JP2008078459A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板面内の膜厚の均一性を向上させ、もって基板の処理枚数を増大させる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置10は、基板54を処理する処理室41と、処理室41内の基板54を加熱するヒータ46と、処理室41内で複数枚の基板54を多段に支持する基板支持具30と、基板支持具30の下方に設けられ複数枚の断熱板86を多段に支持するように構成された断熱板ホルダ81とを有する。断熱板86は基板54と中心が異なるように配置される。
【選択図】図4
【解決手段】基板処理装置10は、基板54を処理する処理室41と、処理室41内の基板54を加熱するヒータ46と、処理室41内で複数枚の基板54を多段に支持する基板支持具30と、基板支持具30の下方に設けられ複数枚の断熱板86を多段に支持するように構成された断熱板ホルダ81とを有する。断熱板86は基板54と中心が異なるように配置される。
【選択図】図4
Description
本発明は、半導体ウエハやガラス基板等の基板を処理するための基板処理装置に関するものである。
この種の基板処理装置において、反応管の外周にヒータを配置し、該ヒータにより基板を加熱処理するものが知られている。また、開放された反応管の下部からの放熱を抑制するため該反応管の下部に断熱板を配設するものも知られている(例えば特許文献1)。
しかしながら、上記従来の基板処理装置において成膜処理等の基板処理を行なう場合、ボートの下方に位置する基板が他の基板と比較し低温となる傾向があった。これは、断熱板が配設されているものの、反応管の下部が開放され、反応管の外周にヒータが配置されている炉の構造により、反応管の下端部から放熱(熱逃げ)することが原因と考えられる。また、ヒータの一部分には一対のヒータ端子(給電部)が配設されており、このヒータ端子周辺が他の部分と比べ低温になる傾向もあった。これは、ヒータ端子が外部に向けて開放されているとともに該ヒータ端子間にはヒータ素線が無いことが原因と考えられる。これらの要因により、特に反応管の下部に配置された基板においては、基板面内の温度差が大きくなり、基板面内の膜厚の均一性が劣化する傾向があった。このように、基板面内の膜厚の均一性が劣化した基板は、製品として使用することができず、一処理(1バッチ)あたりの基板の処理枚数が減少するとの問題があった。
本発明の目的は、上記従来の問題を解消し、基板面内の膜厚の均一性を向上させ、もって基板の処理枚数を増大させる基板処理装置を提供することにある。
本発明の特徴とするところは、基板を処理する処理室と、前記処理室内の基板を加熱するヒータと、前記処理室内で複数枚の基板を多段に支持する支持具と、前記支持具の下方に設けられ複数枚の断熱板を多段に支持するように構成された断熱板ホルダとを有し、前記断熱板は前記基板と中心が異なるように配置される基板処理装置にある。
好適には、更に前記ヒータに給電するヒータ端子を有し、前記断熱板は前記ヒータ端子が配置された側に寄せて配置される。
また、本発明の特徴とするところは、処理室内に複数枚の基板を多段に配置するとともに、その下方に複数枚の断熱板を基板と中心が異なるように多段に配置する工程と、その状態で処理室内の基板をヒータにより加熱して処理する工程と、処理後の基板を前記処理室内から取り出す工程とを有する基板処理方法、基板の製造方法及び半導体装置の製造方法にある。
本発明によれば、断熱板が基板と中心が異なるように配置されているので、処理室内の部分的な放熱(熱逃げ)を抑制し、基板面内の膜厚の均一性を向上させ、もって基板の処理枚数を増大させることができる。
次に本発明の第1の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1に、本発明の実施の形態に係る熱処理装置10の一例を示す。この熱処理装置10は、バッチ式縦型熱処理装置であり、主要部が配置される筺体12を有する。この筺体12の正面側には、ポッドステージ14が接続されており、このポッドステージ14にポッド16が搬送される。ポッド16には、例えば25枚の被処理基板としてのウエハが収納され、図示しない蓋が閉じられた状態でポッドステージ14にセットされる。
