JP2008116465A - X-ray inspection apparatus - Google Patents

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一毅 永塚
Yoshitoshi Watabe
俊寿 渡部
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an X-ray inspection apparatus capable of performing, for each zone of a physical-quantity inspection region, an easily comprehensible display that associates a physical-quantity calculation result to an X-ray image corresponding to the result. <P>SOLUTION: An X-ray inspection apparatus including an X-ray source 2, an X-ray detecting section 4, a data processing section 6, and a display section 20 is provided with: a region extraction processing section 8 for dividing a mass inspection region of an inspected object into a plurality of zones A, B and C, for extracting, for each of the plurality of zones, detection information, contained in detection information from the X-ray detecting section 4, which falls within a predetermined range of detection levels, and for causing an X-ray image generating section 11 to generate a radiographic image of the mass-measuring region; a mass calculating section 13 for calculating the mass of a work W in accordance with the detection information extracted by the region extraction processing section 8; and a display data generating section 15 for causing the display section 20 to display the X-ray images of the plurality of zones of the mass-measuring regions and a plurality of graphical representation elements 43, 44 and 45 indicative of the mass calculated by the mass calculating section 13, with an X-ray images respectively associated with the graphical representation elements. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、Ｘ線検査装置、特に被検査物を透過したＸ線の透過量検出情報を基にＸ線画像を形成するとともに、被検査物の大きさや又は質量（重量）等に関連する所定の物理量を測定してその測定結果をＸ線画像と共に表示するＸ線検査装置に関する。   The present invention forms an X-ray image on the basis of X-ray inspection apparatus, in particular, X-ray transmission amount detection information transmitted through an inspection object, and also relates to a predetermined size or mass (weight) of the inspection object. The present invention relates to an X-ray inspection apparatus that measures the physical quantity of the image and displays the measurement result together with the X-ray image.

生産ライン等において、複数の被検査物に対する何らかの物理量（例えば質量（重量）、体積、厚さ、長さ、幅等）の計測を行ってその結果や合否判定結果を順次画面表示するとともに不合格時に警報を発したり運転停止するようにしたＸ線検査装置、あるいは、被検査物の品質検査（例えば、異物混入、欠品、変形（形状）、特性等の検査）を行なった結果を順次画面表示するとともに不合格時に警報を発したり運転停止するようにしたＸ線検査装置は、従前より広く知られている。   In a production line, etc., some physical quantity (for example, mass (weight), volume, thickness, length, width, etc.) is measured for multiple inspection objects, and the results and pass / fail judgment results are sequentially displayed on the screen and rejected. An X-ray inspection system that sometimes issues an alarm or stops operation, or the results of quality inspections of inspection objects (for example, inspection of contamination, missing items, deformation (shape), characteristics, etc.) An X-ray inspection apparatus that displays an alarm and stops operation when it is rejected has been widely known.

従来のこの種のＸ線検査装置としては、例えば特許文献１（特開２００２−０９８６５３号公報）に記載のように、Ｘ線を用いて異物混入チェック、欠品や入り数のチェック等の状態判定を行なうために、各判断方式によるＸ線の検出レベルに基づく値を予め定めた閾値と比較して物品不良の有無を判定するようにしたものがある。このＸ線検査装置では、物品不良判定のための閾値判定に関わる閾値と検出レベルに基づく値とを同一のグラフ表示領域内に表示し、状態判定の余裕度を視覚的に把握できるようになっている。   As a conventional X-ray inspection apparatus of this type, for example, as described in Patent Document 1 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-098653), a state of checking for contamination by foreign matter, checking for missing items or the number of pieces, etc. using X-rays In order to make the determination, there is one in which the value based on the X-ray detection level by each determination method is compared with a predetermined threshold value to determine the presence or absence of an article defect. In this X-ray inspection apparatus, a threshold value related to threshold value determination for determining an article defect and a value based on the detection level are displayed in the same graph display area, so that a margin for state determination can be visually grasped. ing.

また、特許文献２（特開２００２−１３１２４７号公報）に記載のように、被検査物の長さに応じて被検査物の全体画像表示エリアを可変するとともに、その表示エリア内に被検査物の良否判定結果や、検査総数、良品・不良品の数等を共に表示するようにしたものがある。   Further, as described in Patent Document 2 (Japanese Patent Laid-Open No. 2002-131247), the entire image display area of the inspection object is changed according to the length of the inspection object, and the inspection object is included in the display area. Are displayed together with the result of pass / fail judgment, the total number of inspections, the number of non-defective products and defective products, and the like.

さらに、特許文献３（実公平６−７３３１号公報）には、線状に配列した偶数個の表示用セグメントからなる表示灯と、被検査物の計量値（重量値）の許容範囲を特定する上下限値および重量基準値を設定する設定手段と、を備え、上下限値のうち少なくとも一方を前記セグメントで表示するとともに、前記表示灯の一端から他端側に被検査物の計量値に応じた数だけセグメントを点灯させて計量値を線状に表示するようにしたものが記載されている。   Further, Patent Document 3 (Japanese Utility Model Publication No. 6-7331) specifies an allowable range of an indicator lamp composed of an even number of display segments arranged in a line and a measured value (weight value) of an inspection object. Setting means for setting an upper and lower limit value and a weight reference value, and at least one of the upper and lower limit values is displayed in the segment, and according to the measured value of the inspection object from one end to the other end of the indicator lamp A number of segments are lit and the measured values are displayed in a line.

特開２００２−０９８６５３号公報JP 2002-0986653 A 特開２００２−１３１２４７号公報JP 2002-131247 A 実公平６−７３３１号公報No. 6-7331

しかしながら、上述のような従来のＸ線検査装置にあっては、異物混入検査や欠品・入数検査等のような被検査物内部の品質状態の検査にのみ着目して、その検査結果を現時点の品質状態判定結果とそれに関わる検出レベル情報、あるいは一定検査期間における判定結果の累計情報等で表示するだけであった。   However, in the conventional X-ray inspection apparatus as described above, paying attention only to the inspection of the quality state inside the inspected object, such as the inspection of foreign matter mixing and the missing / quantity inspection, the inspection result is The current quality state determination result and the associated detection level information, or the accumulated information of the determination result in a certain inspection period are only displayed.

そのため、Ｘ線画像情報を基に所定の計算処理を行なって被検査物の質量や体積、面積、厚さ、長さ、幅等といった大きさや質量（重量）に関わる物理量を測定する場合に、その物理量の測定値と被検査物の各部の状態との関係を容易に把握可能な表示形態で表示するということができていなかった。   Therefore, when performing a predetermined calculation process based on the X-ray image information and measuring physical quantities related to the size and mass (weight) such as the mass, volume, area, thickness, length, width, etc. of the inspection object, The relationship between the measured value of the physical quantity and the state of each part of the inspection object cannot be displayed in a display form that can be easily grasped.

また、被検査物の品質状態の判定と物理量が許容範囲内か否かの判定を同時に行なって、その結果を共に見易く表示するということができていなかった。   Further, it has not been possible to simultaneously determine the quality state of the object to be inspected and determine whether or not the physical quantity is within an allowable range and display the result in an easy-to-see manner.

さらに、物理量測定値の表示に際して、例えばその測定値に対応する各部の質量や厚さ等のばらつきといったものを分り易く表示できていなかった。   Furthermore, when displaying the physical quantity measurement value, for example, variations such as the mass and thickness of each part corresponding to the measurement value cannot be easily displayed.

そこで、本発明は、Ｘ線画像データのうち物理量測定に関与する領域のデータを有効活用して、物理量測定結果をそれに対応するＸ線画像と関連付けた測定結果の把握容易な表示を行なうことができるＸ線検査装置を提供し、さらに、被検査物の品質状態判定結果と物理量が許容範囲内か否かの判定結果とを同時に見易く表示することのできるＸ線検査装置を提供することを目的とする。   In view of this, the present invention can effectively utilize data in a region related to physical quantity measurement in X-ray image data, and easily display a measurement result in which a physical quantity measurement result is associated with a corresponding X-ray image. An object of the present invention is to provide an X-ray inspection apparatus capable of simultaneously displaying a quality state determination result of an object to be inspected and a determination result as to whether or not a physical quantity is within an allowable range in an easily viewable manner. And

上記目的達成のため、本発明は、（１）被検査物にＸ線を照射するＸ線源と、該被検査物の各部を透過したＸ線の透過量を検出するＸ線検出手段と、前記Ｘ線検出手段からの検出情報に基づいて前記Ｘ線の透過量に対応するＸ線画像を生成する画像生成手段と、前記画像生成手段で生成されたＸ線画像を表示する表示手段と、を備えたＸ線検査装置において、前記被検査物の物理量検査領域を複数の区画に分割して前記画像生成手段に該複数の区画のそれぞれのＸ線画像を生成させる領域分割手段と、前記Ｘ線検出手段からの検出情報のうち所定検出レベル範囲の検出情報を前記複数の区画の各区画毎に抽出して物理量測定領域のＸ線画像を前記画像生成手段に生成させる領域抽出手段と、前記領域抽出手段で抽出された前記複数の区画の各区画毎の検出情報に基づいて前記被検査物の大きさ又は質量に対応する物理量を前記複数の区画の各区画毎に算出する物理量算出手段と、前記複数の区画における前記物理量測定領域のＸ線画像と前記物理量算出手段で算出された前記物理量を示す複数のグラフ表示要素とをそれぞれ関連付けて前記表示手段に表示させる表示制御手段と、を設けたことを特徴とする。   To achieve the above object, the present invention provides (1) an X-ray source for irradiating an object to be inspected with X-rays, an X-ray detection means for detecting the amount of X-ray transmitted through each part of the object to be inspected, Image generation means for generating an X-ray image corresponding to the amount of X-ray transmission based on detection information from the X-ray detection means; display means for displaying the X-ray image generated by the image generation means; An area dividing unit that divides a physical quantity inspection region of the inspection object into a plurality of sections and causes the image generation unit to generate respective X-ray images of the plurality of sections, and the X Area extraction means for extracting detection information of a predetermined detection level range from the detection information from the line detection means for each of the plurality of sections and causing the image generation means to generate an X-ray image of a physical quantity measurement area; and Each of the plurality of sections extracted by the area extracting means A physical quantity calculating means for calculating a physical quantity corresponding to the size or mass of the object to be inspected for each section of the plurality of sections based on detection information for each image; and an X-ray of the physical quantity measurement region in the plurality of sections Display control means for associating an image with a plurality of graph display elements indicating the physical quantity calculated by the physical quantity calculation means and displaying them on the display means is provided.

被検査物の物理量検査領域の各区画毎に、Ｘ線検出手段からの検出情報のうち所定検出レベル範囲の検出情報が抽出されて物理量測定領域のＸ線画像が生成されるとともに、前記抽出された検出情報に基づいて前記各区画毎に被検査物の大きさ又は質量に対応する物理量が算出され、複数の区画における物理量測定領域のＸ線画像と複数の区画についての物理量を示す複数のグラフ表示要素とがそれぞれ関連付けて表示される。したがって、物理量検査領域の各区画毎に、物理量算出結果をそれに対応するＸ線画像と関連付けた把握容易な表示を行なうことが可能となり、例えば被検査物の内容物が複数個若しくは複数種類ある場合にも、各内容物の物理量算出値と対応するＸ線画像を関連付けた表示が可能となる。なお、前記物理量を示す複数のグラフ表示要素の関連付けは、例えば同一の区画表示符号や色、模様若しくはそれらの組み合わせを用いることで可能である。   For each section of the physical quantity inspection region of the object to be inspected, detection information in a predetermined detection level range is extracted from the detection information from the X-ray detection means, and an X-ray image of the physical quantity measurement region is generated and extracted. A physical quantity corresponding to the size or mass of the inspection object is calculated for each section based on the detected information, and an X-ray image of the physical quantity measurement area in the plurality of sections and a plurality of graphs showing the physical quantities in the plurality of sections Display elements are displayed in association with each other. Therefore, it is possible to easily display the physical quantity calculation result associated with the corresponding X-ray image for each section of the physical quantity inspection area. For example, when there are a plurality or a plurality of types of contents of the inspection object In addition, it is possible to display the physical quantity calculation value of each content in association with the corresponding X-ray image. Note that a plurality of graph display elements indicating the physical quantity can be associated by using, for example, the same partition display code, color, pattern, or a combination thereof.

本発明のＸ線検査装置は、また、（２）前記物理量算出手段で算出された前記物理量が予め設定された物理量範囲内にあるか否かを前記複数の区画の各区画毎に判定する物理量判定手段を備え、前記表示制御手段が、前記物理量判定手段によって判定されたそれぞれの物理量判定結果を、前記物理量を示す前記複数のグラフ表示要素と共に前記表示手段に表示させるのがよい。   In the X-ray inspection apparatus of the present invention, (2) a physical quantity that determines, for each of the plurality of sections, whether or not the physical quantity calculated by the physical quantity calculating means is within a preset physical quantity range. It is preferable that a determination unit is provided, and the display control unit displays each physical quantity determination result determined by the physical quantity determination unit together with the plurality of graph display elements indicating the physical quantity on the display unit.

この構成により、前記物理量を示すグラフ表示要素から物理量の算出結果を把握するのと同時に物理量の判定結果を容易に把握することが可能となる。   With this configuration, it is possible to easily grasp the physical quantity determination result simultaneously with grasping the physical quantity calculation result from the graph display element indicating the physical quantity.

本発明のＸ線検査装置は、好ましくは、（３）前記Ｘ線検出手段からの検出情報に基づいて前記被検査物中における異物の有無を判定する異物判定手段を備え、前記表示制御手段が、前記異物判定手段によって判定された異物有無の判定結果を、前記物理量を示すグラフ表示要素と共に前記表示手段に表示させるものである。   The X-ray inspection apparatus of the present invention preferably includes (3) a foreign matter determination means for determining the presence or absence of a foreign matter in the inspection object based on detection information from the X-ray detection means, and the display control means The determination result of the presence / absence of a foreign substance determined by the foreign substance determination unit is displayed on the display unit together with a graph display element indicating the physical quantity.

この構成により、被検査物中における異物有無の判定結果がグラフ表示要素で表示された物理量と共に容易に把握可能となる。   With this configuration, the determination result of the presence or absence of foreign matter in the inspection object can be easily grasped together with the physical quantity displayed by the graph display element.

本発明によれば、被検査物の物理量検査領域の各区画毎に、Ｘ線検出手段からの検出情報のうち一部を抽出して物理量測定領域のＸ線画像を生成するとともに、前記抽出した検出情報に基づいて前記各区画毎に被検査物の大きさ又は質量に対応する物理量を算出し、複数の区画における物理量測定領域のＸ線画像と複数の区画についての物理量を示す複数のグラフ表示要素とをそれぞれ関連付けて表示するようにしているので、物理量検査領域の各区画毎に、物理量算出結果をそれに対応するＸ線画像と関連付けた把握容易な表示を行なうことができるＸ線検査装置を提供することができる。   According to the present invention, for each section of the physical quantity inspection region of the inspection object, a part of the detection information from the X-ray detection means is extracted to generate an X-ray image of the physical quantity measurement region, and the extracted A physical quantity corresponding to the size or mass of the object to be inspected is calculated for each section based on detection information, and an X-ray image of a physical quantity measurement region in a plurality of sections and a plurality of graph displays showing physical quantities in the plurality of sections Since each element is displayed in association with each other, an X-ray inspection apparatus capable of easily grasping and displaying the physical quantity calculation result associated with the corresponding X-ray image for each section of the physical quantity inspection region is provided. Can be provided.

以下、本発明の好ましい実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
[第１の実施の形態]
図１〜図４は本発明に係るＸ線検査装置の第１の実施の形態を示す図であり、本発明を物理量としての質量を測定するＸ線検査装置に適用した例を示している。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[First embodiment]
1 to 4 are diagrams showing a first embodiment of an X-ray inspection apparatus according to the present invention, and show an example in which the present invention is applied to an X-ray inspection apparatus that measures mass as a physical quantity.

まず、その構成を説明する。   First, the configuration will be described.

図１に概略のブロック構成図で示すように、本実施形態のＸ線検査装置は、被検査物であるワークＷを搬送するベルトコンべアからなる搬送路１と、搬送中のワークＷに所定の検査空間内でＸ線を照射するＸ線源２と、検査空間内へのワークＷの進入を検知する例えば投受光器からなる進入検知センサ３と、検査空間内で搬送方向と直交する方向（以下、搬送路幅員方向ともいう）に隣り合う複数の透過領域のそれぞれについてワークＷを透過したＸ線を検出し各透過領域における所定時間毎の累積透過量のデータを検出情報として出力することができるＸ線検出部４（Ｘ線検出手段）と、Ｘ線検出部４からの検出データを処理して表示データを生成するデータ処理ユニット６と、データ処理ユニット６からの表示データを取り込んで画面表示する表示部２０とを含んで構成されている。また、搬送路１およびＸ線源２は、図示しない搬送およびＸ線照射制御ユニットによってそれぞれ所定のタイミングで動作するよう制御される。   As shown in the schematic block diagram of FIG. 1, the X-ray inspection apparatus of the present embodiment has a predetermined conveying path 1 composed of a belt conveyor that conveys a workpiece W that is an object to be inspected, and a workpiece W that is being conveyed. X-ray source 2 for irradiating X-rays in the inspection space, an entry detection sensor 3 comprising, for example, a light projecting / receiving device for detecting the entry of the workpiece W into the inspection space, and a direction orthogonal to the conveying direction in the inspection space Detecting X-rays transmitted through the workpiece W for each of a plurality of transmission areas adjacent to each other (hereinafter, also referred to as a conveyance path width direction), and outputting data of accumulated transmission amounts for each predetermined time in each transmission area as detection information. X-ray detection unit 4 (X-ray detection means) capable of processing, a data processing unit 6 that processes detection data from the X-ray detection unit 4 to generate display data, and a display data from the data processing unit 6 Screen It is configured to include a display unit 20 for. The transport path 1 and the X-ray source 2 are controlled to operate at predetermined timings by a transport and X-ray irradiation control unit (not shown).

ここで、搬送路１は、例えば食品や医薬品等となる個体（定形のものでも柔軟な不定形のものでもよい）のワークＷをその品種に対応する所定の一定搬送速度で搬送するとともに、その搬送途中でワークＷを図示しない装置筐体内の前記所定の検査空間に通してＸ線源２とＸ線検出部４の間を通過させるようになっている。   Here, the conveyance path 1 conveys, for example, a workpiece W of an individual (which may be a regular or flexible irregular shape) to be a food or a medicine at a predetermined constant conveyance speed corresponding to the product type. During the conveyance, the work W is passed through the predetermined inspection space in the apparatus housing (not shown) to pass between the X-ray source 2 and the X-ray detection unit 4.

Ｘ線源２は、例えば陰極フィラメントからの熱電子をその陰極と陽極の間の高電圧により陽極ターゲットに衝突させてＸ線を発生させるＸ線管を有しており、発生したＸ線を下方のＸ線検出部４に向けて不図示のスリットにより搬送路１の幅員方向に広がる扇形のビームに整形して照射するようになっている。すなわち、Ｘ線源２は、Ｘ線検出部４と共に、いわゆるＸ線ファンビーム光学系を構成している。   The X-ray source 2 has an X-ray tube that generates X-rays by colliding a thermoelectron from a cathode filament with an anode target by a high voltage between the cathode and the anode, for example. The X-ray detector 4 is shaped and irradiated into a fan-shaped beam extending in the width direction of the transport path 1 by a slit (not shown). That is, the X-ray source 2 and the X-ray detector 4 constitute a so-called X-ray fan beam optical system.

図２に示すように、Ｘ線検出部４は、Ｘ線ラインセンサ４ａと、Ｘ線ラインセンサ４ａからの検出情報を一時的に保持するデータ記憶部４ｂと、Ｘ線ラインセンサ４ａの感度を調整する検出感度調整部４ｃとで構成されている。   As shown in FIG. 2, the X-ray detection unit 4 has an X-ray line sensor 4a, a data storage unit 4b that temporarily holds detection information from the X-ray line sensor 4a, and the sensitivity of the X-ray line sensor 4a. And a detection sensitivity adjustment unit 4c to be adjusted.

