical surface 8b of the child plunger 8 faces the first ring surface 45c and the step 45k of the parent plunger 4 via a ring-shaped gap 9t. The second outer peripheral wall surface 8c of the child plunger 8 faces the second inner peripheral wall surface 45b of the parent plunger 4 via a ring-shaped gap 9u.

図２に示すように、子バネ４７はコイル状をなしており、子作動室４５内に設けられている。子バネ４７は、子プランジャ８が子弁口５３を閉弁する方向（矢印Ｈ２方向，下方向）に向けて子プランジャ８を付勢する。子バネ４７の軸長方向の一端は、子プランジャ８の着座面８ｘに着座している。子バネ４７の軸長方向の他端は、子バネ室４８の座面４８ｘに着座している。子プランジャ８を閉弁方向に付勢する子バネ４７のバネ定数は、親バネ６のバネ定数よりも小さく設定されている。従って子バネ４７の付勢力は、親バネ６付勢力よりも小さく設定されている。よって子プランジャ８の閉弁力は、親プランジャ４の閉弁力よりも小さく設定されている。   As shown in FIG. 2, the child spring 47 has a coil shape and is provided in the child working chamber 45. The child spring 47 biases the child plunger 8 in a direction (arrow H2 direction, downward direction) in which the child plunger 8 closes the child valve port 53. One end of the child spring 47 in the axial length direction is seated on the seating surface 8 x of the child plunger 8. The other end of the child spring 47 in the axial length direction is seated on the seating surface 48 x of the child spring chamber 48. The spring constant of the child spring 47 that biases the child plunger 8 in the valve closing direction is set to be smaller than the spring constant of the parent spring 6. Therefore, the biasing force of the child spring 47 is set smaller than the biasing force of the parent spring 6. Therefore, the valve closing force of the child plunger 8 is set smaller than the valve closing force of the parent plunger 4.

図２に示すように、子プランジャ８の底面（下面）には、リング状のシール部材８５ｘが固着されている。子プランジャ８が閉弁されているとき、シール部材８５ｘは子弁口５３の周囲を覆って気密または液密的にシールしている。シール部材８５ｘは、ゴムや軟質樹脂等のシール材料で形成されている。   As shown in FIG. 2, a ring-shaped seal member 85 x is fixed to the bottom surface (lower surface) of the child plunger 8. When the child plunger 8 is closed, the sealing member 85x covers the periphery of the child valve port 53 and seals it airtight or liquid tightly. The seal member 85x is formed of a seal material such as rubber or soft resin.

本実施形態によれば、励磁コイル部７に通電されていないとき、図１に示すように、親バネ６の付勢力により親プランジャ４は閉弁方向（矢印Ｈ２方向，下方向）付勢されて、親弁口３２を閉鎖している。また、子バネ４７の付勢力により子プランジャ８は閉弁方向（矢印Ｈ２方向，下方向）に付勢されて子弁口５３を閉鎖している。このため入口ポート３０の流体は電磁弁１を流れない。   According to the present embodiment, when the exciting coil unit 7 is not energized, the parent plunger 4 is urged in the valve closing direction (arrow H2 direction, downward direction) by the urging force of the parent spring 6 as shown in FIG. Thus, the parent valve port 32 is closed. The child plunger 8 is urged in the valve closing direction (arrow H2 direction, downward) by the urging force of the child spring 47 to close the child valve port 53. For this reason, the fluid in the inlet port 30 does not flow through the solenoid valve 1.

これに対して励磁コイル部７に通電されると、励磁コイル部７で発生した磁力により磁気吸引力が発生する。基本的な磁路Ｗ１（図１参照）は、非磁性材料で形成されている支持部材２６の影響で、ヨーク２１の筒部２１ａ、ヨーク２１の第１フランジ部２１ｃ、親プランジャ４の先端部４ｐ、子プランジャ８の凸部８ｙ、子プランジャ８、親プランジャ４、固定鉄心２２、ヨーク２１の第２フランジ部２１ｄを透過する。   On the other hand, when the exciting coil unit 7 is energized, a magnetic attractive force is generated by the magnetic force generated in the exciting coil unit 7. The basic magnetic path W1 (see FIG. 1) is affected by the support member 26 formed of a nonmagnetic material, and the cylindrical portion 21a of the yoke 21, the first flange portion 21c of the yoke 21, and the distal end portion of the parent plunger 4. 4p, the protrusion 8y of the child plunger 8, the child plunger 8, the parent plunger 4, the fixed iron core 22, and the second flange portion 21d of the yoke 21 are transmitted.

ここで、図２に示すように、子プランジャ８の底部に形成されている凸部８ｙは、親プランジャ４の先端部４ｐの内周壁面に接近するように、子プランジャ８の径外方向にリング鍔状に突出している。この結果、子プランジャ８の凸部８ｙと親プランジャ４の先端部４ｐとの間の磁気抵抗が低減され、磁路Ｗ１の磁束が子プランジャ８の凸部８ｙと親プランジャ４の先端部４ｐを透過し易くなる。更に図２に示すように、ヨーク２１のフランジ部２１ｃの内端２１ｉは支持部材２６よりもΔＴぶん、親プランジャ４の先端部４ｐの外周壁面に接近している。このためヨーク２１の内端２１ｉと親プランジャ４の先端部４ｐとの間の磁気抵抗が低減される。よって、磁路Ｗ１の磁束がヨーク２１の内端２１ｉと親プランジャ４の先端部４ｐと子プランジャ８の凸部８ｙとを透過し易くなる。これにより磁路Ｗ１による磁気吸引力を子プランジャ８に与え易くなり、子プランジャ８の開弁を親プランジャ７の開弁よりも早期な行うことができる利点が得られる。   Here, as shown in FIG. 2, the convex portion 8 y formed on the bottom portion of the child plunger 8 extends in the radially outward direction of the child plunger 8 so as to approach the inner peripheral wall surface of the tip portion 4 p of the parent plunger 4. It protrudes like a ring bowl. As a result, the magnetic resistance between the convex portion 8y of the child plunger 8 and the tip portion 4p of the parent plunger 4 is reduced, and the magnetic flux of the magnetic path W1 moves between the convex portion 8y of the child plunger 8 and the tip portion 4p of the parent plunger 4. It becomes easy to penetrate. Further, as shown in FIG. 2, the inner end 21 i of the flange portion 21 c of the yoke 21 is closer to the outer peripheral wall surface of the tip portion 4 p of the parent plunger 4 by ΔT than the support member 26. For this reason, the magnetic resistance between the inner end 21i of the yoke 21 and the front end 4p of the parent plunger 4 is reduced. Therefore, the magnetic flux of the magnetic path W1 is easily transmitted through the inner end 21i of the yoke 21, the tip portion 4p of the parent plunger 4, and the convex portion 8y of the child plunger 8. This makes it easier to apply a magnetic attractive force by the magnetic path W <b> 1 to the child plunger 8 and provides an advantage that the child plunger 8 can be opened earlier than the parent plunger 7 is opened.