図1に、本発明の実施の形態に係る熱処理装置10の一例を示す。この熱処理装置10は、バッチ式縦型熱処理装置であり、主要部が配置される筺体12を有する。この筺体12の正面側には、ポッドステージ14が接続されており、このポッドステージ14にポッド16が搬送される。ポッド16には、例えば25枚の被処理基板としてのウエハが収納され、図示しない蓋が閉じられた状態でポッドステージ14にセットされる。
筺体12内の正面側であって、ポッドステージ14に対向する位置には、ポッド搬送装置18が配置されている。また、このポッド搬送装置18の近傍には、ポッド棚20、ポッドオープナ22及び基板枚数検知器24が配置されている。ポッド棚20はポッドオープナ22の上方に配置され、基板枚数検知器24はポッドオープナ22に隣接して配置される。ポッド搬送装置18は、ポッドステージ14とポッド棚20とポッドオープナ22との間でポッド16を搬送する。ポッドオープナ22は、ポッド16の蓋を開けるものであり、この蓋が開けられたポッド16内の基板の枚数が基板枚数検知器24により検知される。
さらに、筺体12内には、基板移載機26、ノッチアライナ28及び支持具としての基板支持具(ボート)30が配置されている。基板移載機26は、例えば5枚の基板を取り出すことができるアーム(ツイーザ)32を有し、このアーム32を動かすことにより、ポッドオープナ22の位置に置かれたポッド、ノッチアライナ28及び基板支持具30間で基板を搬送する。ノッチアライナ28は、基板に形成されたノッチまたはオリフラを検出して基板のノッチまたはオリフラを一定の位置に揃えるものである。
さらに、筺体12内の背面側上部には反応炉40が配置されている。この反応炉40内に、複数枚の基板を装填した基板支持具30が搬入され熱処理が行われる。
図2に反応炉40の一例を示す。この反応炉40は、炭化珪素(SiC)製の反応管42を有する。この反応管42は、上端部が閉塞され下端部が開放された円筒形状をしており、開放された下端部はフランジ状に形成されている。この反応管42の下方には反応管42を支持するよう石英製のアダプタ44が配置される。このアダプタ44は上端部と下端部が開放された円筒形状をしており、開放された上端部と下端部はフランジ状に形成されている。アダプタ44の上端部フランジの上面に反応管42の下端部フランジの下面が当接している。この反応管42とアダプタ44により反応容器43が形成されている。この反応容器43は基板を処理する処理室41を有し、また、反応容器43のうち、アダプタ44を除いた反応管42の周囲には、処理室41内の基板を加熱するヒータ46が配置されている。
反応管42とアダプタ44により形成される反応容器43の下部は、基板支持具30を挿入するために開放され、この開放部分(炉口部)は炉口シールキャップ48がOリング49を挟んでアダプタ44の下端部フランジの下面に当接することにより密閉されるようにしてある。炉口シールキャップ48は基板支持具30を支持し、基板支持具30と共に昇降可能に設けられている。炉口シールキャップ48と基板支持具30との間には、すなわち基板支持具30の下方には断熱部材50が設けられている。断熱部材50は、複数枚の断熱板86と、複数枚の断熱板86を水平姿勢で多段に支持する断熱板ホルダ81とで構成される。基板支持具30は、多数枚、例えば25〜100枚の基板54を略水平状態で隙間をもって多段に支持し、反応管42内に装填される。
1200℃以上の高温での処理を可能とするため、反応管42は炭化珪素(SiC)製としてある。このSiC製の反応管42を炉口部まで延ばし、この炉口部をOリングを介して炉口シールキャップでシールする構造とすると、SiC製の反応管を介して伝達された熱によりシール部まで高温となり、シール材料であるOリングを溶かしてしまうおそれがある。Oリングを溶かさないようにSiC製の反応管42のシール部を冷却すると、SiC製の反応管42が温度差による熱膨張差により破損してしまう。そこで、反応容器43のうちヒータ46による加熱領域をSiC製の反応管42で構成し、ヒータ46による加熱領域から外れた部分を石英製のアダプタ44で構成することで、SiC製の反応管42からの熱の伝達を和らげ、Oリングを溶かすことなく、また反応管42を破損することなく炉口部をシールすることが可能となる。また、SiC製の反応管42と石英製のアダプタ44とのシールは、双方の面精度を良くすれば、SiC製の反応管42はヒータ46の加熱領域に配置されているため温度差が発生せず、等方的に熱膨張する。よって、SiC製の反応管42下端部のフランジ部分は平面を保つことができ、アダプタ44との間に隙間ができないので、SiC製の反応管42を石英製のアダプタ44に載せるだけでシール性を確保することができる。
アダプタ44には、アダプタ44と一体にガス供給口56とガス排気口59とが設けられている。ガス供給口56にはガス導入管60が、ガス排気口59には排気管62がそれぞれ接続されている。
アダプタ44の内壁は反応管42の内壁よりも内側にあり(突出しており)、アダプタ44の側壁部(肉厚部)には、ガス供給口56と連通し、垂直方向に向かうガス導入経路64が設けられ、その上部にはノズル取付孔が上方に開口するように設けられている。このノズル取付孔は、反応管42の内部におけるアダプタ44の上端部フランジ側の上面に開口しており、ガス供給口56およびガス導入経路64と連通している。このノズル取付孔にはノズル66が挿入され固定されている。すなわち、反応管42内部におけるアダプタ44の反応管42の内壁よりも内側に突出下部分の上面にノズル66が接続され、このアダプタ44の上面によりノズル66が支持されることとなる。この構成により、ノズル接続部は熱で変形しにくく、また破損しにくい。また、ノズル66とアダプタ44の組立て、解体が容易になるというメリットもある。ガス導入管60からガス供給口56に導入された処理ガスは、アダプタ44の側壁部に設けられたガス導入経路64、ノズル66を介して反応管42内に供給される。なお、ノズル66は、反応管42の内壁に沿って基板配列領域の上端よりも上方、すなわち基板支持具30の上端よりも上方まで延びるように構成される。
次に、上述したように構成された基板処理装置10の作用について説明する。
なお、以下の説明において、基板処理装置10を構成する各部の動作はコントローラ70により制御される。
なお、以下の説明において、基板処理装置10を構成する各部の動作はコントローラ70により制御される。
まず、ポッドステージ14に複数枚の基板54を収容したポッド16がセットされると、ポッド搬送装置18によりポッド16をポッドステージ14からポッド棚20へ搬送し、このポッド棚20にストックする。次に、ポッド搬送装置18により、このポッド棚20にストックされたポッド16をポッドオープナ22に搬送してセットし、このポッドオープナ22によりポッド16の蓋を開き、基板枚数検知器24によりポッド16に収容されている基板54の枚数を検知する。
次に、基板移載機26により、ポッドオープナ22の位置にあるポッド16から基板54を取り出し、ノッチアライナ28に移載する。このノッチアライナ28においては、基板54を回転させながら、ノッチを検出し、検出した情報に基づいて複数枚の基板54のノッチを同じ位置に整列させる。次に、基板移載機26により、ノッチアライナ28から基板54を取り出し、基板支持具30に移載する(基板移載工程)。なお、断熱板86は、基板支持具30に装填する基板54と中心が異なるように、予め断熱板ホルダ81に多段に装填しておく。
このようにして、1バッチ分の基板54を基板支持具30に移載すると、例えば600℃程度の温度に設定された反応炉40(処理室41)内に複数枚の基板54を装填した基板支持具30を装入(搬入)し、炉口シールキャップ48により反応炉40内を密閉する(基板搬入工程)。これにより、処理室41内に複数枚の基板54が多段に配置されるとともに、その下方に複数枚の断熱板86が基板54と中心が異なるように多段に配置されることとなる。