ここで、Ｘ線ラインセンサ４ａは、蛍光体であるシンチレータとフォトダイオード若しくは電荷結合素子とからなる検出素子を搬送路１の幅員方向にアレイ状に所定ピッチで配設した公知のもので、所定解像度でのＸ線検出を行なうことができる。   Here, the X-ray line sensor 4a is a known sensor in which detection elements including a scintillator that is a phosphor and a photodiode or a charge-coupled element are arranged at a predetermined pitch in the width direction of the conveyance path 1 in an array. X-ray detection at a resolution can be performed.

また、データ記憶部４ｂは、Ｘ線ラインセンサ４ａの複数の検出素子からのＸ線検出信号をそれぞれＡ／Ｄ変換するとともに、それら検出素子の配設ピッチに対応する所定の単位搬送時間毎に、搬送路幅員方向の全ｎ個（例えば６４０個）の透過領域について、その単位時間内の累積の透過Ｘ線量（以下、単に透過量という）のデータを、例えば０から１０２３までの階調を表す透過量レベルのデータとして書き込む動作（以下、ライン走査という）を実行することができ、そのためのＡ／Ｄ変換器やプログラムおよびメモリ（図示していない）を有している。   The data storage unit 4b A / D-converts X-ray detection signals from a plurality of detection elements of the X-ray line sensor 4a, respectively, and for each predetermined unit transport time corresponding to the arrangement pitch of the detection elements. For all n (eg, 640) transmission regions in the width direction of the conveyance path, data of accumulated transmission X-ray dose (hereinafter simply referred to as transmission amount) within the unit time, for example, gradations from 0 to 1023 An operation (hereinafter referred to as line scanning) for writing as transmission level data can be executed, and an A / D converter, a program, and a memory (not shown) are provided.

また、検出感度調整部４ｃは、具体的なハードウェア構成を図示していないが、例えばＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭおよびＩ／Ｏインターフェースを有するマイクロコンピュータを含んで構成されており、ＲＯＭに格納された所定の感度調整プログラムに従って、ワークＷが搬送路１上に無いときベルト面のみでの各透過領域でのＸ線の透過量が等しい値になるようＸ線検出部４としての検出感度を調整するようになっている。本実施形態で採用するようなＸ線ファンビーム光学系においては、例えばシンチレータ型ＣＣＤラインセンサからなるＸ線ラインセンサ４ａの焦点仰角（９０°−θ）の範囲における各ピクセル分の受光量Ｉは、各透過領域におけるＸ線照射強度に応じた値Ｉ（θ）＝{１／（１＋ｔａｎ２θ）}・Ｉ（０°）となるが、検出感度調整部４ｃでは、ワークＷの搬送前の搬送ベルト面でこの受光量Ｉ（θ）がフラットな受光量特性となるよう受光感度補正が行なわれる。   The detection sensitivity adjustment unit 4c is not shown in a specific hardware configuration, but is configured to include, for example, a microcomputer having a CPU, a ROM, a RAM, and an I / O interface, and is stored in the ROM. According to a predetermined sensitivity adjustment program, the detection sensitivity of the X-ray detection unit 4 is adjusted so that the X-ray transmission amount in each transmission region on the belt surface alone is equal when the workpiece W is not on the conveyance path 1. It is like that. In the X-ray fan beam optical system employed in the present embodiment, the received light amount I for each pixel in the range of the focal elevation angle (90 ° −θ) of the X-ray line sensor 4a formed of, for example, a scintillator type CCD line sensor is , The value I (θ) = {1 / (1 + tan 2θ)} · I (0 °) corresponding to the X-ray irradiation intensity in each transmission region. In the detection sensitivity adjustment unit 4c, the conveyance belt before conveyance of the workpiece W is obtained. The received light sensitivity is corrected so that the received light amount I (θ) has a flat received light amount characteristic on the surface.

データ処理ユニット６は、具体的なハードウェア構成を図示していないが、例えばＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭおよびＩ／Ｏインターフェースを有するマイクロコンピュータと、後述する複数の処理機能部の各機能を発揮するための制御プログラムをＲＯＭと協働して読み出し可能に記憶した補助記憶装置と、タイマー回路等とを含んで構成されており、ＲＯＭ等に格納された制御プログラムに従って、ＣＰＵがＲＡＭ等との間でデータを授受しながら所定の演算処理を実行するとともに前記制御プログラムを実行するようになっている。   Although the data processing unit 6 does not show a specific hardware configuration, the data processing unit 6 exhibits each function of, for example, a microcomputer having a CPU, a ROM, a RAM, and an I / O interface and a plurality of processing function units described later. And an auxiliary storage device that stores the control program in a readable manner in cooperation with the ROM, a timer circuit, and the like, and the CPU communicates with the RAM and the like according to the control program stored in the ROM or the like. A predetermined calculation process is executed while exchanging data, and the control program is executed.

このデータ処理ユニット６は、前記複数の処理機能部として、領域抽出処理部８と、Ｘ線画像生成部１１と、質量算出部１３と、表示データ生成部１５（表示制御手段）とを含んでおり、Ｘ線検出部４からの検出情報を基に、後述するＸ線画像データの生成処理および物理量算出処理をそれぞれ実行する。なお、ここにいう「物理量」とは、質量や体積、面積、厚さ、長さ、幅等といった大きさや質量（重量）に関わる物理量であるが、本実施例における物理量の算出処理は一例としての質量の算出処理である。   The data processing unit 6 includes a region extraction processing unit 8, an X-ray image generation unit 11, a mass calculation unit 13, and a display data generation unit 15 (display control means) as the plurality of processing function units. Then, based on detection information from the X-ray detection unit 4, an X-ray image data generation process and a physical quantity calculation process, which will be described later, are executed. The “physical quantity” referred to here is a physical quantity related to the size and mass (weight) such as mass, volume, area, thickness, length, width, etc., but the physical quantity calculation process in this embodiment is an example. It is a calculation process of mass of.

領域抽出処理部８は、Ｘ線検出部４からの検出情報のうち一部を抽出して、少なくとも前記Ｘ線画像の背景に相当する部分を除いた質量測定領域（物理量測定領域）のＸ線画像をＸ線画像生成部１１に生成させる領域抽出手段となっており、そのためのプログラムおよび作業メモリ（図示していない）を有している。   The region extraction processing unit 8 extracts a part of the detection information from the X-ray detection unit 4 and removes at least a portion corresponding to the background of the X-ray image, and X-rays of a mass measurement region (physical quantity measurement region) It is a region extraction means for causing the X-ray image generation unit 11 to generate an image, and has a program and a working memory (not shown) for that purpose.

この領域抽出処理部８は図２に示すように濃度データ生成部８ａおよび抽出部８ｂを有しており、濃度データ生成部８ａは、各ワークＷに対して前記ライン走査がなされるとき、Ｘ線検出部４のデータ記憶部４ａに書き込まれた透過量データを基に、ワークＷが無くＸ線透過量の値が最大でワークＷによるＸ線吸収量がゼロとなるときに最小濃度値となり、Ｘ線透過量の値が最小でワークＷによるＸ線吸収量が最大となるときに最大濃度値となるＸ線画像の濃度データを生成する。   As shown in FIG. 2, the area extraction processing unit 8 includes a density data generation unit 8a and an extraction unit 8b. The density data generation unit 8a performs X scanning when the line scan is performed on each workpiece W. Based on the transmission amount data written in the data storage unit 4a of the line detection unit 4, the minimum density value is obtained when there is no work W and the value of the X-ray transmission amount is maximum and the X-ray absorption amount by the work W becomes zero. Then, density data of an X-ray image that generates a maximum density value when the X-ray transmission amount is minimum and the X-ray absorption amount by the workpiece W is maximum is generated.

また、領域抽出処理部８の抽出部８ｂは、濃度データ生成部８ａからの濃度データのうち所定濃度レベル範囲となる一部の濃度データのみを抽出してＸ線画像の背景に相当する部分を除いた質量測定領域の濃度データを取り出すようになっており、少なくとも前記Ｘ線画像の濃度データを所定の閾値でノイズカット処理し、ワークＷにＸ線が照射されるときの背景、本実施形態においてはワークＷが載置される搬送ベルトの質量測定値がゼロとなるようにするプログラムおよび作業メモリ領域を有している。なお、ワークＷが包装用容器や風袋を含む場合であって測定対象の質量にそれを含めないときには、予めその容器や風袋による影響値レベルを測定してメモリに記憶させておき、抽出部８ｂでその影響分をも除去する処理を施すようにしてもよい。   Further, the extraction unit 8b of the region extraction processing unit 8 extracts only a part of density data that falls within a predetermined density level range from the density data from the density data generation unit 8a, and extracts a portion corresponding to the background of the X-ray image. The density data of the excluded mass measurement region is extracted, and at least the density data of the X-ray image is subjected to noise cut processing with a predetermined threshold, and the background when the workpiece W is irradiated with X-rays, this embodiment Has a work memory area and a program for making the measured mass value of the conveyor belt on which the workpiece W is placed zero. When the workpiece W includes a packaging container or a tare and does not include it in the mass to be measured, the influence value level due to the container or the tare is measured in advance and stored in the memory, and the extraction unit 8b In this case, a process for removing the influence may be performed.

Ｘ線画像生成部１１は、領域抽出処理部８で抽出された濃度データを所定時間毎に取り込み、各ワークＷの全域分の透過量データに対応するＸ線画像であって、ワークＷが無くＸ線の透過量の値が最大でワークＷによるＸ線吸収量がゼロとなる部位で最小濃度値となり、Ｘ線の透過量の値が最小でワークＷによるＸ線吸収量が最大となる部位で最大濃度となる各ワークＷのディジタルＸ線画像を生成する画像生成手段となっている。   The X-ray image generation unit 11 takes in the density data extracted by the region extraction processing unit 8 every predetermined time, and is an X-ray image corresponding to the transmission amount data for the entire area of each work W, and there is no work W. The portion where the X-ray absorption amount is the maximum and the X-ray absorption amount by the workpiece W is zero, the minimum density value is the minimum, the X-ray transmission amount value is the minimum, and the X-ray absorption amount by the workpiece W is the maximum The image generating means generates a digital X-ray image of each workpiece W having the maximum density.

一方、質量算出部１３は、濃度データ変換部１３ａ、体積測定部１３ｂおよび質量換算部１３ｃを有しており、濃度データ変換部１３ａは、Ｘ線画像における背景の濃度値Ｐ０と、Ｘ線画像における前景（質量測定領域に対応する画像）の代表濃度Ｐ１と、等価厚画像の最大濃度Ｑmaxとをそれぞれ図示しない設定器から設定入力して内部の設定値メモリ（図示していない）に記憶させ、その設定値に基づいてワークＷの各透過領域におけるＸ線画像の濃度データＰから等価厚画像の濃度データＱ（Ｐ）への変換処理を例えば次式〔１〕により実行するようになっている。なお、等価厚画像とは、Ｘ線の透過量データから生成される濃度データによってワークＷの厚さを等価的に示すようにした画像である。
Ｑ（Ｐ）＝［｛ｌｎ（Ｐ０）−ｌｎ（Ｐ）｝／｛ｌｎ（Ｐ０）−ｌｎ（Ｐ１）｝］γ・Ｑmax ・・・〔１〕
ただし、Ｑ（Ｐ）：各透過領域における等価厚画像の濃度値
Ｐ０：Ｘ線画像における背景の濃度値
Ｐ ：各透過領域におけるＸ線画像の濃度値
Ｐ１：Ｘ線画像における前景の代表濃度値
γ：補正指数値
Ｑmax：等価厚画像の最大濃度値 On the other hand, the mass calculation unit 13 includes a density data conversion unit 13a, a volume measurement unit 13b, and a mass conversion unit 13c. The density data conversion unit 13a includes the background density value P0 in the X-ray image and the X-ray image. The representative density P1 of the foreground (image corresponding to the mass measurement region) and the maximum density Qmax of the equivalent thickness image are set and inputted from a setting device (not shown) and stored in an internal setting value memory (not shown). Based on the set value, the conversion process from the density data P of the X-ray image to the density data Q (P) of the equivalent thickness image in each transmission region of the work W is executed by the following equation [1], for example. Yes. The equivalent thickness image is an image in which the thickness of the workpiece W is equivalently shown by density data generated from the X-ray transmission amount data.
Q (P) = [{ln (P0) -ln (P)} / {ln (P0) -ln (P1)}] γ · Qmax (1)
Q (P): density value of equivalent thickness image in each transmission region
P0: Background density value in the X-ray image
P: density value of X-ray image in each transmission region
P1: Foreground representative density value in X-ray image
γ: Correction index value
Qmax: Maximum density value of the equivalent thickness image

前記受光感度補正により、無搬送時（又は無搬送域）においては、Ｘ線ラインセンサ４ａの前記検出素子の受光量Ｉ０はほぼＮ０ｅｘｐ（−α０・ｔ０）に対応する一定値となるので、Ｘ線検出部４の受光感度補正によって角度θに依存しなくなった受光量Ｉ'はＩ'＝Ｉ０ｅｘｐ（−α・ｔ）と考えることができる。ここで、α・ｔは、Ｘ線が発生源から出てＸ線測定部により検出されるまでに透過した物質によるＸ線吸収量を直接的に示す等価厚の値であり、例えばこれを画像の濃度値に対応付けることで、Ｘ線吸収率の高い物質あるいはＸ線透過方向の厚さの厚い部位ほど濃度値の大きな等価厚画像を作成することができる。   As a result of the light reception sensitivity correction, the light reception amount I0 of the detection element of the X-ray line sensor 4a becomes a constant value corresponding to substantially N0exp (−α0 · t0) when no conveyance is performed (or no conveyance area). The amount of received light I ′ that is no longer dependent on the angle θ due to the light reception sensitivity correction of the line detection unit 4 can be considered as I ′ = I0exp (−α · t). Here, α · t is an equivalent thickness value that directly indicates the amount of X-ray absorption by the substance that has passed through the X-ray from the source until it is detected by the X-ray measuring unit. By associating with the density value, an equivalent thickness image having a larger density value can be created for a substance having a higher X-ray absorption rate or a thicker part in the X-ray transmission direction.

そこで、前記受光量Ｉ'、Ｉ０を用い、α・ｔをワークの各透過領域における等価厚τとして、ワークＷの等価厚τをγ乗した値Ｊ(τ）を考えると、このＪ(τ）は、例えば次式〔２〕で表わすことができる。
Ｊ(τ）＝（α・ｔ）γ＝｛ｌｎ（Ｉ０）−ｌｎ（Ｉ'）｝γ ・・・〔２〕
ただし、Ｊ(τ）：各透過領域における等価厚画像の濃度値
Ｉ０：Ｘ線画像における背景（例えばベルト面）の受光量
Ｉ'：各透過領域における受光量
γ：補正指数値 Therefore, when the received light amounts I ′ and I0 are used and α · t is an equivalent thickness τ in each transmission region of the workpiece, and a value J (τ) obtained by multiplying the equivalent thickness τ of the workpiece W by γ, this J (τ ) Can be expressed, for example, by the following equation [2].
J (τ) = (α · t) γ = {ln (I0) −ln (I ′)} γ (2)
Where J (τ): density value of equivalent thickness image in each transmission region
I0: Amount of received light of background (for example, belt surface) in X-ray image
I ′: received light amount in each transmission region
γ: Correction index value

上記濃度データ変換の式〔１〕はこの式〔２〕を基に、Ｘ線画像における前景の代表濃度値を例えば代表ワークＷの最大厚さに対応させることで表示部２０での濃度表示能力を十分に活用できるように変形したものである。   The density data conversion formula [1] is based on the formula [2], and the density display capability in the display unit 20 is obtained by making the representative density value of the foreground in the X-ray image correspond to the maximum thickness of the representative workpiece W, for example. It is modified so that can be fully utilized.

質量算出部１３の体積測定部１３ｂは、領域抽出処理部８の抽出部８ｂから質量測定領域のＸ線画像の濃度データを取り込むことで、質量測定の対象領域についてのみ体積演算を実行するようになっており、ワークＷの搬送方向の先端から後端までの毎回の走査で得られる等価厚画像の濃度データＱ（Ｐ）（以下、スライスデータともいう）のうち有効なデータを合算することにより各ワークＷの体積Ｖを算出する体積測定処理プログラムを有している。   The volume measurement unit 13b of the mass calculation unit 13 takes in the density data of the X-ray image of the mass measurement region from the extraction unit 8b of the region extraction processing unit 8 so that the volume calculation is performed only on the target region for mass measurement. By adding the effective data out of the density data Q (P) (hereinafter also referred to as slice data) of the equivalent thickness image obtained by each scanning from the front end to the rear end in the conveyance direction of the workpiece W. A volume measurement processing program for calculating the volume V of each workpiece W is provided.

質量算出部１３の質量換算部１３ｃは、図示しない品種パラメータファイルから読み込まれるワークＷの質量換算係数λＷ等を記憶する係数保持メモリ領域と、体積測定された透過領域毎の体積測定値Ｖを予め設定された所定の換算比（変換レート）で質量単位の換算値に換算する換算処理プログラムとを有しており、体積測定部１３ｂで体積測定された各ワークＷの体積測定値Ｖを質量値に換算する。ここで、質量単位に換算された値をＧとすれば、この換算値Ｇは、Ｇ＝λＷ・Ｖと表わすことができる。   The mass conversion unit 13c of the mass calculation unit 13 stores in advance a coefficient holding memory area for storing the mass conversion coefficient λW of the workpiece W read from a product parameter file (not shown), and a volume measurement value V for each transmission area whose volume has been measured. A conversion processing program for converting into a converted value of mass unit at a predetermined conversion ratio (conversion rate) set, and measuring the volume measurement value V of each workpiece W volume-measured by the volume measuring unit 13b. Convert to. Here, if the value converted into the mass unit is G, the converted value G can be expressed as G = λW · V.

なお、質量算出部１３に領域抽出処理部８の抽出部８ｂから質量測定領域のＸ線画像の濃度データを取り込むのでなく、Ｘ線検出部４からの検出情報より直接に等価厚画像の濃度データを算出し、そのデータから所定の閾値を用いて質量測定領域の濃度データのみを抽出するようにしてもよい。   In addition, the density data of the equivalent thickness image is directly acquired from the detection information from the X-ray detection unit 4 instead of capturing the density data of the X-ray image of the mass measurement region from the extraction unit 8 b of the region extraction processing unit 8 into the mass calculation unit 13. May be calculated and only the concentration data of the mass measurement region may be extracted from the data using a predetermined threshold.

Ｘ線画像生成部１１で生成されたＸ線画像データおよび質量算出部１３で算出された質量は、それぞれ表示データ生成部１５に取り込まれ、前記質量換算処理によって質量単位に換算されたワークＷの質量換算値が、あるいは更に換算前のワークＷの体積測定結果が、測定すべき物理量として当該ワークＷのＸ線画像と共に表示部２０に出力できるようになっている。   The X-ray image data generated by the X-ray image generation unit 11 and the mass calculated by the mass calculation unit 13 are respectively taken into the display data generation unit 15 and the workpiece W converted into mass units by the mass conversion process. The mass conversion value or the volume measurement result of the workpiece W before conversion can be output to the display unit 20 together with the X-ray image of the workpiece W as a physical quantity to be measured.

表示データ生成部１５は、Ｘ線画像生成部１１からのＸ線画像データと、質量算出部１３からの各ワークＷについての質量データとに基づいて、各ワークＷのＸ線画像データと質量データとを対応付けた検査結果情報を読み出し可能に記憶するメモリ（図示していない）を内蔵しており、このメモリに記憶された検査結果情報に基づいて、各ワークＷのＸ線画像と測定された質量を含む各ワークＷの検査結果の表示画像データを生成し、ワークＷの搬送ピッチに対応する所定の測定期間を単位として、各ワークＷの検査結果の表示画像を例えばフラットパネルディスプレイからなる表示部２０の表示画面２０Ｄ上に表示させるようになっている（詳細は後述する）。   The display data generation unit 15 is based on the X-ray image data from the X-ray image generation unit 11 and the mass data for each workpiece W from the mass calculation unit 13, and the X-ray image data and mass data for each workpiece W. Is stored in the memory (not shown) so as to be able to read out the inspection result information associated with each other, and based on the inspection result information stored in the memory, the X-ray image of each workpiece W is measured. Display image data of the inspection result of each work W including the measured mass is generated, and the display image of the inspection result of each work W is formed of, for example, a flat panel display in units of a predetermined measurement period corresponding to the conveyance pitch of the work W. It is displayed on the display screen 20D of the display unit 20 (details will be described later).