図１に示すように、閉弁時には、ヨーク２１の第１フランジ部２１ｃは、親プランジャ４の先端部を介して子プランジャ８の凸部８ｙに対向している。このため、ヨーク２１の第１フランジ部２１ｃを透過する磁束が子プランジャ８の凸部８ｙに透過し易くなる。故に、子プランジャ８の開弁動作の促進に有利である。   As shown in FIG. 1, when the valve is closed, the first flange portion 21 c of the yoke 21 faces the convex portion 8 y of the child plunger 8 through the distal end portion of the parent plunger 4. For this reason, the magnetic flux which permeate | transmits the 1st flange part 21c of the yoke 21 becomes easy to permeate | transmit to the convex part 8y of the child plunger 8. FIG. Therefore, it is advantageous for promoting the valve opening operation of the child plunger 8.

励磁コイル部７に通電される通電量が増加するにつれて、磁気吸引力が次第に増加する。ここで、子バネ４７の付勢力は親バネ６の付勢力よりも小さい。通電量が少ないときには磁気吸引力が少ないため、図３に示すように、親プランジャ４は開弁しない。しかし、子バネ４７の付勢力に抗しつつ、図３に示すように、子プランジャ８が親プランジャ４よりも優先的に開弁方向（矢印Ｈ１方向、上方向）に移動し、子弁口５３が開弁する。この結果、入口ポート３０の流体は、矢印ＫＡ方向に沿ってリング通路３６、通路５４および開弁状態の子弁口５３を通り、出口ポート３１に吐出される。このように子弁口５３が開放しているものの、親弁口３２が開放されていないため、電磁弁１を流れる流体の流量は少ない。このように子弁口５３が開放しているものの、親弁口３２が開放されていない状態において、励磁コイル部７への通電量を調整すれば、子弁口５３の開弁量が適宜調整される。   The magnetic attraction force gradually increases as the energization amount energized to the excitation coil unit 7 increases. Here, the biasing force of the child spring 47 is smaller than the biasing force of the parent spring 6. Since the magnetic attractive force is small when the energization amount is small, the parent plunger 4 does not open as shown in FIG. However, while resisting the biasing force of the child spring 47, as shown in FIG. 3, the child plunger 8 moves preferentially in the valve opening direction (arrow H1 direction, upward direction) over the parent plunger 4, and the child valve port 53 opens. As a result, the fluid in the inlet port 30 is discharged to the outlet port 31 through the ring passage 36, the passage 54, and the opened valve valve 53 along the arrow KA direction. Although the child valve port 53 is thus opened, the parent valve port 32 is not opened, so that the flow rate of the fluid flowing through the electromagnetic valve 1 is small. Thus, if the energization amount to the exciting coil unit 7 is adjusted in a state where the child valve port 53 is open but the parent valve port 32 is not opened, the valve opening amount of the child valve port 53 is adjusted appropriately. Is done.

ところで、励磁コイル部７に通電される通電量がさらに増加すると、矢印Ｈ１方向（開弁方向）への磁気吸引力が増加する。励磁コイル部７による磁気吸引力が親プランジャ４の閉弁力に打ち勝つと、親バネ６の付勢力に抗しつつ、図４に示すように、親プランジャ４が開弁方向（矢印Ｈ１方向，上方向）に移動し始め、親弁口３２を開弁させる。この結果、入口ポート３０の流体は矢印ＫＢ方向（図４参照）に沿って開弁状態の親弁口３２を通り、出口ポート３１に吐出される。このように子弁口５３よりも大きな開口面積を有する親弁口３２が開放しているため、電磁弁１を流れる流体の流量は増加する。なお、図４から理解できるように、親弁口３２が開放されているとき、子弁口５３は開放されている。このように親弁口３２が開放されている状態において、励磁コイル部７への通電量を調整すれば、親弁口３２の開弁量が適宜調整される。   By the way, when the energization amount energized to the exciting coil unit 7 further increases, the magnetic attractive force in the arrow H1 direction (the valve opening direction) increases. When the magnetic attractive force by the exciting coil unit 7 overcomes the valve closing force of the parent plunger 4, the parent plunger 4 moves in the valve opening direction (arrow H1 direction, as shown in FIG. 4) against the biasing force of the parent spring 6. The main valve port 32 is opened. As a result, the fluid in the inlet port 30 is discharged to the outlet port 31 through the parent valve port 32 in the valve open state along the arrow KB direction (see FIG. 4). Since the parent valve port 32 having an opening area larger than that of the child valve port 53 is thus opened, the flow rate of the fluid flowing through the electromagnetic valve 1 increases. As can be understood from FIG. 4, when the parent valve port 32 is opened, the child valve port 53 is opened. If the energization amount to the exciting coil unit 7 is adjusted in a state where the parent valve port 32 is opened as described above, the valve opening amount of the parent valve port 32 is adjusted as appropriate.

図５は、電磁弁１の入口ポート３０から出口ポート３１に流れる流体の流量Ｑと励磁コイル部７へ通電する通電量（電流または電圧）との関係を表すグラフを示す。図５において、特性線Ｋ１は本実施形態に係る電磁弁の流量特性を示す。特性線Ｋ２は比較例に係り、単段の比例式の電磁弁１の流量特性を示す。特性線Ｋ１に示すように、給電量が値Ａ０から値Ａ１までは、子弁口５３のみが開弁するが、子弁口５３の開弁度は比例的に増加する。このため入口ポート３０から出口ポート３１に流れる流体の流量は比例的に増加し、流量比例領域α１が得られる。このように給電量を値Ａ０から値Ａ１までの流量比例領域α１において給電量を調整すれば、親弁口３２が閉鎖している状態において親子弁口５３のみが開弁するため、流量が少ない領域において流量を調整できる。給電量が値Ａ１を越えても値Ａ２までは、親弁口３２を閉鎖している親弁体５が開弁せず、親弁口３２は開放しないため、流量は増加しない。したがって流量停滞領域α２が得られる。   FIG. 5 is a graph showing the relationship between the flow rate Q of the fluid flowing from the inlet port 30 to the outlet port 31 of the solenoid valve 1 and the energization amount (current or voltage) energized to the exciting coil unit 7. In FIG. 5, a characteristic line K1 indicates a flow rate characteristic of the solenoid valve according to the present embodiment. A characteristic line K2 relates to the comparative example, and shows a flow rate characteristic of the single-stage proportional solenoid valve 1. As indicated by the characteristic line K1, when the power supply amount is from the value A0 to the value A1, only the child valve port 53 opens, but the degree of valve opening of the child valve port 53 increases proportionally. For this reason, the flow rate of the fluid flowing from the inlet port 30 to the outlet port 31 increases proportionally, and a flow rate proportional region α1 is obtained. If the power supply amount is adjusted in the flow rate proportional region α1 from the value A0 to the value A1 in this way, only the parent-child valve port 53 is opened when the parent valve port 32 is closed, and thus the flow rate is small. The flow rate can be adjusted in the region. Even if the amount of power supply exceeds the value A1, the flow rate does not increase until the value A2 because the parent valve body 5 that closes the parent valve port 32 does not open and the parent valve port 32 does not open. Therefore, the flow rate stagnation region α2 is obtained.

