JP2008079915A - 針状体およびその製造方法 - Google Patents
針状体およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008079915A JP2008079915A JP2006264620A JP2006264620A JP2008079915A JP 2008079915 A JP2008079915 A JP 2008079915A JP 2006264620 A JP2006264620 A JP 2006264620A JP 2006264620 A JP2006264620 A JP 2006264620A JP 2008079915 A JP2008079915 A JP 2008079915A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- needle
- manufacturing
- positive photoresist
- resist
- mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Media Introduction/Drainage Providing Device (AREA)
Abstract
大量生産に適し、先端が鋭利で根元が太く強度の高い微細な針状体の製造方法および針状体を提供する事を目的とする。
【解決手段】
微細な針状体の製造方法において、基材上にポジ型フォトレジストを塗布する工程と、前記ポジ型フォトレジストに、開口部を有するマスクを用いてパターニング処理を行う工程と、前記パターニング処理を施したポジ型フォトレジストに充填層を形成する工程と、前記充填層を剥離する工程と、を含み、前記開口部を有するマスクは、開口部を通過した通過光を前記ポジ型フォトレジストに集光させるマイクロレンズを有することを特徴とする針状体の製造方法を提供する。
【選択図】図1
Description
微細な針状体を作成する際には、針状体を直接製造するものと、まず版型を作り転写工程を経て製品を作製するタイプのものがある。
さらに、本発明の針状体の製造方法は、生体適合材料を用いて転写加工成形を行うことを特徴とする。生体適合材料(医療用シリコーン樹脂や、マルトース、ポリ乳酸、デキストラン、糖質等)に転写することで、生体に低負荷の材料を用いた針状体を製造することが可能となる。生体適合材料を用いれば、微細な針状体が折れて、体内に取り残された場合も、無害であるという効果を奏する。
図1(b)のように基材10の表面にレジスト11を塗布する。基材には、例えばシリコン・ガラスなどを用いることが出来る。しかし、レジスト塗布面が平滑であればそれらに限定されるものではないことは、本発明の構成より明らかである。レジストには例えば、ポジ型レジストを用い、塗布方法は例えばスピンコート法によって塗布処理を行う。さらに、このレジスト付基材にベーク処理を施すことによって、余分な溶媒を揮発させて除去する。ベーク処理は一般的に100μmの厚さのレジストにつき1時間程度が目安とされている。また、一度の塗布処理で所望の厚さに満たない場合には、塗布処理とベーク処理を繰り返す重ね塗り処理によって所望の厚さに至るまで塗布処理を行う。
次に、図1(c)のように塗布処理を終えたレジスト付基材10aの上にマスク12を配置し、露光処理を行う。このとき、マスク12は、レジストに対向する位置に配置され、マスク12の開口部の相当する位置に、開口部を通過した通過光をレジストに集光させるマイクロレンズを有している。
次に、図1(e)〜(f)のように逆円錐形状に作製した版型に充填層を形成・剥離処理を行い、針状体を形成する。充填層の形成・剥離には、例えばインプリント法を用いる。
リコンウェハを用意した。
11:レジスト
12,20:マスク
13:入射光
14,21:レンズ
15:逆円錐形状
16:充填層
17,31:針状体
30:転写基材
Claims (3)
- 微細な針状体の製造方法において、
基材上にポジ型フォトレジストを塗布する工程と、
前記ポジ型フォトレジストに、開口部を有するマスクを用いてパターニング処理を行う工程と、
前記パターニング処理を施したポジ型フォトレジストに充填層を形成する工程と、
前記充填層を剥離する工程と、を含み、
前記開口部を有するマスクは、開口部を通過した通過光を前記ポジ型フォトレジストに集光させるマイクロレンズを有すること
を特徴とする針状体の製造方法。 - 前記充填層に生体適合樹脂を用いることを特徴とする請求項1に記載の針状体の製造方法。
- 請求項1または2のいずれかに記載の針状体の製造方法により製造された針状体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006264620A JP4888011B2 (ja) | 2006-09-28 | 2006-09-28 | 針状体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006264620A JP4888011B2 (ja) | 2006-09-28 | 2006-09-28 | 針状体およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008079915A true JP2008079915A (ja) | 2008-04-10 |
JP4888011B2 JP4888011B2 (ja) | 2012-02-29 |
Family
ID=39351357
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006264620A Active JP4888011B2 (ja) | 2006-09-28 | 2006-09-28 | 針状体およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4888011B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101008603B1 (ko) | 2008-07-31 | 2011-01-17 | 고려대학교 산학협력단 | 마이크로 렌즈를 이용한 할로우 타입의 고분자 미세 바늘어레이 및 그 제조방법 |
KR101787945B1 (ko) | 2017-02-17 | 2017-10-19 | 부산대학교 산학협력단 | 리소그래피를 이용한 마이크로니들용 몰드의 제조방법 |
KR20180095373A (ko) * | 2017-02-17 | 2018-08-27 | 부산대학교 산학협력단 | 인터로킹 기능을 가지는 마이크로니들용 몰드의 제조방법 |
EP4031228A4 (en) * | 2019-09-20 | 2023-11-15 | National Science and Technology Development Agency | METHOD FOR PRODUCING MICRONEEDLES |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103011060A (zh) * | 2012-12-17 | 2013-04-03 | 中国科学院半导体研究所 | 制备半球形微纳米透镜阵列的方法 |