次に、その動作について説明する。   Next, the operation will be described.

［設定時］
設定パラメータが未知の品種については、まず、Ｘ線源２の照射強度を特定する管電圧Ｅおよび管電流ＩがワークＷの品種に合わせて適切なレベルに設定された後、無搬送の搬送路１上の幅員方向全域で、ベルト面のみでの各透過領域でのＸ線の透過量が等しい値になるようＸ線検出部４の検出感度が調整され、次いで、無搬送時の搬送路１のベルト面を体積測定のゼロ点基準面に設定して、Ｘ線画像の背景であるベルト面の代表濃度Ｐ０が設定されるとともに、Ｘ線画像の前景であるワークＷの代表濃度Ｐ１と等価厚画像の最大濃度Ｑmaxとがそれぞれ設定される。 [When setting]
For the types whose setting parameters are unknown, first, the tube voltage E and the tube current I for specifying the irradiation intensity of the X-ray source 2 are set to appropriate levels according to the type of the workpiece W, and then the non-transporting transport path 1, the detection sensitivity of the X-ray detection unit 4 is adjusted so that the X-ray transmission amount in each transmission region on the belt surface alone is the same value, and then the conveyance path 1 without conveyance The belt surface is set as a zero point reference surface for volume measurement, and the representative density P0 of the belt surface that is the background of the X-ray image is set, and is equivalent to the representative density P1 of the workpiece W that is the foreground of the X-ray image. The maximum density Qmax of the thick image is set.

次いで、必要に応じてノイズカット閾値等が設定され、質量の知れたマスターワーク（基準ワーク）の体積測定を行なうことで、設定入力されたマスターワークの質量と測定された体積測定値とから算出されるところの質量換算係数λＷが設定される。また、必要に応じて、補正指数値γの初期設定がなされる。これらの初期設定データは、搬送およびＸ線照射制御ユニットのメモリ又はデータ処理ユニット６内のメモリに記憶され、適宜参照される。これらの初期測定データは、品種パラメータファイルに書き込まれ、品種を指定する入力がなされたときに読み込まれることになる。   Next, if necessary, a noise cut threshold value is set, and the volume of the master work (reference work) with a known mass is measured, so that it is calculated from the set master work mass and the measured volume measurement value. The mass conversion coefficient λW is set. Further, the correction index value γ is initially set as necessary. These initial setting data are stored in the memory of the conveyance and X-ray irradiation control unit or the memory in the data processing unit 6 and are referred to as appropriate. These initial measurement data are written in the product type parameter file, and are read when an input designating the product type is made.

［検査・処理時］
このような設定が済んだ品種については、後述する一連の検査制御プログラムが実行され、検査対象のワークＷの品種を指定する入力がなされると、必要な選択操作入力の後、Ｘ線検査が行なわれる。このＸ線検査においては、まず、最初に設定済みの各設定パラメータが品種パラメータファイルから読み出され、次いで、測定開始を指示する操作入力があると、搬送路１によるワークＷの搬送が開始される。 [During inspection / processing]
A series of inspection control programs, which will be described later, are executed for the types for which such setting has been completed, and when an input for specifying the type of the workpiece W to be inspected is made, an X-ray inspection is performed after a necessary selection operation input. Done. In this X-ray inspection, first, each set parameter that has been set first is read from the product type parameter file, and then when there is an operation input instructing the start of measurement, the transfer of the workpiece W by the transfer path 1 is started. The

次いで、ワークＷの検査空間への進入が進入検知センサ３で検知されると、進入検知センサ３の検知状態の変化からワークＷの長さに相当する搬送区間と、搬送方向前後に隣り合うワークＷの間隔に相当する無搬送区間とがそれぞれ特定され、Ｘ線検出部４の繰り返し走査を行なうサンプリング期間が決定される。   Next, when the entry of the workpiece W into the inspection space is detected by the entry detection sensor 3, the conveyance section corresponding to the length of the workpiece W from the change in the detection state of the entry detection sensor 3 and the workpiece adjacent to the front and rear in the conveyance direction. A non-conveyance section corresponding to the interval of W is specified, and a sampling period for performing repeated scanning of the X-ray detection unit 4 is determined.

次いで、進入検知後の所定のタイミングでＸ線検出部４からの検出情報の前記画像入力部への取り込みが開始され、ワークＷの長さ分だけ前記単位搬送時間毎のライン走査が繰り返されるとともに、Ｘ線検出部４のデータ記憶部４ｂにＸ線ラインセンサ４ａの検出素子数ｎ個分の透過量のデータが順次格納される。そして、毎回の走査で得られたスライスデータとしてのＸ線画像の濃度データＰのうち領域抽出処理部８で抽出された濃度データＰに基づいて、質量測定領域のＸ線画像がＸ線画像生成部１１により生成され、表示データ生成部１５に供給される。   Next, the detection information from the X-ray detection unit 4 is started to be taken into the image input unit at a predetermined timing after the entry is detected, and the line scanning for each unit conveyance time is repeated by the length of the workpiece W. The data storage unit 4b of the X-ray detection unit 4 sequentially stores transmission amount data corresponding to n detection elements of the X-ray line sensor 4a. Then, based on the density data P extracted by the area extraction processing unit 8 among the density data P of the X-ray image as slice data obtained in each scan, an X-ray image of the mass measurement area is generated. The data is generated by the unit 11 and supplied to the display data generation unit 15.

一方、質量算出部１３の濃度データ変換部１３ａでは、Ｘ線画像における前景の代表濃度Ｐ１と、等価厚画像の最大濃度Ｑmaxとがそれぞれ読み込まれ、その設定値に基づいて、ワークＷの各透過領域における等価厚画像の濃度データＱ（Ｐ）への変換処理が前記式〔１〕を用いて実行された後、体積測定部１３ｂにより、質量測定領域における複数の透過領域のそれぞれに対応する等価厚画像の濃度データＱ（Ｐ）を各ワークＷの全測定範囲について合算することでワーク全体の体積Ｖが測定される。   On the other hand, in the density data conversion unit 13a of the mass calculation unit 13, the foreground representative density P1 in the X-ray image and the maximum density Qmax of the equivalent thickness image are read, respectively, and each transmission of the workpiece W is transmitted based on the set value. After the conversion processing of the equivalent thickness image in the region into the density data Q (P) is executed using the above equation [1], the volume measuring unit 13b performs the equivalent processing corresponding to each of the plurality of transmission regions in the mass measurement region. The volume V of the whole workpiece is measured by adding the density data Q (P) of the thick image for the entire measurement range of each workpiece W.

次いで、質量算出部１３の質量換算部１３ｃにより、体積測定部１３ｂで測定されたワークＷの体積測定値Ｖが予め設定された質量換算係数λＷ（所定の換算比）で質量単位の換算値Ｇ（Ｇ＝λＷ・Ｖ）に換算され、ワークＷの質量が測定される。   Subsequently, the mass conversion unit 13c of the mass calculation unit 13 converts the volume measurement value V of the workpiece W measured by the volume measurement unit 13b into a mass unit conversion value G with a preset mass conversion coefficient λW (predetermined conversion ratio). It is converted into (G = λW · V), and the mass of the workpiece W is measured.

次いで、ワークＷの質量換算値Ｇの値を表わす測定値が表示データ生成部１５に供給される。   Next, a measured value representing the mass converted value G of the workpiece W is supplied to the display data generating unit 15.

この状態において、表示データ生成部１５では、Ｘ線画像生成部１１により生成された質量測定領域のワークＷのＸ線画像と、質量算出部１３で算出された質量とを基に、例えば図３に一例を示すような表示画像の画像データが生成される。   In this state, the display data generation unit 15 uses, for example, FIG. 3 based on the X-ray image of the workpiece W in the mass measurement region generated by the X-ray image generation unit 11 and the mass calculated by the mass calculation unit 13. The image data of the display image as shown in FIG.

同図に示すように、本実施形態では、表示部２０の表示画面２０Ｄ上に、Ｘ線画像の表示窓部２１と、測定された質量を表示するバーグラフ表示部２２（グラフ表示要素）とが表示される。   As shown in the figure, in this embodiment, on the display screen 20D of the display unit 20, an X-ray image display window unit 21, and a bar graph display unit 22 (graph display element) for displaying the measured mass, Is displayed.

Ｘ線画像の表示窓部２１には、ワークＷの体積および質量の算出に関与した質量測定領域のＸ線画像が各透過領域の透過量に応じた濃淡画像（例えば１０２４階調のグレースケール画像）として表示される。すなわち、表示データ生成部１５で生成される表示データには質量測定領域外の背景画像に相当する部分の画像は含まれておらず、表示窓部２１中で前記質量測定領域に対応するＸ線画像部分以外は、すべて表示窓部２１における単なる背景画面（表示画像の無い部分）となっている。   In the X-ray image display window unit 21, an X-ray image of a mass measurement region involved in calculation of the volume and mass of the workpiece W is a grayscale image (for example, a grayscale image of 1024 gradations) corresponding to the transmission amount of each transmission region. ) Is displayed. That is, the display data generated by the display data generation unit 15 does not include an image of a portion corresponding to the background image outside the mass measurement region, and the X-ray corresponding to the mass measurement region in the display window unit 21. All except the image portion is a simple background screen (a portion without a display image) in the display window portion 21.

バーグラフ表示部２２は、一定の質量範囲に相当する左右方向一定長さのバー状の表示エリア２２ａと、表示エリア２２ａ上で予め設定された質量基準値に対応する位置に表示される質量基準値表示マーク２２ｂと、表示エリア２２ａの全長が表わす質量値に対して表示エリア２２ａとの長さの比で質量測定値（質量算出値）を可変表示する質量表示バー部２２ｃと、表示エリア２２ａ内で質量表示バー部２２ｃ以外の部分であることを示すよう質量表示バー部２２ｃとは異なる色又は模様等となる背景表示部２２ｄと、表示エリア２２ａにおいて質量ゼロの位置を示すゼロ表示部２２ｅとを含んでいる。ここで、質量表示バー部２２ｃはゼロ表示部２２ｅで示された表示エリア２２ａの図中左端からの長さを可変させることで、表示エリア２２ａの全長が表わす質量値に対して、前記長さの比に対応する相対的な質量値（質量比）を可変表示することができる。   The bar graph display unit 22 has a bar-shaped display area 22a having a certain length in the left-right direction corresponding to a certain mass range, and a mass reference displayed at a position corresponding to a mass reference value set in advance on the display area 22a. A mass display bar portion 22c for variably displaying a mass measurement value (mass calculated value) by a ratio of the length of the value display mark 22b and the mass value represented by the total length of the display area 22a to the display area 22a, and the display area 22a A background display portion 22d having a different color or pattern from the mass display bar portion 22c so as to indicate a portion other than the mass display bar portion 22c, and a zero display portion 22e indicating the position of zero mass in the display area 22a. Including. Here, the mass display bar portion 22c varies the length from the left end of the display area 22a indicated by the zero display portion 22e in the figure, so that the length of the mass display bar portion 22c with respect to the mass value represented by the total length of the display area 22a is reduced. The relative mass value (mass ratio) corresponding to the ratio can be variably displayed.

図３に示すようなＸ線検査結果表示を終了すると、次いで新たな検査結果が発生するまで、表示状態を維持しつつ待機し、新たな検査結果が発生すると、表示画面を更新することになる。   When the X-ray inspection result display as shown in FIG. 3 is finished, the display screen is maintained until a new inspection result is generated, and the display screen is updated when a new inspection result is generated. .

このように、本実施形態のＸ線検査装置では、Ｘ線検出部４からの検出情報のうち質量測定領域に対応する一部の検出情報が領域抽出処理部８により抽出されることで、質量測定領域のＸ線画像が生成されるとともに、抽出された検出情報に基づいてワークＷの大きさ又は質量に対応する物理量として質量が算出され、質量測定領域のＸ線画像と、測定される質量の基準値と、算出された質量を示すバーグラフ表示とが同一画面中に関連付けて表示されることから、Ｘ線画像データのうち質量測定に関与する領域のデータを有効活用して、質量測定結果をそれに対応するＸ線画像と関連付けた直感的に把握容易な表示を行なうことができる。   As described above, in the X-ray inspection apparatus according to the present embodiment, part of the detection information corresponding to the mass measurement region in the detection information from the X-ray detection unit 4 is extracted by the region extraction processing unit 8. An X-ray image of the measurement region is generated, a mass is calculated as a physical quantity corresponding to the size or mass of the workpiece W based on the extracted detection information, and the X-ray image of the mass measurement region and the measured mass The bar graph display showing the calculated mass and the bar graph display showing the calculated mass are displayed on the same screen in association with each other. Intuitive and easy-to-understand display that associates the result with the corresponding X-ray image can be performed.

なお、上述した実施形態においては、質量測定を行なうＸ線検査装置において、物理量である質量を算出するものとしたが、本発明はこれに限るものではなく、ワークＷの体積、厚さ、面積、長さといった物理量を算出するものであってもよく、このような物理量の算出値をＸ線画像と関連付けて表示することでも、その物理量測定結果をそれに対応するＸ線画像と関連付けた直感的に把握容易な表示を行なうことができる。   In the above-described embodiment, the mass, which is a physical quantity, is calculated in the X-ray inspection apparatus that performs mass measurement. However, the present invention is not limited to this, and the volume, thickness, and area of the workpiece W are not limited thereto. It is also possible to calculate a physical quantity such as a length, or to display the calculated value of the physical quantity in association with the X-ray image, or to intuitively associate the physical quantity measurement result with the corresponding X-ray image. Can be easily displayed.

例えば、体積の場合、質量算出部１３の体積測定部１３ｂは、領域抽出処理部８の抽出部８ｂから質量測定領域のＸ線画像の濃度データを取り込むことで、質量測定の対象領域についてのみ体積演算を実行するようになっているが、その体積測定結果を測定すべき物理量として当該ワークＷのＸ線画像と共に表示部２０に出力することができる。   For example, in the case of a volume, the volume measuring unit 13b of the mass calculating unit 13 takes in the concentration data of the X-ray image of the mass measuring region from the extracting unit 8b of the region extracting processing unit 8, so that the volume is measured only for the target region for mass measurement. Although the calculation is performed, the volume measurement result can be output to the display unit 20 together with the X-ray image of the workpiece W as a physical quantity to be measured.

また、厚さの場合、厚さが知れたマスターワークの等価厚画像の濃度を測定して、等価厚画像濃度から厚さへの換算値を求め、その換算値と各ワークＷの等価厚画の像濃度データとに基づいて画素（透過領域）毎の厚さを算出し、物理量としての厚さは、各ワークＷの物理量測定領域全体の平均値又は最大値として求める。そして、求めた厚さを測定すべき物理量として当該ワークＷのＸ線画像と共に表示部２０に出力することができる。   In the case of thickness, the density of the equivalent thickness image of the master work whose thickness is known is measured to obtain a converted value from the equivalent thickness image density to the thickness, and the converted value and the equivalent thickness image of each workpiece W are obtained. The thickness of each pixel (transmission area) is calculated based on the image density data of the image, and the thickness as the physical quantity is obtained as an average value or a maximum value of the entire physical quantity measurement area of each workpiece W. Then, the obtained thickness can be output to the display unit 20 together with the X-ray image of the workpiece W as a physical quantity to be measured.

面積の場合、面積が知れたマスターワークの等価厚画像の画素数（透過領域の数）を測定して、画素数から面積への換算値を求め、その換算値と各ワークＷの等価厚画像の画素数とに基づいて各ワークＷの面積を算出し、求めた面積を測定すべき物理量として当該ワークＷのＸ線画像と共に表示部２０に出力することができる。あるいは、搬送速度（例えば毎秒４００ｍｍ）を走査速度（単位時間当たりの走査回数；例えば毎秒１０００回）で除算した値、すなわち走査１回当たりの搬送距離（例えば０．４ｍｍ）と、Ｘ線ラインセンサ４ａの素子ピッチ（例えば、０．４ｍｍ）にＸ線源２からワークＷまでの距離（例えば４８０ｍｍ）とＸ線源２からＸ線ラインセンサ４ａまでの距離（例えば５００ｍｍ）との比率を乗じて得られる値（例えば０．３８４ｍｍ）を掛けて、ワークＷの各透過領域の面積を求め、物理量測定領域として抽出された複数の透過領域の数を掛け合わせることでも、有効な面積が得られる。   In the case of area, the number of pixels (number of transmission regions) of the equivalent thickness image of the master work with a known area is measured to obtain a converted value from the number of pixels to the area, and the converted value and the equivalent thickness image of each workpiece W The area of each workpiece W can be calculated based on the number of pixels, and the obtained area can be output to the display unit 20 together with the X-ray image of the workpiece W as a physical quantity to be measured. Alternatively, a value obtained by dividing the conveyance speed (for example, 400 mm per second) by the scanning speed (the number of scans per unit time; for example, 1000 times per second), that is, the conveyance distance (for example, 0.4 mm) per one scan, and the X-ray line sensor Multiply the element pitch of 4a (for example, 0.4 mm) by the ratio of the distance from the X-ray source 2 to the workpiece W (for example, 480 mm) and the distance from the X-ray source 2 to the X-ray line sensor 4a (for example, 500 mm). An effective area can also be obtained by multiplying the obtained value (for example, 0.384 mm) to obtain the area of each transmission region of the workpiece W and multiplying the number of the plurality of transmission regions extracted as the physical quantity measurement region.

長さの場合、長さ（寸法）が知れたマスターワークの等価厚画像の搬送方向の画素数（長さ）と搬送路幅員方向の画素数（幅）を測定して等価厚画像の長さから実際の長さへの換算値を求め、その換算値と各ワークＷの等価厚画像の搬送方向の画素数および搬送路幅員方向の画素数とから各方向への長さを算出し、求めた長さを測定すべき物理量として当該ワークＷのＸ線画像と共に表示部２０に出力することができる。また、搬送方向の長さは、搬送速度を走査速度で除算した値、すなわち走査１回当たりの搬送距離（例えば０．４ｍｍ）にワークＷの等価厚画像の搬送方向の画素数をかけて算出し、搬送幅方向の長さ（幅）は、Ｘ線ラインセンサ４ａの素子ピッチ（例えば、０．４ｍｍ）にＸ線源２からワークＷまでの距離（例えば４８０ｍｍ）とＸ線源２からＸ線ラインセンサ４ａまでの距離（例えば５００ｍｍ）との比率を乗じて得られる値（例えば０．３８４ｍｍ）に搬送路幅方向の画素数を掛けて算出することができる。そして、求めた長さや幅を測定すべき物理量として当該ワークＷのＸ線画像と共に表示部２０に出力することができる。   In the case of length, the length of the equivalent thickness image is measured by measuring the number of pixels (length) in the transport direction and the number of pixels in the transport path width direction (width) of the equivalent thickness image of the master work whose length (dimension) is known. The conversion value to the actual length is obtained, and the length in each direction is calculated from the conversion value, the number of pixels in the conveyance direction of the equivalent thickness image of each workpiece W, and the number of pixels in the conveyance path width direction. The physical length to be measured can be output to the display unit 20 together with the X-ray image of the workpiece W. Further, the length in the transport direction is calculated by multiplying the transport speed divided by the scanning speed, that is, the transport distance per scan (for example, 0.4 mm) and the number of pixels in the transport direction of the equivalent thickness image of the workpiece W. The length (width) in the conveyance width direction is determined by the distance from the X-ray source 2 to the workpiece W (for example, 480 mm) and the X-ray source 2 to X in the element pitch (for example, 0.4 mm) of the X-ray line sensor 4a. It can be calculated by multiplying a value (for example, 0.384 mm) obtained by multiplying the ratio to the distance (for example, 500 mm) to the line line sensor 4a by the number of pixels in the conveyance path width direction. Then, the obtained length and width can be output to the display unit 20 together with the X-ray image of the workpiece W as a physical quantity to be measured.

また、上述した実施形態においては、バーグラフ表示部２２が測定される質量の基準値を示すと共に、表示エリア２２ａの全長が表わす質量値に対して表示エリア２２ａとの長さの比で質量測定値（質量算出値）を可変表示する質量表示バー部２２ｃを有するものであったが、本発明のグラフ表示要素はこのようなバーグラフに限定されるものでないことはいうまでもない。   In the above-described embodiment, the bar graph display unit 22 indicates the reference value of the mass to be measured, and the mass measurement is performed by the ratio of the length of the display area 22a to the mass value represented by the total length of the display area 22a. Although it has the mass display bar portion 22c that variably displays the value (mass calculated value), it goes without saying that the graph display element of the present invention is not limited to such a bar graph.

