JP2008115897A - Vacuum seal mechanism - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vacuum seal mechanism which supplies and discharges a sheet member continuously, and removes generated dust effectively. <P>SOLUTION: The vacuum seal mechanism of the present invention is constituted of: a group of rollers arranged to face each other, centering the moving surfaces of the sheet member on an extension line of a slit formed in a vacuum chamber and the like and made to contact each other rotatably; side plates made to contact the side of a group of the rollers; a drive means which presses the side plates in the direction of end surfaces of the rollers; and a second drive means which presses the side plates in the direction of the vacuum chamber. A pair of rollers arranged at the top end of a group of the rollers are made to contact each other, a pair of the rollers arranged adjacent to the rollers arranged at the top end are positioned with a predetermined interval to seal the slit formed in the vacuum chamber, so that the sheet member is supplied and discharged continuously, and dust is effectively removed. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、布帛、シート状、フィルム状の部材或いは連続した一連の薄板部材（以下シート状部材と言う）を連続的に真空チャンバー内へ供給しラミネート加工、スパッタリング加工、蒸着等の処理を行い、かつ排出することのできる真空シール機構に関する。   In the present invention, a fabric, a sheet-like member, a film-like member or a continuous series of thin plate members (hereinafter referred to as sheet-like members) are continuously supplied into a vacuum chamber to perform processes such as laminating, sputtering, and vapor deposition. And a vacuum seal mechanism capable of discharging.

従来、例えば、特公昭５３−３１６７０号公報に開示されたように一対の基板供給ロール７及び積層板取出ロール８を減圧室の入り口と出口に設け、減圧室内で可撓性フィルムを貼り合わせる装置が提案されている。このように減圧室内で積層板を製造することにより、残留気泡のないフィルムを作ることができるとするものである。   Conventionally, for example, as disclosed in Japanese Patent Publication No. 53-31670, a pair of substrate supply rolls 7 and laminated plate take-out rolls 8 are provided at the entrance and exit of a decompression chamber, and a flexible film is bonded in the decompression chamber Has been proposed. Thus, it is supposed that the film without a residual bubble can be made by manufacturing a laminated board in a decompression chamber.

また、特開平１０−１８１６８号公報には、プラズマ処理室の出入り口にゴムシールロールと金属ロールとシールリップを設け、布帛挿通孔の真空度を維持する装置が提案されている。このような構成により、ゴムシールロールの撓みを防止するとともに、ロール表面の摩耗、破損を防止するものである。
特公昭５３−３１６７０号公報 特開平１０−１８１６８号公報 Japanese Patent Laid-Open No. 10-18168 proposes an apparatus that maintains a degree of vacuum of the fabric insertion hole by providing a rubber seal roll, a metal roll, and a seal lip at the entrance / exit of the plasma processing chamber. With such a configuration, the rubber seal roll is prevented from being bent and the roll surface is prevented from being worn or damaged.
Japanese Patent Publication No.53-31670 Japanese Patent Laid-Open No. 10-18168

しかし、このような構成の従来の装置において、例えば、一対の基板供給ロールと積層板取出ロールを減圧室の入り口と出口に設け形成のものにあっては、すり合せ部とロールとの間の摩擦等で発生するダストがフィルムに付着する虞れがあり、製造する積層フィルムの品質に悪影響を与えるものであった。また、ロールが一段構成であるために、ロール表面の平坦度を維持することが困難であると云う問題が存在した。更に、ロールとして使用できる素材も限られていた。また、ロール交換作業が極めて困難であった。更に、実際の使用に際しては、ロール表面に薄いテープを螺旋状に巻き付けており、テープの重なった部分と一重の部分との段差により隙間が生じる虞れも存在した。
また、処理室の出入り口にゴムシールロールと金属ロールとシールリップを設ける形成のものにあっては、ロールとして使用できる素材も限られるとともに、ロール交換作業が極めて困難であると云う問題が存在した。 However, in the conventional apparatus having such a configuration, for example, in a case where a pair of substrate supply rolls and a laminate take-out roll are provided at the entrance and exit of the decompression chamber, Dust generated by friction or the like may adhere to the film, which adversely affects the quality of the laminated film to be produced. In addition, since the roll has a one-stage configuration, there is a problem that it is difficult to maintain the flatness of the roll surface. Furthermore, the material which can be used as a roll was also limited. Moreover, the roll exchange operation was extremely difficult. Furthermore, in actual use, a thin tape is spirally wound around the roll surface, and there is a possibility that a gap may be generated due to a step between the overlapping portion and the single portion of the tape.
Further, in the case where a rubber seal roll, a metal roll, and a seal lip are provided at the entrance and exit of the processing chamber, there is a problem that the material that can be used as the roll is limited and the roll exchanging operation is extremely difficult.

この発明は、上記に鑑み提案されたもので、真空状態において加工処理を行う真空チャンバ内へシート状部材を連続して供給するとともに、シート状部材にダスト等が付着するのを防止し、ロール表面の平坦度を維持でき、かつロール交換作業の容易な真空シール機構を提供するもである。   The present invention has been proposed in view of the above, and continuously supplies a sheet-like member into a vacuum chamber that performs processing in a vacuum state, prevents dust and the like from adhering to the sheet-like member, and rolls It provides a vacuum seal mechanism that can maintain the flatness of the surface and can be easily replaced with a roll.

