JP2008082696A - 集塵排気システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】そこで、本発明では、このような問題点を解決するために、製造室1内に設置された製造装置6からの含塵空気を集塵処理する集塵機7を、製造室に隣接したメンテナンス用空間部2に設置すると共に、集塵機に隣接してチャンバー10を形成し、このチャンバー内に集塵機の排気口23を配置すると共に、その近傍に、外部への排気ダクト26に連なる吸込ユニット24を配置し、吸込ユニットにはHEPAフィルター28を設けた集塵排気システムを提案している。
【選択図】図3
Description
まず、集塵機を外部(ハザード区域外)に設置する場合では、下記の問題点がある。
1.集塵機の排気口から外部環境にハザード物質を放出する恐れがあるため、排気口にHEPAフィルターを設置して対処しているが、このフィルターを交換する際に、通常の交換方法では漏洩の危険が避けられないため、このフィルターは上述したとおり密封交換型HEPAフィルター113としており、このため、高価であると共に、操作性が悪く、手間が掛かる。
2.集塵機により捕集したハザード物質を回収する際や、濾布を交換する際に外部環境に漏洩する恐れがあるため、この対策として、密封回収・交換型を採用しており、このため、高価であると共に、操作性が悪く、手間が掛かる。
3.集塵機が外部に設置されているため、製造室101内から集塵機109に至る集塵ダクト112が破損した場合には、ハザード物質が飛散することになる。また集塵ダクト112が長くなるため、ダクト内にハザード物質が残る可能性が高くなり、堆積したハザード物質が製造室内に逆流し、取り扱い物質が変わった際には交差汚染の原因となる。
4.製造室内の室圧を安定させるためには集塵機を常時稼動させる必要があり、省エネルギーに反することになる。
1.外部環境への影響を避けるため、除塵後の空気は、直接に外部に排気せず、図5に示すように、一旦、製造室内に放出するようにしているので、ハザード物質が製造室101全体に拡散して濃度が高まる恐れがあり、人体(作業員)への悪影響が懸念される。
2.このために集塵機114の下流側にHEPAフィルター116を設置しているが、外部環境対策として上述したとおり排気吸引口106にもHEPAフィルターを設置するため、2個所のHEPAフィルターの維持・管理が必要となる。
3.通常の室内設置用小型集塵機では、捕集したハザード物質を貯留する容器としてパン型が採用されているが、これを引き出して回収する際、ハザード物質が周りにこぼれたり、室内に飛散する等の不具合が生じる。
4.また集塵機を室内に設置するため、他の製造装置や機器類との取り合い、設置スペースの確保などの問題が生じる。
5.製造室内の室圧を安定させるためには集塵機を常時稼動させる必要があり、省エネルギーに反することになる。
そこで本発明では、このような問題点を解決した集塵排気システムを提案するものである。
図1は本発明に係る集塵排気システムの構成及び動作を説明する系統図的説明図であり、図2は要部の説明的平面図、図3は要部の説明的正面図である。
これらの図において、符号1は製造室(クリーンルーム)、2は製造室1に隣接しているメンテナンス用空間部、3は廊下、4は外気処理ユニット、5はHEPAフィルター付き吹出口、6は製造室1に設置されている製造装置である。
2 メンテナンス用空間部
3 廊下
4 外気処理ユニット
5 HEPAフィルター付き吹出口
6 製造装置
7 集塵機
8 側板
9、11、12 壁
10 チャンバー
13 床
14 天井
15 点検扉
16 吸込口
17 集塵フード
18 集塵ダクト
19 集塵ダクト接続口
20 ファン
21 濾布
22 ホッパー型ダストコレクター
23 排気口
24 吸込ユニット
25 気密ダンパー
26 排気ダクト
27 排気ファン
28 HEPAフィルター
Claims (4)
- 製造室内に設置された製造装置からの含塵空気を集塵処理する集塵機を、製造室に隣接したメンテナンス用空間部に設置すると共に、集塵機に隣接してチャンバーを形成し、このチャンバー内に集塵機の排気口を配置すると共に、その近傍に、外部への排気ダクトに連なる吸込ユニットを配置し、吸込ユニットにはHEPAフィルターを設けたことを特徴とする集塵排気システム。
- チャンバーは、集塵機の側板と製造室の壁を区画要素とし、製造室の壁に点検扉を設け、この点検扉に開閉可能な吸込口を取り付けたことを特徴とする請求項1に記載の集塵排気システム。
- 集塵機は、製造室側から保守可能に構成したことを特徴とする請求項1又は2に記載の集塵排気システム。
- 集塵機には下部にホッパー型ダストコレクターを配置し、下端に透明な捕集袋を気密的に装着可能に構成したことを特徴とする請求項1〜3までのいずれか1項に記載の集塵排気システム。
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