例えば、バーグラフ表示部２２の表示内容に代えて、図４（ａ）〜図４（ｄ）のいずれかに示すような変形態様のバーグラフ表示部の表示内容とすることができる。   For example, instead of the display content of the bar graph display unit 22, the display content of the bar graph display unit in a modified form as shown in any of FIGS. 4A to 4D can be used.

図４（ａ）に示すバーグラフ表示部２３（グラフ表示要素）は、一定の質量範囲に相当する左右方向一定長さのバー状の表示エリア２３ａと、表示エリア２３ａ上で予め設定された質量基準値に対応する位置に表示される基準値表示マーク２３ｂと、表示エリア２３ａの全長が表わす質量値に対する質量測定値（質量算出値）の比に対応する距離だけ表示エリア２３ａの一端から離隔する質量表示位置に表示されることで質量測定値を可変表示する図中上下方向（バーと直交する方向）の指示針部２３ｃと、表示エリア２３ａ内で指示針部２３ｃ以外の部分であることを示すよう指示針部２３ｃとは異なる色又は模様（目盛りを含む）等となる背景表示部２３ｄと、表示エリア２３ａにおいて質量ゼロの位置を示すゼロ表示部２３ｅとを含んでいる。この場合、バーグラフ表示部２３を注視した場合でも前回の測定結果表示の残像の影響を受けずに基準値に対する質量の過不足を質量比で容易に読み取ることができる。   The bar graph display unit 23 (graph display element) shown in FIG. 4A includes a bar-shaped display area 23a having a certain length in the left-right direction corresponding to a certain mass range, and a mass set in advance on the display area 23a. The reference value display mark 23b displayed at a position corresponding to the reference value is separated from one end of the display area 23a by a distance corresponding to the ratio of the mass measurement value (mass calculated value) to the mass value represented by the total length of the display area 23a. The indication needle portion 23c in the vertical direction (direction perpendicular to the bar) in the figure, which displays the mass measurement value variably by being displayed at the mass display position, and the portion other than the indication needle portion 23c in the display area 23a As shown, a background display portion 23d having a color or pattern (including scale) different from the indicator needle portion 23c and a zero display portion 23e indicating the position of zero mass in the display area 23a are included. There. In this case, even when the bar graph display unit 23 is watched, the excess or deficiency of the mass with respect to the reference value can be easily read by the mass ratio without being affected by the afterimage of the previous measurement result display.

図４（ｂ）に示すバーグラフ表示部２４（グラフ表示要素）は、一定の質量範囲に相当する左右方向一定長さのバー状の表示エリア２４ａと、表示エリア２４ａ上で予め設定された質量基準値に対応する位置に表示される基準値表示マーク２４ｂと、表示エリア２４ａの全長が表わす質量値に対して表示エリア２４ａとの長さの比で質量測定値（質量算出値）を可変表示する質量表示バー部２４ｃと、表示エリア２４ａ内で質量表示バー部２４ｃ以外の部分であることを示すよう質量表示バー部２４ｃとは異なる色又は模様等となる背景表示部２４ｄと、表示エリア２４ａにおいて質量ゼロの位置を示すゼロ表示部２４ｅとを含んでいる。なお、質量表示バー部２４ｃは表示エリア２４ａより幅が狭くなっているが、その幅の比は任意である。すなわち、質量表示バー部２４ｃは視認に適したある程度の幅を有するのであり、表示エリア２４ａより幅が広くとも狭くともよい。この場合、背景表示部２４ｄとの色や模様、明るさ等の組合せで質量表示バー部２４ｃを明確に表示できるとともに、背景表示部２４ｄに質量許容範囲の色分け表示を行なったり目盛りを付けたりすることが容易にできる。   The bar graph display unit 24 (graph display element) shown in FIG. 4B includes a bar-shaped display area 24a having a certain length in the horizontal direction corresponding to a certain mass range, and a mass set in advance on the display area 24a. The mass measurement value (mass calculated value) is variably displayed by the ratio of the reference value display mark 24b displayed at the position corresponding to the reference value and the length of the display area 24a to the mass value represented by the total length of the display area 24a. Mass display bar portion 24c to be displayed, background display portion 24d having a different color or pattern from the mass display bar portion 24c to indicate that the display area 24a is a portion other than the mass display bar portion 24c, and the display area 24a And a zero display portion 24e indicating the position of zero mass. In addition, although the width | variety of the mass display bar part 24c is narrower than the display area 24a, the ratio of the width | variety is arbitrary. That is, the mass display bar portion 24c has a certain width suitable for visual recognition, and may be wider or narrower than the display area 24a. In this case, the mass display bar portion 24c can be clearly displayed by a combination of the color, pattern, brightness, and the like with the background display portion 24d, and the background display portion 24d is displayed in a color-acceptable range or has a scale. Can be easily done.

図４（ｃ）に示すバーグラフ表示部２５（グラフ表示要素）は、一定の質量範囲に相当する左右方向一定長さで、かつ、長さ方向中央部より一端側では端部側ほど図中下方側に階段状に幅広となり、長さ方向中央部より他端側では端部側ほど図中上方側に階段状に幅広となる表示エリア２５ａと、表示エリア２５ａ上の長さ方向中央部付近で予め設定された質量基準値の位置を示すよう他の部分とは異なる色又は模様で表示される基準値表示マーク部２５ｂと、表示エリア２４ａの全長が表わす質量値に対して表示エリア２５ａとの長さの比で質量測定値（質量算出値）を可変表示する質量表示バー部２５ｃと、表示エリア２５ａ内で質量表示バー部２５ｃ以外の部分であることを示すよう質量表示バー部２５ｃとは異なる色又は模様等となる背景表示部２５ｄとを含んでいる。なお、表示エリア２５ａは複数の表示素子を並設して各素子毎にセグメント化した上下向きの長方形の表示エリア区分を割り当てたものとなっている。この場合、質量算出値が変化すると、質量表示バー部２５ｃが長さ方向のみでなくバーの幅方向（図中上下方向）にも変化するので、質量値の変化（増加、減少）をより把握し易い表示となる。しかも、形状のくびれた部位が長さ方向のみでなくバーの幅方向（図中上下方向）でも基準点として特定し易いので、基準値との対応付けも明確にできる。   The bar graph display unit 25 (graph display element) shown in FIG. 4C has a constant length in the left-right direction corresponding to a certain mass range, and is closer to the end side on one end side than the center in the length direction. A display area 25a that is stepwise wide on the lower side and wider on the other end side than the central portion in the lengthwise direction toward the upper end in the figure, and near the center in the lengthwise direction on the display area 25a The reference value display mark portion 25b displayed in a color or pattern different from other portions so as to indicate the position of the mass reference value set in advance, and the display area 25a for the mass value represented by the total length of the display area 24a A mass display bar portion 25c that variably displays a mass measurement value (mass calculated value) with a ratio of lengths of the mass, and a mass display bar portion 25c that indicates a portion other than the mass display bar portion 25c in the display area 25a; Is different color or pattern etc. And a background display unit 25d. In addition, the display area 25a is formed by arranging a plurality of display elements side by side and assigning a vertically-oriented rectangular display area section obtained by segmenting each element. In this case, if the mass calculation value changes, the mass display bar portion 25c changes not only in the length direction but also in the bar width direction (vertical direction in the figure), so that the change (increase / decrease) in the mass value can be grasped more. Easy to display. In addition, since the constricted portion is easy to identify as a reference point not only in the length direction but also in the bar width direction (vertical direction in the figure), the association with the reference value can be made clear.

図４（ｄ）に示すバーグラフ表示部２６（グラフ表示要素）は、一定の質量範囲に相当する左右方向一定長さで、かつ、長さ方向一端側から他端側に向けて幅広となった三角形状の表示エリア２６ａと、表示エリア２６ａ上で予め設定された質量基準値の位置を示すよう表示エリア２６ａより上下に突出する長さと表示エリア２６ａとは異なる色又は模様とで表示される基準値表示マーク部２６ｂと、表示エリア２６ａの全長が表わす質量値に対して表示エリア２６ａとの長さの比で質量測定値（質量算出値）を可変表示する三角形状の質量表示バー部２６ｃと、表示エリア２６ａ内で質量表示バー部２６ｃ以外の部分であることを示すよう質量表示バー部２６ｃとは異なる色又は模様等となる背景表示部２６ｄとを含んでいる。したがって、質量値の変化をそれより大きな面積変化で表すとともに、質量表示バー部２６ｃの表示範囲が高さ方向にも変化するので、質量変化を把握し易い表示となる。   The bar graph display unit 26 (graph display element) shown in FIG. 4D has a certain length in the left-right direction corresponding to a certain mass range, and becomes wider from one end in the length direction toward the other end. The triangular display area 26a is displayed in a color or pattern that is different from the display area 26a and a length that protrudes above and below the display area 26a so as to indicate the position of the preset mass reference value on the display area 26a. Triangular mass display bar portion 26c for variably displaying a mass measurement value (mass calculated value) by a ratio of the length of the reference value display mark portion 26b and the display area 26a to the mass value represented by the total length of the display area 26a. And a background display portion 26d having a different color or pattern from the mass display bar portion 26c so as to indicate a portion other than the mass display bar portion 26c in the display area 26a. Therefore, the change in the mass value is represented by a larger area change, and the display range of the mass display bar portion 26c also changes in the height direction, so that the change in mass can be easily grasped.

なお、質量表示バー部２６ｃは、表示エリア２６ａの全長を等分割した質量単位毎に表示範囲を可変させるようになっている。   The mass display bar portion 26c is configured to vary the display range for each mass unit obtained by equally dividing the entire length of the display area 26a.

これらのような変形態様のバーグラフ表示を用いても、上述のように物理量測定結果をそれに対応するＸ線画像と関連付けた把握容易な表示を行なうことができるＸ線検査装置を提供することができる。   To provide an X-ray inspection apparatus capable of easily displaying a physical quantity measurement result associated with an X-ray image corresponding to the physical quantity measurement result as described above even when using bar graph display in such a modified form. it can.

[第２の実施の形態]
図５は本発明に係るＸ線検査装置の第２の実施の形態を示す図であり、本発明を質量測定を行なうＸ線検査装置に適用した場合の一表示態様を示している。なお、本実施形態は上述の実施形態とほぼ同一のシステム構成で上述の表示内容とは異なるグラフ表示および測定値の数値表示を実行するものであるので、上述と同一又は類似の構成については図１〜図４におけると同一の参照符号を付して簡単に説明し、上述の実施形態との相違点について詳述する。 [Second Embodiment]
FIG. 5 is a diagram showing a second embodiment of the X-ray inspection apparatus according to the present invention, and shows one display mode when the present invention is applied to an X-ray inspection apparatus that performs mass measurement. In addition, since this embodiment performs the graph display different from the above-mentioned display content and the numerical display of a measured value with the system configuration substantially the same as the above-mentioned embodiment, about the same or similar structure as the above, it is a figure. The same reference numerals as those in FIGS. 1 to 4 are used for the brief description, and differences from the above-described embodiment will be described in detail.

本実施形態のＸ線検査装置は、搬送路１、Ｘ線源２、進入検知センサ３、Ｘ線検出部４、データ処理ユニット６および表示部２０を含んで構成されており、データ処理ユニット６の表示データ生成部１５で生成される表示データが上述の実施形態とは相違する。   The X-ray inspection apparatus according to the present embodiment includes a conveyance path 1, an X-ray source 2, an approach detection sensor 3, an X-ray detection unit 4, a data processing unit 6, and a display unit 20. The display data generated by the display data generation unit 15 is different from the above-described embodiment.

図５に示すように、本実施形態では、表示部２０の表示画面２０Ｄ上に、Ｘ線画像（Ｘ線画像）の表示窓部２１と、質量を表示するバーグラフ表示部３２（グラフ表示要素）と、質量の測定値の数値表示部３９とが表示される。   As shown in FIG. 5, in the present embodiment, on the display screen 20 </ b> D of the display unit 20, an X-ray image (X-ray image) display window unit 21 and a bar graph display unit 32 (graph display element) for displaying mass are displayed. ) And a numerical value display section 39 for measuring the mass.

Ｘ線画像の表示窓部２１には、ワークＷの質量測定領域のＸ線画像が濃淡画像として表示される。すなわち、表示データ生成部１５で生成される表示データには質量測定領域外の背景画像に相当する部分の画像は含まれておらず、質量測定領域に対応するＸ線画像部分以外は表示窓部２１における単なる背景画面となっている。   An X-ray image of the mass measurement region of the work W is displayed as a grayscale image on the X-ray image display window 21. That is, the display data generated by the display data generation unit 15 does not include the image of the portion corresponding to the background image outside the mass measurement region, and the display window portion other than the X-ray image portion corresponding to the mass measurement region. 21 is simply a background screen.

バーグラフ表示部３２は、一定の質量範囲に相当する左右方向一定長さで、かつ、長さ方向中央部より一端側では端部側ほど図中下方側に階段状に幅広となり、長さ方向中央部より他端側では端部側ほど図中上方側に階段状に幅広となる表示エリア３２ａと、表示エリア３２ａ上の長さ方向所定位置で予め設定された質量許容範囲の下限値を示す図中下向き三角形状の下限値指示マーク３２ｂと、予め設定された質量許容範囲分だけ表示エリア３２ａ上で下限値指示マーク３２ｂから離間してその質量許容範囲の上限値を示す図中上向き三角形状の上限値指示マーク３２ｃと、下限値指示マーク３２ｂおよび上限値指示マーク３２ｃで表わされる質量許容範囲に対し表示エリア３２ａで表される表示範囲内で質量測定値（質量算出値）に相当する位置を可変側表示端として質量測定値を可変表示する質量表示バー部３２ｄと、表示エリア３２ａ内で質量表示バー部３２ｄ以外の部分であることを示すよう質量表示バー部３２ｄとは異なる色又は模様等となる背景表示部３２ｅとを含んでいる。なお、表示エリア３２ａは複数の表示素子を並設して各素子毎にセグメント化した上下向きの長方形の表示エリア区分３２ｆを割り当てたもので、表示エリア３２ａの全長を等分割した質量単位毎に表示範囲を可変させることができる。   The bar graph display unit 32 has a certain length in the left-right direction corresponding to a certain mass range, and is widened in a stepped manner in the lower side in the drawing toward the end side at one end side from the center in the length direction. On the other end side from the center portion, the display area 32a that is stepwise wider toward the upper end side in the figure, and the lower limit value of the mass tolerance range that is preset at a predetermined position in the length direction on the display area 32a are shown. The lower limit value indicating mark 32b having a downward triangular shape in the figure and the upward triangular shape in the figure showing the upper limit value of the mass allowable range apart from the lower limit value indicating mark 32b on the display area 32a by a preset allowable mass range. Equivalent to the mass measurement value (mass calculated value) within the display range represented by the display area 32a with respect to the mass allowable range represented by the upper limit value indication mark 32c, the lower limit value indication mark 32b, and the upper limit value indication mark 32c. The mass display bar portion 32d for variably displaying the mass measurement value with the display position as the variable side display end, and the color different from the mass display bar portion 32d to indicate that it is a portion other than the mass display bar portion 32d in the display area 32a Or the background display part 32e used as a pattern etc. is included. The display area 32a has a plurality of display elements arranged in parallel and is assigned a vertically-oriented rectangular display area section 32f segmented for each element. The display area 32a is divided into mass units obtained by equally dividing the entire length of the display area 32a. The display range can be varied.

数値表示部３９は、質量の測定値そのものを数値で表示する部分で、本実施形態においては質量値をｇ（グラム）数で表わしている。図５中ではその質量表示値は、１１５ｇで例示している。   The numerical value display unit 39 is a part that displays the mass measurement value itself as a numerical value. In the present embodiment, the numerical value display unit 39 expresses the mass value in g (grams). In FIG. 5, the mass display value is exemplified by 115 g.

このように、本実施形態においても、Ｘ線検出部４からの検出情報のうち質量測定領域に対応する一部の検出情報が領域抽出処理部８により抽出されることで質量測定領域のＸ線画像が生成されるとともに、領域抽出処理部８により抽出された検出情報に基づいてワークＷの質量に対応する質量を算出する質量算出処理が実行され、質量測定領域のＸ線画像（図５中の表示窓部２１中のワークＷ）と算出された質量を示すバーグラフ表示部３２（グラフ表示要素）とが関連付けて表示されることから、Ｘ線画像データのうち質量測定に関与する領域のデータを有効活用して、質量測定結果をそれに対応するＸ線画像と関連付けた把握容易な表示を行なうことができる。   Thus, also in the present embodiment, a part of the detection information corresponding to the mass measurement region in the detection information from the X-ray detection unit 4 is extracted by the region extraction processing unit 8 so that the X-rays in the mass measurement region are extracted. An image is generated, and a mass calculation process for calculating a mass corresponding to the mass of the workpiece W based on the detection information extracted by the region extraction processing unit 8 is executed, so that an X-ray image of the mass measurement region (in FIG. 5) Since the workpiece W) in the display window 21 and the bar graph display unit 32 (graph display element) indicating the calculated mass are displayed in association with each other, the region of the X-ray image data related to the mass measurement is displayed. By making effective use of the data, it is possible to display the mass measurement result in an easy-to-understand manner associated with the corresponding X-ray image.

なお、本実施形態では、バーグラフ表示部３２が測定される質量の許容範囲範囲の上限地と下限値をそれぞれマーク３２ｂ、３２ｃ表示すると共に、両マーク３２ｂ、３２ｃ間の距離で表わされる質量許容範囲に対する質量測定値の相対的な位置を示すバーグラフとなっているが、このような場合、上下限値の表示態様は例えば図６に示すように変形することができる。すなわち、バーグラフ表示部３２の表示内容に代えて、図６（ａ）〜図６（ｄ）のいずれかに示すような変形態様のバーグラフ表示部の表示内容とすることができる。   In this embodiment, the bar graph display unit 32 displays the upper limit and lower limit of the allowable range of mass to be measured, respectively, as marks 32b and 32c, and the mass tolerance represented by the distance between the marks 32b and 32c. Although the bar graph indicates the relative position of the mass measurement value with respect to the range, in such a case, the display mode of the upper and lower limit values can be modified as shown in FIG. 6, for example. That is, instead of the display content of the bar graph display unit 32, the display content of the bar graph display unit in a modified form as shown in any of FIGS. 6 (a) to 6 (d) can be used.

図６（ａ）に示すバーグラフ表示部３３（グラフ表示要素）は、一定の質量範囲に相当する左右方向一定長さのバー状の表示エリア３３ａと、表示エリア３３ａ上の長さ方向所定位置で予め設定された質量許容範囲の下限値を示す図中下向き三角形状の下限値指示マーク３３ｂと、予め設定された質量許容範囲分だけ表示エリア３３ａ上で下限値指示マーク３３ｂから離間してその質量許容範囲の上限値を示す図中上向き三角形状の上限値指示マーク３３ｃと、下限値指示マーク３３ｂおよび上限値指示マーク３３ｃで表わされる質量許容範囲に対し表示エリア３３ａで表される表示範囲内で質量測定値に相当する位置を可変側表示端として質量測定値を可変表示する質量表示バー部３３ｄと、表示エリア３３ａ内で質量表示バー部３３ｄ以外の部分であることを示すよう質量表示バー部３３ｄとは異なる色又は模様等となる背景表示部３３ｅを含んでいる。   The bar graph display unit 33 (graph display element) shown in FIG. 6A includes a bar-shaped display area 33a having a certain length in the left-right direction corresponding to a certain mass range, and a predetermined position in the length direction on the display area 33a. The lower limit value indicating mark 33b having a downward triangular shape in the figure showing the lower limit value of the mass allowable range set in advance and the lower limit value indicating mark 33b on the display area 33a by a distance corresponding to the preset mass allowable range Within the display range represented by the display area 33a with respect to the mass tolerance range represented by the upper limit value indicating mark 33c, the lower limit value indicating mark 33b, and the upper limit value indicating mark 33c in the upward triangular shape in the figure showing the upper limit value of the mass allowable range The mass display bar portion 33d for variably displaying the mass measurement value with the position corresponding to the mass measurement value as the variable side display end, and the mass display bar portion 33d within the display area 33a. It includes a background display unit 33e serving as a different color or pattern or the like from the weight display bar portion 33d to indicate that it is a part of.

