JP2008086985A - プラズマ工程装備及びこれを用いる基板加工方法 - Google Patents
プラズマ工程装備及びこれを用いる基板加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008086985A JP2008086985A JP2006330719A JP2006330719A JP2008086985A JP 2008086985 A JP2008086985 A JP 2008086985A JP 2006330719 A JP2006330719 A JP 2006330719A JP 2006330719 A JP2006330719 A JP 2006330719A JP 2008086985 A JP2008086985 A JP 2008086985A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- plasma
- gas supply
- supply line
- process equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32798—Further details of plasma apparatus not provided for in groups H01J37/3244 - H01J37/32788; special provisions for cleaning or maintenance of the apparatus
- H01J37/32816—Pressure
- H01J37/32825—Working under atmospheric pressure or higher
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32798—Further details of plasma apparatus not provided for in groups H01J37/3244 - H01J37/32788; special provisions for cleaning or maintenance of the apparatus
- H01J37/32816—Pressure
- H01J37/32834—Exhausting
- H01J37/32844—Treating effluent gases
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67253—Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67063—Apparatus for fluid treatment for etching
- H01L21/67069—Apparatus for fluid treatment for etching for drying etching
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
- Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
- Y02C20/30—Capture or disposal of greenhouse gases of perfluorocarbons [PFC], hydrofluorocarbons [HFC] or sulfur hexafluoride [SF6]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
【課題】 工程を終えた後に排気される工程ガスをリサイクルすることによって、装備の経済性を向上させることができるプラズマ工程装備を提供する。
【解決手段】 工程チャンバーと、工程チャンバーに工程ガスを供給するガス供給装置と、ガス供給装置から工程ガスを受けてプラズマを発生させるプラズマ発生装置と、工程を終えた後に工程チャンバーから排出される工程ガスから特定ガスを分離するガス分離装置と、を備える構成とした。ここで、ガス分離装置は、工程ガス間の液化点の差を用いて特定ガスを分離する液化装置から構成される。また、ガス分離装置によって分離されたガスを貯蔵する再生ガス貯蔵タンクをさらに備える。
【選択図】 図1
【解決手段】 工程チャンバーと、工程チャンバーに工程ガスを供給するガス供給装置と、ガス供給装置から工程ガスを受けてプラズマを発生させるプラズマ発生装置と、工程を終えた後に工程チャンバーから排出される工程ガスから特定ガスを分離するガス分離装置と、を備える構成とした。ここで、ガス分離装置は、工程ガス間の液化点の差を用いて特定ガスを分離する液化装置から構成される。また、ガス分離装置によって分離されたガスを貯蔵する再生ガス貯蔵タンクをさらに備える。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体や平板表示装置の製造工程に用いられる基板処理装備に係り、特に、プラズマを用いて工程を行うプラズマ工程装備に関するものである。
