JP2008112093A - 露光方法及び露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】露光領域における各々の空間光変調素子に位置的に対応する画素を複数のサブ画素に2次元的に区分した上で所望露光パターンを設定し、各々の前記画素における露光を、当該画素に位置的に対応する前記空間光変調素子に担わせ、各々の前記空間光変調素子からの光像を、当該空間光変調素子に位置的に対応する前記画素に属する複数の前記サブ画素の各々に順次に走査して投影するとともに、その光像が投影される前記サブ画素における前記所望露光パターン上での明暗に対応させて各々の前記空間光変調素子のオン・オフの切り替えを行うようにし、サブ画素毎に必要な露光を行う。
【選択図】図6
Description
たとえば、露光パターン中に直線状パターンが含まれている場合を考えると、その直線状パターンがマイクロミラーの配設方向(直交する2方向)に対応して延在する場合には問題はないが、その直線状パターンがマイクロミラーの配設方向と対応していない場合、つまり、その直線状パターンがマイクロミラーの配設方向に対して傾斜している場合には、その直線状パターンのエッジを滑らかに露光することができないという問題を生じていた。
図1は露光装置の構成の一部を示し、図2はその露光装置の制御ブロックを示している。ここで、図1では、図示の便宜上、各構成の大きさや距離は実際のものとは対応していないことに留意を要する。
同図に示すように、露光装置1は制御部210を備えている。この制御部210には入力部220、記憶部230、光源駆動部240、DMD駆動部250、チルトミラー駆動部260及びステージ駆動部270が接続されている。なお、露光装置1は、図示はされていないがディスプレイ等の表示部を備えることも可能である。
また、図3(B)にはこのDMD120によって露光される露光領域が示されている。同図にはDMD120の各マイクロミラーで露光される領域(画素)を特定するためのa’〜e’行番号、1’〜5’の列番号がそれぞれ示されている。
ここで、i行j列に位置するマイクロミラーを(i,j)マイクロミラーとし、i’行j’列に位置するマイクロミラーを(i’,j’)画素と表現すれば、(a,1)マイクロミラー、(a,2)マイクロミラー、・・・、(c,3)マイクロミラー、・・・、(e,5)マイクロミラーは、それぞれ、(a’,1’)画素、(a’,2’)画素、・・・、(c’,3’)画素、・・・、(e’,5’)画素に位置的に対応し、各画素はその位置的に対応するマイクロミラーによって露光されるようになっている。
以上を前提にして、光学的に見て対象物150上で画素の配設方向に交差する方向に延在する斜線パターン(明パターン)を形成する場合について考える。
この従来の露光方法では、露光したい斜線パターンに対応するマイクロミラーの傾きと、それ以外のマイクロミラーの傾きとを互いに変える。すなわち、露光したい斜線パターンに対応するマイクロミラーをオンとし、それ以外のマイクロミラーをオフとする。その一例が図4(A)に示されている。同図においては白抜きのマイクロミラーはオンの状態であり、このオンの状態のマイクロミラーからの光像は明暗パターンの明部となる。一方、斜線が付されているマイクロミラーはオフの状態であり、このオフの状態のマイクロミラーからの光像は明暗パターンの暗部となる。
このように各マイクロミラーの傾きを調節し、各マイクロミラーの総体によって形成される明暗パターンを対象物に一度機に投影して露光パターンを形成している。図4(B)にはこの従来の露光方法によって得られた露光パターンが示されている。同図においては白抜きの画素が露光パターンの明部に対応し、斜線が付されている画素が露光パターンの暗部に対応している。
この従来の露光方法によれば、DMD120によって形成されるマイクロミラーパターンつまり明暗パターンと、対象物上に形成される明暗パターンつまり露光パターンとが相似になる。この場合、露光パターンの微細化の程度は、マイクロミラーの構成(大きさ)と光学系の分解能とによって制約され、例えば斜線パターンや円パターンを含む露光パターンを形成する場合にはエッジの円滑化の程度にも限界がある。
まず、露光領域における各々のマイクロミラーに対応する画素の各々を複数のサブ画素に2次元的に区分する。実施形態では画素の各々を、説明の便宜上、4行4列のサブ画素に区分している。そして、そのサブ画素の総体から構成される画面上で、所望露光パターンの設定を行う。この過程が図5(A)〜(C)に示されている。このようにすれば、露光領域に対応する画像が多数のサブ画素から構成されるので、微細でパターンエッジが円滑な所望露光パターンが設定できることとなる。