図６（ｂ）に示すバーグラフ表示部３４（グラフ表示要素）は、一定の質量範囲に相当する左右方向一定長さのバー状の表示エリア３４ａと、表示エリア３４ａ上の長さ方向所定位置で予め設定された質量許容範囲の下限値を示す図中上下向の線状の下限値指示マーク３４ｂと、予め設定された質量許容範囲分だけ表示エリア３４ａ上で下限値指示マーク３４ｂから離間してその質量許容範囲の上限値を示す図中上下向きの線状の上限値指示マーク３４ｃと、下限値指示マーク３４ｂおよび上限値指示マーク３４ｃで表わされる質量許容範囲に対し表示エリア３４ａで表される表示範囲内で質量測定値に相当する位置を可変側表示端として質量測定値を可変表示する質量表示バー部３４ｄと、表示エリア３４ａ内で質量表示バー部３４ｄ以外の部分であることを示すよう質量表示バー部３４ｄとは異なる色又は模様等となる背景表示部３４ｅとを含んでいる。   The bar graph display unit 34 (graph display element) shown in FIG. 6B includes a bar-shaped display area 34a having a certain length in the left-right direction corresponding to a certain mass range, and a predetermined position in the length direction on the display area 34a. The lower limit value indicating mark 34b in the vertical direction in the figure showing the lower limit value of the mass allowable range set in advance and the lower limit value indicating mark 34b on the display area 34a by the predetermined mass allowable range. In the figure showing the upper limit value of the allowable mass range, the upper limit value indicating mark 34c in the vertical direction, the lower limit value indicating mark 34b, and the allowable mass range indicated by the upper limit value indicating mark 34c are represented by a display area 34a. Within the display range, the mass display bar portion 34d for variably displaying the mass measurement value with the position corresponding to the mass measurement value as the variable side display end, and the mass display bar portion 34d other than the mass display bar portion 34d within the display area 34a And a background display section 34e as a different color or pattern or the like from the weight display bar portion 34d to indicate that a partial.

図６（ｃ）に示すバーグラフ表示部３５（グラフ表示要素）は、一定の質量範囲に相当する左右方向一定長さのバー状の表示エリア３５ａと、表示エリア３５ａ上の長さ方向所定位置で予め設定された質量許容範囲の下限値を表示エリア３５ａの下方から上向きに指し示す図中上向き三角形状の下限値指示マーク３５ｂと、予め設定された質量許容範囲分だけ表示エリア３５ａ上で下限値指示マーク３５ｂから離間してその質量許容範囲の上限値を表示エリア３５ａの上方から下向きに指し示す図中下向き三角形状の上限値指示マーク３５ｃと、下限値指示マーク３５ｂおよび上限値指示マーク３５ｃで表わされる質量許容範囲に対し表示エリア３５ａで表される表示範囲内で質量測定値に相当する位置を可変側表示端として質量測定値を可変表示する質量表示バー部３５ｄと、表示エリア３５ａ内で質量表示バー部３５ｄ以外の部分であることを示すよう質量表示バー部３５ｄとは異なる色又は模様等となる背景表示部３５ｅを含んでいる。   The bar graph display unit 35 (graph display element) shown in FIG. 6C includes a bar-shaped display area 35a having a certain length in the left-right direction corresponding to a certain mass range, and a predetermined position in the length direction on the display area 35a. In the figure, the lower limit value indicating mark 35b pointing upwards from the lower side of the display area 35a and the lower limit value indicating mark 35b set in advance in the figure, and the lower limit value on the display area 35a by the preset allowable mass range. The upper limit value mark 35c, the lower limit value instruction mark 35b, and the upper limit value instruction mark 35c in a downward triangular shape in the figure, which are spaced apart from the instruction mark 35b and indicate the upper limit value of the mass allowable range downward from the upper side of the display area 35a. The mass measurement value is allowed with the position corresponding to the mass measurement value within the display range represented by the display area 35a with respect to the allowable mass range, with the display end on the variable side. It includes a mass display bar portion 35d to be displayed and a background display portion 35e having a color or pattern different from that of the mass display bar portion 35d so as to indicate a portion other than the mass display bar portion 35d in the display area 35a. .

図６（ｄ）に示すバーグラフ表示部３６（グラフ表示要素）は、一定の質量範囲に相当する左右方向一定長さのバー状の表示エリア３６ａと、表示エリア３６ａ上の長さ方向所定位置で予め設定された質量許容範囲の下限値を示す図中上下向の線状の下限値指示マーク３６ｂと、予め設定された質量許容範囲分だけ表示エリア３６ａ上で下限値指示マーク３６ｂから離間してその質量許容範囲の上限値を示す図中上下向きの線状の上限値指示マーク３６ｃと、下限値指示マーク３６ｂおよび上限値指示マーク３６ｃで表わされる質量許容範囲に対し表示エリア３６ａで表される表示範囲内で質量測定値に相当する位置を可変側表示端として質量測定値を可変表示する質量表示バー部３６ｄと、表示エリア３６ａ内で質量表示バー部３６ｄ以外の部分であることを示すよう質量表示バー部３６ｄとは異なる色又は模様等となる背景表示部３６ｅとを含んでいる。ここで、下限値指示マーク３６ｂおよび上限値指示マーク３６ｃは、表示エリア３６ａの幅を超える長さを有し、その両端は表示エリア３６ａの上下に突出している。   The bar graph display unit 36 (graph display element) shown in FIG. 6D includes a bar-shaped display area 36a having a certain length in the left-right direction corresponding to a certain mass range, and a predetermined position in the length direction on the display area 36a. And a linear lower limit value indicating mark 36b in the vertical direction in the drawing showing the lower limit value of the mass allowable range set in advance and the lower limit value indicating mark 36b on the display area 36a by a predetermined mass allowable range. In the figure showing the upper limit value of the allowable mass range, the upper limit value indicating mark 36c in the vertical direction, the lower limit value indicating mark 36b, and the allowable mass range indicated by the upper limit value indicating mark 36c are represented by a display area 36a. Within the display range, the mass display bar part 36d for variably displaying the mass measurement value with the position corresponding to the mass measurement value as the variable side display end, and other than the mass display bar part 36d in the display area 36a And a background display section 36e as a different color or pattern or the like from the weight display bar portion 36d to indicate that a partial. Here, the lower limit value indicating mark 36b and the upper limit value indicating mark 36c have a length exceeding the width of the display area 36a, and both ends thereof protrude above and below the display area 36a.

図６（ｅ）に示すバーグラフ表示部３７（グラフ表示要素）は、一定の質量範囲に相当する左右方向一定長さのバー状の表示エリア３７ａと、表示エリア３７ａの長さ方向所定の２つの位置における形状変化で示された質量許容範囲の下限値３７ｂおよび上限値表示部３７ｃと、下限値指示マーク３７ｂおよび上限値指示マーク３７ｃで表わされる質量許容範囲に対し表示エリア３７ａで表される表示範囲内で質量測定値に相当する位置を可変側表示端として質量測定値を可変表示する質量表示バー部３７ｄと、表示エリア３７ａ内で質量表示バー部３７ｄ以外の部分であることを示すよう質量表示バー部３７ｄとは異なる色又は模様等となる背景表示部３７ｅとを含んでいる。ここで、表示エリア３７ａは、前記質量許容範囲の下限値表示部３７ｂおよび上限値表示部３７ｃの間では一定幅となり、その許容範囲から外れるより端部側では一定幅部分より幅広となる形状を有している。また、表示エリア３７ａは、下限値表示部３７ｂより小さい質量値を示す一端（図中左端）側では幅方向一方（図中下方）側に幅広となり、上限値表示部３７ｃより大きい質量値を示す他端（図中右端）側では幅方向他方（図中上方）側に幅広となっている。   A bar graph display unit 37 (graph display element) shown in FIG. 6 (e) has a bar-shaped display area 37a having a certain length in the left-right direction corresponding to a certain mass range, and a predetermined two in the length direction of the display area 37a. The lower limit value 37b and the upper limit value display portion 37c of the allowable mass range indicated by the shape change at one position, and the display area 37a for the allowable mass range indicated by the lower limit value indicating mark 37b and the upper limit value indicating mark 37c. The mass display bar portion 37d for variably displaying the mass measurement value with the position corresponding to the mass measurement value within the display range as the variable side display end, and the portion other than the mass display bar portion 37d in the display area 37a are shown. It includes a background display portion 37e having a different color or pattern from the mass display bar portion 37d. Here, the display area 37a has a constant width between the lower limit value display portion 37b and the upper limit value display portion 37c of the mass allowable range, and a shape that is wider than the constant width portion on the end side outside the allowable range. Have. The display area 37a is wider at one end (the left end in the figure) showing a mass value smaller than the lower limit value display portion 37b and wide at the one side in the width direction (lower side in the figure), and shows a mass value larger than the upper limit value display portion 37c. On the other end (right end in the figure) side, the width is wider on the other side (upper side in the figure).

これらのような変形態様のバーグラフ表示を用いても、上述のように質量測定結果を、その許容範囲を明確にしつつ、対応するＸ線画像と関連付けた把握容易な表示を行なうことができるＸ線検査装置を提供することができる。   Even if the bar graph display having such a modified form is used, the mass measurement result can be easily displayed in association with the corresponding X-ray image while clarifying the allowable range as described above. A line inspection apparatus can be provided.

[第３の実施の形態]
図７は本発明に係るＸ線検査装置の第３の実施の形態を示す図であり、本発明を質量測定を行なうＸ線検査装置に適用した場合の一表示態様を示している。なお、本実施形態は上述の実施形態と類似するシステム構成で上述の表示内容とは異なるＸ線画像表示およびグラフ表示を実行するものであるので、上述と同一又は類似の構成については図１〜図６におけると同一の参照符号を付して簡単に説明し、上述の実施形態との相違点について詳述する。 [Third embodiment]
FIG. 7 is a diagram showing a third embodiment of the X-ray inspection apparatus according to the present invention, and shows one display mode when the present invention is applied to an X-ray inspection apparatus that performs mass measurement. In addition, since this embodiment performs X-ray image display and graph display different from the above-described display contents in a system configuration similar to the above-described embodiment, the same or similar configurations as those described above are illustrated in FIGS. The same reference numerals as those in FIG. 6 will be used for the brief description, and differences from the above-described embodiment will be described in detail.

本実施形態のＸ線検査装置は、搬送路１、Ｘ線源２、進入検知センサ３、Ｘ線検出部４、データ処理ユニット６および表示部２０を含んで構成されており、Ｘ線画像生成部１１で生成されるＸ線画像、質量算出部１３での質量測定の単位（測定単位となる質量測定領域）、およびデータ処理ユニット６の表示データ生成部１５で生成される表示データがそれぞれ上述の実施形態とは相違する。また、領域抽出処理部８は、ワークＷの質量測定領域を複数の区画である３区画Ａ、ＢおよびＣに分割し、画像生成手段としての自機能にこれら３区画Ａ〜ＣのそれぞれのＸ線画像を生成させる領域分割手段の機能を併有しており、領域抽出処理部８が区画Ａ〜Ｃの各々について所定検出レベル範囲の検出情報を抽出し、質量算出部１３がその各区画毎の抽出された検出情報に基づいて各区画毎の質量を算出するようになっている。   The X-ray inspection apparatus according to the present embodiment includes a conveyance path 1, an X-ray source 2, an approach detection sensor 3, an X-ray detection unit 4, a data processing unit 6, and a display unit 20, and generates an X-ray image. The X-ray image generated in the unit 11, the unit of mass measurement in the mass calculation unit 13 (mass measurement region serving as a measurement unit), and the display data generated in the display data generation unit 15 of the data processing unit 6 are described above. This is different from the embodiment. Further, the region extraction processing unit 8 divides the mass measurement region of the workpiece W into a plurality of three sections A, B, and C, and each of these three sections A to C has its own function as an image generating unit. The area extraction processing unit 8 extracts the detection information of a predetermined detection level range for each of the sections A to C, and the mass calculation unit 13 for each section. Based on the extracted detection information, the mass for each section is calculated.

具体的には、本実施形態においては、ワークＷが独立した複数、例えば３つの内容物Ｗ１、Ｗ２およびＷ３で構成されており、それに対応して、ワークＷの質量測定領域が内容物に対応する３区画Ａ、ＢおよびＣ（複数の検査区画）に分割されている。そして、質量測定領域の各区画Ａ、Ｂ、Ｃがそれぞれ上述した各実施形態における質量測定領域と同様に扱われる。   Specifically, in this embodiment, the workpiece W is composed of a plurality of independent contents, for example, three contents W1, W2, and W3, and the mass measurement region of the workpiece W corresponds to the contents correspondingly. It is divided into three sections A, B and C (a plurality of inspection sections). And each division A, B, C of a mass measurement area | region is handled similarly to the mass measurement area | region in each embodiment mentioned above, respectively.

図７に示すように、本実施形態では、表示部２０の表示画面２０Ｄ上に、Ｘ線画像の表示窓部２１と、測定された質量をグラフ表示するグラフ表示部４２（グラフ表示要素）とが表示されるが、ワークＷが独立した複数の内容物Ｗ１、Ｗ２およびＷ３で構成され、質量測定領域が各内容物毎の３区画Ａ、ＢおよびＣに分割されているのに対応して、表示窓部２１もこれら質量測定領域の３区画Ａ〜Ｃの面積および相対位置に対応する面積と相対位置関係を有する３つの表示エリア２１ａ、２１ｂおよび２１ｃに区画されている。これら表示エリア２１ａ〜２１ｃには、それら質量測定領域の区画名が、例えば内容物Ｗ１、Ｗ２およびＷ３にそれぞれ近接する「Ａ」、「Ｂ」および「Ｃ」等の文字で表示される。   As shown in FIG. 7, in this embodiment, on the display screen 20D of the display unit 20, an X-ray image display window unit 21 and a graph display unit 42 (graph display element) that displays the measured mass in a graph. Is displayed, but the workpiece W is composed of a plurality of independent contents W1, W2 and W3, and the mass measurement area is divided into three sections A, B and C for each content. The display window 21 is also divided into three display areas 21a, 21b and 21c having a relative positional relationship with the areas corresponding to the areas and relative positions of the three sections A to C of the mass measurement region. In these display areas 21a to 21c, the division names of the mass measurement regions are displayed by characters such as “A”, “B”, and “C” that are close to the contents W1, W2, and W3, respectively.

また、各表示エリア２１ａ、２１ｂ又は２１ｃにおいては、上述の実施形態と同様に、表示データ生成部１５で生成される表示データには図中ハッチングで示す各区画Ａ、Ｂ又はＣ（質量測定領域）の外の背景画像に相当する部分の画像は含まれておらず、質量測定領域に対応するＸ線画像部分以外は表示窓部２１の表示エリア２１ａ〜２１ｃにおける単なる背景画面となっている。   Moreover, in each display area 21a, 21b, or 21c, the display data generated by the display data generation unit 15 includes each section A, B, or C (mass measurement region) indicated by hatching in the drawing, as in the above-described embodiment. The image of the portion corresponding to the background image other than () is not included, and the portion other than the X-ray image portion corresponding to the mass measurement region is a mere background screen in the display areas 21a to 21c of the display window portion 21.

一方、グラフ表示部４２は、表示エリア２１ａ、２１ｂおよび２１ｃに対応し並列して設けられた複数、例えば３つのバーグラフ表示部分４３、４４および４５（グラフ表示要素）と、これらバーグラフ表示部分４３〜４５の表示内容に対応する質量測定領域の区画名「Ａ」〜「Ｃ」等の文字を表示する区画名表示部分４６とを含んで構成されている。なお、質量測定結果を示す複数のグラフ表示要素の関連付けは、例えば同一の検査区画表示符号や色、模様若しくはそれらの組み合わせを用いることでも可能である。   On the other hand, the graph display unit 42 includes a plurality of, for example, three bar graph display parts 43, 44 and 45 (graph display elements) provided in parallel corresponding to the display areas 21a, 21b and 21c, and these bar graph display parts. And a section name display portion 46 for displaying characters such as section names “A” to “C” of the mass measurement region corresponding to the display contents 43 to 45. Note that the association of a plurality of graph display elements indicating the mass measurement results can also be performed using, for example, the same examination section display code, color, pattern, or a combination thereof.

バーグラフ表示部分４３〜４５は、それぞれ一定の質量範囲に相当する左右方向一定長さ（全長の示す質量値はワーク構成要素Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３の基準の質量に対し一定倍率（１より大きい）を掛けた値）のバー状の表示エリア４３ａ、４４ａおよび４５ａと、それぞれ表示エリア４３ａ〜４５ａ上の長さ方向所定位置で予め設定された質量許容範囲の下限値を示す図中上下向の線状の下限値指示マーク４３ｂ、４４ｂおよび４５ｂと、予め設定された質量許容範囲分だけ表示エリア４３ａ〜４５ａ上で下限値指示マーク４３ｂ〜４５ｂから離間してその質量許容範囲の上限値を示す図中上下向きの線状の上限値指示マーク４３ｃ、４４ｃおよび４５ｃと、下限値指示マーク４３ｂ〜４５ｂおよび上限値指示マーク４３ｃ〜４５ｃで表わされる質量許容範囲に対し表示エリア４３ａ〜４５ａで表される表示範囲内でそれぞれ質量測定値に相当する位置を可変側表示端として質量測定値を可変表示する質量表示バー部４３ｄ、４４ｄおよび４５ｄと、表示エリア４３ａ〜４５ａ内で質量表示バー部４３ｄ〜４５ｄ以外の部分であることを示すよう質量表示バー部４３ｄ〜４５ｄとは異なる色又は模様等となる背景表示部４３ｅ、４４ｅおよび４５ｅとを含んでいる。   The bar graph display portions 43 to 45 each have a fixed length in the left-right direction corresponding to a fixed mass range (the mass value indicated by the total length is a fixed magnification (greater than 1) with respect to the reference mass of the workpiece components W1, W2, and W3) ) And bar-shaped display areas 43a, 44a and 45a, and a vertical line in the figure showing the lower limit value of the mass allowable range set in advance in predetermined positions in the length direction on the display areas 43a to 45a, respectively. The lower limit value indicating marks 43b, 44b and 45b and the upper limit value of the allowable mass range which is separated from the lower limit value indicating marks 43b to 45b on the display areas 43a to 45a by a preset allowable mass range. It is represented by linear upper limit value indicating marks 43c, 44c, and 45c that are oriented upward and downward, lower limit value indicating marks 43b to 45b, and upper limit value indicating marks 43c to 45c. Mass display bar portions 43d, 44d and 45d for variably displaying the mass measurement value with the position corresponding to the mass measurement value as the variable side display end within the display range represented by the display areas 43a to 45a with respect to the mass allowable range, It includes background display portions 43e, 44e, and 45e that have colors or patterns different from those of the mass display bar portions 43d to 45d so as to indicate portions other than the mass display bar portions 43d to 45d in the display areas 43a to 45a. It is out.

検査時には、ワークＷの検査空間への進入が進入検知センサ３で検知されると、進入検知センサ３の検知状態の変化からワークＷの各内容物Ｗ１〜Ｗ３の搬送区間と、搬送方向前後に隣り合う無搬送区間とがそれぞれ特定され、Ｘ線検出部４の繰り返し走査を行なうサンプリング期間が決定される。   At the time of inspection, when the entry of the workpiece W into the inspection space is detected by the entry detection sensor 3, the change in the detection state of the entry detection sensor 3 causes the conveyance sections of the contents W1 to W3 of the workpiece W to move forward and backward in the conveyance direction. Adjacent non-conveying sections are respectively identified, and a sampling period during which the X-ray detector 4 performs repeated scanning is determined.