プラズマは、イオンや電子、ラジカルなどからなるイオン化したガス状態のもので、非常に高い温度や、高周波電磁界(RF electromagnetic fields)によって生成される。プラズマは産業上多種多様な分野に活用され、その一例に、液晶表示装置を含む平板表示装置(LCD、PDP、ELD等)の製造工程においてプラズマ状態の反応物質を用いて、有機物質からなる薄膜をエッチングすることが挙げられる。
このようなプラズマ表面処理は、その工程がどのような気圧下でなされるかによって、真空チャンバーを利用する低圧プラズマ処理方法と、大気圧状態で工程がなされる大気圧プラズマ処理方法とに区分される。なかでも、低圧プラズマ処理方法は、容易にプラズマを生成できるという利点があるが、真空チャンバー、真空排気装置などの高価装備が要求され、かかる高価装備の保守に高費用がかかるという欠点がある。一方、大気圧プラズマ処理方法は、大気圧状態でプラズマを生成させるため、高価の真空システムが不要である他、装備の保守面でも経済的であるという利点がある。
しかしながら、大気圧プラズマ工程装備は、装備の特性上、低圧プラズマ工程装備よりも多量の工程ガスが必要とされるという欠点がある。特に、工程チャンバーに供給される工程ガスの極一部のガスのみが実際に工程に活用され、大部分のガスはそのまま排出されるという点を考慮する時、上述の欠点は、大気圧プラズマ工程装備が持つ多くの利点を相殺し、装備運営の実效性を低下させてしまう。
本発明は上記の問題点を解決するためのもので、その目的は、工程を終えた後に排気される工程ガスをリサイクルすることによって、装備の経済性を向上させることができるプラズマ工程装備を提供することにある。
上記目的を達成する本発明に係るプラズマ工程装備の一つは、工程チャンバーと、前記工程チャンバーに工程ガスを供給するガス供給装置と、前記ガス供給装置から工程ガスを受けてプラズマを発生させるプラズマ発生装置と、工程を終えた後に前記工程チャンバーから排出される工程ガスの中から特定ガスを分離するガス分離装置と、前記ガス分離装置によって分離されたガスを貯蔵する再生ガス貯蔵タンクと、を備えることを特徴とする。
前記ガス分離装置は、工程ガス間の液化点の差を用いて前記特定ガスを分離する液化装置で構成されることができる。
なお、本発明のプラズマ工程装備は、前記液化装置によって液化したガスを再び気化させる気化装置をさらに備えることができる。
前記ガス供給装置は、前記特定ガスを前記プラズマ発生装置に供給するためのガス供給ラインを備え、前記プラズマ工程装備は、前記再生ガス貯蔵タンクと前記ガス供給ラインとを連結するガス復帰ラインをさらに備えることができる。
前記ガス供給ラインにおいてこのガス供給ラインと前記ガス復帰ラインとが合流する地点の上流には、第1流量制御器が取り付けられ、前記ガス供給ラインにおいて前記合流点の下流には、第2流量制御器が取り付けられ、前記ガス復帰ラインには、第3流量制御器が取り付けられることができる。
前記ガス分離装置によって分離される特定ガスは、六フッ化硫黄(SF6)であると良い。
上記目的を達成する本発明に係るプラズマ工程装備のもう一つは、工程チャンバーと、前記工程チャンバーに工程ガスを供給するガス供給装置と、前記ガス供給装置から工程ガスを受けてプラズマを発生させるプラズマ発生装置と、工程を終えた後に前記工程チャンバーから排出される工程ガスの中から、液化点の最も高い工程ガスを分離するガス分離装置と、前記ガス分離装置によって分離されたガスを気化させる気化装置と、前記気化装置で気化したガスを前記ガス供給装置に復帰させるためのガス復帰ラインと、を備えることを特徴とする。
また、上記プラズマ工程装備は、前記気化装置で気化したガスを貯蔵する再生ガス貯蔵タンクをさらに備えることができる。
前記ガス供給装置は、工程ガスのうち、液化点の最も高いガスが供給されるガス供給ラインを備え、前記ガス供給ラインにおいてこのガス供給ラインと前記ガス復帰ラインとが合流する地点の上流には、第1流量制御器が取り付けられ、前記ガス供給ラインにおいて前記合流点の下流には、第2流量制御器が取り付けられ、前記ガス復帰ラインには、第3流量制御器が取り付けられることができる。
上記目的を達成する本発明に係るプラズマ工程装備を用いる基板加工方法は、a)工程チャンバー内に基板を位置させる段階と、b)前記工程チャンバーに工程ガスを供給する段階と、c)供給された工程ガスよりプラズマを発生させて基板に噴射する段階と、d)工程を終えた後に前記工程チャンバーから排出される工程ガスの中からいずれか一つの工程ガスを分離する段階と、e)分離されたガスを再生ガス貯蔵タンクに貯蔵する段階と、を備えることを特徴とする。