CN106390301A (zh) * | 2016-11-08 | 2017-02-15 | 学校法人金泉大学 | 兼备改善皮肤和治疗疤痕的发光二极管美容面膜 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004090304A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Canon Inc | 光学部材成形用金型、光学部材成形用金型の製造方法、および光学部材の製造方法 |
JP2004526581A (ja) * | 2001-03-14 | 2004-09-02 | ザ プロクター アンド ギャンブル カンパニー | ソフトリソグラフィ及びフォトリソグラフィを使用して微小針(microneedles)構造を製造する方法 |
WO2006075716A1 (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-20 | Fujikura Ltd. | 医薬物運搬用器具とその製造方法 |
-
2006
- 2006-09-28 JP JP2006264620A patent/JP4888011B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004526581A (ja) * | 2001-03-14 | 2004-09-02 | ザ プロクター アンド ギャンブル カンパニー | ソフトリソグラフィ及びフォトリソグラフィを使用して微小針(microneedles)構造を製造する方法 |
JP2004090304A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Canon Inc | 光学部材成形用金型、光学部材成形用金型の製造方法、および光学部材の製造方法 |
WO2006075716A1 (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-20 | Fujikura Ltd. | 医薬物運搬用器具とその製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101008603B1 (ko) | 2008-07-31 | 2011-01-17 | 고려대학교 산학협력단 | 마이크로 렌즈를 이용한 할로우 타입의 고분자 미세 바늘어레이 및 그 제조방법 |
KR101787945B1 (ko) | 2017-02-17 | 2017-10-19 | 부산대학교 산학협력단 | 리소그래피를 이용한 마이크로니들용 몰드의 제조방법 |
KR20180095373A (ko) * | 2017-02-17 | 2018-08-27 | 부산대학교 산학협력단 | 인터로킹 기능을 가지는 마이크로니들용 몰드의 제조방법 |
KR101979493B1 (ko) | 2017-02-17 | 2019-05-16 | 부산대학교 산학협력단 | 인터로킹 기능을 가지는 마이크로니들용 몰드의 제조방법 |
EP4031228A4 (en) * | 2019-09-20 | 2023-11-15 | National Science and Technology Development Agency | METHOD FOR PRODUCING MICRONEEDLES |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4888011B2 (ja) | 2012-02-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5948308B2 (ja) | 一体化マイクロニードルアレイ並びにこれを含む組成物およびシステム | |
JP5717322B2 (ja) | 針状体アレイ原版の製造方法 | |
JP4888011B2 (ja) | 針状体およびその製造方法 | |
WO2008004597A1 (fr) | Procédé de fabrication d'une micro-aiguille | |
JP4954656B2 (ja) | 針状体および針状体の製造方法 | |
JP5285943B2 (ja) | 針状体アレイおよび針状体アレイ製造方法 | |
JP5023671B2 (ja) | 針状体の製造方法 | |
JP4888018B2 (ja) | 針状体の製造方法及び針状体 | |
JP6565906B2 (ja) | 針状体の製造方法、及び針状体 | |
JP2009072271A (ja) | 針状体および針状体の製造方法 | |
JP4978245B2 (ja) | 針状体、針状体製造方法および薬物輸送デバイス | |
JP5173332B2 (ja) | マイクロニードルおよびマイクロニードル製造方法 | |
JP5568234B2 (ja) | 針状体および針状体製造方法 | |
JP5412045B2 (ja) | 針状体アレイおよびそのアレイ製造方法 | |
JP5098237B2 (ja) | 針状体の製造方法 | |
JP7202638B2 (ja) | 先端分離型マイクロニードル | |
JP6476799B2 (ja) | 針状体の製造方法 | |
JP5223278B2 (ja) | マイクロニードル製造方法 | |
JP5034777B2 (ja) | 針状体の作製方法ならびに製造方法及び針状体 | |
JP5216312B2 (ja) | 医薬物運搬用器具の製造方法 | |
KR101008603B1 (ko) | 마이크로 렌즈를 이용한 할로우 타입의 고분자 미세 바늘어레이 및 그 제조방법 | |
JP5205016B2 (ja) | 針状体、針状体製造方法 | |
JP5593355B2 (ja) | 針状体および針状体製造方法 | |
JP6268733B2 (ja) | 針状体の製造方法 | |
JP4940975B2 (ja) | 針状体の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090825 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100825 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110728 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110803 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110915 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111115 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111128 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4888011 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141222 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |