JP2008078253A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008078253A JP2008078253A JP2006253730A JP2006253730A JP2008078253A JP 2008078253 A JP2008078253 A JP 2008078253A JP 2006253730 A JP2006253730 A JP 2006253730A JP 2006253730 A JP2006253730 A JP 2006253730A JP 2008078253 A JP2008078253 A JP 2008078253A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- atomic layer
- layer deposition
- fluorine
- introducing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
- Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
Abstract
【解決手段】半導体領域とゲート電極との間にゲート絶縁膜が形成される半導体装置の製造方法において、前記ゲート絶縁膜を原子層蒸着法により膜中にフッ素を含有する金属酸化膜またはフッ素を含有する金属シリケート膜で形成することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
Claims (9)
- 半導体領域とゲート電極との間にゲート絶縁膜が形成される半導体装置の製造方法において、
前記ゲート絶縁膜を原子層蒸着法により膜中にフッ素を含有する金属酸化膜またはフッ素を含有する金属シリケート膜で形成する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記金属酸化膜を形成する前記原子層蒸着法の原料ガスに、
前記金属酸化膜の金属を含む金属原料ガスと、
酸化性ガスと、
フッ素を含有するガスとを用いる
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記フッ素を含有するガスと前記酸化性ガスを同時に原子層蒸着雰囲気に導入する
ことを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法。 - 前記フッ素を含有するガスをプラズマ化して原子層蒸着雰囲気に導入する
ことを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法。 - 前記酸化性ガスを原子層蒸着雰囲気に導入する工程中に前記フッ素を含有するガスを該原子層蒸着雰囲気に導入する
ことを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法。 - 前記フッ素を含有するガスを原子層蒸着雰囲気に導入しながら該原子層蒸着雰囲気にプラズマを発生させる
ことを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法。 - 前記原子層蒸着法は、
原子層蒸着雰囲気に前記金属酸化膜の金属を含む金属原料ガスを導入する第1ステップと、
前記金属原料ガスを排気するとともに前記原子層蒸着雰囲気にパージガスを導入する第2ステップと、
前記パージガスを排気するとともに前記原子層蒸着雰囲気に前記酸化性ガスと前記フッ素を含有するガスとを導入する第3ステップと、
前記酸化性ガスと前記フッ素を含有するガスとを排気するとともに前記原子層蒸着雰囲気にパージガスを導入する第4ステップと
を1サイクルとして、
前記1サイクルを繰り返し行う
ことを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法。 - 前記原子層蒸着法は、
原子層蒸着雰囲気に前記金属酸化膜の金属を含む金属原料ガスを導入する第1ステップと、
前記金属原料ガスを排気するとともに前記原子層蒸着雰囲気にパージガスを導入する第2ステップと、
前記パージガスを排気するとともに前記原子層蒸着雰囲気に前記酸化性ガスを導入する第3ステップと、
前記酸化性ガスを排気するとともに前記原子層蒸着雰囲気にパージガスを導入する第4ステップと、
前記パージガスを排気するとともに前記原子層蒸着雰囲気に前記フッ素を含有するガスをプラズマ化して導入する第5ステップと
を1サイクルとして、
前記1サイクルを繰り返し行う
ことを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法。 - 前記原子層蒸着法は、
原子層蒸着雰囲気に前記金属酸化膜の金属を含む金属原料ガスを導入する第1ステップと、
前記金属原料ガスを排気するとともに前記原子層蒸着雰囲気にパージガスを導入する第2ステップと、
前記パージガスを排気するとともに前記原子層蒸着雰囲気に前記酸化性ガスを導入する第3ステップと、
前記酸化性ガスを排気するとともに前記原子層蒸着雰囲気にパージガスを導入する第4ステップと、
前記パージガスを排気するとともに前記原子層蒸着雰囲気に前記フッ素を含有するガスを導入しながら該原子層蒸着雰囲気にプラズマを発生させる第5ステップと
を1サイクルとして、
前記1サイクルを繰り返し行う
ことを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006253730A JP2008078253A (ja) | 2006-09-20 | 2006-09-20 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006253730A JP2008078253A (ja) | 2006-09-20 | 2006-09-20 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008078253A true JP2008078253A (ja) | 2008-04-03 |
Family
ID=39350041
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006253730A Ceased JP2008078253A (ja) | 2006-09-20 | 2006-09-20 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008078253A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012209394A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
JP2015042784A (ja) * | 2013-08-26 | 2015-03-05 | インダストリー−アカデミック コーペレイション ファウンデイション, ヨンセイ ユニバーシティ | 原子層堆積法にて酸化物薄膜の一部をハロゲンでドープすることができるハロゲンドーピングソース、該ハロゲンドーピングソースの製造方法、及び該ハロゲンソースを利用して原子層堆積法にて酸化物薄膜の一部をハロゲンでドープする方法並びに該方法を用いて成膜されたハロゲンドープ酸化物薄膜 |
WO2016079498A1 (en) * | 2014-11-17 | 2016-05-26 | The University Of Liverpool | Dielectric barrier layer |
CN111613523A (zh) * | 2020-05-20 | 2020-09-01 | 上海交通大学 | 一种提高原子层沉积介质薄膜的介电常数的方法 |
US11390947B2 (en) * | 2019-03-04 | 2022-07-19 | Applied Materials, Inc. | Method of forming a fluorinated metal film |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09266308A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-07 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2004303894A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Semiconductor Leading Edge Technologies Inc | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
WO2005117086A1 (en) * | 2004-05-21 | 2005-12-08 | Applied Materials, Inc. | Stabilization of high-k dielectric materials |