励磁コイル部７への給電量が値Ａ２を越えると、親弁口３２を閉鎖している親弁体５が開弁し、親弁体５の開弁度が比例的に増加するため、流量は比例的に増加する。従って、流量比例領域α３が得られる。流量比例領域α３において、給電量を調整すれば、子弁口５３が開弁している状態において親弁口３２が開弁するため、流量が大きな領域において流量を調整できる。なお、励磁コイル部７への給電量が値Ａ３を越えると、流量は増加しない。したがって流量停滞領域α４が得られる。   When the amount of power supplied to the exciting coil section 7 exceeds the value A2, the parent valve body 5 that closes the parent valve port 32 opens, and the valve opening degree of the parent valve body 5 increases proportionally. Increases proportionally. Accordingly, a flow rate proportional region α3 is obtained. If the power supply amount is adjusted in the flow rate proportional region α3, the parent valve port 32 is opened while the child valve port 53 is open, so that the flow rate can be adjusted in a region where the flow rate is large. Note that when the amount of power supplied to the exciting coil unit 7 exceeds the value A3, the flow rate does not increase. Therefore, the flow rate stagnation region α4 is obtained.

以上説明したように本実施形態によれば、親弁口３２が閉弁されている状態で子弁口５３が開弁するため、子弁口５３の開弁による流量特性が得られ、更に磁気吸引力が増加すると、親弁口３２が開弁するため、親弁口３２の開弁による流量特性が得られる。   As described above, according to the present embodiment, since the child valve port 53 is opened while the parent valve port 32 is closed, the flow rate characteristic due to the opening of the child valve port 53 is obtained, and magnetic When the suction force is increased, the parent valve port 32 is opened, so that a flow rate characteristic by opening the parent valve port 32 is obtained.

更に本実施形態によれば、親プランジャ４の内部に形成されている空洞状をなす子作動室４５に子プランジャ８が配置されており、親プランジャ４の軸長方向において親プランジャ４の軸長サイズと子プランジャ８の軸長サイズとが重なっている。殊に、親プランジャ４は子プランジャ８を内包している。このため親プランジャ４を収容する収容スペースの他に、子プランジャ８を収容する収容スペースをボディ２の内部に別途形成せずとも良く、電磁弁１の小型化に有利となる。更に本実施形態によれば、親プランジャ４は子プランジャ８を内包しているため、図４から理解できるように、親プランジャ４の子作動室４５の軸長寸法ＬＡ内に子プランジャ８の軸長寸法ＬＢが納まっている。つまり子プランジャ８は親プランジャ４に内包されている。このため電磁弁１の高さ寸法を抑えるのに有利である。   Furthermore, according to the present embodiment, the child plunger 8 is disposed in the hollow child operation chamber 45 formed inside the parent plunger 4, and the axial length of the parent plunger 4 in the axial length direction of the parent plunger 4. The size and the axial length size of the child plunger 8 overlap. In particular, the parent plunger 4 contains a child plunger 8. Therefore, in addition to the accommodation space for accommodating the parent plunger 4, it is not necessary to separately form an accommodation space for accommodating the child plunger 8 inside the body 2, which is advantageous for miniaturization of the solenoid valve 1. Further, according to the present embodiment, since the parent plunger 4 includes the child plunger 8, as can be understood from FIG. 4, the shaft of the child plunger 8 is within the axial length dimension LA of the child working chamber 45 of the parent plunger 4. The long dimension LB is accommodated. That is, the child plunger 8 is included in the parent plunger 4. For this reason, it is advantageous to suppress the height dimension of the solenoid valve 1.

更に本実施形態によれば、励磁コイル部７は単一であり、励磁コイル部７の数が減少されている。即ち、励磁コイル部７は、親プランジャ４および子プランジャ８を透過する磁路Ｗ１を形成し、親プランジャ４および子プランジャ８に共用されている。このように励磁コイル部７は親プランジャ４および子プランジャ８に共用されているため、前述とした特許文献１，２とは異なり、複数の励磁コイル部７を設けずとも良く、電磁弁１の小型化を図るのに有利となる。   Furthermore, according to this embodiment, the excitation coil part 7 is single and the number of the excitation coil parts 7 is reduced. That is, the exciting coil unit 7 forms a magnetic path W1 that passes through the parent plunger 4 and the child plunger 8, and is shared by the parent plunger 4 and the child plunger 8. As described above, since the exciting coil unit 7 is shared by the parent plunger 4 and the child plunger 8, unlike the above-described Patent Documents 1 and 2, the plurality of exciting coil units 7 may not be provided. This is advantageous for downsizing.

上記したように本実施形態によれば、励磁コイル部７は親プランジャ４および子プランジャ８に共用されているため、スイッチ素子の数、結線工数が減少し、電磁弁のサイズの小型化、コストの低廉化を図り得る。具体的には、励磁コイル部７は親プランジャ４および子プランジャ８の双方に共用化されているため、励磁コイル部７による磁気吸引力のバラツキを抑えるのに有利である。   As described above, according to the present embodiment, since the exciting coil unit 7 is shared by the parent plunger 4 and the child plunger 8, the number of switch elements and connection man-hours are reduced, the size of the solenoid valve is reduced, and the cost is reduced. Can be made cheaper. Specifically, since the exciting coil unit 7 is shared by both the parent plunger 4 and the child plunger 8, it is advantageous for suppressing variations in magnetic attractive force caused by the exciting coil unit 7.