ここで、前記d)段階は、前記工程チャンバーから排出される工程ガスの中からいずれか一つを液化させて分離する段階と、前記液化したガスを再び気化させる段階と、を備えることができる。
また、本発明に係る基板加工方法は、前記再生ガス貯蔵タンクに貯蔵されたガスを前記ガス供給装置に復帰させる段階をさらに備えることができる。
本発明によれば、工程を終えた後に排気される工程ガスの一部をリサイクルできるため、装備の保守費用を節減することが可能になる。特に、本発明は、工程ガスの消費が多いため装備運営に制約を受ける大気圧プラズマ工程装備を、より実效的に運営できるようにするという効果が得られる。
以下、本発明に係る好適な実施の形態を、添付の図面を参照しつつ詳細に説明する。
図1は、本発明によるプラズマ工程装備を示す構成図であり、図2は、本発明によるプラズマ工程装備においてガス供給装置、再生ガス貯蔵タンク及びガス供給ラインとガス復帰ラインに取り付けられる流量制御器を示す図である。
図1に示すように、本発明によるプラズマ工程装備は、プラズマを用いる工程を行うための空間を提供する工程チャンバー10と、工程チャンバー10に工程に必要なガスを供給するガス供給装置20と、ガス供給装置20から工程ガスを受けてプラズマを発生させるプラズマ発生装置30と、を備えて構成される。
工程チャンバー10には、加工対象物である基板Sを支持するステージ11が設置され、ステージ11の上側にはプラズマ発生装置30が配置される。
プラズマ発生装置30は、ボディー31と、上下方向に互いに隔たってそれらの間にプラズマ発生領域32を形成する第1電極33及び第2電極34と、を有する。ボディー31の上側には、ボディー31の内部に工程ガスを流入させるためのガス流入口31aがあけられ、ボディー31の下側には、プラズマ発生領域32で生成されたプラズマを基板S側に排出させるためのプラズマ排出口31bがあけられる。したがって、両電極33,34に高電圧が印加されつつガス流入口31aを通じて工程ガスが供給されると、プラズマ発生領域32でプラズマが発生してプラズマ排出口31bを通じて基板S側に噴射される。
図2に示すように、ガス供給装置20は、工程に使われるそれぞれの工程ガスが保管されるガス貯蔵所21,22,23,24と、各ガス貯蔵所21,22,23,24から工程チャンバー10へガスを移送するガス供給ライン25,26,27,28と、を備えて構成される。それぞれのガス供給ライン25,26,27,28は、一つのガス供給ライン29に連結されるが、このように統合した一つのガス供給ライン29は、プラズマ発生装置30のガス流入口31aに連通する。以下では、それぞれの工程ガスが混合して流れるラインを、混合ガス供給ラインという。
工程に使われるガスの組み合わせは、工程の種類によって様々に変更すると良く、以下では、酸素(O2)、窒素(N2)、メタン(CH4)及び六フッ化硫黄(SF6)を工程ガスとして説明する。酸素(O2)は、第1ガス貯蔵所21に貯蔵され、第1ガス供給ライン25を通じて混合ガス供給ライン29に供給される。また、メタン(CH4)、窒素(N2)及び六フッ化硫黄(SF6)はそれぞれ、第2ガス貯蔵所22、第3ガス貯蔵所23及び第4ガス貯蔵所24に貯蔵され、第2ガス供給ライン26、第3ガス供給ライン27及び第4ガス供給ライン28を通じて混合ガス供給ライン29に供給される。
一方、図1に示すように、工程チャンバー10には、工程チャンバー10中の反応副産物及び未反応ガスを排出するための排出口12があけられ、この排出口12には、排気のための排出管41が連結され、該排出管41は、ポンプ50とガス分離装置60を経て排気装置40と連結される。ここで、ポンプ50は、工程チャンバー10の工程圧力を維持する一方で、工程済みの工程ガスを回収する役割を担い、排気装置40は、有害ガスを浄化して排気させる役割を担う。
また、本発明によるプラズマ工程装備は、排出管41を通じて排気される工程ガスのうち特定ガスを再生できるように分離するガス分離装置60を有する。ガス分離装置60は、ポンプ50を経て排出される工程ガスから特定ガスを分離し、これをガス分離管61に排出させ、残りの工程ガスは、排気装置40に排出させる。
特に、本発明においてガス分離装置60は、工程ガス間の液化点の差を用いていずれか一つのガスを分離する液化装置で構成される。すなわち、ガス分離装置60は、流入した工程ガスを冷却させ、この冷却過程で液化点の相対的に高い工程ガスを液化させる。こうして液化した工程ガスはガス分離管61に排出され、残りの工程ガスは、排気装置40と連結されている排出管41に排出される。本実施の形態のように工程ガスとして酸素(O2)、メタン(CH4)、窒素(N2)及び六フッ化硫黄(SF6)を使用する場合には、六フッ化硫黄(SF6)の液化点が最も高いので、ガス分離装置60で六フッ化硫黄(SF6)が分離される。
