JP2008094686A - マイクロ・ナノ構造体及びその製造方法 - Google Patents
マイクロ・ナノ構造体及びその製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】FEDなどの用途への使用が期待できる新規なマイクロ・ナノ構造体、及び自己組織化を利用したマイクロ・ナノ構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】銅酸化物からなり、外径に対する長さの比であるアスペクト比が1.5以上で、半導体特性を有し、内部が中空なナノチューブであることを特徴とするマイクロ・ナノ構造体。及び、低真空中で金属銅の表面に高エネルギービームを照射して、励起した銅原子と低真空中に残留する酸素原子とを結合させつつ、自己組織化によって、内部が中空なナノチューブを製造することを特徴とするマイクロ・ナノ構造体の製造方法。
【選択図】図6
Description
図1〜5に、本発明にかかるナノチューブを例示する。これらのナノチューブは、アモルファス炭素フィルムが蒸着され、且つ複数の貫通孔が設けられた銅製ディスクを、10−4Pa程度(即ち、10−3〜10−5Pa)の低真空下に導き、この貫通孔に加速電圧5〜9kV、照射時間60〜1200secの条件で、Arイオンビームを照射したときに形成されたものであって、図は透過電子顕微鏡(TEM)像である。これらのナノチューブは内部が中空である。ナノチューブの生成する部位は、Arイオンビームの照射面ではなく、非照射面との近傍であり、非照射面近傍に形成されていることから、スパッタ粒子または原子群が飛散集合し、ある特定の成長しやすい面方向に成長する自己組織化によって、ナノチューブが形成されたものと考えられる。
図3に示すものは加速電圧5kV、照射時間1800secの条件において生成した内部中空のナノチューブである。ディフラクションパターンがデバイリングであるので、このナノチューブは多結晶である。ナノロッドを核としてこの上にArイオンビームの照射によりスパッタされた粒子が堆積し、そのスパッタ粒子が集まり多結晶膜が生成しているためと推定される。
また、本発明に係るマイクロ・ナノ構造体の製造方法は、優れた特性を有するマイクロ・ナノ構造体を、金属銅の表面に効率的に形成することができるという有利な効果を奏することができる。
Claims (4)
- 銅酸化物からなり、外径に対する長さの比であるアスペクト比が1.5以上で、内部が中空なナノチューブであることを特徴とするマイクロ・ナノ構造体。
- ナノチューブは、半導体特性を有することを特徴とする請求項1に記載のマイクロ・ナノ構造体。
- 銅酸化物は、CuOとCu2Oとの何れか一種、又は双方からなることを特徴とする請求項1又は2に記載のマイクロ・ナノ構造体。
- 低真空中で金属銅の表面に高エネルギービームを照射して、励起した銅原子と低真空中に残留する酸素原子とを結合させつつ、自己組織化によって、内部が中空なナノチューブを製造することを特徴とするマイクロ・ナノ構造体の製造方法。
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