JP2008089510A - 走査型プローブ顕微鏡、走査型プローブ顕微鏡用のプローブ、及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第1波長を有する第1照射光を発する第1の光源15、第1波長とは異なる第2波長を有する第2照射光を発する第2の光源25、試料50a上を走査し、第1照射光を第1反射光として反射する第1プローブ1、試料50b上を走査し、第2照射光を第2反射光として反射する第2プローブ2、第1波長を有する第1反射光を受光する第1受光素子16、及び第2波長を有する第2反射光を受光する第2受光素子26を備える。
【選択図】 図1
Description
第1の実施の形態に係る走査型プローブ顕微鏡は、図1に示すように、第1波長を有する第1照射光を発する第1の光源15、第1波長とは異なる第2波長を有する第2照射光を発する第2の光源25、試料50a上を走査し、第1照射光を第1反射光として反射する第1プローブ1、試料50b上を走査し、第2照射光を第2反射光として反射する第2プローブ2、第1波長を有する第1反射光を受光する第1受光素子16、及び第2波長を有する第2反射光を受光する第2受光素子26を備える。なお試料50aと試料50bは、同一物体の異なる部分でもよいし、異なる物体でもよい。
図1に示す走査型プローブ顕微鏡と異なり、図3に示す第1の変形例に係る走査型プローブ顕微鏡においては、第1受光素子16に第1位相検波器235が接続されており、第2受光素子26に第2位相検波器245が接続されている。第1位相検波器235は第1加振器13に接続されており、第1の参照信号を第1加振器13から受信する。第1位相検波器235は第1の上段電気信号と第1の参照信号との積演算を行い、ローパスフィルターで積分することにより、第1の上段電気信号から第1の周波数で振動する第1の上段測定信号を抽出する。また第1位相検波器235は第1の下段電気信号と第1の参照信号との積演算を行い、ローパスフィルターで積分することにより、第1の下段電気信号から第1の周波数で振動する第1の下段測定信号を抽出する。
第2の変形例に係る走査型プローブ顕微鏡においては、図4に示すように、第1プローブ101が第1波長の光を選択的に反射する第1波長選択反射膜14を備える。第1波長選択反射膜14は、第1カンチレバー10の上面に配置されている。また第2プローブ102が第2波長の光を選択的に反射する第2波長選択反射膜24を備える。第2波長選択反射膜24は、第2カンチレバー20の上面に配置されている。第1波長選択反射膜14及び第2波長選択反射膜24のそれぞれには、誘電体多層膜等が使用可能である。第1波長選択反射膜14は、第1カンチレバー10上に例えばモリブデン(Mo)からなるモリブデン薄膜と、Siからなるシリコン薄膜とを交互に積層させて形成される。交互に積層されるモリブデン薄膜とシリコン薄膜のそれぞれの膜厚を調節することにより、第1波長の光を選択的に反射することが可能となる。第2波長選択反射膜24は、第2カンチレバー20上にモリブデン薄膜と、シリコン薄膜とを交互に積層させて形成される。交互に積層されるモリブデン薄膜とシリコン薄膜のそれぞれの膜厚を調節することにより、第2波長の光を選択的に反射することが可能となる。
図5に示す第2の実施の形態に係る走査型プローブ顕微鏡は、白色LED等の広波長帯域の照射光を発する光源5を備える。複数の波長成分を含む照射光の進行方向には、コリメートレンズ90が配置されている。コリメートレンズ90は、照射光を平行光にする。平行光にされた照射光の進行方向には、プリズム91が配置されている。プリズム91は、照射光を第1カンチレバー10及び第2カンチレバー20の方向に屈折させる。プリズム91で屈折された照射光の進行方向には、第1集光レンズ92及び第2集光レンズ93が配置されている。第1集光レンズ92は、照射光を第1プローブ101上に集光する。第2集光レンズ93は、照射光を第2プローブ102上に集光する。
図8に示す変形例に係る走査型プローブ顕微鏡は、単一の光源35を備える。光源35には、例えば白色LED等の広波長帯域の照射光を発する光源が使用可能である。第1カンチレバー10及び第2カンチレバー20の上方には、第1ダイクロイックミラー51及び第2ダイクロイックミラーが52配置されている。第1ダイクロイックミラー51は、光源35が発した照射光のうち、赤色光の第1波長成分のみ選択的に第1カンチレバー10に向けて反射し、第1波長成分以外の波長成分はそのまま透過させる。第2ダイクロイックミラー52は、光源35が発し第1ダイクロイックミラー51を透過した照射光のうち、青色光の第2波長成分のみ選択的に第2カンチレバー20に向けて反射し、第2波長成分以外の波長成分はそのまま透過させる。第2ダイクロイックミラー52を透過した照射光は、カンチレバーが2個の場合は不要となるので、例えば不図示の吸収フィルターで吸収される。カンチレバーが2個以上の場合は、検出光として利用する。