また、ガス分離管61は気化装置70と連結され、この気化装置70は、ガス分離装置60で分離された液化ガスを気化させて再び気体状態の工程ガスに還元し、還元された工程ガスは、気化装置70に連結されたガス復帰ライン71を通じてガス供給装置20に復帰する。
ガス復帰ライン71上には、ガス分離装置60で分離された後、ガス復帰ライン71を通じて復帰される工程ガスを貯蔵できるように再生ガス貯蔵タンク80が設置される。気化装置70で気体状態に還元された工程ガスは、ガス供給装置20に復帰する前に再生ガス貯蔵タンク80に臨時貯蔵される。このような再生ガス貯蔵タンク80は、一つの基板に対する加工工程が終わった後に、加工済み基板をアンローディングし、新しい基板をローディングする過程で特に必要とされる。すなわち、一つの基板に対する加工が終わると、工程チャンバー10中の工程ガスを完全に排気させ、ガス供給装置20からのガス供給を遮断するので、上記再生ガス貯蔵タンク80がないと、加工が終わる頃に工程チャンバー10から排出されるガスは再生されずに全て捨てられるわけである。
一方、図2に示すように、ガス復帰ライン71は、ガス供給装置20のガス供給ラインと連結される。本実施の形態のように六フッ化硫黄(SF6)が再生される場合には、ガス復帰ライン71は、第4ガス供給ライン28と連結される。以下では、ガス復帰ライン71がガス供給ライン28と合流する地点をJ地点という。
ガス供給ライン28においてJ地点の上流には、第1流量制御器91が取り付けられ、J地点の下流には、第2流量制御器92が取り付けられる。また、ガス復帰ライン71において再生ガス貯蔵タンク80とJ地点との間には第3流量制御器93が介装される。これらの流量制御器は、それぞれのガスラインに流れる工程ガスの量をモニタリングや制御する部品で、公知の技術であるためその詳細説明は省略する。
以下、図1乃至図3を参照して、本発明によるプラズマ工程装備を用いる基板加工工程について説明する。図3は、本発明による基板加工工程を説明するための図である。
工程が始まると、工程チャンバー10内に、加工対象物である基板Sを位置させ、ポンプ50は、工程チャンバー10が適正工程圧力を保つようにする(S110)。
この状態で、工程チャンバー10に工程ガス(O2、N2、CH4及びSF6)が供給されるが、再生されたガスがない最初状態では、全ての工程ガスがガス貯蔵所21,22,23,24から供給され、再生されたガスがある状態では、再生ガス貯蔵タンク80から一部ガスが供給され、残りのガスがガス貯蔵所21,22,23,24から供給される(S120)。すなわち、以前の工程を終えガス分離装置60及び気化装置70によって再生されたSF6がある場合には、この再生ガスがガス復帰ライン71を通じて再生ガス貯蔵タンク80からガス供給装置20に供給され、ガス供給装置20の第4ガス貯蔵所24からは不足する量のSF6が供給される。
このときに、第4ガス貯蔵所24から供給されるSF6の量は、3個の流量制御器91,92,93によって制御される。すなわち、第3流量制御器93では、再生ガス貯蔵タンク80から供給されるSF6の量を測定し、第2流量制御器92では、第3流量制御器93で測定されるガスの量と工程に必要な量とを比較し、不足する量のガスを第4ガス貯蔵所24から供給されるようにする。このとき、第4ガス貯蔵所24から供給されるSF6の量は、第1流量制御器91によって制御される。
工程チャンバー10にガスが供給されると、プラズマ発生装置30が動作し、これにより、イオン、ラジカル及び工程ガスが基板Sに噴射されエッチング工程または蒸着工程などのような基板加工工程が行われる(S130)。
加工工程を終えた後の反応副産物や未反応の工程ガスは、排出管41を通じて排出され、ポンプ50を経てガス分離装置60に移動する(S140)。加工工程済みガスは、ガス分離装置60で冷却され、この際、液化点の最も高いSF6は最も早く液化して分離される。分離された液化ガスは、ガス分離管61を通じて気化装置70に移動し、残りの工程ガスと反応副産物は、排気装置40を通じて最終排気される(S150)。
気化装置70で液体状態のSF6は再び気体状態の工程ガスに還元され(S160)、ガス復帰ライン71に沿って移動して再生ガス貯蔵タンク80に貯蔵される(S170)。
一つの基板に対する加工工程が続く場合、再生ガス貯蔵タンク80に貯蔵されたSF6は、S120で説明したように、再び工程チャンバー10に供給されて工程にリサイクルされる。一方、一つの基板に対する加工工程が終了した場合には、工程ガスの供給が中断した状態で工程チャンバー10が開き、加工済み基板はアンローディングされ、新しい基板が工程チャンバー10内に置かれる(S180)。
10 工程チャンバー
20 ガス供給装置
21,22,23,24 ガス貯蔵所
25,26,27,28,29 ガス供給ライン
30 プラズマ発生装置