次に、ヒータ46により炉内温度を熱処理温度まで昇温させて(昇温工程)、ガス導入管60からガス導入口56、アダプタ44側壁部に設けられたガス導入経路64及びノズル66を介して反応管42(処理室41)内に処理ガスを導入する。処理ガスには、窒素(N2)、アルゴン(Ar)、水素(H2)、酸素(O2)等が含まれる。基板54を熱処理する際、基板54は例えば1200℃程度以上の温度に加熱される(加熱工程)。
基板54の熱処理が終了すると、例えば炉内温度を600℃程度の温度に降温した後、熱処理後の基板54を支持した基板支持具30を反応炉40(処理室41)内からアンロード(搬出)し(基板搬出工程)、基板支持具30に支持された全ての基板54が冷えるまで、基板支持具30を所定位置で待機させる(基板冷却工程)。次に、待機させた基板支持具30の基板54が所定温度まで冷却されると、基板移載機26により、基板支持具30から基板54を取り出し、ポッドオープナ22にセットされている空のポッド16に搬送して収容する(基板回収工程)。次に、ポッド搬送装置18により、基板54が収容されたポッド16をポッド棚20、またはポッドステージ14に搬送して一連の処理が完了する。
次にヒータ46の周辺構造を図3に基づいて説明する。
図3に示すように、ヒータ46はヒータ素線72及び断熱材74から構成されている。断熱材74は、上端部が閉塞され下端部が開放された円筒形状をしており、反応管42の外周面を覆うように配設されている。ヒータ素線72は、断熱材74の内周面に沿うよう水平断面の形状が略円形状に形成されている。このヒータ素線72の一部分には切欠き部76が形成されており、この切欠き部76の両端部には一対のヒータ端子(給電部)78,78が径方向外向きに屈曲されて形成されている。
図3に示すように、ヒータ46はヒータ素線72及び断熱材74から構成されている。断熱材74は、上端部が閉塞され下端部が開放された円筒形状をしており、反応管42の外周面を覆うように配設されている。ヒータ素線72は、断熱材74の内周面に沿うよう水平断面の形状が略円形状に形成されている。このヒータ素線72の一部分には切欠き部76が形成されており、この切欠き部76の両端部には一対のヒータ端子(給電部)78,78が径方向外向きに屈曲されて形成されている。
次に断熱部材50を図4に基づいて説明する。
断熱部材50は、SiC製または石英製の断熱板86と、SiC製または断熱板ホルダ81とで構成される。断熱板ホルダ81は、上板80と下板82、及びこれら上板80と下板82とを接続する例えば3〜4本の支柱84を有し、基板支持具30と略同様な(基板支持具30を短くしたような)形状である。それぞれの支柱84には断熱板86を保持する多数の溝が形成されており、この断熱板ホルダ81は処理室41内で複数枚の断熱板86を水平姿勢で多段に支持するように構成されている。断熱板86は、基板54と略同一径の円板形状に形成されており、ボート30に支持された基板54と中心が異なるように配置されている。より具体的には、断熱板86は、ヒータ端子78,78(図3に示す)が設置された側に寄せて配置されている。これら断熱板86を断熱板ホルダ81に設置する際には、断熱板86をヒータ端子78,78側に偏心させて配置するようになっている。
断熱部材50は、SiC製または石英製の断熱板86と、SiC製または断熱板ホルダ81とで構成される。断熱板ホルダ81は、上板80と下板82、及びこれら上板80と下板82とを接続する例えば3〜4本の支柱84を有し、基板支持具30と略同様な(基板支持具30を短くしたような)形状である。それぞれの支柱84には断熱板86を保持する多数の溝が形成されており、この断熱板ホルダ81は処理室41内で複数枚の断熱板86を水平姿勢で多段に支持するように構成されている。断熱板86は、基板54と略同一径の円板形状に形成されており、ボート30に支持された基板54と中心が異なるように配置されている。より具体的には、断熱板86は、ヒータ端子78,78(図3に示す)が設置された側に寄せて配置されている。これら断熱板86を断熱板ホルダ81に設置する際には、断熱板86をヒータ端子78,78側に偏心させて配置するようになっている。