第3の実施の形態に係る走査型プローブ顕微鏡は、図9に示すように、第1照射光を発する第1の光源115及び第2照射光を発する第2の光源125を備える。第3の実施の形態において、第1照射光の波長と第2照射光の波長は、同じでもよいし、異なっていてもよい。第1の光源115から発せられる第1照射光の進行方向には、第1偏光子114が配置されている。第1偏光子114は、第1照射光を第1の偏光方向に偏光している偏光にする。第1の光源115及び第1偏光子114は、第1の照明光学系113を構成する。第2の光源125から発せられる第2照射光の進行方向には、第2偏光子124が配置されている。第2偏光子124は、第2照射光を第1の偏光方向とは異なる第2の偏光方向に偏光している偏光にする。第2の光源125及び第2偏光子124は、第2の照明光学系123を構成する。
第4の実施の形態に係る図11に示す走査型プローブ顕微鏡は、図5に示す走査型プローブ顕微鏡と異なり、複数の偏光成分を含む照射光を発する光源105を備える。さらに図11に示す走査型プローブ顕微鏡の第1プローブ111は、図5に示す第1プローブ101と異なり、第1カンチレバー10上に配置された第1偏光膜34を備える。第1偏光膜34は、第1の偏光方向に偏光する光を反射し、第1の偏光方向以外の偏光方向に偏光する光を吸収する。第1偏光膜34は、例えば、第1カンチレバー10上に配置され、光を吸収する吸収膜、及び吸収膜上に配置され、第1の偏光方向に偏光する光を反射し、第1の偏光方向以外の偏光方向に偏光している光を透過させる誘電体多層膜を備える。
上記のように、本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。例えば第1の実施の形態では、第1受光素子16及び第2受光素子26のそれぞれが2分割フォトダイオードである場合を説明した。これに対し第1受光素子16及び第2受光素子26のそれぞれは、2個もしくは4個のフォトダイオードを近接配置したものを用いてもよい。あるいはまた第1受光素子16及び第2受光素子26のそれぞれは、4分割フォトダイオードであってもよい。この場合、4分割フォトダイオードを構成する4つの受光素子のそれぞれに差分算出モジュールを接続すれば、上下方向のみならず、第1カンチレバー10及び第2カンチレバー20のそれぞれのXY方向の変位を検出することも可能となる。さらに第1の実施の形態では、第1フィードバックモジュール32は第1の測定信号の振幅の変化を監視することにより、第1カンチレバー10の振幅の変化を検知すると説明したが、第1フィードバックモジュール32は第1の測定信号の位相の変化を監視することにより、第1カンチレバー10の位相の変化を検知してもよい。この場合、第1カンチレバー10の位相が変化した時には、第1フィードバックモジュール32は第1ピエゾ33に第1のフィードバック電圧を印加して第1カンチレバー10の上下位置を変動させ、第1の周波数における第1カンチレバー10の位相を一定に保たせる。第2カンチレバー20についても同様である。また、実施の形態においては、第1カンチレバー10及び第2カンチレバー20のそれぞれを振動させながら、試料50a,50b上を走査させる例を示した。しかし、第1カンチレバー10及び第2カンチレバー20のそれぞれを振動させることなく試料50a,50b上を走査させ、第1カンチレバー10及び第2カンチレバー20のそれぞれの変位から試料50a,50bの表面画像を生成するコンタクトモードにも、本発明が適用可能であるのはいうまでもない。以上示したように、この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明からは妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
2, 102, 112…第2プローブ
5, 105…光源
10…第1カンチレバー
11…第1の探針
12…第1ホルダ
13…第1加振器
14…第1波長選択反射膜
15, 115…第1の光源
16…第1受光素子
20…第2カンチレバー
21…第2の探針
22…第2ホルダ
23…第2加振器
24…第2波長選択反射膜
25, 125…第2の光源
26…第2受光素子
31…第1粗動モジュール
32…第1フィードバックモジュール
33…第1ピエゾ
34…第1偏光膜
37…第1画像生成モジュール
41…第2粗動モジュール
42…第2フィードバックモジュール
43…第2ピエゾ
44…第2偏光膜
47…第2画像生成モジュール
50a, 50b…試料
51…第1半透鏡
52…第2半透鏡
53…第1波長フィルター
54…第2波長フィルター
70…サンプルスキャナ
90…コリメートレンズ
91…プリズム
92…第1集光レンズ
93…第2集光レンズ
94…第1反射鏡
95…第2反射鏡
113…第1の照明光学系
114…第1偏光子
116a…上段受光素子
116b…下段受光素子
123…第2の照明光学系
124…第2偏光子
126a…上段受光素子
126b…下段受光素子
150…制御モジュール
153…第1偏光フィルタ
154…第2偏光フィルタ
235…第1位相検波器
236…第1差分算出モジュール