次いで、進入検知後の所定のタイミングでＸ線検出部４からの検出情報の前記画像入力部への取り込みが開始され、ワークＷの各内容物Ｗ１〜Ｗ３についてその長さ分だけ前記単位搬送時間毎のライン走査が繰り返されるとともに、Ｘ線検出部４のデータ記憶部４ｂに各内容物Ｗ１〜Ｗ３についての透過量のデータが順次格納される。そして、毎回の走査で得られた各内容物Ｗ１〜Ｗ３についてのスライスデータとしてのＸ線画像の濃度データＰのうち領域抽出処理部８で抽出された濃度データＰに基づいて、各内容物Ｗ１〜Ｗ３についてのＸ線画像がＸ線画像生成部１１により生成され、これらを表示するための表示エリア２１ａ、２１ｂおよび２１ｃを図７に示すような配置で統合するようディジタル合成した統合Ｘ線画像が表示データ生成部１５に供給される。   Subsequently, the detection information from the X-ray detection unit 4 is started to be taken into the image input unit at a predetermined timing after the entry is detected, and the unit transport time for the contents W1 to W3 of the workpiece W is equal to the length. Each line scan is repeated, and transmission amount data for the contents W1 to W3 is sequentially stored in the data storage unit 4b of the X-ray detection unit 4. Then, based on the density data P extracted by the region extraction processing unit 8 among the density data P of the X-ray image as slice data for each content W1 to W3 obtained in each scan, each content W1. X-ray images for .about.W3 are generated by the X-ray image generation unit 11 and digitally synthesized so as to integrate the display areas 21a, 21b and 21c for displaying them in the arrangement shown in FIG. Is supplied to the display data generation unit 15.

一方、質量算出部１３の濃度データ変換部１３ａでは、各表示エリア２１ａ、２１ｂ、２１ｃのＸ線画像における前景（質量測定領域に対応する）の代表濃度Ｐ１と、等価厚画像の最大濃度Ｑmaxとがそれぞれ読み込まれ、その設定値に基づいて、ワークＷの各透過領域における等価厚画像の濃度データＱ（Ｐ）への変換処理が前記式〔１〕を用いて実行された後、体積測定部１３ｂにより、複数の透過領域のそれぞれに対応する等価厚画像の濃度データＱ（Ｐ）を質量測定領域の各区画Ａ、Ｂ、Ｃ毎に合算することで、ワークＷの各内容物Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３の各体積値Ｖがそれぞれ算出される。   On the other hand, in the density data conversion unit 13a of the mass calculation unit 13, the representative density P1 of the foreground (corresponding to the mass measurement region) in the X-ray images of the display areas 21a, 21b, and 21c, and the maximum density Qmax of the equivalent thickness image Are read out, and based on the set value, the conversion process to the density data Q (P) of the equivalent thickness image in each transmission region of the workpiece W is executed using the above equation [1], and then the volume measuring unit By adding the density data Q (P) of the equivalent thickness image corresponding to each of the plurality of transmission regions for each of the sections A, B, and C of the mass measurement region, the contents W1 and W2 of the workpiece W are added. , W3 are calculated respectively.

次いで、質量換算部１３ｃにより、体積測定部１３ｂで測定されたワークＷの内容物Ｗ１〜Ｗ３の各体積測定値Ｖが予め内容物毎に設定された質量換算係数λＷ（所定の換算比）で質量単位の換算値Ｇ（Ｇ＝λＷ・Ｖ）に換算され、ワークＷの内容物Ｗ１〜Ｗ３の質量がそれぞれ算出される。   Next, the volume conversion value λW (predetermined conversion ratio) in which the volume measurement values V of the contents W1 to W3 of the workpiece W measured by the volume measurement unit 13b are set in advance for each content by the mass conversion unit 13c. The mass unit is converted into a converted value G (G = λW · V), and the masses of the contents W1 to W3 of the workpiece W are calculated.

次いで、ワークＷの内容物Ｗ１〜Ｗ３の質量換算値を表わす３つの測定値データが表示データ生成部１５に供給される。   Next, three pieces of measured value data representing mass converted values of the contents W <b> 1 to W <b> 3 of the workpiece W are supplied to the display data generation unit 15.

この状態において、表示データ生成部１５では、Ｘ線画像生成部１１により生成されたワークＷの質量測定領域の前記統合Ｘ線画像と、質量算出部１３で算出された複数の質量の値とを基に、例えば図７に一例を示すような表示画像の画像データが生成され、表示部２０の表示画面２０Ｄ上に表示される。   In this state, in the display data generation unit 15, the integrated X-ray image of the mass measurement region of the workpiece W generated by the X-ray image generation unit 11 and a plurality of mass values calculated by the mass calculation unit 13 are obtained. Based on this, for example, image data of a display image as shown in FIG. 7 is generated and displayed on the display screen 20D of the display unit 20.

このように、本実施形態においては、Ｘ線検出部４からの検出情報のうち質量測定領域に対応する一部の検出情報がワークＷの内容物毎に領域抽出処理部８により抽出されることで質量測定領域のＸ線画像がワークＷの内容物毎に独立して生成されるとともに、領域抽出処理部８により抽出された検出情報に基づいてワークＷの質量がワークＷの内容物Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３毎に算出され、質量測定領域のＸ線画像（図７中の表示窓部２１中の内容物Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３）と、算出されたそれぞれの質量を示すグラフ表示部４２のバーグラフ表示部分４３、４４および４５とが質量測定領域の区画名Ａ、Ｂ、Ｃでそれぞれ関連付けて表示されることから、複数の検査区域の各区域毎に、質量測定結果をそれに対応するＸ線画像と関連付けた把握容易な表示を行なうことが可能となり、ワークＷの内容物が複数個若しくは複数種類ある場合にも、各内容物の質量測定値と対応するＸ線画像を関連付けた表示が可能となる。   Thus, in the present embodiment, a part of the detection information corresponding to the mass measurement region in the detection information from the X-ray detection unit 4 is extracted by the region extraction processing unit 8 for each content of the workpiece W. The X-ray image of the mass measurement region is independently generated for each content of the workpiece W, and the mass of the workpiece W is the content W1 of the workpiece W based on the detection information extracted by the region extraction processing unit 8. X-ray image of the mass measurement region (contents W1, W2, W3 in the display window 21 in FIG. 7) calculated for each of W2 and W3, and a bar on the graph display unit 42 indicating the calculated masses. Since the graph display portions 43, 44, and 45 are displayed in association with the section names A, B, and C of the mass measurement region, the X-ray corresponding to the mass measurement result is displayed for each of the plurality of examination areas. Easy to understand in relation to images It is possible to perform display, even if the contents of the workpiece W there is a plurality or multiple types, display becomes possible to associate the X-ray image corresponding to the mass measurement for each content.

[第４の実施の形態]
図８は本発明に係るＸ線検査装置の第４の実施の形態を示す図であり、本発明を質量測定を行なうＸ線検査装置に適用した場合の一表示態様を示している。なお、本実施形態は上述の実施形態と類似するシステム構成で上述の表示内容とは異なるＸ線画像表示およびグラフ表示を実行するものであるので、上述と同一又は類似の構成については図１〜図７におけると同一の参照符号を付して簡単に説明し、上述の実施形態との相違点について詳述する。 [Fourth embodiment]
FIG. 8 is a diagram showing a fourth embodiment of the X-ray inspection apparatus according to the present invention, and shows one display mode when the present invention is applied to an X-ray inspection apparatus that performs mass measurement. In addition, since this embodiment performs X-ray image display and graph display different from the above-described display contents in a system configuration similar to the above-described embodiment, the same or similar configurations as those described above are illustrated in FIGS. The same reference numerals as those in FIG. 7 are attached for the sake of simplicity, and differences from the above-described embodiment will be described in detail.

本実施形態のＸ線検査装置は、搬送路１、Ｘ線源２、進入検知センサ３、Ｘ線検出部４、データ処理ユニット６および表示部２０を含んで構成されており、Ｘ線画像生成部１１で生成されるＸ線画像およびデータ処理ユニット６の表示データ生成部１５で生成される表示データがそれぞれ上述の実施形態とは相違する。   The X-ray inspection apparatus according to the present embodiment includes a conveyance path 1, an X-ray source 2, an approach detection sensor 3, an X-ray detection unit 4, a data processing unit 6, and a display unit 20, and generates an X-ray image. The X-ray image generated by the unit 11 and the display data generated by the display data generation unit 15 of the data processing unit 6 are different from the above-described embodiments.

図８に示すように、本実施形態では、表示部２０の表示画面２０Ｄ上に、ワークＷのＸ線画像を表示する表示窓部２１と、ワークＷのＸ線射影画像を表示する追加の表示窓部２８と、測定された質量をその測定値で表示する数値表示部３９と、測定された質量を縦向きのバーで表示するバーグラフ表示部４８（グラフ表示要素）とがそれぞれ配置される。   As shown in FIG. 8, in this embodiment, on the display screen 20D of the display unit 20, a display window unit 21 that displays an X-ray image of the workpiece W and an additional display that displays an X-ray projection image of the workpiece W. A window section 28, a numerical display section 39 for displaying the measured mass as its measured value, and a bar graph display section 48 (graph display element) for displaying the measured mass as a vertically oriented bar are arranged. .

Ｘ線射影画像の表示窓部２８には、例えばワークＷの短手方向中央部の透過領域に対応するワークＷの部分体積（厚さ）が、あるいは、ワークＷの長手方向（搬送方向）各位置の複数の透過領域のうち最大の部分体積（厚さ）を有する透過領域のその部分体積値が、ワークＷの質量測定領域の長手方向全域に亘って縦棒線でそれぞれ表示され、ワークＷを長手方向にスライスした場合の長手方向各位置の部分体積若しくはそれに対応する部分質量、あるいは、ワークＷの長手方向各位置における最大部分体積若しくはそれに対応する部分質量を比較参照できるようになっている。   In the X-ray projection image display window 28, for example, the partial volume (thickness) of the workpiece W corresponding to the transmission area in the center in the short direction of the workpiece W or the longitudinal direction (conveying direction) of the workpiece W The partial volume value of the transmission region having the maximum partial volume (thickness) among the plurality of transmission regions at the position is displayed as a vertical bar line over the entire longitudinal direction of the mass measurement region of the workpiece W. The partial volume at each position in the longitudinal direction or the corresponding partial mass when sliced in the longitudinal direction, or the maximum partial volume at each position in the longitudinal direction of the workpiece W or the corresponding partial mass can be compared and referenced. .

また、バーグラフ表示部４８には、Ｘ線射影画像の表示窓部２８に縦棒線で表示された複数の透過領域の質量測定値（又はそれに比例する等価厚）の平均値、あるいは、ワークＷの質量測定領域全域の透過領域毎の質量測定値の平均値が、縦向きのバーで表示されるようになっている。   Further, the bar graph display unit 48 has an average value of mass measurement values (or equivalent thicknesses) of a plurality of transmission regions displayed as vertical bar lines in the display window unit 28 of the X-ray projection image, or a work piece. The average value of the mass measurement values for each transmission region in the entire mass measurement region of W is displayed as a vertically oriented bar.

このバーグラフ表示部４８は、一定の質量範囲に相当する上下方向一定長さのバー状の表示エリア４８ａと、表示エリア４８ａ上の長さ方向所定位置で予め設定された質量許容範囲の下限値を示す図中左右方向の線状の下限値指示マーク４８ｂと、予め設定された質量許容範囲分だけ表示エリア４８ａ上で下限値指示マーク４８ｂから離間してその質量許容範囲の上限値を示す図中左右方向の線状の上限値指示マーク４８ｃと、下限値指示マーク４８ｂおよび上限値指示マーク４８ｃで表わされる質量許容範囲に対し表示エリア４８ａで表される表示範囲内でそれぞれ質量測定値に相当する上端位置を可変側表示端として質量測定値を可変表示する質量表示バー部４８ｄと、表示エリア４８ａ内で質量表示バー部４８ｄ以外の部分であることを示すよう質量表示バー部４８ｄとは異なる色又は模様等となる背景表示部４８ｅとを含んでいる。   The bar graph display unit 48 includes a bar-shaped display area 48a having a certain length in the vertical direction corresponding to a certain mass range, and a lower limit value of a mass allowable range preset at a predetermined position in the length direction on the display area 48a. The lower limit value indicating mark 48b in the left-right direction in the figure and the upper limit value of the mass allowable range being separated from the lower limit indicating mark 48b on the display area 48a by a preset allowable mass range. It corresponds to the mass measurement value within the display range represented by the display area 48a with respect to the mass allowable range represented by the linear upper limit value indicating mark 48c in the middle / left / right direction, the lower limit value indicating mark 48b and the upper limit value indicating mark 48c. The mass display bar portion 48d for variably displaying the mass measurement value with the upper end position to be set as the variable side display end, and the portion other than the mass display bar portion 48d in the display area 48a And a background display section 48e as a different color or pattern or the like from the weight display bar portion 48d as shown.

本実施例では、質量算出部１３は、上述の実施形態と同様にワークＷの各透過領域におけるＸ線画像の濃度データＰから等価厚画像の濃度データＱ（Ｐ）への変換処理を例えば前記式〔１〕により実行してワークＷの質量測定領域全体の体積Ｖおよびそれに対応する質量値Ｇを算出および出力するのみでなく、ワークＷの短手方向中央部（搬送路幅員方向の所定位置）の透過領域に対応するワークＷの複数の部分体積値（厚さ）を、あるいは、ワークＷの長手方向各位置の複数の透過領域のうち最大の部分体積（厚さ）を有する透過領域の長手方向全域分の複数の部分体積値をも、それぞれ表示データ生成部１５に出力することになる。   In this example, the mass calculation unit 13 performs the conversion process from the density data P of the X-ray image to the density data Q (P) of the equivalent thickness image in each transmission region of the workpiece W, for example, as in the above-described embodiment. In addition to calculating and outputting the volume V of the entire mass measurement region of the workpiece W and the corresponding mass value G by executing the equation [1], the center portion of the workpiece W in the short direction (predetermined position in the conveyance path width direction) ) Of a plurality of partial volumes (thicknesses) of the workpiece W corresponding to the transmission region of the workpiece W or a transmission region having the largest partial volume (thickness) among the plurality of transmission regions at positions in the longitudinal direction of the workpiece W. A plurality of partial volume values for the entire longitudinal direction are also output to the display data generation unit 15.

そして、表示データ生成部１５では、ワークＷの全体のＸ線画像の表示データと、ワークＷの短手方向中央部の透過領域に対応するワークＷの複数の部分体積値、あるいは、ワークＷの長手方向各位置の複数の透過領域のうち最大の部分体積を有する透過領域の長手方向全域分の複数の部分体積値を縦棒線でそれぞれ表示するＸ線射影画像の表示データとをそれぞれ生成し、これらの画像を図８に示したような画面形態で表示部２０の表示画面２０Ｄ上に表示させる。   Then, in the display data generation unit 15, the display data of the entire X-ray image of the workpiece W, and a plurality of partial volume values of the workpiece W corresponding to the transmission region in the center in the short direction of the workpiece W, or the workpiece W X-ray projection image display data for displaying a plurality of partial volume values for the entire longitudinal direction of the transmissive region having the largest partial volume among the plurality of transmissive regions at respective positions in the longitudinal direction, respectively, is displayed. These images are displayed on the display screen 20D of the display unit 20 in the screen form as shown in FIG.

本実施形態においても、Ｘ線検出部４からの検出情報のうち質量測定領域に対応する一部の検出情報が領域抽出処理部８により抽出されることで質量測定領域のＸ線画像が生成されるとともに、領域抽出処理部８により抽出された検出情報に基づいてワークＷの質量を算出する質量算出処理が実行され、図８中の表示窓部２１中に示すようなワークＷの質量測定領域のＸ線画像と、図８中の追加の表示窓部２８中に示すようなＸ線射影画像と、算出された質量を示すバーグラフ表示部４８（グラフ表示要素）とが相互に関連付けて表示されることから、Ｘ線画像データのうち質量測定に関与する領域のデータを有効活用して、質量測定結果をそれに対応するＸ線画像およびＸ線射影画像と関連付けた把握容易な表示を行なうことができる。特に、質量の基となる体積のＸ線射影画像に並べて、質量を示すバーグラフを縦方向に表示しているので、全体質量に対するワークＷの長手方向の質量のばらつきを容易に推定することができる。   Also in the present embodiment, an X-ray image of the mass measurement region is generated by extracting a part of the detection information corresponding to the mass measurement region from the detection information from the X-ray detection unit 4 by the region extraction processing unit 8. In addition, a mass calculation process for calculating the mass of the work W based on the detection information extracted by the area extraction processing unit 8 is executed, and the mass measurement area of the work W as shown in the display window unit 21 in FIG. X-ray image, an X-ray projection image as shown in the additional display window 28 in FIG. 8, and a bar graph display unit 48 (graph display element) indicating the calculated mass are displayed in association with each other. Therefore, it is possible to effectively display data relating to the mass measurement in the X-ray image data, and to easily display the mass measurement result associated with the corresponding X-ray image and X-ray projection image. Can do. In particular, since the bar graph indicating the mass is displayed in the vertical direction in the X-ray projection image of the volume that is the basis of the mass, it is possible to easily estimate the variation in the mass in the longitudinal direction of the workpiece W with respect to the total mass. it can.

[第５の実施の形態]
図９および図１０は本発明に係るＸ線検査装置の第５の実施の形態を示す図であり、本発明を質量測定および異物検出を行なうＸ線検査装置に適用した形態を示している。なお、本実施形態において上述と同一又は類似の構成については図１〜図８におけると同一の参照符号を付して簡単に説明し、上述の実施形態との相違点について詳述する。 [Fifth embodiment]
FIG. 9 and FIG. 10 are diagrams showing a fifth embodiment of the X-ray inspection apparatus according to the present invention, and show an embodiment in which the present invention is applied to an X-ray inspection apparatus that performs mass measurement and foreign object detection. In the present embodiment, the same or similar configurations as those described above will be briefly described with the same reference numerals as those in FIGS. 1 to 8, and differences from the above embodiments will be described in detail.

本実施形態のＸ線検査装置は、図９に示すように、搬送路１、Ｘ線源２、進入検知センサ３、Ｘ線検出部４、データ処理ユニット１６および表示部２０を含んで構成されており、データ処理ユニット１６の構成およびそこで生成されるデータ、並びに表示データ生成部１５で生成される表示データがそれぞれ上述の実施形態とは相違する。   As shown in FIG. 9, the X-ray inspection apparatus according to this embodiment includes a conveyance path 1, an X-ray source 2, an approach detection sensor 3, an X-ray detection unit 4, a data processing unit 16, and a display unit 20. The configuration of the data processing unit 16, the data generated there, and the display data generated by the display data generation unit 15 are different from the above-described embodiments.

データ処理ユニット１６は、上述した実施形態のデータ処理ユニット６と同様にマイクロコンピュータ等で構成されており、その複数の処理機能部として、領域抽出処理部８、Ｘ線画像生成部１１、質量算出部１３および表示データ生成部１５を含んでいるのに加えて、品質状態判定部１２（異物判定手段）と、質量判定部１４（物理量判定手段）とを含んでいる。そして、Ｘ線画像生成部１１および品質状態判定部１２によって品質検査部１７が、質量算出部１３および質量判定部１４によって質量測定部１８がそれぞれ構成されている。   The data processing unit 16 is configured by a microcomputer or the like, similar to the data processing unit 6 of the above-described embodiment, and includes a region extraction processing unit 8, an X-ray image generation unit 11, a mass calculation as a plurality of processing function units. In addition to including the unit 13 and the display data generation unit 15, a quality state determination unit 12 (foreign matter determination unit) and a mass determination unit 14 (physical quantity determination unit) are included. The X-ray image generation unit 11 and the quality state determination unit 12 constitute a quality inspection unit 17, and the mass calculation unit 13 and the mass determination unit 14 constitute a mass measurement unit 18.

このデータ処理ユニット１６は、Ｘ線検出部４からの検出情報を基に、Ｘ線画像データの生成処理および質量算出処理をそれぞれ実行して表示データ生成部１５に出力するとともに、品質状態判定部１２と質量判定部１４とからワークＷの品質に関わる判定結果と質量合否判定結果（質量測定値が許容範囲内か否かの判定結果）とを表示データ生成部１５に出力するようになっている。そして、表示データ生成部１５では、例えば図１０に示すように、ワークＷの品質に関わる判定結果と質量合否判定結果とのうち少なくとも一方を含む表示データが予めの表示モード設定入力に応じて生成される。   The data processing unit 16 executes X-ray image data generation processing and mass calculation processing based on the detection information from the X-ray detection unit 4 and outputs the data to the display data generation unit 15. 12 and the mass determination unit 14 output the determination result related to the quality of the workpiece W and the mass pass / fail determination result (determination result as to whether the mass measurement value is within the allowable range) to the display data generation unit 15. Yes. Then, in the display data generation unit 15, for example, as shown in FIG. 10, display data including at least one of the determination result related to the quality of the workpiece W and the mass pass / fail determination result is generated in accordance with the display mode setting input in advance. Is done.