上記目的を達成する為に、本発明の真空シール機構は、真空チャンバ等に形成されたシート状部材の供給、或いは排出を行うスリットの周辺に取り付けられる真空シール機構であって、前記スリットの延長線上でシート状部材の移動面を中心として対向配置され、互いに回動自在に密着されたロール群と、前記ロール群の側面に当接された側板と、前記側板を前記ロール端面方向に押圧する駆動手段と、前記側板を真空チャンバ方向へ押圧する第２駆動手段とから成り、前記ロール群の先端に配設されたロール対を互いに密着させると共に、前記先端に配設されたロールに隣接配置されたロール対を所定の間隔を有して配置し、真空チャンバに形成されたスリット部をシールすることを特徴としている。   In order to achieve the above object, the vacuum seal mechanism of the present invention is a vacuum seal mechanism attached to the periphery of a slit for supplying or discharging a sheet-like member formed in a vacuum chamber or the like, and extending the slit. A roll group that is opposed to the sheet-shaped member about the moving surface on the line and is in close contact with each other, a side plate that is in contact with a side surface of the roll group, and the side plate that presses the side plate toward the roll end surface. It comprises driving means and second driving means for pressing the side plate in the direction of the vacuum chamber. The roll pair arranged at the tip of the roll group is brought into close contact with each other and is arranged adjacent to the roll arranged at the tip. The roll pair thus formed is arranged with a predetermined interval, and the slit portion formed in the vacuum chamber is sealed.

また、本発明において、前記ロール群は、先端から真空チャンバ側に向かうに従って順次ロール径が大きく構成されたことを特徴とする。   In the present invention, the roll group is configured such that the roll diameter increases sequentially from the tip toward the vacuum chamber side.

また、本発明において、前記側板は、金属板と耐摩耗性部材とを組み合わせて構成したことを特徴とする。   In the present invention, the side plate is formed by combining a metal plate and a wear-resistant member.

また、本発明において、前記ロール群は、先端に配設されたロールと隣に配設されたロールとを圧接する付勢手段を設けたことを特徴とする。   Further, in the present invention, the roll group is provided with an urging means that press-contacts a roll disposed at the tip and a roll disposed adjacent thereto.

また、本発明において、前記ロール群は、ロール周面に当接してダストを除去するスクレーパを備えたことを特徴とする。   Further, in the present invention, the roll group includes a scraper that abuts on the circumferential surface of the roll to remove dust.

また、本発明において、前記ロール群は、ロール周面に当接してダストを除去する粘着ロールを備えたことを特徴とする。   In the present invention, the roll group includes an adhesive roll that abuts against the circumferential surface of the roll to remove dust.

また、本発明において、前記スリットの延長線上でシート状部材の移動面と前記真空チャンバに当接配置されたロール外縁との間にダストボックスが配設されたことを特徴とする。   In the present invention, a dust box is disposed between the moving surface of the sheet-like member on the extended line of the slit and the outer edge of the roll disposed in contact with the vacuum chamber.

この発明は上記した構成からなるので、以下に説明するような効果を奏することができる。   Since this invention consists of an above-described structure, there can exist an effect which is demonstrated below.

本発明では、真空チャンバ等に形成されたシート状部材の供給、或いは排出を行うスリットの周辺に取り付けられる真空シール機構であって、前記スリットの延長線上でシート状部材の移動面を中心として対向配置され、互いに回動自在に密着されたロール群と、前記ロール群の側面に当接された側板と、前記側板を前記ロール端面方向に押圧する駆動手段と、前記側板を真空チャンバ方向へ押圧する第２駆動手段とから成り、前記ロール群の先端に配設されたロール対を互いに密着させると共に、前記先端に配設されたロールに隣接配置されたロール対を所定の間隔を有して配置し、真空チャンバに形成されたスリット部をシールするので、スリット周辺を密封して真空チャンバ内を負圧に維持したまま、シール状部材を連続的に供給、或いは排出することができる。
また、ロール群による多段ロール構成にすることにより、最終段のピンチロールの材質を自由に選択することができる。また、多段ロール構成にすることにより、ピンチロールにシール機構を付加する必要がないので加熱機能等の付加が容易となるとともに、ロール交換等のメンテナンス作業が容易となる。更に、多段ロール構成にすることにより、上下一対のピンチロール表面の平坦度を常に維持することができる。 In the present invention, a vacuum seal mechanism attached to the periphery of a slit for supplying or discharging a sheet-like member formed in a vacuum chamber or the like, facing the moving surface of the sheet-like member on the extension line of the slit A group of rolls arranged in close contact with each other, a side plate in contact with a side surface of the roll group, driving means for pressing the side plate in the direction of the roll end surface, and pressing the side plate in the direction of the vacuum chamber A pair of rolls disposed at the front end of the roll group, and a pair of rolls disposed adjacent to the roll disposed at the front end with a predetermined interval. Since the slit portion formed in the vacuum chamber is sealed and the periphery of the slit is sealed and the inside of the vacuum chamber is maintained at a negative pressure, the sealing member is continuously supplied, or It is possible to discharge.
Moreover, the material of the last stage pinch roll can be freely selected by setting it as the multistage roll structure by a roll group. In addition, since a multi-stage roll configuration eliminates the need to add a seal mechanism to the pinch roll, it is easy to add a heating function and the like, and maintenance work such as roll replacement is facilitated. Furthermore, the flatness of the surface of the pair of upper and lower pinch rolls can always be maintained by using a multi-stage roll configuration.

また、本発明において前記ロール群は、先端から真空チャンバ側に向かうに従って順次ロール径が大きく構成されたので、真空チャンバと接触するロールの周長を長くすることができ、摩耗を低減することができる。   Further, in the present invention, the roll group is configured such that the roll diameter is sequentially increased from the tip toward the vacuum chamber side, so that the circumferential length of the roll in contact with the vacuum chamber can be increased and wear can be reduced. it can.

また、本発明において前記側板は、金属板と耐摩耗性部材とを組み合わせて構成したので、シール性及び耐摩耗性を向上することができる。また、側板の強度を保持することができる。   In the present invention, since the side plate is configured by combining a metal plate and an abrasion-resistant member, it is possible to improve sealing performance and wear resistance. Further, the strength of the side plate can be maintained.

また、本発明において前記ロール群は、先端に配設されたロールと隣に配設されたロールとを圧接する付勢手段を設けたので、各ロール間のシール性を保持することができる。   In the present invention, the roll group is provided with an urging means that press-contacts the roll disposed at the tip and the roll disposed adjacent thereto, so that the sealing performance between the rolls can be maintained.

また、本発明において前記ロール群は、ロール周面に当接してダストを除去するスクレーパを備えたので、ロール周面から発生したダストがシート状部材に付着するのを防止することができる。   Further, in the present invention, the roll group includes a scraper that contacts the roll peripheral surface and removes dust, so that dust generated from the roll peripheral surface can be prevented from adhering to the sheet-like member.

また、本発明において前記ロール群は、ロール周面に当接してダストを除去する粘着ロールを備えたので、ロール周面から発生したダストがシート状部材に付着するのを防止することができる。   Further, in the present invention, the roll group includes an adhesive roll that contacts the roll peripheral surface and removes dust, so that dust generated from the roll peripheral surface can be prevented from adhering to the sheet-like member.

また、本発明において前記スリットの延長線上でシート状部材の移動面と前記真空チャンバに当接配置されたロール外縁との間にダストボックスが配設されたので、ロール周面から発生したダスト等がシート状部材に付着するのを防止することができる。   Further, in the present invention, a dust box is disposed between the moving surface of the sheet-like member on the extension line of the slit and the outer edge of the roll disposed in contact with the vacuum chamber. It can prevent adhering to a sheet-like member.

真空シール機構において、互いに回動自在に密着された複数のロールと、ロールの側面に当接された側板と、側板をロール端面方向に押圧する駆動手段と、側板を真空チャンバ方向へ押圧する第２駆動手段とから成り、先端に配設されたロール対を互いに密着させスリット部をシールすることにより、連続してシート状部材を供給、排出することができる真空シール機構を提供するという目的が達成できる。また、シート状部材にダスト等が付着するのを防止するとともに、ロール表面の平坦度を維持することができる。   In the vacuum seal mechanism, a plurality of rolls closely contacted with each other, a side plate in contact with the side surface of the roll, a driving means for pressing the side plate in the direction of the roll end surface, and a first plate for pressing the side plate toward the vacuum chamber. It is an object of the present invention to provide a vacuum seal mechanism that can supply and discharge a sheet-like member continuously by sealing a slit portion with a pair of rolls arranged at the front end and being in close contact with each other. Can be achieved. Moreover, while preventing dust etc. adhering to a sheet-like member, the flatness of a roll surface can be maintained.

以下、一実施の形態を示す図面に基づいて本発明を詳細に説明する。図１は本発明に係る真空シール機構の概要を示す断面図、図２はその側面図、図３は真空シール機構の側板部分を示す要部断面図、図４は本発明の真空シール機構の側板部分を示す要部断面図である。ここで、真空シール機構１０は、真空チャンバ１１等に形成されたシート状部材Ｓの供給、或いは排出を行うスリット１２の周辺に取り付けられるものであって、前記スリット１２の延長線Ｌ上でシート状部材Ｓの移動面を中心として対向配置され、互いに回動自在に密着されたロール群と、前記ロール群の側面に当接された側板１３と、前記側板１３を前記ロール端面方向に押圧する駆動手段１４と、前記側板１３を真空チャンバ１１方向へ押圧する第２駆動手段１５とから成り、前記ロール群Ｒの先端に配設されたロール１６ａ、１６ｂ（ピンチロール）を互いに駆動手段３１によって密着或いは離隔させると共に、前記先端に配設されたロールに隣接配置されたロール対を所定の間隔を有して配置し、真空チャンバに形成されたスリット部をシールするものである。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings illustrating an embodiment. 1 is a cross-sectional view showing an outline of a vacuum seal mechanism according to the present invention, FIG. 2 is a side view thereof, FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part showing a side plate portion of the vacuum seal mechanism, and FIG. It is principal part sectional drawing which shows a side-plate part. Here, the vacuum seal mechanism 10 is attached to the periphery of the slit 12 for supplying or discharging the sheet-like member S formed in the vacuum chamber 11 or the like, and the sheet is placed on the extension line L of the slit 12. A group of rolls opposed to each other with the moving surface of the member S as a center and in close contact with each other, a side plate 13 in contact with a side surface of the roll group, and the side plate 13 pressing the side plate 13 toward the roll end surface. The driving means 14 and the second driving means 15 for pressing the side plate 13 in the direction of the vacuum chamber 11, rolls 16 a and 16 b (pinch rolls) disposed at the tip of the roll group R are mutually connected by the driving means 31. The slip pair formed in the vacuum chamber is arranged with a predetermined interval between a pair of rolls disposed adjacent to the roll disposed at the tip and spaced apart from each other. Part is intended to seal the.

本実施例において、ロール群は３対のロール１６ａ、１６ｂ、１７ａ、１７ｂ、１８ａ、１８ｂから構成されている。それぞれのロール１６ａ、１７ａ、１８ａは、気密性を保ちながら回転自在に配置されており、回転軸芯ｘ0、ｙ0、ｚ0が一直線上に配置されている。同様に、ロール１６ｂ、１７ｂ、１８ｂもそれぞれ気密性を保ちながら回転自在に配置されており、回転軸芯ｘ1、ｙ1、ｚ1が一直線上に配置されている。このように一直線上に配置することにより、複数のロール間を密着させる場合に、付勢手段によって一方向に付勢すれ良い。また、回転軸芯ｘ0、ｙ0、ｚ0 を結ぶ直線と回転軸芯ｘ1、ｙ1、ｚ1を結ぶ直線とは、所定の角度を有して配設されている。更に、対向配置されたロール１６ａとロール１６ｂは、金属ロールの周面にゴム等の弾性部材が被着されている。また、ロール径は、ロール１６＜ロール１７＜ロール１８の順に大きく形成されている。このように、ロール径を変化させることにより、例えば、ロールの一つにゴミがついた場合に、他のロール表面と当たる位置が異なり、ロール表面の傷付く位置が異なることとなる。また、ロール１８の径を大きくすることにより、真空チャンバ１１の壁面と接触する周長が長くなり、耐久性を増すことができる。 In this embodiment, the roll group is composed of three pairs of rolls 16a, 16b, 17a, 17b, 18a, 18b. Each roll 16a, 17a, 18a while keeping airtightness is rotatably arranged, the rotational axis x 0, y 0, z 0 are located in a straight line. Similarly, the rolls 16b, 17b, and 18b are also rotatably arranged while maintaining airtightness, and the rotation axes x 1 , y 1 , and z 1 are arranged in a straight line. Thus, by arrange | positioning on a straight line, when closely_contact | adhering between several rolls, it may be urged | biased by one direction by an urging | biasing means. Further, a straight line connecting the rotation axis x 0 , y 0 , z 0 and a straight line connecting the rotation axis x 1 , y 1 , z 1 are arranged with a predetermined angle. Furthermore, the roll 16a and the roll 16b that are arranged to face each other have an elastic member such as rubber attached to the peripheral surface of the metal roll. Moreover, the roll diameter is formed so as to increase in the order of roll 16 <roll 17 <roll 18. In this way, by changing the roll diameter, for example, when dust is attached to one of the rolls, the position where it comes into contact with the other roll surface is different, and the scratched position on the roll surface is different. Further, by increasing the diameter of the roll 18, the circumferential length in contact with the wall surface of the vacuum chamber 11 is increased, and durability can be increased.

また、図４に示すようにロール群を構成するロール１６、１７、１８は、先端に配設されたロール１６が隣に配設されたロール１７と圧接し、ロール１７とロール１８とが圧接するように付勢手段２０によってロール１６の軸１６Ｓと真空チャンバ１１の壁面との間が緊張されている。この付勢手段２０によって、ロール１６、１７、１８の間及び、ロール１８と耐摩耗性部材１９との間の気密性が保持される。   Further, as shown in FIG. 4, the rolls 16, 17, and 18 constituting the roll group are in pressure contact with the roll 17 disposed adjacent to the roll 16 disposed at the tip, and the roll 17 and roll 18 are in pressure contact. Thus, the biasing means 20 tensions the shaft 16S of the roll 16 and the wall surface of the vacuum chamber 11. By this urging means 20, airtightness between the rolls 16, 17, 18 and between the roll 18 and the wear-resistant member 19 is maintained.

本実施例において、例えば、ロール１６（ピンチロール）を金属ロールの周面にゴム等が被着されたゴムロール、ロール１７を金属ロール、ロール１８を金属ロールの周面にゴム等が被着されたゴムロールから構成する。このように構成した場合、両端のゴムロール１６、１８の表面平坦度を高く維持することができる。ゴムは、例えば、ニトリルゴム（ＮＢＲ）を使用することができる。また、図２等から明らかなように真空チャンバ１１のロール１８の接触する部分に摺動面用樹脂、摺動面用ゴム等の耐摩耗性部材１９が配設されており、ロール１８との耐摩耗性及びシール性を確保している。   In this embodiment, for example, the roll 16 (pinch roll) is a rubber roll having a rubber roll or the like attached to the peripheral surface of the metal roll, the roll 17 is a metal roll, and the roll 18 is a rubber roll to the peripheral face of the metal roll. It consists of rubber rolls. When comprised in this way, the surface flatness of the rubber rolls 16 and 18 of both ends can be maintained high. As the rubber, for example, nitrile rubber (NBR) can be used. Further, as is apparent from FIG. 2 and the like, a wear-resistant member 19 such as a sliding surface resin and a sliding surface rubber is disposed on the portion of the vacuum chamber 11 where the roll 18 comes into contact. Wear resistance and sealability are secured.

側板１３は、図３、４に示すように金属板１３ａとその内側に配設された耐摩耗性部材１３ｂとが組み合わされて構成されている。耐摩耗性部材としては、例えば、摺動面用樹脂、耐摩耗性ゴム等を使用することができる。また、側板１３は、ロール端面方向へ複数の駆動手段１４によって押圧され、気密性を保持している。駆動手段１４は、油圧シリンダ、エアシリンダ、弾性部材（バネ）、アクチュエータ等によって駆動される。更に、側板１３は、図１、２に示すように上下一対の第２駆動手段１５によって真空チャンバ１１方向へ押圧され、気密性を保持している。第２駆動手段１５は、油圧シリンダ、エアシリンダ、弾性部材（バネ）、アクチュエータ等によって駆動することができる。このように構成することにより、ロール１６、１７、１８の側面を完全にシールすることができる。   As shown in FIGS. 3 and 4, the side plate 13 is configured by combining a metal plate 13 a and a wear-resistant member 13 b disposed inside the side plate 13. As the wear-resistant member, for example, a sliding surface resin, wear-resistant rubber, or the like can be used. Further, the side plate 13 is pressed by a plurality of driving means 14 in the roll end face direction and maintains airtightness. The driving means 14 is driven by a hydraulic cylinder, an air cylinder, an elastic member (spring), an actuator, or the like. Furthermore, the side plate 13 is pressed toward the vacuum chamber 11 by a pair of upper and lower second driving means 15 as shown in FIGS. The second drive means 15 can be driven by a hydraulic cylinder, an air cylinder, an elastic member (spring), an actuator or the like. By comprising in this way, the side surface of the rolls 16, 17, and 18 can be sealed completely.

ロール群は、ロール周面に当接してダストを除去するスクレーパ２１を備えている。本実施例では、スクレーパ２１は、ゴム等の部材から構成されロール１７の外周に着脱可能に固着されている。
このように構成することにより、ゴムロールから発生したダストを効果的に回収することができ、シート状部材に付着するのを防止することができる。
また、他の実施の形態として、ロール１７ｂの外周に接触して転動するクリーンロール２１−１とクリーンロールにのみ接触する粘着性テープロール２１−２の構成であってもよい。クリーンロール２１−１は、粘着性を有するとともに、洗浄することにより再使用することができる。粘着性テープロール２１−２は、粘着性テープが巻回されたもので、ダストが付着した場合には、表面の一周分のテープを剥がしてカットすることにより、新たな粘着面を創出することができる。
このように構成することにより、ロール１７に付着したダストをクリーンロール２１−１が取り除き、更にクリーンロールから粘着性テープロール２１−２がダストを取り除くので、ロール１７及びクリーンロール表面を常にクリーンに保ち、シート状部材にダストが付着するのを防止することができる。 The roll group is provided with a scraper 21 that contacts the circumferential surface of the roll and removes dust. In this embodiment, the scraper 21 is composed of a member such as rubber and is detachably fixed to the outer periphery of the roll 17.
By comprising in this way, the dust which generate | occur | produced from the rubber roll can be collect | recovered effectively, and it can prevent adhering to a sheet-like member.
Further, as another embodiment, a configuration of a clean roll 21-1 that rolls in contact with the outer periphery of the roll 17b and an adhesive tape roll 21-2 that contacts only the clean roll may be employed. The clean roll 21-1 has adhesiveness and can be reused by washing. The pressure-sensitive adhesive tape roll 21-2 is a roll of pressure-sensitive adhesive tape, and when dust adheres, it creates a new pressure-sensitive surface by peeling and cutting the tape for one round of the surface. Can do.
By comprising in this way, the dust adhering to the roll 17 is removed by the clean roll 21-1, and further, the adhesive tape roll 21-2 removes the dust from the clean roll, so the surface of the roll 17 and the clean roll is always clean. It is possible to prevent dust from adhering to the sheet-like member.