また本実施形態によれば、親弁口３２よりも径小な子弁口５３は、親弁体５にこれの厚み方向に貫通するように形成されている。このため、子弁口５３を形成するための別部品を用いずとも良く、電磁弁１の小型化を図るのに有利となる。また、ボディ２に形成されている弁口は親弁口３２だけであり、子弁口５３は、親弁口３２を開閉する親弁体５自体を厚み方向に貫通させて形成されている。このためボディ２に多数の弁口を形成する特許文献２に係る技術とは異なり、ボディ２の構造および加工が簡単となり、異物に対する詰まり性を低減させ得ると共に、コスト低減に有利となる。   Further, according to this embodiment, the child valve port 53 having a diameter smaller than that of the parent valve port 32 is formed so as to penetrate the parent valve body 5 in the thickness direction thereof. For this reason, it is not necessary to use a separate part for forming the child valve port 53, which is advantageous in reducing the size of the electromagnetic valve 1. The valve port formed in the body 2 is only the parent valve port 32, and the child valve port 53 is formed by penetrating the parent valve body 5 itself that opens and closes the parent valve port 32 in the thickness direction. Therefore, unlike the technique according to Patent Document 2 in which a large number of valve openings are formed in the body 2, the structure and processing of the body 2 can be simplified, the clogging property against foreign matters can be reduced, and the cost can be reduced.

（実施形態２）
実施形態２（図示せず）は実施形態１と基本的には同様の構成、同様の作用効果を有する。但し、シール部材８５ｘは、子プランジャ８の底面に固着されておらず、親弁体５の第１部材５１の表面（上面）に固着されている。従って子プランジャ８が子弁口５３を閉弁しているとき、子プランジャ８の底面はシール部材８５ｘに気密または液密に圧接されている。 (Embodiment 2)
The second embodiment (not shown) has basically the same configuration and the same function and effect as the first embodiment. However, the seal member 85x is not fixed to the bottom surface of the child plunger 8, but is fixed to the surface (upper surface) of the first member 51 of the parent valve body 5. Therefore, when the child plunger 8 closes the child valve port 53, the bottom surface of the child plunger 8 is in pressure-tight or liquid-tight contact with the seal member 85x.

更に本実施形態においても、親プランジャ４の内部に形成されている空洞状をなす子作動室４５に子プランジャ８が配置されており、親プランジャ４の軸長サイズと子プランジャ８の軸長サイズとが重なっている。殊に、親プランジャ４は子プランジャ８を内包している。このため親プランジャ４を収容する収容スペースの他に、子プランジャ８を収容する収容スペースをボディ２の内部に別途形成せずとも良く、電磁弁１の小型化に有利となる。更に本実施形態によれば、親プランジャ４は子プランジャ８を内包しているため、図４から理解できるように、親プランジャ４の子作動室４５の軸長寸法ＬＡ内に子プランジャ８の軸長寸法ＬＢが納まっている。つまり子プランジャ８は親プランジャ４に内包されている。このため電磁弁１の高さ寸法を抑えるのに有利である。   Furthermore, also in this embodiment, the child plunger 8 is disposed in a hollow child working chamber 45 formed inside the parent plunger 4, and the axial length size of the parent plunger 4 and the axial length size of the child plunger 8 are set. And overlap. In particular, the parent plunger 4 contains a child plunger 8. Therefore, in addition to the accommodation space for accommodating the parent plunger 4, it is not necessary to separately form an accommodation space for accommodating the child plunger 8 inside the body 2, which is advantageous for miniaturization of the solenoid valve 1. Further, according to the present embodiment, since the parent plunger 4 includes the child plunger 8, as can be understood from FIG. 4, the shaft of the child plunger 8 is within the axial length dimension LA of the child working chamber 45 of the parent plunger 4. The long dimension LB is accommodated. That is, the child plunger 8 is included in the parent plunger 4. For this reason, it is advantageous to suppress the height dimension of the solenoid valve 1.

（実施形態３）
図６は実施形態３を示す。本実施形態は実施形態１と基本的には同様の構成、同様の作用効果を有する。但し、親プランジャ４のうち固定鉄心２２に対向する対向面４ｂは、軸芯Ｍ１の軸直角方向に沿ってリング状に延設されており、固定鉄心２２の第１リング面２２ａに沿っている。この場合には、図５に示す特性線Ｋ３に示すように、流量が階段的に増加する段階増加領域α５を得るのに有利となる。更に本実施形態においても、親プランジャ４の内部に形成されている空洞状をなす子作動室４５に子プランジャ８が配置されており、親プランジャ４の軸長サイズと子プランジャ８の軸長サイズとが重なっている。殊に、親プランジャ４は子プランジャ８を内包している。このため親プランジャ４を収容する収容スペースの他に、子プランジャ８を収容する収容スペースをボディ２の内部に別途形成せずとも良く、電磁弁１の小型化に有利となる。 (Embodiment 3)
FIG. 6 shows a third embodiment. This embodiment has basically the same configuration and the same function and effect as the first embodiment. However, the opposing surface 4b of the parent plunger 4 that faces the fixed iron core 22 extends in a ring shape along the direction perpendicular to the axis of the shaft core M1, and extends along the first ring surface 22a of the fixed iron core 22. . In this case, as shown by the characteristic line K3 shown in FIG. 5, it is advantageous to obtain a step increase region α5 in which the flow rate increases stepwise. Furthermore, also in this embodiment, the child plunger 8 is disposed in a hollow child working chamber 45 formed inside the parent plunger 4, and the axial length size of the parent plunger 4 and the axial length size of the child plunger 8 are set. And overlap. In particular, the parent plunger 4 contains a child plunger 8. Therefore, in addition to the accommodation space for accommodating the parent plunger 4, it is not necessary to separately form an accommodation space for accommodating the child plunger 8 inside the body 2, which is advantageous for miniaturization of the solenoid valve 1.

（実施形態４）
図７は実施形態４を示す。本実施形態は実施形態１と基本的には同様の構成、同様の作用効果を有する。但し、親プランジャ４のうち親弁口３２側には磁路案内部４ｒｏが設けられている。磁路案内部４ｒｏは、励磁コイル部７で発生する開弁用の磁束を親プランジャ４よりも優先的に子プランジャ８に透過させると共に、子プランジャ８の開弁動作を親プランジャ４の開弁動作よりも促進させるものである。開弁用の磁束が親プランジャ４に透過しにくくなるため、子プランジャ８よりも親プランジャ４の開弁動作は遅延される。磁路案内部４ｒｏは、親プランジャ４のうち子プランジャ８を包囲する周壁部分を軸芯Ｐ１の回りを１周するように、リング状をなす空洞で形成されている。空洞には、親プランジャ４および子プランジャ８を構成する材料よりも透磁率が低い流体が存在する。 (Embodiment 4)
FIG. 7 shows a fourth embodiment. This embodiment has basically the same configuration and the same function and effect as the first embodiment. However, a magnetic path guiding portion 4ro is provided on the parent valve 4 side of the parent plunger 4. The magnetic path guide unit 4ro transmits the magnetic flux for valve opening generated in the exciting coil unit 7 to the child plunger 8 preferentially over the parent plunger 4, and the valve opening operation of the child plunger 8 is opened. It promotes more than movement. Since the valve-opening magnetic flux does not easily pass through the parent plunger 4, the valve opening operation of the parent plunger 4 is delayed more than the child plunger 8. The magnetic path guide portion 4ro is formed as a ring-shaped cavity so that the peripheral wall portion surrounding the child plunger 8 of the parent plunger 4 makes one round around the axis P1. In the cavity, there is a fluid having a lower magnetic permeability than the material constituting the parent plunger 4 and the child plunger 8.

