JP2008117402A - 圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧電素子22の一方側に取り付けられる慣性体21と、圧電素子22のもう一方側に取り付けられる衝撃体23と、慣性体21と衝撃体23の移動方向に予圧を与え、ケース27に取り付けられた衝撃体移動方向予圧手段24と、慣性体21及び衝撃体23をガイドする案内手段25、26と、圧電素子22に外部より電圧パターンを与える手段と、を具備し、ケース27がベース29に固定されている。
【選択図】図1
Description
22、32、42、82 圧電素子
23、33、43、52、62、67、72、83、93、103 衝撃体
24、34、44、94、104 ばね
25、26、35、36、45、46、84、85、95、96、105、106 ローラガイド又は低摩擦係数の摺動面
27、37、47、53、63、68、73、86、98、108 ケース
28、54、64、65、69、76 位置決めすべき対象物
29、39、50、55、56 ベース
31A、41A、51A、61A、66A、71A 慣性体の後部に設けられるロッド
33A、43A、83A 棒状の衝撃体の先端部
37A、37B、47A、48B、86A、86B、98A、98B、108A、108B ケースの孔
38、49、87、97、107 電線
48、93A、103A 座
54A、54B、64A、64B、64C、64D、65A、65B、65C、65D 位置決めすべき対象物の側面
69A〜69D 4隅が面取りされた角部を有する側面
75 回転中心軸
76A 位置決めすべき対象物の左側面
76B 位置決めすべき対象物の下方面
76C 位置決めすべき対象物の右側面
76D 位置決めすべき対象物の上方面
87 工具ホルダ
88 ワークピース
89 回転式真空チャック
90 工具ホルダの支持部
92 バイモルフ型圧電素子
102 剪断型圧電素子
Claims (11)
- 圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置において、
(a)圧電素子の一方側に取り付けられる慣性体と、
(b)前記圧電素子のもう一方側に取り付けられる衝撃体と、
(c)前記慣性体と前記衝撃体の移動方向に予圧を与え、ケースに取り付けられた衝撃体移動方向予圧手段と、
(d)前記慣性体及び前記衝撃体をガイドする案内手段と、
(e)前記圧電素子に外部より電圧パターンを与える手段と、を具備し、
(f)前記ケースがベースに固定されていることを特徴とする圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置。 - 請求項1記載の圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置において、前記慣性体をガイドする案内手段の垂直方向に予圧を与えないことを特徴とする圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置。
- 請求項1に記載の圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置を、位置決めすべき対象物の両側に配置し、前記位置決めすべき対象物を正逆方向に駆動可能にしてなる圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置。
- 請求項1に記載の圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置を、位置決めすべき対象物のいくつかの側面に少なくとも3個配置し、前記位置決めすべき対象物をX軸、Y軸及び回転方向に駆動可能にしてなる圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置。
- 請求項1に記載の圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置を、回転自在にセットされた位置決めすべき対象物の側面に配置し、前記位置決めすべき対象物を回転方向に駆動可能にしてなる圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置。
- 前記小型精密位置決め装置が、
前記衝撃体を介して位置決めすべき対象物の移動をおこさないように、前記衝撃体移動方向予圧手段により前記位置決めすべき対象物に初期予圧を与え、前記衝撃体と前記位置決めすべき対象物に初期予圧を与え、前記衝撃体と前記位置決めすべき対象物を接触させ、
前記圧電素子を急速変形させ、前記位置決めすべき対象物を微動させ、
前記圧電素子を縮ませるとともに、前記初期予圧の働きにより前記衝撃体を前記位置決めすべき対象物に接触させるように構成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5いずれか一項に記載の圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置。 - 圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置において、
(a)ケースと、
(b)該ケース内に設けられる圧電素子の一方側に取り付けられる慣性体と、
(c)前記ケース内に設けられる前記圧電素子のもう一方側に取り付けられる棒状の衝撃体と、
(d)前記慣性体の後方に設けられるロッドと、
(e)前記ケースの両側の前記慣性体と前記衝撃体の移動方向に穿設される孔と、
(f)前記ケースの前記両側の孔に設けられる前記棒状の衝撃体と前記ロッドとをガイドする案内手段と、
(g)前記圧電素子に外部より電圧パターンを与える手段と、
(h)前記ケースと前記慣性体との間、又は前記ケースと前記棒状の衝撃体に固定された座との間に設けられるばねと、を具備し、
前記ばねが前記ケースに取り付けられ、前記ケースがベースに固定されていることを特徴とする圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置。 - 請求項7に記載の圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置を、水平に配置し、前記棒状の衝撃体の先端部を位置決めすべき対象物に作用させることを特徴とする圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置。
- 請求項7に記載の圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置を、垂直に配置し、前記棒状の衝撃体の先端部を位置決めすべき対象物に作用させることを特徴とする圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置。
- 請求項7に記載の圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置を、傾斜させて配置し、前記棒状の衝撃体の先端部を位置決めすべき対象物に作用させることを特徴とする圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置。
- 前記ベースが、手動又はアクチュエータで駆動されるステージ、又はロボットハンドにより構成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項10いずれか一項に記載の圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置。
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JP2007287491A JP4482582B2 (ja) | 2007-11-05 | 2007-11-05 | 圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置 |
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JP2007287491A JP4482582B2 (ja) | 2007-11-05 | 2007-11-05 | 圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP30167597A Division JP4073060B2 (ja) | 1997-11-04 | 1997-11-04 | 圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2008117402A true JP2008117402A (ja) | 2008-05-22 |
JP4482582B2 JP4482582B2 (ja) | 2010-06-16 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019031632A1 (ko) * | 2017-08-09 | 2019-02-14 | 창원대학교 산학협력단 | 압전 액추에이터 |
-
2007
- 2007-11-05 JP JP2007287491A patent/JP4482582B2/ja not_active Expired - Fee Related
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