ダストボックス２２は、スリット１２の延長線Ｌ上でシート状部材Ｓの移動面と真空チャンバ１１の壁面に配設された耐摩耗性部材１９に当接配置されたロール１８の外縁との間に配設されており、シート状部材Ｓから所定の距離を保っている。また、ダストボックス２２の基端は、真空チャンバ１１の壁面の一部に固定されており、先端は拡開方向に折曲している。このように構成した場合、ロール周面から発生したダスト等がシート状部材に付着するのを防止することができる。なお、スリット１２は、シート状部材の通過するに充分な幅と高さを有しておれば良く、可能な限り小さい方が好ましい。更に、図１、２に示すようにスリット１２の真空チャンバ側には、一対のシャッタロール３９ａ、３９ｂが配設されており、ピンチロール１６を通板時やよれが発生した場合に開いても、真空チャンバ１１内の負圧状態を維持し、外気が流入するのを防止できる。   The dust box 22 is disposed between the moving surface of the sheet-like member S on the extension line L of the slit 12 and the outer edge of the roll 18 disposed in contact with the wear-resistant member 19 disposed on the wall surface of the vacuum chamber 11. And a predetermined distance from the sheet-like member S is maintained. The base end of the dust box 22 is fixed to a part of the wall surface of the vacuum chamber 11, and the tip is bent in the expanding direction. When comprised in this way, it can prevent that the dust etc. which generate | occur | produced from the roll surrounding surface adhere to a sheet-like member. In addition, the slit 12 should just have width and height sufficient for the sheet-like member to pass, and the smaller one is preferable. Further, as shown in FIGS. 1 and 2, a pair of shutter rolls 39a and 39b are disposed on the vacuum chamber side of the slit 12, so that the pinch roll 16 can be opened when the plate is pushed or twisted. The negative pressure in the vacuum chamber 11 can be maintained and the outside air can be prevented from flowing.

ロール群は、図２、５に示すように周囲をカバー部材２３で覆われている。カバー部材２３の基端部は、真空チャンバ１１の壁面の一部に固定されており、先端にはシート状部材Ｓの通過孔２４が形成されている。通過孔２４は、シート状部材Ｓの通過に必要かつ充分な大きさを有している。また、カバー部材２３の内部で、ダストボックス２２の周囲には、ダストを吸引するための吸引パイプ２９が配管されており、真空ポンプ等で周囲のダストを吸引する。また、この吸引パイプは、側板１３の近傍にも配設され、ロールの側面と側板１３の摩擦によって発生するダストも吸引する。   The roll group is covered with a cover member 23 as shown in FIGS. The base end portion of the cover member 23 is fixed to a part of the wall surface of the vacuum chamber 11, and a passage hole 24 for the sheet-like member S is formed at the tip. The passage hole 24 has a size necessary and sufficient for the passage of the sheet-like member S. Further, a suction pipe 29 for sucking dust is provided around the dust box 22 inside the cover member 23, and the surrounding dust is sucked by a vacuum pump or the like. The suction pipe is also disposed in the vicinity of the side plate 13 and sucks dust generated by friction between the side surface of the roll and the side plate 13.

更に、図２に示すようにニトリルゴムや耐摩耗性の合成樹脂から成るダストシール材３８がロール１６〜１８の両端でそれぞれ対向するロール１６ａ、１６ｂロール１７ａ、１７ｂ、ロール１８ａ、１８ｂの間に配設されている。ダストシール材３８は、回転するロール１６〜１８の端部と側板１３とが摺動することによって発生するダストがシート状部材Ｓに付着するのを防止することができる。   Further, as shown in FIG. 2, a dust seal material 38 made of nitrile rubber or wear-resistant synthetic resin is disposed between the rolls 16a, 16b, rolls 17a, 17b, and rolls 18a, 18b facing each other at both ends of the rolls 16-18. It is installed. The dust seal material 38 can prevent the dust generated by the sliding of the end portions of the rotating rolls 16 to 18 and the side plate 13 from adhering to the sheet-like member S.

ロール１６〜１８の駆動方法は、図４に示すように軸１６Ｓを図外の駆動手段で回転させるとともに各ロール軸に固着された歯車４０、４１、４２を介して同期回転させる。また、他の駆動方法としては、図外の分配ギアボックスを介してユニバーサルジョイントによって各ロールを同期回転させてもよい。更に、何れか一つのロールを回転駆動してもよい。   As shown in FIG. 4, the rolls 16 to 18 are driven by rotating the shaft 16 </ b> S by driving means (not shown) and synchronously rotating through the gears 40, 41, 42 fixed to the roll shafts. As another driving method, the rolls may be synchronously rotated by a universal joint via a distribution gear box (not shown). Furthermore, any one roll may be rotationally driven.

以上のように構成した本発明の真空シール機構によれば、シール性を考慮することなく、ピンチロールの材質を自由に選択することができる。また、ピンチロール表面の平坦度を維持できる。更に、ピンチロールがシール機構を必要としないために、ロール交換作業が容易である。また、吸引パイプ２９によって発生したダストを効果的に吸い取ることができる。   According to the vacuum sealing mechanism of the present invention configured as described above, the material of the pinch roll can be freely selected without considering the sealing performance. Moreover, the flatness of the pinch roll surface can be maintained. Furthermore, since the pinch roll does not require a sealing mechanism, the roll exchange operation is easy. Further, dust generated by the suction pipe 29 can be effectively sucked out.