40 排気装置
50 ポンプ
60 ガス分離装置
70 気化装置
71 ガス復帰ライン
80 再生ガス貯蔵タンク
91,92,93 流量制御器
20 ガス供給装置
21,22,23,24 ガス貯蔵所
25,26,27,28,29 ガス供給ライン
30 プラズマ発生装置
40 排気装置
50 ポンプ
60 ガス分離装置
70 気化装置
71 ガス復帰ライン
80 再生ガス貯蔵タンク
91,92,93 流量制御器
Claims (12)
- 工程チャンバーと、
前記工程チャンバーに工程ガスを供給するガス供給装置と、
前記ガス供給装置から工程ガスを受けてプラズマを発生させるプラズマ発生装置と、
工程を終えた後に前記工程チャンバーから排出される工程ガスの中から特定ガスを分離するガス分離装置と、
前記ガス分離装置によって分離されたガスを貯蔵する再生ガス貯蔵タンクと、
を備えることを特徴とする、プラズマ工程装備。 - 前記ガス分離装置は、工程ガス間の液化点の差を用いて前記特定ガスを分離する液化装置であることを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ工程装備。
- 前記液化装置によって液化したガスを再び気化させる気化装置をさらに備えることを特徴とする、請求項2に記載のプラズマ工程装備。
- 前記ガス供給装置は、前記特定ガスを前記プラズマ発生装置に供給するためのガス供給ラインを備え、前記プラズマ工程装備は、前記再生ガス貯蔵タンクと前記ガス供給ラインとを連結するガス復帰ラインをさらに備えることを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ工程装備。
- 前記ガス供給ラインにおいてこのガス供給ラインと前記ガス復帰ラインとが合流する地点の上流には、第1流量制御器が取り付けられ、前記ガス供給ラインにおいて前記合流点の下流には、第2流量制御器が取り付けられ、前記ガス復帰ラインには、第3流量制御器が取り付けられることを特徴とする、請求項4に記載のプラズマ工程装備。
- 前記特定ガスは、六フッ化硫黄(SF6)であることを特徴とする、請求項2に記載のプラズマ工程装備。
- 工程チャンバーと、
前記工程チャンバーに工程ガスを供給するガス供給装置と、
前記ガス供給装置から工程ガスを受けてプラズマを発生させるプラズマ発生装置と、
工程を終えた後に前記工程チャンバーから排出される工程ガスの中から、液化点の最も高い工程ガスを分離するガス分離装置と、
前記ガス分離装置によって分離されたガスを気化させる気化装置と、
前記気化装置で気化したガスを前記ガス供給装置に復帰させるためのガス復帰ラインと、を備えることを特徴とする、プラズマ工程装備。 - 前記気化装置で気化したガスを貯蔵する再生ガス貯蔵タンクをさらに備えることを特徴とする、請求項7に記載のプラズマ工程装備。
- 前記ガス供給装置は、工程ガスのうち、液化点の最も高いガスが供給されるガス供給ラインを備え、前記ガス供給ラインにおいてこのガス供給ラインと前記ガス復帰ラインとが合流する地点の上流には、第1流量制御器が取り付けられ、前記ガス供給ラインにおいて前記合流点の下流には、第2流量制御器が取り付けられ、前記ガス復帰ラインには、第3流量制御器が取り付けられることを特徴とする、請求項7に記載のプラズマ工程装備。
- a)工程チャンバー内に基板を位置させる段階と、
b)前記工程チャンバーに工程ガスを供給する段階と、
c)供給された工程ガスよりプラズマを発生させて基板に噴射する段階と、
d)工程を終えた後に前記工程チャンバーから排出される工程ガスの中からいずれか一つの工程ガスを分離する段階と、
e)分離されたガスを再生ガス貯蔵タンクに貯蔵する段階と、を備えることを特徴とする、プラズマ工程装備を用いる基板加工方法。 - 前記d)段階は、
前記工程チャンバーから排出される工程ガスの中からいずれか一つを液化させて分離する段階と、
前記液化したガスを再び気化させる段階と、
を備えることを特徴とする、請求項10に記載のプラズマ工程装備を用いる基板加工方法。 - 前記再生ガス貯蔵タンクに貯蔵されたガスを前記ガス供給装置に復帰させる段階をさらに備えることを特徴とする、請求項10に記載のプラズマ工程装備を用いる基板加工方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060095720A KR20080029497A (ko) | 2006-09-29 | 2006-09-29 | 플라즈마 공정 장비와 이를 이용한 기판 가공 방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008086985A true JP2008086985A (ja) | 2008-04-17 |
Family
ID=39371691
