JP2008060598A - ワックスレスマウント式研磨方法およびその装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】保水したバックパッドによる半導体ウェーハの保持力をほとんど低下させず、半導体ウェーハの外周ダレを簡単かつ低コストで防ぐワックスレスマウント式研磨方法および装置を提供する。
【解決手段】バックパッド15の中央部の表側にバックパッド15と同素材で略円形状の中央部分バックパッド16Aを一体形成し、テンプレート14の孔部内でバックパッド15の中央部をその外周部より研磨布13に向かって所定高さdだけ突出させ、この状態で半導体ウェーハWの研磨を行う。その結果、保水状態のバックパッド15および中央部分バックパッド16Aによる半導体ウェーハWの保持力をほとんど低下させず、半導体ウェーハWの外周ダレを、簡単かつ低コストで防止できる。
【選択図】図3
【解決手段】バックパッド15の中央部の表側にバックパッド15と同素材で略円形状の中央部分バックパッド16Aを一体形成し、テンプレート14の孔部内でバックパッド15の中央部をその外周部より研磨布13に向かって所定高さdだけ突出させ、この状態で半導体ウェーハWの研磨を行う。その結果、保水状態のバックパッド15および中央部分バックパッド16Aによる半導体ウェーハWの保持力をほとんど低下させず、半導体ウェーハWの外周ダレを、簡単かつ低コストで防止できる。
【選択図】図3
Description
この発明はワックスレスマウント式研磨方法およびその装置、詳しくはワックスレスで保持した半導体ウェーハの表面に機械的化学的研磨を行うワックスレスマウント式の研磨技術に関する。
従来より、シリコンウェーハの研磨方法の一種として、ワックスレスマウント式研磨方法が知られている。この方法に用いられるワックスレスマウント式研磨装置は、図5に示すように、上面に研磨布105が張設された研磨定盤104と、下面にウェーハ固定用のテンプレート102が設けられた研磨ヘッド101とを備えている。このテンプレート102は、保水性を有する不織布製のバックパッド103を介して、研磨ヘッド101の下面に設けられている。
研磨時には、バックパッド103に純水を供給し、その表面張力によって、テンプレート102の孔部内に収容されたシリコンウェーハWをその裏面側から保持する。このとき、シリコンウェーハWは、その研磨面の全域をテンプレート102の端面から所定高さだけ下方に向かって突出されている。
そして、遊離砥粒を含む研磨剤を研磨布105の研磨作用面に供給しながら、研磨ヘッド101を研磨定盤104上で回転させることで、シリコンウェーハWの研磨面が鏡面研磨される。
研磨時には、バックパッド103に純水を供給し、その表面張力によって、テンプレート102の孔部内に収容されたシリコンウェーハWをその裏面側から保持する。このとき、シリコンウェーハWは、その研磨面の全域をテンプレート102の端面から所定高さだけ下方に向かって突出されている。
そして、遊離砥粒を含む研磨剤を研磨布105の研磨作用面に供給しながら、研磨ヘッド101を研磨定盤104上で回転させることで、シリコンウェーハWの研磨面が鏡面研磨される。
しかしながら、このような従来のワックスレスマウント式の研磨では、以下の不都合があった。
すなわち、バックパッド103がやわらかい不織布からなるので、バックパッド103の外周部における保形性が低下していた。
具体的には、研磨時のシリコンウェーハWには、研磨ヘッド101側から面圧力が作用する。また、自転および公転による外力も加わる。この研磨ヘッド101の面圧力は、ミクロ的には面全域において均一ではない。
すなわち、バックパッド103がやわらかい不織布からなるので、バックパッド103の外周部における保形性が低下していた。
具体的には、研磨時のシリコンウェーハWには、研磨ヘッド101側から面圧力が作用する。また、自転および公転による外力も加わる。この研磨ヘッド101の面圧力は、ミクロ的には面全域において均一ではない。
この発明は、保水したバックパッドによる半導体ウェーハの保持力をほとんど低下せずに、半導体ウェーハの外周ダレを簡単かつ低コストで防止することができるワックスレスマウント式研磨方法および装置を提供することを、その目的としている。
さらに、この発明は、既存の研磨装置であっても、簡単かつ低コストでこの発明の効果を有する研磨装置に変更することができるワックスレスマウント式研磨方法およびその装置を提供することを、その目的としている。
さらに、この発明は、既存の研磨装置であっても、簡単かつ低コストでこの発明の効果を有する研磨装置に変更することができるワックスレスマウント式研磨方法およびその装置を提供することを、その目的としている。
請求項1に記載の発明は、環状のテンプレートの内側の孔部に半導体ウェーハを収容するとともに、この半導体ウェーハと研磨ヘッドとの間にバックパッドを介在させて半導体ウェーハを研磨するワックスレスマウント式研磨方法において、前記バックパッドの中央部の表側に、該バックパッドと同じ素材からなる略円形状の中央部分バックパッドを一体形成し、前記テンプレートの孔部内で前記バックパッドの中央部を、その外周部より厚肉化することで、前記半導体ウェーハの中央部を、その外周部より研磨布に向かって所定高さだけ突出させた状態で保持して半導体ウェーハを研磨するワックスレスマウント式研磨方法である。
研磨布は、研磨定盤の露出面のうち、研磨ヘッドとの対向面に展張される。研磨布としては、硬質ウレタンパッド、CeO2 パッドなどが挙げられる。
研磨剤としては、例えば焼成シリカやコロイダルシリカ(研磨砥粒)、アミン(加工促進剤)および有機高分子(ヘイズ抑制剤)などを混合したものを採用することができる。コロイダルシリカとは、珪酸微粒子の凝集が起こらないで1次粒子のまま水中に分散した透明または不透明の乳白色のコロイド液である。
研磨布は、研磨定盤の露出面のうち、研磨ヘッドとの対向面に展張される。研磨布としては、硬質ウレタンパッド、CeO2 パッドなどが挙げられる。
研磨剤としては、例えば焼成シリカやコロイダルシリカ(研磨砥粒)、アミン(加工促進剤)および有機高分子(ヘイズ抑制剤)などを混合したものを採用することができる。コロイダルシリカとは、珪酸微粒子の凝集が起こらないで1次粒子のまま水中に分散した透明または不透明の乳白色のコロイド液である。
半導体ウェーハは、代表的なシリコンウェーハ以外にも、例えばガリウム砒素ウェーハなど、各種のウェーハを採用することができる。
研磨ヘッドは、研磨定盤との対向面に1枚の半導体ウェーハが保持される枚葉式でもよいし、多数枚の半導体ウェーハが一括して保持されるバッチ式でもよい。また、この研磨ヘッドは、研磨布の表面に沿って往復運動する方式でもよいし、往復運動しない方式でもよい。往復運動する場合には、半導体ウェーハの外周部の一部を研磨布の外部にはみ出して研磨してもよいし、そうでなくてもよい。研磨ヘッドの使用台数は限定されない。1機でもよいし、複数機でもよい。
研磨ヘッドは、通常、研磨定盤の上方に対向配置されているが、これとは上下を反対にしてもよい。さらに、研磨ヘッドと研磨定盤との軸線方向をそれぞれ水平方向とした縦型の研磨装置でもよい。
研磨ヘッドは、研磨定盤との対向面に1枚の半導体ウェーハが保持される枚葉式でもよいし、多数枚の半導体ウェーハが一括して保持されるバッチ式でもよい。また、この研磨ヘッドは、研磨布の表面に沿って往復運動する方式でもよいし、往復運動しない方式でもよい。往復運動する場合には、半導体ウェーハの外周部の一部を研磨布の外部にはみ出して研磨してもよいし、そうでなくてもよい。研磨ヘッドの使用台数は限定されない。1機でもよいし、複数機でもよい。
研磨ヘッドは、通常、研磨定盤の上方に対向配置されているが、これとは上下を反対にしてもよい。さらに、研磨ヘッドと研磨定盤との軸線方向をそれぞれ水平方向とした縦型の研磨装置でもよい。