図６は、本発明の真空シール機構の第２の実施の形態を示す断面図である。本実施例において、真空チャンバ１１の壁面でスリット１２に周囲のロール１８の接触する部分には、耐摩耗性部材２５が金属板２６及び接着層２７を介して取り付けられている。ロール３２、ロール３３、ロール３４の周囲には、カバー部材２８が配設されており、その基端が真空チャンバ１１の壁面に着脱自在に固定されている。また、ロール３２、ロール３３、ロール３４は、発生するダスト処理を適切に行うことにより、それぞれロール径を同一とすることもできる。ロール３２、３４は金属ロールの表面にゴムが被覆されており、ロール３３は金属ロールである。また、それぞれのロール径を変えてもよい。   FIG. 6 is a cross-sectional view showing a second embodiment of the vacuum seal mechanism of the present invention. In the present embodiment, a wear-resistant member 25 is attached to a portion of the wall surface of the vacuum chamber 11 where the peripheral roll 18 contacts the slit 12 via a metal plate 26 and an adhesive layer 27. A cover member 28 is disposed around the roll 32, the roll 33, and the roll 34, and the base end thereof is detachably fixed to the wall surface of the vacuum chamber 11. Moreover, the roll 32, the roll 33, and the roll 34 can also make each roll diameter the same by performing the dust processing which generate | occur | produces appropriately. In the rolls 32 and 34, the surface of the metal roll is covered with rubber, and the roll 33 is a metal roll. Moreover, you may change each roll diameter.

以上のように構成した場合、耐摩耗性部材２５が摩耗した場合に接着層２７で接着されているので容易に交換することができる。また、カバー部材２８は、発生しダストが周囲に飛散するのを防止することができる。   When comprised as mentioned above, since it adhere | attaches with the contact bonding layer 27 when the abrasion-resistant member 25 wears, it can replace | exchange easily. Further, the cover member 28 can prevent the generated dust from being scattered around.

図７は、本発明の真空シール機構の第３の実施の形態を示す断面図である。本実施例において、ロール群は、二段構成とされピンチロール３５とシールロール３６とから構成され、シールロール３６には、クリーンロール３７−１と粘着ロール３７−２が転動可能に接触している。また、ダストボックス２２は、スリット１２の延長線上でシート状部材の移動面と真空チャンバ１１の壁面に取り付けられた耐摩耗性部材２５に当接配置されたシールロール３６の外縁との間に配設されており、シート状部材Ｓから所定の距離を保っている。粘着ロール３７−２は、表面に粘着物質が塗布されている。   FIG. 7 is a cross-sectional view showing a third embodiment of the vacuum seal mechanism of the present invention. In this embodiment, the roll group has a two-stage configuration and is composed of a pinch roll 35 and a seal roll 36, and a clean roll 37-1 and an adhesive roll 37-2 are in contact with the seal roll 36 so that they can roll. ing. The dust box 22 is disposed between the moving surface of the sheet-like member on the extension line of the slit 12 and the outer edge of the seal roll 36 disposed in contact with the wear-resistant member 25 attached to the wall surface of the vacuum chamber 11. And a predetermined distance from the sheet-like member S is maintained. The adhesive roll 37-2 is coated with an adhesive substance on the surface.

以上のように構成した場合、発生したダストをダストボックス２２で捕捉するとともに、クリーンロール３７−１と粘着ロール３７−２の表面で捕捉することができる。   When configured as described above, the generated dust can be captured by the dust box 22 and captured by the surfaces of the clean roll 37-1 and the adhesive roll 37-2.

なお、実施例ではロール径をロール１６＜ロール１７＜ロール１８の順に大きく形成した場合について説明した、ロール１６＞ロール１７＞ロール１８であっても同様の効果を奏することができる。但し、大きい径のロールは、小さい径のロールの整数倍であってはならない。   In addition, even if it is the roll 16> roll 17> roll 18 demonstrated in the Example about the case where the roll diameter was formed large in order of the roll 16 <roll 17 <roll 18, the same effect can be show | played. However, large diameter rolls should not be an integral multiple of small diameter rolls.

図１は、本発明に係る真空シール機構の概要を示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing an outline of a vacuum sealing mechanism according to the present invention. 図２は、同真空シール機構の側面図である。FIG. 2 is a side view of the vacuum seal mechanism. 図３は、同真空シール機構の側板部分を示す要部断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part showing a side plate portion of the vacuum seal mechanism. 図４は、同真空シール機構の側板部分を示す要部断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of a main part showing a side plate portion of the vacuum seal mechanism. 図５は、同真空シール機構の要部斜視図である。FIG. 5 is a perspective view of a main part of the vacuum seal mechanism. 図６は、同真空シール機構の第２の実施の形態を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a second embodiment of the vacuum seal mechanism. 図７は、同真空シール機構の第３の実施の形態を示す断面図である。FIG. 7 is a sectional view showing a third embodiment of the vacuum seal mechanism.