次いで、各々の画素つまり(a’,1’)〜(e’,5’)画素における露光を、それぞれ、当該画素に対応するマイクロミラーつまり(a,1)〜(e,5)マイクロミラーに担わせる。そして、実際に露光する場合には、(a,1)〜(e,5)マイクロミラーの各々からの光像を、当該マイクロミラーに対応する(a’,1’)〜(e’,5’)画素に属する16個のサブ画素の各々に順次に走査して投影する。また、それと同時に、その光像が投影されるサブ画素における所望明暗パターン上での明暗に対応させて(a,1)〜(e,5)マイクロミラーの各々のオン・オフの切り替えを行う。例えば、光像が投影されるサブ画素が所望露光パターン上で明部であれば、そのサブ画素の露光を担当するマイクロミラーからの光が当該サブ画素に到達するように当該マイクロミラーの傾きを調整し(マイクロミラーがオン)、光像が投影されるサブ画素が所望露光パターン上で暗部であれば、そのサブ画素の露光を担当するマイクロミラーからの光が当該サブ画素に到達しないように当該マイクロミラーの傾きを調整する(マイクロミラーがオフ)。
次に、チルトミラー140を動作させて(b,5)マイクロミラーからの光像を、右隣のサブ画素に投影する。この場合も、当該サブ画素は所望露光パターン上で暗部であるので、(b,5)マイクロミラーからの光が当該サブ画素に到達しないように当該マイクロミラーの傾きを調整しておく(マイクロミラーがオフ)。
次に、チルトミラー140を動作させて(b,5)マイクロミラーからの光像を、さらに右隣のサブ画素に投影する。この場合、当該サブ画素は所望露光パターン上で明部であるので、(b,5)マイクロミラーをオンにして、(b,5)マイクロミラーからの光が当該サブ画素に到達するようにしておく。
その後は、図6のように(b,5)マイクロミラーからの光像を走査すると同時に、その光像が投影されるサブ画素における所望露光パターン上での明暗に対応させて(b,5)マイクロミラーのオン・オフの切り替えを行う。
110 光源
120 DMD
130 結像光学系
140 チルトミラー
150 露光対象物
160 ステージ
210 制御部
220 入力部
230 記憶部
240 光源駆動部
250 DMD駆動部
260 チルトミラー駆動部
270 ステージ駆動部
(a,1)〜(e,5) マイクロミラー
(a’,1’)〜(e’,5’) 露光領域上の画素
Claims (8)
- 空間光変調素子を2次元的に多数配列してなる空間光変調器を使用し、光源から発せられた光を前記空間光変調器により変調して得られる明暗パターンを対象物に投影することによって当該対象物に露光パターンを形成する露光方法であって、露光領域における各々の前記空間光変調素子に位置的に対応する画素を複数のサブ画素に2次元的に区分した上で所望露光パターンを設定し、各々の前記画素における露光を、当該画素に位置的に対応する前記空間光変調素子に担わせ、各々の前記空間光変調素子からの光像を、当該空間光変調素子に位置的に対応する前記画素に属する複数の前記サブ画素の各々に順次に走査して投影するとともに、その光像が投影される前記サブ画素における前記所望露光パターン上での明暗に対応させて各々の前記空間光変調素子のオン・オフの切り替えを行うようにし、サブ画素毎に必要な露光を行うことを特徴とする露光方法。
- 前記光像の走査を、前記空間光変調器と前記対象物との間の光路中に介在させたチルトミラーによって行わせることを特徴とする請求項1に記載の露光方法。
- 前記光像の走査を、前記空間光変調器と前記対象物の相対移動によって行わせることを特徴とする請求項1に記載の露光方法。
- 前記空間光変調器として、前記空間光変調素子がマイクロミラーから構成されるDMDを使用することを特徴とする請求項1から3いずれか一に記載の露光方法。
- 空間光変調素子を2次元的に多数配列してなる空間光変調器を備え、光源から発せられた光を前記空間光変調器により変調して得られる明暗パターンを対象物に投影することによって当該対象物に露光パターンを形成する露光装置であって、露光領域における各々の前記空間光変調素子に位置的に対応する画素を複数のサブ画素に2次元的に区分した画面上で所望露光パターンを設定するためのパターン設定手段と、各々の前記空間光変調素子からの光像を前記対象物上で同時に走査して、各々の前記空間光変調素子からの光像を、当該前記空間光変調素子に位置的に対応する前記画素に属する複数の前記サブ画素の各々に順次に導かせる光像走査手段と、各々の前記空間光変調素子のオン・オフを切り替えて、当該空間光変調素子からの光像を当該光像が投影される前記サブ画素における前記所望露光パターン上での明暗に対応させる切替手段とを備えることを特徴とする露光装置。
- 前記走査手段は、前記空間光変調器と前記対象物との間の光路中に介在させたチルトミラーを含んで構成されていることを特徴とする請求項5に記載の露光装置。
- 前記走査手段は、前記空間光変調器又は前記対象物の一方を他方に対して相対移動させる移動手段を含んで構成されていることを特徴とする請求項5に記載の露光装置。
- 前記空間光変調器として、前記空間光変調素子がマイクロミラーから構成されるDMDを備えることを特徴とする請求項5から7いずれか一に記載の露光装置。
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