この場合、励磁コイル部７で発生する開弁用の磁束が親プランジャ４に透過することが抑えられるため、親プランジャ４の開弁動作は子プランジャ８の開弁よりも遅延される。よって、子プランジャ８に透過するように磁路案内部４ｒｏにより開弁用の磁束を案内する。これにより磁束を親プランジャ４の底部よりも子プランジャ８の内部に優先的に透過させる。このため、子プランジャ８の磁路形成に起因する開弁動作を、親プランジャ４の開弁動作よりも促進させることができる。更に、図７に示すように、子プランジャ８の外周面にこれを１周するリング状の凸部８ｙが形成されている。このため、開弁用の磁束は、凸部８ｙから子プランジャ８に透過し易くなるため、子プランジャ８の開弁動作を親プランジャ４の開弁動作よりも優先させるのに有利となる。この場合、磁路案内部４ｒｏにより案内される磁路により、子プランジャ８の開弁動作を親プランジャ４の開弁動作よりも促進させることができる。即ち、親プランジャ４よりも子プランジャ８に優先的に磁束を透過させ子プランジャ８の開弁を促進させる構造が採用されている。このため、親バネ６の付勢力と子バネ４７の付勢力とを同程度としても良い。勿論、親バネ６の付勢力よりも子バネ４７の付勢力を小さく設定しても良い。   In this case, since the valve opening magnetic flux generated in the exciting coil unit 7 is suppressed from being transmitted to the parent plunger 4, the valve opening operation of the parent plunger 4 is delayed more than the valve opening of the child plunger 8. Accordingly, the magnetic flux for valve opening is guided by the magnetic path guide portion 4ro so as to pass through the child plunger 8. As a result, the magnetic flux is preferentially transmitted through the child plunger 8 rather than the bottom of the parent plunger 4. For this reason, the valve opening operation resulting from the magnetic path formation of the child plunger 8 can be promoted more than the valve opening operation of the parent plunger 4. Further, as shown in FIG. 7, a ring-shaped convex portion 8 y that makes one round is formed on the outer peripheral surface of the child plunger 8. For this reason, since the magnetic flux for valve opening is easily transmitted from the convex portion 8 y to the child plunger 8, it is advantageous to prioritize the valve opening operation of the child plunger 8 over the valve opening operation of the parent plunger 4. In this case, the valve opening operation of the child plunger 8 can be promoted more than the valve opening operation of the parent plunger 4 by the magnetic path guided by the magnetic path guide portion 4ro. That is, a structure is adopted in which the magnetic flux is transmitted through the child plunger 8 preferentially over the parent plunger 4 and the valve opening of the child plunger 8 is promoted. For this reason, the urging force of the parent spring 6 and the urging force of the child spring 47 may be approximately the same. Of course, the urging force of the child spring 47 may be set smaller than the urging force of the parent spring 6.

（実施形態５）
図８は実施形態５を示す。本実施形態は実施形態１と基本的には同様の構成、同様の作用効果を有する。但し、親プランジャ４のうち親弁口３２側の外周面には、磁路案内部４ｒｒが設けられている。磁路案内部４ｒｒは、励磁コイル部７で発生する磁束を親プランジャ４よりも優先的に子プランジャ８に透過させると共に、子プランジャ８の開弁動作を親プランジャ４の開弁動作よりも促進させるものである。磁路案内部４ｒｒは、親プランジャ４のうち子プランジャ８を包囲する周壁部分を軸芯Ｐ１の回りを１周するようにリング状をなす非磁性材料（例えばオーステナイト系のステンレス鋼、アルミニウム系合金等の非磁性金属、セラミックス、樹脂等）で形成されている。磁路案内部４ｒｒは溶接、嵌め込み、接着などで親プランジャ４に取り付けられる。この場合、励磁コイル部７で発生する磁束が親プランジャ４を透過することを抑え、できるだけ子プランジャ８を透過するように磁路案内部４ｒｏにより磁束を案内する。これにより磁束を親プランジャ４の底部よりも子プランジャ８に優先的に透過させる。このため、子プランジャ８の開弁動作を親プランジャ４の開弁動作よりも促進させることができる。更に図８に示すように、子プランジャ８の外周面にこれを１周するリング状の凸部８ｙが形成されている。このため磁束は、凸部８ｙから子プランジャ８に透過し易くなるため、子プランジャ８の開弁動作を親プランジャ４の開弁動作よりも優先させるのに有利となる。この場合、磁路案内部４ｒｏにより案内される磁路により、子プランジャ８の開弁動作を親プランジャ４の開弁動作よりも促進させることができるため、親バネ６の付勢力と子バネ４７の付勢力とを同程度としても良い。勿論、親バネ６の付勢力よりも子バネ４７の付勢力を小さく設定しても良い。親プランジャ４のうち親弁口３２側の内周面に磁路案内部４ｒｒを設けても良い。 (Embodiment 5)
FIG. 8 shows a fifth embodiment. This embodiment has basically the same configuration and the same function and effect as the first embodiment. However, a magnetic path guide portion 4rr is provided on the outer peripheral surface of the parent plunger 4 on the parent valve port 32 side. The magnetic path guide unit 4rr transmits the magnetic flux generated in the exciting coil unit 7 to the child plunger 8 with priority over the parent plunger 4, and promotes the valve opening operation of the child plunger 8 more than the valve opening operation of the parent plunger 4. It is something to be made. The magnetic path guide portion 4rr is a non-magnetic material (for example, austenitic stainless steel, aluminum alloy) that forms a ring shape so that the peripheral wall portion surrounding the child plunger 8 of the parent plunger 4 goes around the axis P1. Etc., such as nonmagnetic metals such as ceramics and resins. The magnetic path guide portion 4rr is attached to the parent plunger 4 by welding, fitting, adhesion, or the like. In this case, the magnetic flux generated by the exciting coil unit 7 is prevented from passing through the parent plunger 4, and the magnetic path guiding unit 4ro guides the magnetic flux so as to pass through the child plunger 8 as much as possible. As a result, the magnetic flux is preferentially transmitted to the child plunger 8 rather than the bottom of the parent plunger 4. For this reason, the valve opening operation of the child plunger 8 can be promoted more than the valve opening operation of the parent plunger 4. Further, as shown in FIG. 8, a ring-shaped convex portion 8y is formed on the outer peripheral surface of the child plunger 8 so as to make one turn. For this reason, since the magnetic flux is easily transmitted from the convex portion 8 y to the child plunger 8, it is advantageous to prioritize the valve opening operation of the child plunger 8 over the valve opening operation of the parent plunger 4. In this case, the magnetic path guided by the magnetic path guide portion 4ro can promote the valve opening operation of the child plunger 8 more than the valve opening operation of the parent plunger 4, so that the urging force of the parent spring 6 and the child spring 47 are increased. It is good also as the energizing power of. Of course, the urging force of the child spring 47 may be set smaller than the urging force of the parent spring 6. A magnetic path guide portion 4rr may be provided on the inner peripheral surface of the parent plunger 4 on the parent valve port 32 side.

（実施形態６）
図９は実施形態６は、定置型または車両搭載型の燃料電池システムに適用している。燃料電池システムは、図９に示すように、燃料極１０１と酸化剤極１０３とで電解質膜１０４（例えばイオン伝導性をもつ固体高分子膜など）を挟んだ燃料電池のスタック１００と、スタック１００の燃料極１０１の入口にガス状の燃料（例えば水素ガス、水素含有ガス）を供給する燃料供給路２００と、スタック１００の燃料極１０１の出口からガス状の燃料オフガスを排出する燃料オフガス路２１０と、スタック１００の酸化剤極１０３の入口に酸化剤ガス（例えば空気）を供給する酸化剤供給路３００と、スタックの酸化剤極１０３の出口からガス状の酸化剤オフガスを排出する酸化剤オフガス路３１０とをもつ。 (Embodiment 6)
In FIG. 9, Embodiment 6 is applied to a stationary or vehicle-mounted fuel cell system. As shown in FIG. 9, the fuel cell system includes a fuel cell stack 100 in which an electrolyte membrane 104 (for example, a solid polymer membrane having ion conductivity) is sandwiched between a fuel electrode 101 and an oxidant electrode 103, and a stack 100. A fuel supply path 200 that supplies gaseous fuel (for example, hydrogen gas or hydrogen-containing gas) to the inlet of the fuel electrode 101, and a fuel offgas path 210 that discharges gaseous fuel off-gas from the outlet of the fuel electrode 101 of the stack 100. An oxidant supply path 300 that supplies an oxidant gas (for example, air) to the inlet of the oxidant electrode 103 of the stack 100, and an oxidant offgas that discharges gaseous oxidant offgas from the outlet of the oxidant electrode 103 of the stack. And a path 310.

図９に示すように、燃料供給路２００には燃料供給弁２０５が設けられている。燃料オフガス路２１０には燃料オフガス排出弁２１５が設けられている。酸化剤供給路３００には酸化剤供給弁３０５が設けられている。酸化剤オフガス路３１０には酸化剤オフガス排出弁３１５が設けられている。   As shown in FIG. 9, the fuel supply path 200 is provided with a fuel supply valve 205. A fuel off gas discharge valve 215 is provided in the fuel off gas passage 210. An oxidant supply valve 305 is provided in the oxidant supply path 300. The oxidant off-gas passage 310 is provided with an oxidant off-gas discharge valve 315.

発電運転時には、燃料供給路２００の燃料供給弁２０５が開放し、燃料がスタック１００の燃料極１０１に供給される。酸化剤供給路３００の酸化剤供給弁３０５が開弁し、酸化剤ガスがスタック１００の酸化剤極１０３に供給される。これによりスタック１００の内部で発電される。   During the power generation operation, the fuel supply valve 205 of the fuel supply path 200 is opened, and the fuel is supplied to the fuel electrode 101 of the stack 100. The oxidant supply valve 305 of the oxidant supply path 300 is opened, and the oxidant gas is supplied to the oxidant electrode 103 of the stack 100. As a result, power is generated inside the stack 100.

燃料オフガスは燃料オフガス路２１０の燃料オフガス排出弁２１５から排出される。酸化剤オフガスは酸化剤オフガス路３１０の酸化剤オフガス排出弁３１５から排出される。   The fuel off gas is discharged from the fuel off gas discharge valve 215 in the fuel off gas passage 210. The oxidant off gas is discharged from the oxidant off gas discharge valve 315 in the oxidant off gas passage 310.

本実施形態によれば、燃料供給弁２０５は上記した電磁弁１で形成できる。この場合、電磁弁１の入口ポート３０は燃料タンク等の燃料供給源に繋がり、電磁弁１の出口ポート３１はスタック１００の燃料極１０１の入口１０１ｉに繋がる。   According to this embodiment, the fuel supply valve 205 can be formed by the electromagnetic valve 1 described above. In this case, the inlet port 30 of the electromagnetic valve 1 is connected to a fuel supply source such as a fuel tank, and the outlet port 31 of the electromagnetic valve 1 is connected to the inlet 101 i of the fuel electrode 101 of the stack 100.

また燃料オフガス排出弁２１５は上記した電磁弁１で形成できる。この場合、電磁弁１の入口ポート３０はスタックの燃料極１０１の出口１０１ｐに繋がる。電磁弁１の出口ポート３１は燃料オフガス排出部に繋がる。   The fuel off-gas discharge valve 215 can be formed by the electromagnetic valve 1 described above. In this case, the inlet port 30 of the solenoid valve 1 is connected to the outlet 101p of the fuel electrode 101 of the stack. The outlet port 31 of the solenoid valve 1 is connected to the fuel off-gas discharge part.

酸化剤供給弁３０５も上記した電磁弁１で形成できる。この場合、電磁弁１の入口ポート３０は酸化剤供給源に繋がり、電磁弁１の出口ポート３１はスタックの酸化剤極１０３の入口１０３ｉに繋がる。   The oxidant supply valve 305 can also be formed by the electromagnetic valve 1 described above. In this case, the inlet port 30 of the electromagnetic valve 1 is connected to the oxidant supply source, and the outlet port 31 of the electromagnetic valve 1 is connected to the inlet 103i of the oxidant electrode 103 of the stack.

更に、酸化剤オフガス排出弁３１５は上記した電磁弁１で形成できる。この場合、電磁弁１の入口ポート３０はスタックの酸化剤極１０３の出口１０３ｐに繋がる。酸化剤オフガス排出弁３１５は大気側に繋がる。   Further, the oxidant off-gas discharge valve 315 can be formed by the electromagnetic valve 1 described above. In this case, the inlet port 30 of the solenoid valve 1 is connected to the outlet 103p of the oxidant electrode 103 of the stack. The oxidant off-gas discharge valve 315 is connected to the atmosphere side.