245…第2位相検波器
246…第2差分算出モジュール
250…入力装置
251…出力装置
Claims (12)
- 第1波長を有する第1照射光を発する第1の光源と、
前記第1波長とは異なる第2波長を有する第2照射光を発する第2の光源と、
試料上を走査し、前記第1照射光を第1反射光として反射する第1プローブと、
前記試料上を走査し、前記第2照射光を第2反射光として反射する第2プローブと、
前記第1波長を有する前記第1反射光を受光する第1受光素子と、
前記第2波長を有する前記第2反射光を受光する第2受光素子
とを備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 複数の波長成分を含む照射光を発する光源と、
試料上を走査し、前記照射光の第1波長成分を第1反射光として反射する第1プローブと、
前記試料上を走査し、前記照射光の前記第1波長成分とは異なる第2波長成分を第2反射光として反射する第2プローブと、
前記第1反射光を受光する第1受光素子と、
前記第2反射光を受光する第2受光素子
とを備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 前記照射光の前記第1波長成分を前記第1プローブに向けて反射し、前記第2波長成分を透過させる第1ダイクロイックミラーを更に備えることを特徴とする請求項2に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記照射光の前記第2波長成分を前記第2プローブに向けて反射する第2ダイクロイックミラーを更に備えることを特徴とする請求項3に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 第1の偏光方向に偏光している第1照射光を発する第1の照明光学系と、
前記第1の偏光方向とは異なる第2の偏光方向に偏光している第2照射光を発する第2の照明光学系と、
試料上を走査し、前記第1照射光を第1反射光として反射する第1プローブと、
前記試料上を走査し、前記第2照射光を第2反射光として反射する第2プローブと、
前記第1の偏光方向に偏光している前記第1反射光を受光する第1受光素子と、
前記第2の偏光方向に偏光している前記第2反射光を受光する第2受光素子
とを備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 複数の偏光成分を含む照射光を発する光源と、
試料上を走査し、前記照射光の第1偏光成分を第1反射光として反射する第1プローブと、
前記試料上を走査し、前記照射光の前記第1偏光成分とは偏光方向が異なる第2偏光成分を第2反射光として反射する第2プローブと、
前記第1反射光を受光する第1受光素子と、
前記第2反射光を受光する第2受光素子
とを備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - カンチレバーと、
前記カンチレバーの底面に配置された探針と、
前記カンチレバーの上面に配置され、特定の波長の光を反射する波長選択反射膜
とを備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用のプローブ。 - カンチレバーと、
前記カンチレバーの底面に配置された探針と、
前記カンチレバーの上面に配置された偏光膜
とを備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用のプローブ。 - 第1波長を有する第1照射光を発するステップと、
前記第1波長とは異なる第2波長を有する第2照射光を発するステップと、
試料上を走査する第1プローブで、前記第1照射光を第1反射光として反射するステップと、
前記試料上を走査する第2プローブで、前記第2照射光を第2反射光として反射するステップと、
前記第1波長を有する前記第1反射光を受光するステップと、
前記第2波長を有する前記第2反射光を受光するステップ
とを備えることを特徴とする検査方法。 - 複数の波長成分を含む照射光を発するステップと、
試料上を走査する第1プローブで、前記照射光の第1波長成分を第1反射光として反射するステップと、
前記試料上を走査する第2プローブで、前記照射光の前記第1波長成分とは異なる第2波長成分を第2反射光として反射するステップと、
前記第1反射光を受光するステップと、
前記第2反射光を受光するステップ
とを備えることを特徴とする検査方法。 - 第1の偏光方向に偏光している第1照射光を発するステップと、
前記第1の偏光方向とは異なる第2の偏光方向に偏光している第2照射光を発するステップと、
試料上を走査する第1プローブで、前記第1照射光を第1反射光として反射するステップと、
前記試料上を走査する第2プローブで、前記第2照射光を第2反射光として反射するステップと、
前記第1の偏光方向に偏光している前記第1反射光を受光するステップと、
前記第2の偏光方向に偏光している前記第2反射光を受光するステップ
とを備えることを特徴とする検査方法。 - 複数の偏光成分を含む照射光を発するステップと、