JP2006073758A (ja) * | 2004-09-01 | 2006-03-16 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体装置の製造方法 |
JP2006114747A (ja) * | 2004-10-15 | 2006-04-27 | Seiko Epson Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2006147896A (ja) * | 2004-11-22 | 2006-06-08 | Sony Corp | 薄膜の製造方法および半導体装置の製造方法 |
JP2008071976A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Toshiba Corp | 絶縁膜、およびそれを用いた半導体装置 |
-
2006
- 2006-09-20 JP JP2006253730A patent/JP2008078253A/ja not_active Ceased
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09266308A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-07 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2004303894A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Semiconductor Leading Edge Technologies Inc | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
WO2005117086A1 (en) * | 2004-05-21 | 2005-12-08 | Applied Materials, Inc. | Stabilization of high-k dielectric materials |
JP2006073758A (ja) * | 2004-09-01 | 2006-03-16 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体装置の製造方法 |
JP2006114747A (ja) * | 2004-10-15 | 2006-04-27 | Seiko Epson Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2006147896A (ja) * | 2004-11-22 | 2006-06-08 | Sony Corp | 薄膜の製造方法および半導体装置の製造方法 |
JP2008071976A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Toshiba Corp | 絶縁膜、およびそれを用いた半導体装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012209394A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
JP2015042784A (ja) * | 2013-08-26 | 2015-03-05 | インダストリー−アカデミック コーペレイション ファウンデイション, ヨンセイ ユニバーシティ | 原子層堆積法にて酸化物薄膜の一部をハロゲンでドープすることができるハロゲンドーピングソース、該ハロゲンドーピングソースの製造方法、及び該ハロゲンソースを利用して原子層堆積法にて酸化物薄膜の一部をハロゲンでドープする方法並びに該方法を用いて成膜されたハロゲンドープ酸化物薄膜 |
WO2016079498A1 (en) * | 2014-11-17 | 2016-05-26 | The University Of Liverpool | Dielectric barrier layer |
US11390947B2 (en) * | 2019-03-04 | 2022-07-19 | Applied Materials, Inc. | Method of forming a fluorinated metal film |
CN111613523A (zh) * | 2020-05-20 | 2020-09-01 | 上海交通大学 | 一种提高原子层沉积介质薄膜的介电常数的方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100993124B1 (ko) | 플라즈마 질화된 게이트 유전체의 두 단계 포스트 질화어닐링을 위한 개선된 제조 방법 | |
US7429540B2 (en) | Silicon oxynitride gate dielectric formation using multiple annealing steps | |
JP4708426B2 (ja) | 半導体基板を処理する方法 | |
US20080014759A1 (en) | Method for fabricating a gate dielectric layer utilized in a gate structure | |
US20090035927A1 (en) | Method of forming dielectric layers on a substrate and apparatus therefor | |
JP2007524994A (ja) | 低eotプラズマ窒化ゲート誘電体用の2ステップポスト窒化アニ−リング | |
JP2016517179A (ja) | 垂直nand素子のための新規のマスク除去方法 | |
US20060199384A1 (en) | Method of forming thin film, and method of manufacturing semiconductor device | |
JP4059183B2 (ja) | 絶縁体薄膜の製造方法 | |
US20220406572A1 (en) | Substrate processing method, substrate processing apparatus, and method for producing nanowire or nanosheet transistor | |
TW201608605A (zh) | 改質處理方法及半導體裝置之製造方法 | |
CN103295890B (zh) | 淀积在锗基或三五族化合物基衬底上的栅介质的处理方法 | |
JP2008078253A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
WO2011158534A1 (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
JP4742867B2 (ja) | Mis型電界効果トランジスタを備える半導体装置 | |
JP2008027932A (ja) | 半導体装置の製造方法および原子層蒸着装置 | |
JP2006128547A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2006245528A (ja) | 誘電体膜及びその形成方法 | |
JP2004266075A (ja) | 基板処理方法 | |
KR101690434B1 (ko) | 질소 함유 산화물 막 및 이의 형성 방법 | |
JP2012028713A (ja) | ゲートスタック形成方法 | |
JP4032889B2 (ja) | 絶縁膜の形成方法 | |
KR20100079149A (ko) | Sti구조에서의 실리콘 질화막 라이너 형성방법 | |
JP2008258614A (ja) | 基板上への酸窒化物薄膜の成長方法 | |
KR20120131813A (ko) | 반도체 소자의 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090706 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20091009 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20091106 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120522 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120524 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120712 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121127 |
|
A045 | Written measure of dismissal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045 Effective date: 20130326 |