上記した燃料電池システムにおいて本格的な発電運転に至る前の待機運転（アイドリング運転）においては、図５に示すように、励磁コイル部７への通電量をＡ２未満の流量比例領域α１に設定しておけば、親弁口３２を閉鎖させたまま子弁口５３のみを開放させることができ、流量を絞ることができ、燃料電池システムの待機運転（アイドリング運転）に適応する。本格的な発電運転を行うときには、励磁コイル部７への通電量をＡ２以上の流量比例領域α３に設定すれば、親弁口３２および子弁口５３の双方を開放させることができ、流量を増加させることができ、燃料電池システムの発電運転に適する。更には燃料電池システムが改質装置を含むときには、改質装置の入口側および／または出口側の電磁弁に本発明を適用しても良い。   In the standby operation (idling operation) before full-scale power generation operation in the fuel cell system described above, as shown in FIG. 5, the energization amount to the exciting coil unit 7 is set to a flow rate proportional region α1 less than A2. In this case, only the child valve port 53 can be opened while the parent valve port 32 is closed, the flow rate can be reduced, and this is suitable for the standby operation (idling operation) of the fuel cell system. When a full-scale power generation operation is performed, if the energization amount to the exciting coil unit 7 is set to a flow rate proportional region α3 of A2 or more, both the parent valve port 32 and the child valve port 53 can be opened, and the flow rate can be reduced. It can be increased and is suitable for power generation operation of a fuel cell system. Furthermore, when the fuel cell system includes a reformer, the present invention may be applied to an electromagnetic valve on the inlet side and / or the outlet side of the reformer.

（その他）
上記した実施形態では、親プランジャ４の軸芯Ｍ１は鉛直方向に沿って延設されているが、これに限らず、斜め方向に沿って延設されていても良い。この場合、親プランジャ４は斜め方向に移動する。場合によって親プランジャ４の軸芯Ｍ１は横方に沿っており、親プランジャ４は横方向に移動するタイプでも良い。 (Other)
In the above-described embodiment, the axis M1 of the parent plunger 4 is extended along the vertical direction, but is not limited thereto, and may be extended along an oblique direction. In this case, the parent plunger 4 moves in an oblique direction. In some cases, the axis M1 of the parent plunger 4 may be along the lateral direction, and the parent plunger 4 may be of a type that moves in the lateral direction.

上記した電磁弁１は燃料電池システムに限らず、他の流体機器に使用することができ、流体としては気体でも良いし、液体でも良い。本発明は上記し且つ図面に示した実施形態のみに限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施できる。   The electromagnetic valve 1 described above can be used not only in the fuel cell system but also in other fluid devices, and the fluid may be gas or liquid. The present invention is not limited to the embodiments described above and shown in the drawings, and can be implemented with appropriate modifications within the scope not departing from the gist.

上記した記載から次の技術的思想も把握できる。
（付記項１）燃料電池と、燃料電池の燃料極の入口に燃料を供給する燃料供給路、燃料電池の燃料極の出口から燃料オフガスを排出する燃料オフガス路と、燃料電池の酸化剤極の入口に酸化剤ガスを供給する酸化剤供給路と、燃料電池の酸化剤極の出口から酸化剤オフガスを排出する酸化剤オフガス路とをもつ燃料電池システムにおいて、燃料供給路には燃料供給弁が設けられており、燃料オフガス路には燃料オフガス排出弁が設けられており、酸化剤供給路には酸化剤供給弁が設けられており、酸化剤オフガス路には酸化剤オフガス排出弁が設けられており、燃料供給弁、燃料オフガス排出弁、酸化剤供給弁、酸化剤オフガス排出弁のうちの少なくとも１種は、各請求項に係る電磁弁で形成されていることを特徴とする燃料電池システム。この場合、親弁口が閉弁されている状態で子弁口が開弁するため、子弁口の開弁による流量特性が得られる。更に磁気吸引力が増加すると、親弁口が開弁するため、親弁口の開弁による流量特性が得られる。更に、電磁弁における磁気吸引力のバラツキを抑えると共に、スイッチ素子の数、結線工数が増加し、サイズの大型化、コストの高騰を抑えるのに有利となる。 The following technical idea can also be grasped from the above description.
(Additional Item 1) A fuel cell, a fuel supply passage for supplying fuel to the fuel electrode inlet of the fuel cell, a fuel off-gas passage for discharging fuel off-gas from the fuel electrode outlet of the fuel cell, and an oxidant electrode of the fuel cell In a fuel cell system having an oxidant supply path for supplying an oxidant gas to an inlet and an oxidant offgas path for discharging an oxidant offgas from an outlet of an oxidant electrode of the fuel cell, a fuel supply valve is provided in the fuel supply path. The fuel off-gas passage is provided with a fuel off-gas discharge valve, the oxidant supply passage is provided with an oxidant supply valve, and the oxidant off-gas passage is provided with an oxidant off-gas discharge valve. And at least one of a fuel supply valve, a fuel off-gas discharge valve, an oxidant supply valve, and an oxidant off-gas discharge valve is formed by an electromagnetic valve according to each claim. . In this case, since the child valve port is opened in a state where the parent valve port is closed, a flow rate characteristic is obtained by opening the child valve port. When the magnetic attraction force further increases, the parent valve port opens, so that a flow rate characteristic by opening the parent valve port can be obtained. Furthermore, the variation in the magnetic attraction force in the solenoid valve is suppressed, and the number of switch elements and the number of connection man-hours are increased, which is advantageous in suppressing an increase in size and cost.

本発明は、気体または液体状のガス流体を遮断および供給する電磁弁に利用できる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used for an electromagnetic valve that cuts off and supplies gas or liquid gaseous fluid.