このように、断熱板86をヒータ端子78,78側に寄せて(偏心させて)配置することにより、処理室41内の一部分、すなわち反応容器43の下方におけるヒータ端子78,78が配設された部分からの放熱(熱逃げ)を抑制することができる。
次に、実施例及び比較例について説明する。
[実施例]
本発明における断熱部材50を配設した反応炉40を用いて基板54の酸化処理を行なった。処理温度は1000℃程度、処理圧力は大気圧、使用するガスは酸素ガスとした。上記の条件において、基板支持具30の上部、中央部、下部及び最下部に位置する基板54に形成された酸化膜の基板面内膜厚レンジ(基板面内における膜厚の最も厚い部分と膜厚の最も薄い部分との差)と基板面内温度差(基板面内における温度の最も高い部分と最も低い部分との差)とを測定した。
本発明における断熱部材50を配設した反応炉40を用いて基板54の酸化処理を行なった。処理温度は1000℃程度、処理圧力は大気圧、使用するガスは酸素ガスとした。上記の条件において、基板支持具30の上部、中央部、下部及び最下部に位置する基板54に形成された酸化膜の基板面内膜厚レンジ(基板面内における膜厚の最も厚い部分と膜厚の最も薄い部分との差)と基板面内温度差(基板面内における温度の最も高い部分と最も低い部分との差)とを測定した。
[比較例]
図7に比較例における断熱部材100が示されている。この断熱部材100は、断熱板102と、断熱板ホルダ101とで構成されている。断熱板ホルダ101には複数枚の断熱板102が多段に支持されている。断熱板102は、基板54と略同一径の円板形状に形成されており、ボート30に支持された基板54の中心と該断熱板102の中心とが一致するように配置されている。
図7に比較例における断熱部材100が示されている。この断熱部材100は、断熱板102と、断熱板ホルダ101とで構成されている。断熱板ホルダ101には複数枚の断熱板102が多段に支持されている。断熱板102は、基板54と略同一径の円板形状に形成されており、ボート30に支持された基板54の中心と該断熱板102の中心とが一致するように配置されている。
上記比較例における断熱部材100を設置した反応炉40を用いて基板54の酸化処理を行なった。処理条件は実施例と同じ条件とし、実施例と同様に、ボート30の上部、中央部、下部及び最下部に位置する基板54に形成された酸化膜の基板面内膜厚レンジと基板面内温度差とを測定した。
実施例及び比較例における基板面内膜厚レンジと基板面内温度差の測定結果を図5に基づいて説明する。
図5に示すように、ボート30の上部及び中央部に位置する基板54に形成された酸化膜の基板面内膜厚レンジ及び基板面内温度差は、実施例と比較例とでさほど差異がみられなかった。一方、ボート30の下部及び最下部に位置する基板54に形成された酸化膜の基板面内膜厚レンジ及び基板面内温度差は、比較例と比較して実施例が良い値となった。具体的には、実施例における最下部の基板54の面内温度差は比較例と比較して約1℃程度低減され、面内膜厚レンジは比較例と比較して15〜20Å程度低減された。
図5に示すように、ボート30の上部及び中央部に位置する基板54に形成された酸化膜の基板面内膜厚レンジ及び基板面内温度差は、実施例と比較例とでさほど差異がみられなかった。一方、ボート30の下部及び最下部に位置する基板54に形成された酸化膜の基板面内膜厚レンジ及び基板面内温度差は、比較例と比較して実施例が良い値となった。具体的には、実施例における最下部の基板54の面内温度差は比較例と比較して約1℃程度低減され、面内膜厚レンジは比較例と比較して15〜20Å程度低減された。
このように、本発明の基板処理装置10によれば、部分的な放熱、すなわち反応容器43の下方におけるヒータ端子78,78が配設された部分からの放熱(熱逃げ)を抑制することができるので、基板面内の温度差を減少させるとともに基板面内の膜厚の均一性を向上させることができる。また、基板支持具30下部及び最下部に位置する基板面内の膜厚の均一性向上により、処理室42内における基板処理領域を拡大することができ、一処理(1バッチ)あたりの基板の処理枚数を増大させることができる。