具体的には、品質状態判定部１２は、ワークＷ内への異物混入の有無を判定するようになっており、例えば、質量算出部１３の濃度データ変換部１３ａで変換処理されたスライスデータ毎の等価厚画像の濃度データＱ（Ｐ）、あるいは、さらにワークＷの全透過領域の等価厚画像の濃度データＱ（Ｐ）のうち、近接する複数の透過領域間における濃度データＱ（Ｐ）の急峻な変化を見出すための微分処理等を施して、ワークＷの全透過領域中における異物候補点の透過領域を特定し、その候補点についてＸ線吸収量が所定のしきい値を超えるか否かを判定して異物の有無を判定するようになっている。そして、この品質状態判定部１２は、異物有無判定の判定結果並びに異物有と判定された透過領域の等価厚画像上の位置データ等を表示データ生成部１５に出力するようになっている。   Specifically, the quality state determination unit 12 determines whether or not foreign matter is mixed in the workpiece W. For example, for each slice data converted by the concentration data conversion unit 13a of the mass calculation unit 13 Density data Q (P) of the equivalent thickness image, or density data Q (P) of a plurality of adjacent transmission areas among the density data Q (P) of the equivalent thickness image of the entire transmission area of the workpiece W. A differential process for finding a steep change is performed to identify the transmission area of the foreign substance candidate point in the entire transmission area of the workpiece W, and whether or not the X-ray absorption amount exceeds a predetermined threshold value for the candidate point It is determined whether or not there is a foreign object. The quality state determination unit 12 outputs to the display data generation unit 15 the determination result of the presence / absence determination of foreign matter and the position data on the equivalent thickness image of the transmission region determined to have foreign matter.

また、質量判定部１４は、質量算出部１３の質量換算部１３ｃで換算されたワークＷの体積測定値の質量換算値Ｇが所定の質量許容範囲内にあるか否かで質量測定結果の合否を判定するプログラムを内蔵しており、各ワークＷ毎の質量合否判定情報をワークＷの質量換算値と共に表示データ生成部１５に出力するようになっている。   Further, the mass determination unit 14 determines whether the mass measurement result is acceptable depending on whether the mass conversion value G of the volume measurement value of the workpiece W converted by the mass conversion unit 13c of the mass calculation unit 13 is within a predetermined mass tolerance range. And the mass acceptance / rejection determination information for each workpiece W is output to the display data generation unit 15 together with the mass converted value of the workpiece W.

なお、本実施形態では、領域抽出処理部８が質量算出部１３の濃度データ変換部１３ａと同様の濃度データ変換部（図示していない）を有し、Ｘ線画像生成部１１がその濃度データ変換部で変換処理され領域抽出されたスライスデータ毎の等価厚画像の濃度データＱ（Ｐ）を基に、等価厚画像を作成できるようして、質量算出部１３の濃度データ変換部１３ａを無くし、領域抽出処理部８の濃度データ変換部から体積測定部１３ｂに濃度変換されたデータを取り込むよう構成することができる。   In the present embodiment, the region extraction processing unit 8 has a concentration data conversion unit (not shown) similar to the concentration data conversion unit 13a of the mass calculation unit 13, and the X-ray image generation unit 11 stores the concentration data. Based on the density data Q (P) of the equivalent thickness image for each slice data converted and extracted by the conversion unit, the equivalent thickness image can be created, and the density data conversion unit 13a of the mass calculation unit 13 is eliminated. The concentration-converted data can be taken into the volume measuring unit 13b from the concentration data conversion unit of the region extraction processing unit 8.

また、質量算出部１３の体積測定部１３ｂで、品質状態判定部１２での異物混入判定結果に応じて、異物混入有りと判定された場合に、対応する透過領域の等価厚画像の濃度データＱ（Ｐ）を一旦除去し、その周囲の透過領域の等価厚画像の濃度データＱ（Ｐ）を用いて当該除去した等価領域についてのデータの補間処理（例えば直線補間）を行なって、異物による体積および質量計測への影響を軽減するように構成することができる。   In addition, when the volume measuring unit 13b of the mass calculating unit 13 determines that foreign matter is mixed according to the foreign matter mixing determination result in the quality state determining unit 12, the density data Q of the equivalent thickness image of the corresponding transmission region is determined. Once (P) is removed, the density data Q (P) of the equivalent thickness image of the surrounding transmission area is used to perform data interpolation processing (for example, linear interpolation) on the removed equivalent area, and the volume due to foreign matter. And can be configured to reduce the impact on mass measurement.

表示データ生成部１５では、Ｘ線画像生成部１１からの各ワークＷのＸ線画像のデータ、質量算出部１３からの各ワークＷの質量算出値のデータ、品質状態判定部１２からの各ワークＷの異物有無判定の判定結果等、並びに質量判定部１４からの各ワークＷの質量合否判定情報等を基に、表示データを生成して、表示部２０の表示画面２０Ｄ上に表示させる。   In the display data generation unit 15, X-ray image data of each workpiece W from the X-ray image generation unit 11, mass calculation value data of each workpiece W from the mass calculation unit 13, and each workpiece from the quality state determination unit 12 Display data is generated and displayed on the display screen 20 </ b> D of the display unit 20 based on the determination result of the presence / absence determination of the foreign matter of W and the mass pass / fail determination information of each workpiece W from the mass determination unit 14.

図１０は、その表示画面での検査結果表示の一例を示している。   FIG. 10 shows an example of the inspection result display on the display screen.

同図に示すように、本実施形態では、表示部２０の表示画面２０Ｄ上に、Ｘ線画像の表示窓部２１と、測定された質量を表示するバーグラフ表示部２２（グラフ表示要素）と、品質判定結果の表示部５１と、質量判定結果の表示部５６とが配置される。   As shown in the figure, in this embodiment, on the display screen 20D of the display unit 20, an X-ray image display window unit 21, and a bar graph display unit 22 (graph display element) for displaying the measured mass, A quality determination result display unit 51 and a mass determination result display unit 56 are arranged.

Ｘ線画像の表示窓部２１には、ワークＷの体積および質量の算出に関与した質量測定領域のＸ線画像が各透過領域の透過量に応じた濃淡画像（例えば１０２４階調のグレースケール画像）として表示され、異物ありと判定されたときには、その異物Ｆの部分が例えば強調表示される。表示データ生成部１５で生成される表示データには質量測定領域外の背景画像に相当する部分の画像は含まれておらず、表示窓部２１中で前記質量測定領域に対応するＸ線画像部分以外は、すべて表示窓部２１における単なる背景画面（表示画像の無い部分）となっている。   In the X-ray image display window unit 21, an X-ray image of a mass measurement region involved in calculation of the volume and mass of the workpiece W is a grayscale image (for example, a grayscale image of 1024 gradations) corresponding to the transmission amount of each transmission region. ), And when it is determined that there is a foreign object, the portion of the foreign object F is highlighted, for example. The display data generated by the display data generation unit 15 does not include an image of a portion corresponding to the background image outside the mass measurement region, and an X-ray image portion corresponding to the mass measurement region in the display window unit 21. Except for the above, all are simple background screens (portions without display images) in the display window 21.

バーグラフ表示部２２の構成は、上述した第１の実施形態とほぼ同一であるが、本実施形態においては、質量測定値が予め設定された許容範囲から外れていると判定されたとき、質量表示バー部２２ｃが通常とは異なる表示色又は模様で表示されるようになっている。   The configuration of the bar graph display unit 22 is substantially the same as that of the above-described first embodiment. However, in this embodiment, when it is determined that the mass measurement value is out of the preset allowable range, The display bar portion 22c is displayed in a display color or pattern different from the normal one.

また、本実施形態における品質判定結果の表示部５１および質量判定結果の表示部５６は、例えば異物有無判定の結果、異物有りと判定されれば、表示部５１に「異物ＮＧ」との表示がなされ、異物無しと判定されれば、「異物ＮＧ」の文字表示が表示部５１から消える（消灯でもよい）ようになっている。また、質量判定の結果、質量測定値が予め設定された許容範囲から外れていれば、表示部５６に「質量ＮＧ」の文字表示がなされ、質量は許容範囲内と判定されれば、表示部５６から「質量ＮＧ」の文字表示が画面上から消える（消灯でもよい）ようになっている。表示部５６における「質量ＮＧ」の文字表示の点灯・消灯と、質量表示バー部２２ｃの表示色又は模様の切り替えは、同一のタイミングで行なわれる。   In addition, if the quality determination result display unit 51 and the mass determination result display unit 56 in this embodiment are determined to have foreign objects, for example, as a result of foreign object presence determination, the display unit 51 displays “foreign material NG”. If it is determined that there is no foreign matter, the character display of “foreign matter NG” disappears from the display unit 51 (it may be turned off). As a result of the mass determination, if the mass measurement value is out of the preset allowable range, the character “mass NG” is displayed on the display unit 56, and if the mass is determined to be within the allowable range, the display unit From 56, the character display of “mass NG” disappears from the screen (it may be turned off). Turning on / off the character display of “mass NG” on the display unit 56 and switching the display color or pattern of the mass display bar unit 22c are performed at the same timing.

図１０に示すようなＸ線検査結果表示を一度実行すると、次いで新たな検査結果が発生するまで、表示状態を維持しつつ待機し、新たな検査結果が発生すると、表示画面を更新することになる。   Once the X-ray inspection result display as shown in FIG. 10 is executed, the display screen is maintained until a new inspection result is generated, and the display screen is updated when a new inspection result is generated. Become.

このように、本実施形態のＸ線検査装置でも、上述の実施形態と同様に、Ｘ線検出部４からの検出情報のうち質量測定領域に対応する一部の検出情報が領域抽出処理部８により抽出されることで、質量測定領域のＸ線画像が生成されるとともに、抽出された検出情報に基づいてワークＷの大きさ又は質量に対応する質量が算出され、質量測定領域のＸ線画像と、測定される質量の基準値および算出された質量を示すバーグラフ表示とが同一画面中に関連付けて表示されることから、Ｘ線画像データのうち質量測定に関与する領域のデータを有効活用して、質量測定結果をそれに対応するＸ線画像と関連付けた直感的に把握容易な表示を行なうことができる。   As described above, in the X-ray inspection apparatus according to the present embodiment as well, in the detection information from the X-ray detection unit 4, a part of the detection information corresponding to the mass measurement region is included in the region extraction processing unit 8. The X-ray image of the mass measurement region is generated, and the mass corresponding to the size or mass of the workpiece W is calculated based on the extracted detection information. Since the reference value of the measured mass and the bar graph display showing the calculated mass are displayed in association with each other on the same screen, the X-ray image data in the area related to mass measurement is effectively used. Thus, it is possible to display the mass measurement result intuitively and easily in association with the corresponding X-ray image.

しかも、本実施形態では、Ｘ線検出部４からの検出情報に基づいてワークＷ中における異物の有無を判定する品質状態判定部１２の判定結果や質量が許容範囲内か否かを判定する質量判定部１４の判定結果を受けて、表示部２０にそれらの判定結果のいずれかがＮＧとなった場合に、その判定判定結果と測定された質量を示すバーグラフ表示部２２とを共に同一画面上に表示させるので、ワーク中における異物有無の判定結果がグラフ表示要素で表示された質量と共に容易に把握可能となる。   Moreover, in the present embodiment, the mass for determining whether or not the determination result or the mass of the quality state determination unit 12 that determines the presence or absence of foreign matter in the workpiece W based on the detection information from the X-ray detection unit 4 is within an allowable range. In response to the determination result of the determination unit 14, when any of the determination results is NG on the display unit 20, the determination determination result and the bar graph display unit 22 indicating the measured mass are both displayed on the same screen. Since it is displayed above, the determination result of the presence or absence of foreign matter in the workpiece can be easily grasped together with the mass displayed by the graph display element.

なお、本実施形態においては、品質検査を異物有無検査としたが、欠品検査や形状検査、その他Ｘ線透過量の分布から把握できる各種の品質検査項目であってもよいことはいうまでもない。   In the present embodiment, the quality inspection is a foreign object presence inspection, but it is needless to say that various quality inspection items that can be grasped from a missing part inspection, a shape inspection, and other X-ray transmission amount distributions may be used. Absent.

また、各ワークＷ毎の質量判定結果と品質検査結果を合格時にも行なうようにして同時に表示するようにもでき、そのような表示と上述した表示を行なうモードとの切り換えは表示モード設定入力によって行なうことができる。   Also, the mass judgment result and the quality inspection result for each workpiece W can be displayed at the same time, even when passing, and switching between such display and the mode for performing the above-described display can be made by display mode setting input. Can be done.

さらに、本実施形態のＸ線検査装置では、質量が許容範囲内か否かの判定と異物有無検出とを常時行なうものとして説明したが、図示しないモード選択手段によって、あるいは、バーグラフ表示部における質量許容範囲の表示の有無に応じて、質量が許容範囲内か否かの判定を選択的に行なうようにできることは勿論であるし、質量判定部を省略して判定部を品質状態判定部１２のみとする構成も採用できる。   Furthermore, in the X-ray inspection apparatus of the present embodiment, it has been described that the determination of whether or not the mass is within the allowable range and the presence / absence detection of foreign matter are always performed, but by mode selection means (not shown) or in the bar graph display unit Of course, it is possible to selectively determine whether or not the mass is within the allowable range depending on whether or not the mass allowable range is displayed, and omit the mass determination unit and replace the determination unit with the quality state determination unit 12. It is also possible to adopt a configuration with only one.

図１１〜図１４は、そのような異物判定結果のみを表示する表示部２０の表示画面２０Ｄの変形態様の説明図である。図１１に示す表示画面２０Ｄでは、判定結果の表示部５２に、例えば異物有無判定の結果が異物有りであれば「ＮＧ」との表示がなされ、異物無しの判定結果であれば「ＮＧ」の文字表示が表示部５２から消える（消灯でもよい）ようになっており、質量判定の結果は、質量ＮＧとなれば表示部５２の背景表示色を例えば橙色に切り換える。   FIGS. 11-14 is explanatory drawing of the deformation | transformation aspect of display screen 20D of the display part 20 which displays only such a foreign material determination result. In the display screen 20D shown in FIG. 11, for example, “NG” is displayed on the determination result display unit 52 if the result of the presence / absence determination of foreign matter is present, and “NG” is displayed if the determination result is that there is no foreign matter. The character display disappears from the display unit 52 (it may be turned off), and if the result of mass determination is mass NG, the background display color of the display unit 52 is switched to, for example, orange.

また、数値表示部５９は、品種毎のマスターワーク（基準となるワーク）の質量に対する検査中のワークＷの質量算出値の質量比（＝体積比）をパーセント表示するものである。この場合、質量の許容範囲もマスターワークの質量（基準値）に対する許容比率で指定され、測定値もパーセント（％）単位となる。なお、同図に示すＸ線画像の表示窓部２１は、第５の実施形態のそれと同一のものであり、バーグラフ表示部３２は第２の実施形態のそれと同一のもので、質量ＮＧとなれば表示バー３２ｄが通常とは異なる表示色又は模様で表示されるようになっている。   The numerical value display unit 59 displays the mass ratio (= volume ratio) of the mass calculated value of the workpiece W being inspected with respect to the mass of the master workpiece (reference workpiece) for each type. In this case, the allowable range of the mass is also designated by an allowable ratio with respect to the mass (reference value) of the master work, and the measured value is also in percent (%) units. The X-ray image display window 21 shown in the figure is the same as that of the fifth embodiment, and the bar graph display unit 32 is the same as that of the second embodiment. If so, the display bar 32d is displayed in a display color or pattern different from the normal one.

図１２に示す表示画面２０Ｄでは、判定結果の表示部５３には、例えば異物有無判定の結果が異物有りであれば、その表示枠５３ａ内に異物有りを示す破裂した星形のマーク（例えば赤色）が表示され、異物無しの判定結果であればそのマークが表示部５３から消える（消灯でもよい）ようになっており、質量判定の結果は例えば質量測定値が予め設定された許容範囲から外れていると判定されたとき、質量表示バー部２４ｃ又は背景表示部２４ｄが通常とは異なる表示色又は模様で表示されるようになっている。なお、同図に示すＸ線画像の表示窓部２１は、第５の実施形態のそれと同一のものであり、バーグラフ表示部２４は第１の実施形態の変形態様のバーグラフ表示部と同一であり、数値表示部３９は第２の実施形態のそれと同一のものである。   In the display screen 20D shown in FIG. 12, in the determination result display unit 53, for example, if the result of the foreign object presence / absence determination is that there is a foreign object, a ruptured star mark (for example, red) indicating the presence of the foreign object in the display frame 53a. ) Is displayed and the mark disappears from the display unit 53 if the determination result indicates that there is no foreign object (it may be turned off). The result of the mass determination is, for example, that the measured mass value is out of the preset allowable range. The mass display bar 24c or the background display 24d is displayed in a display color or pattern different from normal. The X-ray image display window portion 21 shown in the figure is the same as that of the fifth embodiment, and the bar graph display portion 24 is the same as the bar graph display portion of the modification of the first embodiment. The numerical value display unit 39 is the same as that of the second embodiment.

図１３に示す表示画面２０Ｄでは、判定結果の表示部５４には、例えば異物有無判定の結果が異物有りであれば、バーグラフ表示部６１内に異物有りを示す「ＮＧ」の文字が表示され、異物無しの判定結果であればその「ＮＧ」の文字がバーグラフ表示部６１内から消えるようになっており、質量判定の結果はバーグラフ表示部６１内の表示色又は模様の変化で表わされる。   In the display screen 20D shown in FIG. 13, the determination result display unit 54 displays “NG” indicating that there is a foreign object in the bar graph display unit 61, for example, if the result of the foreign object presence determination is a foreign object. If the determination result indicates that there is no foreign object, the character “NG” disappears from the bar graph display unit 61, and the mass determination result is represented by a change in display color or pattern in the bar graph display unit 61. It is.

バーグラフ表示部６１は、第１実施形態のバーグラフ表示部２２と類似のもので、一定の質量範囲に相当する左右方向一定長さのバー状の表示エリア６１ａと、表示エリア６１ａ上で予め設定された質量基準値に対応する位置に表示される基準値表示マーク６１ｂと、表示エリア６１ａの全長が表わす質量値に対して表示エリア６１ａとの長さの比で質量測定値（質量算出値）を可変表示する質量表示バー部６１ｃと、表示エリア６１ａ内で質量表示バー部６１ｃ以外の部分であることを示すよう質量表示バー部６１ｃとは異なる色又は模様等となる背景表示部６１ｄと、表示エリア６１ａにおいて質量ゼロの位置を示すゼロ表示部６１ｅとを含んでいる。なお、図１３に示すＸ線画像の表示窓部２１は、第５の実施形態のそれと同一のものであり、数値表示部３９は第２の実施形態のそれと同一のものである。   The bar graph display unit 61 is similar to the bar graph display unit 22 of the first embodiment, and has a bar-shaped display area 61a having a certain length in the left-right direction corresponding to a certain mass range and a display area 61a in advance. The mass measurement value (mass calculated value) is the ratio of the reference value display mark 61b displayed at the position corresponding to the set mass reference value and the length of the display area 61a to the mass value represented by the total length of the display area 61a. ) And a background display unit 61d having a color or pattern different from that of the mass display bar unit 61c so as to indicate a portion other than the mass display bar unit 61c in the display area 61a. The display area 61a includes a zero display portion 61e indicating the position of zero mass. The X-ray image display window 21 shown in FIG. 13 is the same as that of the fifth embodiment, and the numerical value display 39 is the same as that of the second embodiment.