符号の説明Explanation of symbols

Ｓ シート状部材
Ｌ スリットの延長線
１０ 真空シール機構
１１ 真空チャンバ
１２ スリット
１３ 側板
１４ 駆動手段
１５ 第２駆動手段
１６ａ、ｂ ロール（ピンチロール）
１７ａ、ｂ ロール
１８ａ、ｂ ロール
１９ 耐摩耗性部材
２０ 付勢手段
２１ スクレーパ
２１−１ クリーンロール
２１−２ 粘着テープロール
２２ ダストボックス
２３ カバー部材
２４ 通過孔
２５ 耐摩耗性部材
２６ 金属板
２７ 接着層
２８ カバー部材
２９ 吸引パイプ
３１ 駆動手段
３２〜３４ ロール
３５ ピンチロール
３６ シールロール
３７−１ クリーンロール
３７−２ 粘着ロール
３８ ダストシール材
３９ａ、ｂ シャッタロール
４０〜４２ 歯車 S Sheet-like member L Slit extension line 10 Vacuum seal mechanism 11 Vacuum chamber 12 Slit 13 Side plate 14 Drive means 15 Second drive means 16a, b Roll (pinch roll)
17a, b rolls 18a, b rolls 19 wear resistant member 20 biasing means 21 scraper 21-1 clean roll 21-2 adhesive tape roll 22 dust box 23 cover member 24 passage hole 25 wear resistant member 26 metal plate 27 adhesive layer 28 Cover member 29 Suction pipe 31 Driving means 32 to 34 Roll 35 Pinch roll 36 Seal roll 37-1 Clean roll 37-2 Adhesive roll 38 Dust seal material 39a, b Shutter roll 40 to 42 Gear

Claims (7)

真空チャンバ等に形成されたシート状部材或いは連続した一連の薄板部材の供給、或いは排出を行うスリットの周辺に取り付けられる真空シール機構であって、
前記スリットの延長線上でシート状部材の移動面を中心として対向配置され、互いに回動自在に密着されたロール群と、前記ロール群の側面に当接された側板と、前記側板を前記ロール端面方向に押圧する駆動手段と、前記側板を真空チャンバ方向へ押圧する第２駆動手段とから成り、前記ロール群の先端に配設されたロール対を互いに密着させると共に、前記先端に配設されたロールに隣接配置されたロール対を所定の間隔を有して配置し、真空チャンバに形成されたスリット部をシールすることを特徴とする真空シール機構。 A vacuum seal mechanism attached to the periphery of a slit for supplying or discharging a sheet-like member or a continuous series of thin plate members formed in a vacuum chamber or the like,
A roll group that is opposed to and centered on the moving surface of the sheet-like member on the extension line of the slit, and that is in close contact with each other, a side plate that is in contact with a side surface of the roll group, and the side plate that is the roll end surface Drive means for pressing in the direction and second drive means for pressing the side plate in the direction of the vacuum chamber. The roll pair disposed at the tip of the roll group is brought into close contact with each other and disposed at the tip. A vacuum sealing mechanism characterized in that a pair of rolls arranged adjacent to a roll are arranged at a predetermined interval to seal a slit formed in a vacuum chamber. 前記ロール群は、先端から真空チャンバ側に向かうに従って順次ロール径が大きく構成されたことを特徴とする請求項１に記載の真空シール機構。   The vacuum seal mechanism according to claim 1, wherein the roll group is configured such that the roll diameter increases sequentially from the tip toward the vacuum chamber side. 前記側板は、金属板と耐摩耗性部材とを組み合わせて構成したことを特徴とする請求項１または２に記載の真空シール機構。   The vacuum seal mechanism according to claim 1 or 2, wherein the side plate is configured by combining a metal plate and a wear-resistant member. 前記ロール群は、先端に配設されたロールと隣に配設されたロールとを圧接する付勢手段を設けたことを特徴とする請求項１ないし３の何れか１に記載の真空シール機構。   The vacuum seal mechanism according to any one of claims 1 to 3, wherein the roll group is provided with an urging means that press-contacts a roll disposed at a tip and a roll disposed adjacent thereto. . 前記ロール群は、ロール周面に当接してダストを除去するスクレーパを備えたことを特徴とする請求項１ないし４の何れか１に記載の真空シール機構。   The vacuum seal mechanism according to any one of claims 1 to 4, wherein the roll group includes a scraper that abuts on a circumferential surface of the roll to remove dust. 前記ロール群は、ロール周面に当接してダストを除去する粘着ロールを備えたことを特徴とする請求項１ないし４の何れか１に記載の真空シール機構。   The vacuum seal mechanism according to any one of claims 1 to 4, wherein the roll group includes an adhesive roll that abuts against a circumferential surface of the roll to remove dust. 前記スリットの延長線上でシート状部材の移動面と前記真空チャンバに当接配置されたロール外縁との間にダストボックスが配設されたことを特徴とする請求項１ないし６の何れか１に記載の真空シール機構。   7. The dust box according to claim 1, wherein a dust box is disposed between the moving surface of the sheet-like member on the extension line of the slit and the outer edge of the roll disposed in contact with the vacuum chamber. Vacuum seal mechanism.
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