図6に本発明の第2の実施形態が示されている。
図6に示すように、本実施形態における断熱板86は、基板54よりも大きな径を有する円板形状に形成されており、断熱板ホルダ81に多段に支持されている。この断熱板86の径は、熱処理時、基板支持具30の搬入時又は搬出時等に該断熱板86が反応容器43と接触しない範囲内で大きいほど好ましい。
図6に示すように、本実施形態における断熱板86は、基板54よりも大きな径を有する円板形状に形成されており、断熱板ホルダ81に多段に支持されている。この断熱板86の径は、熱処理時、基板支持具30の搬入時又は搬出時等に該断熱板86が反応容器43と接触しない範囲内で大きいほど好ましい。
このように、断熱板86が基板54より大きな径を有することにより、第1の実施形態と同様、反応容器43の下方におけるヒータ端子78,78が配設された部分からの放熱(熱逃げ)を抑制することができる。
本発明の基板処理装置は、基板の製造工程に適用することができる。
SOI(Silicon On Insulator)ウエハの一種であるSIMOX(Separation by Implanted Oxygen)ウエハの製造工程の一工程に本発明の基板処理装置を適用する例について説明する。
SOI(Silicon On Insulator)ウエハの一種であるSIMOX(Separation by Implanted Oxygen)ウエハの製造工程の一工程に本発明の基板処理装置を適用する例について説明する。
まずイオン注入装置等により単結晶シリコンウエハ内への酸素イオンをイオン注入する。その後、酸素イオンが注入されたウエハを上記実施の形態の基板処理装置を用いて、例えばAr、O2雰囲気のもと、1300℃〜1400℃、例えば1350℃以上の高温でアニールする。これらの処理により、ウエハ内部にSiO2層が形成された(SiO2層が埋め込まれた)SIMOXウエハが作製される。
また、SIMOXウエハの他、水素アニールウエハやArアニールウエハの製造工程の一工程に本発明の基板処理装置を適用することも可能である。この場合、ウエハを本発明の基板処理装置を用いて、水素雰囲気中もしくはAr雰囲気中で1200℃程度以上の高温でアニールすることとなる。これによりIC(集積回路)が作られるウエハ表面層の結晶欠陥を低減することができ、結晶の完全性を高めることができる。また、この他、エピタキシャルウエハの製造工程の一工程に本発明の基板処理装置を適用することも可能である。
以上のような基板の製造工程の一工程として行う高温アニール処理を行う場合であっても、本発明の基板処理装置を適用することができる。
また、本発明の基板処理装置は、半導体装置(デバイス)の製造工程に適用することも可能である。特に、比較的高い温度で行う熱処理工程、例えば、ウェット酸化、ドライ酸化、水素燃焼酸化(パイロジェニック酸化)、HCl酸化等の熱酸化工程や、硼素(B)、リン(P)、砒素(As)、アンチモン(Sb)等の不純物(ドーパント)を半導体薄膜に拡散する熱拡散工程等に適用するのが好ましい。
このような半導体デバイスの製造工程の一工程としての熱処理工程を行なう場合においても、本発明の基板処理装置を適用することができる。
本発明は、半導体ウエハやガラス基板等の基板を処理する基板処理装置において、基板の処理枚数を増大させる必要があるものに利用することができる。
10 基板処理装置
30 基板支持具
41 処理室
42 反応管
54 基板
81 断熱板ホルダ
86 断熱板
30 基板支持具
41 処理室
42 反応管
54 基板
81 断熱板ホルダ
86 断熱板
Claims (1)
- 基板を処理する処理室と、
前記処理室内の基板を加熱するヒータと、
前記処理室内で複数枚の基板を多段に支持する支持具と、
前記支持具の下方に設けられ複数枚の断熱板を多段に支持するように構成された断熱板ホルダと、
を有し、
前記断熱板は前記基板と中心が異なるように配置されることを特徴とする基板処理装置。
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