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006330719A Pending JP2008086985A (ja) | 2006-09-29 | 2006-12-07 | プラズマ工程装備及びこれを用いる基板加工方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008086985A (ja) |
KR (1) | KR20080029497A (ja) |
TW (1) | TW200816306A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018159118A (ja) * | 2017-03-23 | 2018-10-11 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0929002A (ja) * | 1995-07-17 | 1997-02-04 | Teisan Kk | ガス回収装置 |
JPH09129561A (ja) * | 1995-11-06 | 1997-05-16 | Teisan Kk | ガス回収装置 |
JPH119951A (ja) * | 1997-06-20 | 1999-01-19 | Hitachi Ltd | Sf6ガス回収・精製処理装置及び方法 |
JP2000210527A (ja) * | 1999-01-22 | 2000-08-02 | Toshiba Corp | 混合ガス分離装置及び分離システム |
JP2001358132A (ja) * | 2001-04-23 | 2001-12-26 | Hitachi Ltd | エッチング装置 |
JP2002177766A (ja) * | 2000-12-18 | 2002-06-25 | Pearl Kogyo Kk | 不活性ガス回収再利用装置付き大気圧プラズマ処理装置 |
JP2002346375A (ja) * | 2001-05-24 | 2002-12-03 | Matsushita Electric Works Ltd | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JP2004179191A (ja) * | 2002-11-22 | 2004-06-24 | Matsushita Electric Works Ltd | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
-
2006
- 2006-09-29 KR KR1020060095720A patent/KR20080029497A/ko not_active Application Discontinuation
- 2006-12-07 JP JP2006330719A patent/JP2008086985A/ja active Pending
-
2007
- 2007-01-10 TW TW096100885A patent/TW200816306A/zh unknown
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0929002A (ja) * | 1995-07-17 | 1997-02-04 | Teisan Kk | ガス回収装置 |
JPH09129561A (ja) * | 1995-11-06 | 1997-05-16 | Teisan Kk | ガス回収装置 |
JPH119951A (ja) * | 1997-06-20 | 1999-01-19 | Hitachi Ltd | Sf6ガス回収・精製処理装置及び方法 |
JP2000210527A (ja) * | 1999-01-22 | 2000-08-02 | Toshiba Corp | 混合ガス分離装置及び分離システム |
JP2002177766A (ja) * | 2000-12-18 | 2002-06-25 | Pearl Kogyo Kk | 不活性ガス回収再利用装置付き大気圧プラズマ処理装置 |
JP2001358132A (ja) * | 2001-04-23 | 2001-12-26 | Hitachi Ltd | エッチング装置 |
JP2002346375A (ja) * | 2001-05-24 | 2002-12-03 | Matsushita Electric Works Ltd | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JP2004179191A (ja) * | 2002-11-22 | 2004-06-24 | Matsushita Electric Works Ltd | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018159118A (ja) * | 2017-03-23 | 2018-10-11 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2021130874A (ja) * | 2017-03-23 | 2021-09-09 | キオクシア株式会社 | 半導体製造装置 |
JP7087157B2 (ja) | 2017-03-23 | 2022-06-20 | キオクシア株式会社 | 半導体製造装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200816306A (en) | 2008-04-01 |
KR20080029497A (ko) | 2008-04-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10340125B2 (en) | Pulsed remote plasma method and system | |
US9090972B2 (en) | Gas supply systems for substrate processing chambers and methods therefor | |
KR101858162B1 (ko) | 플라즈마 처리 방법 및 플라즈마 처리 장치 | |
US6372097B1 (en) | Method and apparatus for efficient surface generation of pure O3 | |
KR20090056475A (ko) | 플라즈마 처리장치 | |
TW201448041A (zh) | 氮化鈦之選擇性移除 | |
US10665432B2 (en) | Temperature control method | |
WO2011106129A1 (en) | System. method and apparatus for plasma etch having independent control of ion generation and dissociation of process gas | |
JP2008091625A (ja) | 処理ガス供給機構および処理ガス供給方法ならびにガス処理装置 | |
CN100571903C (zh) | 清洗硅片刻蚀腔室的方法 | |
KR100533412B1 (ko) | 불소가스 발생장치 | |
CN107749389A (zh) | 对多孔质膜进行蚀刻的方法 | |
TWI539030B (zh) | 供應氟之方法 | |
US20220223405A1 (en) | Processing of Semiconductors Using Vaporized Solvents | |
KR20190106785A (ko) | 플라즈마 처리 방법 및 플라즈마 처리 장치 | |
JP2014053136A (ja) | 大気圧プラズマ処理装置 | |
JP2014013834A (ja) | ガスクラスター照射機構およびそれを用いた基板処理装置、ならびにガスクラスター照射方法 | |
JP2008086985A (ja) | プラズマ工程装備及びこれを用いる基板加工方法 | |
US11476122B2 (en) | Plasma etching method and plasma etching apparatus | |
JP2008204650A (ja) | プラズマ処理装置 | |
KR101163643B1 (ko) | 대기압 플라즈마 장치 | |
JP2008053367A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2003151971A (ja) | チャンバークリーニング方法、成膜装置、及び半導体装置の製造方法 | |
KR100749770B1 (ko) | 플라즈마 공정 장비 | |
US20220285141A1 (en) | Substrate processing apparatus, substrate processing method, gas regeneration system, and gas regeneration method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090410 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090414 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090713 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100713 |