電磁弁の親弁口および子弁口が閉鎖している状態を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the state which the parent valve port and the child valve port of a solenoid valve are closing. 電磁弁の親弁口および子弁口が閉鎖している状態における親プランジャ付近を模式的に示す拡大断面図である。It is an expanded sectional view showing typically the parent plunger neighborhood in the state where the parent valve mouth and the child valve mouth of the electromagnetic valve are closed. 電磁弁が親弁口が閉鎖しているものの、子弁口が開放している状態を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the state by which the solenoid valve has the parent valve opening closed, but the child valve opening is open. 電磁弁が親弁口が開放している状態を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the state by which the solenoid valve has the parent valve opening. 電磁弁の流量特性を示すグラフである。It is a graph which shows the flow characteristic of a solenoid valve. 実施形態３に係り、電磁弁の親弁口および子弁口が閉鎖している状態を模式的に示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing a state where a parent valve port and a child valve port of a solenoid valve are closed according to a third embodiment. 実施形態４に係り、電磁弁の親弁口および子弁口が閉鎖している状態を模式的に示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view schematically showing a state where the parent valve port and the child valve port of the electromagnetic valve are closed according to the fourth embodiment. 実施形態５に係り、電磁弁の親弁口および子弁口が閉鎖している状態を模式的に示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view schematically showing a state where the parent valve port and the child valve port of the electromagnetic valve are closed according to the fifth embodiment. 燃料電池システムに適用した実施形態に係り、燃料電池のシステム図である。1 is a system diagram of a fuel cell according to an embodiment applied to a fuel cell system.

符号の説明Explanation of symbols

１は電磁弁、２はボディ、２１はヨーク、２２は固定鉄芯、２６は支持部材、３０は入口ポート、３１は出口ポート、３２は親弁口、３６はリング通路、４は親プランジャ、４０は親バネ室、４５は子作動室、４７は子バネ、４８は子バネ室、５は親弁体、５３は子弁口、６は親バネ、７は励磁コイル部、８は子プランジャ、８５はシール部材を示す。   1 is an electromagnetic valve, 2 is a body, 21 is a yoke, 22 is a fixed iron core, 26 is a support member, 30 is an inlet port, 31 is an outlet port, 32 is a parent valve port, 36 is a ring passage, 4 is a parent plunger, 40 is a parent spring chamber, 45 is a child working chamber, 47 is a child spring, 48 is a child spring chamber, 5 is a parent valve body, 53 is a child valve port, 6 is a parent spring, 7 is an exciting coil section, and 8 is a child plunger. , 85 indicate seal members.

Claims (5)

流体が流入する入口ポートと、流体が流出する出口ポートと、前記入口ポートと前記出口ポートとの間に設けられた親弁口と、親作動室とをもつボディと、
前記ボディの前記親作動室内に移動可能に設けられている親プランジャと、
前記親プランジャに取り付けられ前記親弁口を開閉する親弁体と、
前記ボディの前記親作動室内に設けられ前記親弁体が前記ボディの前記親弁口を閉弁する方向に前記親プランジャを付勢する親付勢要素と、
前記ボディに設けられ前記親プランジャを開弁方向に移動させる磁気吸引力を通電により発生させる励磁コイル部とを具備しており、
前記親プランジャは、
空洞状をなす子作動室と、
前記入口ポート、前記親弁口および前記出口ポートに連通可能に設けられ且つ前記親弁口の開口面積よりも小さな開口面積をもつ子弁口と、
前記子作動室内に移動可能に配置され前記励磁コイル部の前記磁気吸引力により前記子弁口を開弁させる方向に移動する子プランジャと、
前記子作動室内に設けられ、前記子プランジャが前記子弁口を閉弁する方向に前記子プランジャを付勢する子付勢要素とを具備していることを特徴とする電磁弁。 A body having an inlet port through which a fluid flows, an outlet port through which a fluid flows out, a parent valve port provided between the inlet port and the outlet port, and a parent working chamber;
A parent plunger provided movably in the parent working chamber of the body;
A parent valve body attached to the parent plunger for opening and closing the parent valve port;
A parent biasing element that is provided in the parent working chamber of the body and biases the parent plunger in a direction in which the parent valve closes the parent valve port of the body;
An excitation coil portion that is provided on the body and generates a magnetic attraction force by energization that moves the parent plunger in the valve opening direction;
The parent plunger is
A child working chamber having a hollow shape,
A child valve port provided so as to be able to communicate with the inlet port, the parent valve port and the outlet port and having an opening area smaller than an opening area of the parent valve port;
A child plunger that is movably disposed in the child working chamber and moves in a direction in which the child valve port is opened by the magnetic attractive force of the exciting coil unit;
An electromagnetic valve comprising: a child biasing element provided in the child working chamber and biasing the child plunger in a direction in which the child plunger closes the child valve port. 請求項１において、前記子弁口は、前記親弁体にこれの厚み方向に貫通するように形成されていることを特徴とする電磁弁。   2. The solenoid valve according to claim 1, wherein the child valve port is formed so as to penetrate the parent valve body in a thickness direction thereof. 請求項１または２のうちの一項において、前記子プランジャは、親プランジャの前記子作動室の内部に収容されていることを特徴とする電磁弁。   3. The electromagnetic valve according to claim 1, wherein the child plunger is accommodated in the child working chamber of the parent plunger. 請求項１〜３のうちの一項において、前記親プランジャは、前記励磁コイル部で発生する磁束を前記子プランジャに透過させると共に前記子プランジャの開弁を前記親プランジャの開弁よりも促進させる磁路案内部を備えていることを特徴とする電磁弁。   4. The parent plunger according to claim 1, wherein the parent plunger transmits the magnetic flux generated in the exciting coil portion to the child plunger and promotes the opening of the child plunger more than the valve opening of the parent plunger. An electromagnetic valve comprising a magnetic path guide. 請求項１〜４のうちの一項において、前記子付勢要素の付勢力は前記親付勢要素の付勢力よりも小さく設定されていることを特徴とする電磁弁。   5. The solenoid valve according to claim 1, wherein a biasing force of the child biasing element is set smaller than a biasing force of the parent biasing element.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010067853A1 (en) * 2008-12-09 2010-06-17 カヤバ工業株式会社 Solenoid-driven flow rate control valve
JP2011064245A (en) * 2009-09-16 2011-03-31 Aisin Seiki Co Ltd Gas shutoff valve for fuel cell
JP2014092144A (en) * 2012-11-07 2014-05-19 Aisan Ind Co Ltd Exhaust gas reflux valve
CN110345297A (en) * 2018-04-04 2019-10-18 本田技研工业株式会社 Injector device

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010067853A1 (en) * 2008-12-09 2010-06-17 カヤバ工業株式会社 Solenoid-driven flow rate control valve
US8870152B2 (en) 2008-12-09 2014-10-28 Kayaba Industry Co., Ltd. Solenoid-driven flow control valve
JP2011064245A (en) * 2009-09-16 2011-03-31 Aisin Seiki Co Ltd Gas shutoff valve for fuel cell
JP2014092144A (en) * 2012-11-07 2014-05-19 Aisan Ind Co Ltd Exhaust gas reflux valve
CN110345297A (en) * 2018-04-04 2019-10-18 本田技研工业株式会社 Injector device
CN110345297B (en) * 2018-04-04 2021-08-03 本田技研工业株式会社 Ejector device

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