試料上を走査する第1プローブで、前記照射光の第1偏光成分を第1反射光として反射するステップと、
前記試料上を走査する第2プローブで、前記照射光の前記第1偏光成分とは偏光方向が異なる第2偏光成分を第2反射光として反射するステップと、
前記第1反射光を受光するステップと、
前記第2反射光を受光するステップ
とを備えることを特徴とする検査方法。
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JP2006273163A JP2008089510A (ja) | 2006-10-04 | 2006-10-04 | 走査型プローブ顕微鏡、走査型プローブ顕微鏡用のプローブ、及び検査方法 |
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---|---|
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012519299A (ja) * | 2009-03-01 | 2012-08-23 | ナノニクス・イメージング・リミテッド | 大気中または液体中におけるシングルまたは多重プローブ動作に対する干渉または幾何学的制約なしの走査プローブ顕微鏡 |
CN102889866A (zh) * | 2012-09-28 | 2013-01-23 | 西安交通大学 | 以石墨烯键长作为计量基准的长度计量溯源方法 |
RU2526295C2 (ru) * | 2009-06-23 | 2014-08-20 | Киото Юниверсити | Сканирующий зондовый микроскоп и способ выявления близости его зондов |
KR20160044336A (ko) * | 2014-10-15 | 2016-04-25 | 한국기계연구원 | 원자 분해능 변형 분포 측정 장치 및 방법 |
CN104528637B (zh) * | 2015-01-16 | 2016-06-08 | 长春理工大学 | 一种三探针机器人纳米操纵***及方法 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0593648A (ja) * | 1991-08-08 | 1993-04-16 | Yamaha Corp | 変位測定装置 |
JPH06135395A (ja) * | 1992-05-14 | 1994-05-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 微小重力環境用振動検出低減装置及び微小重力振動センサ |
JPH0961442A (ja) * | 1995-08-23 | 1997-03-07 | Mitsubishi Electric Corp | 原子間力顕微鏡及びその測定ヘッド |
JP2000088735A (ja) * | 1998-09-10 | 2000-03-31 | Seiko Instruments Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2001304833A (ja) * | 2000-04-21 | 2001-10-31 | Olympus Optical Co Ltd | 光てこ式傾き検出装置 |
JP2002098620A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-05 | Seiko Instruments Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2003501647A (ja) * | 1999-06-05 | 2003-01-14 | デーウー・エレクトロニクス・カンパニー・リミテッド | 原子間力顕微鏡及びその駆動方法 |
JP2005532555A (ja) * | 2002-07-08 | 2005-10-27 | マルチプローブ・インコーポレーテッド | 複数の走査プローブのソフトウエア同期化 |
JP2005300280A (ja) * | 2004-04-09 | 2005-10-27 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | マイクロスケール変位検出装置及びその製造方法 |
JP2006184004A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-13 | Mitsubishi Chemicals Corp | カンチレバーセンサシステム |
JP2007248168A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Canon Inc | 原子間力顕微鏡 |
JP2007333432A (ja) * | 2006-06-12 | 2007-12-27 | Research Institute Of Biomolecule Metrology Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡及び検査方法 |
-
2006
- 2006-10-04 JP JP2006273163A patent/JP2008089510A/ja not_active Ceased
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0593648A (ja) * | 1991-08-08 | 1993-04-16 | Yamaha Corp | 変位測定装置 |
JPH06135395A (ja) * | 1992-05-14 | 1994-05-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 微小重力環境用振動検出低減装置及び微小重力振動センサ |
JPH0961442A (ja) * | 1995-08-23 | 1997-03-07 | Mitsubishi Electric Corp | 原子間力顕微鏡及びその測定ヘッド |
JP2000088735A (ja) * | 1998-09-10 | 2000-03-31 | Seiko Instruments Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2003501647A (ja) * | 1999-06-05 | 2003-01-14 | デーウー・エレクトロニクス・カンパニー・リミテッド | 原子間力顕微鏡及びその駆動方法 |
JP2001304833A (ja) * | 2000-04-21 | 2001-10-31 | Olympus Optical Co Ltd | 光てこ式傾き検出装置 |
JP2002098620A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-05 | Seiko Instruments Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2005532555A (ja) * | 2002-07-08 | 2005-10-27 | マルチプローブ・インコーポレーテッド | 複数の走査プローブのソフトウエア同期化 |
JP2005300280A (ja) * | 2004-04-09 | 2005-10-27 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | マイクロスケール変位検出装置及びその製造方法 |
JP2006184004A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-13 | Mitsubishi Chemicals Corp | カンチレバーセンサシステム |
JP2007248168A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Canon Inc | 原子間力顕微鏡 |
JP2007333432A (ja) * | 2006-06-12 | 2007-12-27 | Research Institute Of Biomolecule Metrology Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡及び検査方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012519299A (ja) * | 2009-03-01 | 2012-08-23 | ナノニクス・イメージング・リミテッド | 大気中または液体中におけるシングルまたは多重プローブ動作に対する干渉または幾何学的制約なしの走査プローブ顕微鏡 |
RU2526295C2 (ru) * | 2009-06-23 | 2014-08-20 | Киото Юниверсити | Сканирующий зондовый микроскоп и способ выявления близости его зондов |
CN102889866A (zh) * | 2012-09-28 | 2013-01-23 | 西安交通大学 | 以石墨烯键长作为计量基准的长度计量溯源方法 |
KR20160044336A (ko) * | 2014-10-15 | 2016-04-25 | 한국기계연구원 | 원자 분해능 변형 분포 측정 장치 및 방법 |
KR101633648B1 (ko) * | 2014-10-15 | 2016-06-27 | 한국기계연구원 | 원자 분해능 변형 분포 측정 장치 및 방법 |
CN104528637B (zh) * | 2015-01-16 | 2016-06-08 | 长春理工大学 | 一种三探针机器人纳米操纵***及方法 |
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