図１４に示す表示画面２０Ｄでは、判定結果の表示部は、専用には設けられておらず、バーグラフ表示部７１の外周輪郭部を警告色（例えば赤色）で点滅表示させるようになっている。すなわち、例えば異物有無判定の結果が異物有りであれば、バーグラフ表示部７１の表示エリア７１ａの輪郭線である長方形の線の一部又は全部が、前記警告色で点滅表示され、異物無しの判定結果であればその点滅表示がされないようになっており、質量判定の結果はバーグラフ表示部６１内の表示色又は模様の変化で表わされる。   In the display screen 20D shown in FIG. 14, the determination result display unit is not provided exclusively, and the outer peripheral contour portion of the bar graph display unit 71 is blinked and displayed in a warning color (for example, red). . That is, for example, if the result of foreign matter presence / absence judgment is foreign matter, a part or all of the rectangular line that is the outline of the display area 71a of the bar graph display unit 71 is displayed blinking in the warning color, and there is no foreign matter. If it is a determination result, the blinking display is not performed, and the mass determination result is represented by a change in display color or pattern in the bar graph display unit 61.

バーグラフ表示部７１は、第１実施形態のバーグラフ表示部２２と類似のもので、一定の質量範囲に相当する左右方向一定長さのバー状の表示エリア７１ａと、表示エリア７１ａ上で予め設定された質量基準値に対応する位置に表示される基準値表示マーク７１ｂと、表示エリア７１ａの全長が表わす質量値に対して表示エリア７１ａとの長さの比で質量測定値を可変表示する質量表示バー部７１ｃと、表示エリア７１ａ内で質量表示バー部７１ｃ以外の部分であることを示すよう質量表示バー部７１ｃとは異なる色又は模様等となる背景表示部７１ｄと、表示エリア７１ａにおいて質量ゼロの位置を示すゼロ表示部７１ｅとを含んでいる。なお、同図に示すＸ線画像の表示窓部２１は、第５の実施形態のそれと同一のものであり、数値表示部３９は第２の実施形態のそれと同一のものである。   The bar graph display unit 71 is similar to the bar graph display unit 22 of the first embodiment. The bar graph display unit 71 has a bar-shaped display area 71a having a certain length in the left-right direction corresponding to a certain mass range, and a display area 71a in advance. The mass measurement value is variably displayed by the ratio of the length of the reference value display mark 71b displayed at the position corresponding to the set mass reference value and the mass value represented by the total length of the display area 71a to the display area 71a. In the display area 71a, a mass display bar portion 71c, a background display portion 71d having a color or pattern different from that of the mass display bar portion 71c to indicate that the display area 71a is a portion other than the mass display bar portion 71c, and the display area 71a. And a zero display portion 71e indicating the position of zero mass. The X-ray image display window 21 shown in the figure is the same as that of the fifth embodiment, and the numerical value display 39 is the same as that of the second embodiment.

[第６の実施の形態]
図１５は本発明に係るＸ線検査装置の第６の実施の形態を示す図であり、本発明を質量測定および異物検出を行なうＸ線検査装置に適用した場合の一表示態様を示している。なお、本実施形態は上述の第４、第５の実施形態と類似するシステム構成であるので、上述と同一又は類似の構成については図８〜図１４おけると同一の参照符号を付して簡単に説明し、上述の実施形態との相違点について詳述する。 [Sixth embodiment]
FIG. 15 is a diagram showing a sixth embodiment of the X-ray inspection apparatus according to the present invention, and shows one display mode when the present invention is applied to an X-ray inspection apparatus that performs mass measurement and foreign object detection. . Since this embodiment has a system configuration similar to the above-described fourth and fifth embodiments, the same or similar configurations as those described above are simply denoted by the same reference numerals in FIGS. The difference from the above-described embodiment will be described in detail.

本実施形態のＸ線検査装置は、搬送路１、Ｘ線源２、進入検知センサ３、Ｘ線検出部４、データ処理ユニット１６および表示部２０を含んで構成されており、データ処理ユニット１６のＸ線画像生成部１１で生成されるＸ線画像および表示データ生成部１５で生成される表示データがそれぞれ上述の実施形態とは相違する。   The X-ray inspection apparatus according to the present embodiment includes a conveyance path 1, an X-ray source 2, an approach detection sensor 3, an X-ray detection unit 4, a data processing unit 16, and a display unit 20. The X-ray image generated by the X-ray image generation unit 11 and the display data generated by the display data generation unit 15 are different from the above-described embodiments.

図１５に示すように、本実施形態では、表示部２０の表示画面２０Ｄ上に、ワークＷのＸ線画像を表示する表示窓部２１と、ワークＷのＸ線射影画像を表示する追加の表示窓部２８と、測定された質量、例えば質量をその測定値で表示する数値表示部３９と、測定された質量、例えば質量を縦向きのバーで表示するバーグラフ表示部４８とがそれぞれ配置されるとともに、判定結果の表示部５５が配置されている。   As shown in FIG. 15, in this embodiment, on the display screen 20D of the display unit 20, a display window unit 21 that displays an X-ray image of the workpiece W and an additional display that displays an X-ray projection image of the workpiece W. A window 28, a numerical display unit 39 for displaying the measured mass, for example, the mass as its measured value, and a bar graph display unit 48 for displaying the measured mass, for example, the mass as a vertically oriented bar, are respectively arranged. In addition, a determination result display section 55 is arranged.

表示窓部２１、Ｘ線射影画像の表示窓部２８、バーグラフ表示部４８は、それぞれ図８に示した第４の実施形態のそれらと同一の画面構成であるが、異物混入時の表示データに異物を表示する要素（図１５の表示窓部２１、２８中のＦ）が含まれる点が相違する。Ｘ線射影画像の表示窓部２８に縦棒線で表示された複数の透過領域の質量測定値の平均値、あるいは、ワークＷの質量測定領域の全範囲の透過領域の質量測定値の平均値が、バーグラフ表示部４８に縦向きのバーで表示される点等は同一である。   The display window section 21, the X-ray projection image display window section 28, and the bar graph display section 48 have the same screen configurations as those of the fourth embodiment shown in FIG. Is different in that an element for displaying a foreign object (F in the display windows 21 and 28 in FIG. 15) is included. An average value of mass measurement values of a plurality of transmission areas displayed as vertical bar lines in the display window portion 28 of the X-ray projection image, or an average value of mass measurement values of the transmission areas of the entire range of the mass measurement area of the workpiece W However, the points displayed in the bar graph display unit 48 as vertical bars are the same.

本実施形態においても、Ｘ線検出部４からの検出情報のうち質量測定領域に対応する一部の検出情報が領域抽出処理部８により抽出されることで質量測定領域のＸ線画像が生成されるとともに、領域抽出処理部８により抽出された検出情報に基づいてワークＷの質量に対応する質量を算出する質量算出処理が実行され、図１５中の表示窓部２１中に示すようなワークＷの質量測定領域のＸ線画像と、図１５中の追加の表示窓部２８中に示すようなＸ線射影画像と、算出された質量を示すバーグラフ表示部４８（グラフ表示要素）とが相互に関連付けて表示され、更に、判定結果の表示部５５に異物有無判定結果が表示されることから、Ｘ線画像データのうち質量測定に関与する領域のデータを有効活用して、質量測定結果をそれに対応するＸ線画像およびＸ線射影画像と関連付けた把握容易な表示を行なうことができる。特に異物混入時にＸ線射影画像には異物Ｆの影響の大きい等価厚部分が図１５に示すように突出して表示されるとともに、異物ＮＧ表示がなされることで、判定結果の内容把握を即座に視認することができる。   Also in the present embodiment, an X-ray image of the mass measurement region is generated by extracting a part of the detection information corresponding to the mass measurement region from the detection information from the X-ray detection unit 4 by the region extraction processing unit 8. At the same time, a mass calculation process for calculating a mass corresponding to the mass of the workpiece W based on the detection information extracted by the region extraction processing unit 8 is executed, and the workpiece W as shown in the display window 21 in FIG. An X-ray image of the mass measurement region of FIG. 15, an X-ray projection image as shown in the additional display window 28 in FIG. 15, and a bar graph display unit 48 (graph display element) indicating the calculated mass In addition, since the foreign substance presence / absence determination result is displayed on the determination result display unit 55, the data of the region related to the mass measurement in the X-ray image data is effectively used to display the mass measurement result. X corresponding to it Grasping easy display associated with the image and the X-ray projection image can be performed. In particular, when a foreign object is mixed, the equivalent thickness portion that is greatly affected by the foreign object F is projected and displayed in the X-ray projection image as shown in FIG. It can be visually recognized.

以上説明したように、本発明は、被検査物の物理量検査領域の各区画毎に、Ｘ線検出手段からの検出情報のうち所定検出レベル範囲の検出情報を抽出して物理量測定領域のＸ線画像を生成するとともに、前記抽出した検出情報に基づいて前記各区画毎に被検査物の大きさ又は質量に対応する物理量を算出し、複数の区画における物理量測定領域のＸ線画像と複数の区画についての物理量を示す複数のグラフ表示要素とをそれぞれ関連付けて表示するようにしているので、物理量検査領域の各区画毎に、物理量算出結果をそれに対応するＸ線画像と関連付けた把握容易な表示を行なうことができるＸ線検査装置を提供することができるという効果を奏するものであり、特に被検査物を透過したＸ線の透過量検出情報を基にＸ線画像を形成するとともに、被検査物の大きさや質量（重量）等に関連する所定の物理量を測定してその測定結果を表示するＸ線検査装置全般に有用である。   As described above, the present invention extracts the detection information in the predetermined detection level range from the detection information from the X-ray detection means for each section of the physical quantity inspection area of the object to be inspected, and detects the X-rays in the physical quantity measurement area. An image is generated, a physical quantity corresponding to the size or mass of the inspection object is calculated for each section based on the extracted detection information, and an X-ray image of a physical quantity measurement region in a plurality of sections and a plurality of sections Since a plurality of graph display elements indicating physical quantities are displayed in association with each other, an easy-to-understand display that associates the physical quantity calculation result with the corresponding X-ray image for each section of the physical quantity inspection area is provided. An X-ray inspection apparatus that can be performed can be provided. In particular, when an X-ray image is formed based on transmission amount detection information of an X-ray transmitted through an object to be inspected. Moni, is useful for X-ray inspection device which measures a predetermined physical quantity related to such size and mass of the object (by weight) and displays the measurement result.

本発明に係るＸ線検査装置の第１の実施の形態の概略構成を示すそのブロック図である。It is the block diagram which shows schematic structure of 1st Embodiment of the X-ray inspection apparatus which concerns on this invention. 本発明に係るＸ線検査装置の第１の実施の形態におけるＸ線画像生成部および質量測定部の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the X-ray-image production | generation part and mass measurement part in 1st Embodiment of the X-ray inspection apparatus which concerns on this invention. 本発明の第１の実施の形態における検査結果表示画面の一例を示す各表示要素の配置説明図である。It is arrangement | positioning explanatory drawing of each display element which shows an example of the test result display screen in the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態における検査結果表示画面の変形態様を示す各表示要素の配置説明図である。It is arrangement | positioning explanatory drawing of each display element which shows the deformation | transformation aspect of the test result display screen in the 1st Embodiment of this invention. 本発明に係るＸ線検査装置の第２の実施の形態における検査結果表示画面の一例を示す各表示要素の配置説明図である。It is arrangement | positioning explanatory drawing of each display element which shows an example of the test | inspection result display screen in 2nd Embodiment of the X-ray inspection apparatus which concerns on this invention. 本発明の第２の実施の形態における検査結果表示画面の変形態様を示す各表示要素の配置説明図である。It is arrangement | positioning explanatory drawing of each display element which shows the deformation | transformation aspect of the test result display screen in the 2nd Embodiment of this invention. 本発明に係るＸ線検査装置の第３の実施の形態における検査結果表示画面の一例を示す各表示要素の配置説明図である。It is arrangement | positioning explanatory drawing of each display element which shows an example of the test result display screen in 3rd Embodiment of the X-ray inspection apparatus which concerns on this invention. 本発明に係るＸ線検査装置の第４の実施の形態における検査結果表示画面の一例を示す各表示要素の配置説明図である。It is arrangement | positioning explanatory drawing of each display element which shows an example of the test | inspection result display screen in 4th Embodiment of the X-ray inspection apparatus which concerns on this invention. 本発明に係るＸ線検査装置の第５の実施の形態の概略構成を示すそのブロック図である。It is the block diagram which shows schematic structure of 5th Embodiment of the X-ray inspection apparatus which concerns on this invention. 本発明の第５の実施の形態における検査結果表示画面の一例を示す各表示要素の配置説明図である。It is arrangement | positioning explanatory drawing of each display element which shows an example of the test result display screen in the 5th Embodiment of this invention. 本発明の第５の実施の形態における検査結果表示画面の変形態様を示す各表示要素の配置説明図である。It is arrangement | positioning explanatory drawing of each display element which shows the deformation | transformation aspect of the test result display screen in the 5th Embodiment of this invention. 本発明の第５の実施の形態における検査結果表示画面の他の変形態様を示す各表示要素の配置説明図である。It is arrangement | positioning explanatory drawing of each display element which shows the other deformation | transformation aspect of the test result display screen in the 5th Embodiment of this invention. 本発明の第５の実施の形態における検査結果表示画面の更なる他の変形態様を示す各表示要素の配置説明図である。It is arrangement | positioning explanatory drawing of each display element which shows the further another deformation | transformation aspect of the test result display screen in the 5th Embodiment of this invention. 本発明の第５の実施の形態における検査結果表示画面の更に異なる変形態様を示す各表示要素の配置説明図である。It is arrangement | positioning explanatory drawing of each display element which shows the further different deformation | transformation aspect of the test result display screen in the 5th Embodiment of this invention. 本発明の第６の実施の形態における検査結果表示画面の一例を示す各表示要素の配置説明図である。It is arrangement | positioning explanatory drawing of each display element which shows an example of the test result display screen in the 6th Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１ 搬送路
２ Ｘ線源
３ 進入検知センサ
４ Ｘ線検出部（Ｘ線検出手段）
４ａ Ｘ線ラインセンサ
４ｂ データ記憶部
４ｃ 検出感度調整部
６、１６ データ処理ユニット
８ 領域抽出処理部（領域抽出手段、領域分割手段）
８ａ 濃度データ生成部
８ｂ 抽出部
１１ Ｘ線画像生成部（画像生成手段）
１２ 品質状態判定部（異物判定手段）
１３ 質量算出部（物理量算出手段）
１３ａ 濃度データ変換部
１３ｂ 体積測定部
１３ｃ 質量換算部
１４ 質量判定部（物理量判定手段）
１５ 表示データ生成部（表示制御手段）
２０ 表示部（表示手段）
２０Ｄ 表示画面
２１ Ｘ線画像の表示窓部
２１ａ、２１ｂ、２１ｃ 表示エリア
２２、２３、２４、２５、２６ バーグラフ表示部（グラフ表示要素）
２８ 追加の表示窓部
３２、３３、３４、３５、３６、３７ バーグラフ表示部（グラフ表示要素）
３９ 数値表示部
４２ グラフ表示部
４３、４４、４５ バーグラフ表示部分（グラフ表示要素）
４６ 区画名表示部分
４８ バーグラフ表示部（グラフ表示要素）
５１、５２、５３、５４ 表示部
６１、７１ バーグラフ表示部（グラフ表示要素）
Ａ、Ｂ、Ｃ 区画（質量測定領域の複数の分割された区画）
Ｆ 異物
Ｗ ワーク（被検査物） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Conveyance path 2 X-ray source 3 Approach detection sensor 4 X-ray detection part (X-ray detection means)
4a X-ray line sensor 4b data storage unit 4c detection sensitivity adjustment unit 6, 16 data processing unit 8 region extraction processing unit (region extraction unit, region division unit)
8a Density data generation unit 8b Extraction unit 11 X-ray image generation unit (image generation means)
12 Quality state determination unit (foreign matter determination means)
13 Mass calculation part (physical quantity calculation means)
13a Concentration data conversion unit 13b Volume measurement unit 13c Mass conversion unit 14 Mass determination unit (physical quantity determination means)
15 Display data generation unit (display control means)
20 Display section (display means)
20D display screen 21 X-ray image display windows 21a, 21b, 21c Display areas 22, 23, 24, 25, 26 Bar graph display (graph display elements)
28 Additional display windows 32, 33, 34, 35, 36, 37 Bar graph display (graph display element)
39 Numerical value display part 42 Graph display part 43, 44, 45 Bar graph display part (graph display element)
46 Division name display part 48 Bar graph display part (graph display element)
51, 52, 53, 54 Display 61, 71 Bar graph display (graph display element)
A, B, C sections (multiple sections of the mass measurement area)
F Foreign object W Workpiece (inspection object)

Claims (3)

被検査物（Ｗ）にＸ線を照射するＸ線源（２）と、
該被検査物の各部を透過したＸ線の透過量を検出するＸ線検出手段（４）と、
前記Ｘ線検出手段からの検出情報に基づいて前記Ｘ線の透過量に対応するＸ線画像を生成する画像生成手段（１１）と、
前記画像生成手段で生成されたＸ線画像を表示する表示手段（２０）と、を備えたＸ線検査装置において、
前記被検査物の物理量検査領域を複数の区画（Ａ，Ｂ，Ｃ）に分割して前記画像生成手段に該複数の区画のそれぞれのＸ線画像（Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３）を生成させる領域分割手段（８）と、
前記Ｘ線検出手段からの検出情報のうち所定検出レベル範囲の検出情報を前記複数の区画の各区画毎に抽出して物理量測定領域のＸ線画像を前記画像生成手段に生成させる領域抽出手段（８）と、
前記領域抽出手段で抽出された前記複数の区画の各区画毎の検出情報に基づいて前記被検査物の大きさ又は質量に対応する物理量を前記複数の区画の各区画毎に算出する物理量算出手段（１３）と、
前記複数の区画における前記物理量測定領域のＸ線画像と前記物理量算出手段で算出された前記物理量を示す複数のグラフ表示要素（４３，４４，４５）とをそれぞれ関連付けて前記表示手段に表示させる表示制御手段（１５）と、を設けたことを特徴とするＸ線検査装置。 An X-ray source (2) for irradiating the inspection object (W) with X-rays;
X-ray detection means (4) for detecting the amount of X-ray transmitted through each part of the inspection object;
Image generation means (11) for generating an X-ray image corresponding to the amount of X-ray transmission based on detection information from the X-ray detection means;
An X-ray inspection apparatus comprising: display means (20) for displaying the X-ray image generated by the image generation means;
Region division in which the physical quantity inspection region of the object to be inspected is divided into a plurality of sections (A, B, C) and the image generating means generates respective X-ray images (W1, W2, W3) of the plurality of sections. Means (8);
A region extraction unit that extracts detection information in a predetermined detection level range from the detection information from the X-ray detection unit for each of the plurality of sections and causes the image generation unit to generate an X-ray image of a physical quantity measurement region. 8) and
Physical quantity calculation means for calculating a physical quantity corresponding to the size or mass of the inspection object for each section of the plurality of sections based on detection information for each section of the plurality of sections extracted by the region extraction means. (13)
A display that displays the X-ray image of the physical quantity measurement region in the plurality of sections and the plurality of graph display elements (43, 44, 45) indicating the physical quantity calculated by the physical quantity calculation unit in association with each other and displayed on the display unit An X-ray inspection apparatus comprising a control means (15). 前記物理量算出手段で算出された前記物理量が予め設定された物理量範囲内にあるか否かを前記複数の区画の各区画毎に判定する物理量判定手段（１４）を備え、
前記表示制御手段が、前記物理量判定手段によって判定されたそれぞれの物理量判定結果（５６）を、前記物理量を示す前記複数のグラフ表示要素と共に前記表示手段に表示させることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。 Physical quantity determination means (14) for determining for each section of the plurality of sections whether or not the physical quantity calculated by the physical quantity calculation means is within a preset physical quantity range;
The display control means causes the display means to display the respective physical quantity determination results (56) determined by the physical quantity determination means together with the plurality of graph display elements indicating the physical quantities. The X-ray inspection apparatus described. 前記Ｘ線検出手段からの検出情報に基づいて前記被検査物中における異物の有無を判定する異物判定手段（１２）を備え、
前記表示制御手段が、前記異物判定手段によって判定された異物有無の判定結果（５１，５２，５３，５５）を、前記物理量を示すグラフ表示要素と共に前記表示手段に表示させることを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線検査装置。 Foreign matter determination means (12) for determining the presence or absence of foreign matter in the inspection object based on detection information from the X-ray detection means,
The display control means causes the display means to display the determination result (51, 52, 53, 55) of the presence / absence of a foreign substance determined by the foreign substance determination means together with a graph display element indicating the physical quantity. Item 3. The X-ray inspection apparatus according to Item 1 or 2.
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