テンプレートは、そのプレート内側に、半導体ウェーハの直径より若干大径な孔部を有している。この孔部に半導体ウェーハが収容される。このテンプレートの高さは限定されない。ただし、半導体ウェーハの厚さと略同じ高さか1〜200μmだけ半導体ウェーハが突出する高さが好ましい。
このテンプレートの素材は限定されない。例えば、ガラスエポキシ樹脂や、各種のセラミックスなどが挙げられる。
バックパッド(厚肉部分を含む)の素材は限定されない。例えばスウェード布などの不織布が挙げられる。また、その硬度も限定されない。
バックパッドの厚さは限定されない。ただし、2mm以下が好ましい。2mmを超えると、バックパッドに硬度ムラが生じやすい。
このテンプレートの素材は限定されない。例えば、ガラスエポキシ樹脂や、各種のセラミックスなどが挙げられる。
バックパッド(厚肉部分を含む)の素材は限定されない。例えばスウェード布などの不織布が挙げられる。また、その硬度も限定されない。
バックパッドの厚さは限定されない。ただし、2mm以下が好ましい。2mmを超えると、バックパッドに硬度ムラが生じやすい。
テンプレートの孔部内でバックパッドの中央部を、その外周部より厚肉化する方法は限定されない。例えば、テンプレートの孔部内において、バックパッドの中央部を厚肉に一体形成してもよい。
バックパッドの厚肉化された中央部の厚さは限定されない。ただし、半導体ウェーハ中央部が、半導体ウェーハの最外周部よりも1〜200μm突出する厚さが好ましい。
バックパッドの厚肉化された中央部の厚さは限定されない。ただし、半導体ウェーハ中央部が、半導体ウェーハの最外周部よりも1〜200μm突出する厚さが好ましい。
中央部分バックパッドの素材はバックパッドと同じ素材である。
請求項2に記載の発明は、環状のテンプレートの内側の孔部に半導体ウェーハを収容するとともに、この半導体ウェーハと研磨ヘッドとの間にバックパッドを介在させて半導体ウェーハを研磨するワックスレスマウント式研磨装置において、このバックパッドの中央部を厚肉化することで、半導体ウェーハの中央部をその外周部より研磨布に向かって所定高さだけ突出させる中央厚肉部を、前記半導体ウェーハの中央部とバックパッドとの間に配設し、この中央厚肉部は、前記バックパッドの中央部の表面に、前記バックパッドと同じ素材で一体形成された略円状の中央部分バックパッドであるワックスレスマウント式研磨装置である。
請求項3に記載の発明は、前記中央部分バックパッドは厚さ200μm以下で、この中央部分バックパッドの直径は半導体ウェーハの直径より2mm以上小さい請求項2に記載のワックスレスマウント式研磨装置である。
中央部分バックパッドの厚肉部の厚さが200μmを超えると、半導体ウェーハの中央部がウェーハ外周部より突出する量が大きくなる。よって、半導体ウェーハの中央部の研磨量が増大し、半導体ウェーハに若干外周立ちが生じるおそれがある。
さらに、中央部分バックパッドの直径と半導体ウェーハの直径との差が2mm未満の場合には、半導体ウェーハの外周部を磨きすぎるおそれがある。
中央部分バックパッドの厚肉部の厚さが200μmを超えると、半導体ウェーハの中央部がウェーハ外周部より突出する量が大きくなる。よって、半導体ウェーハの中央部の研磨量が増大し、半導体ウェーハに若干外周立ちが生じるおそれがある。
さらに、中央部分バックパッドの直径と半導体ウェーハの直径との差が2mm未満の場合には、半導体ウェーハの外周部を磨きすぎるおそれがある。
請求項1および請求項2の発明によれば、テンプレートの孔部内のバックパッドに半導体ウェーハを水の表面張力によって吸着し、通常の研磨を施す。このとき、半導体ウェーハの中央部が、バックパッドの厚肉部分によってその外周部より研磨布に向かって突出しているので、研磨中、ウェーハ中央部はその外周部に比べて、研磨布との単位時間当たりの接触面積および単位時間当たりの圧力が大きくなる。これにより、保水したバックパッドによる半導体ウェーハの保持力をほとんど低下せずに、半導体ウェーハの外周ダレを簡単かつ低コストで防止することができる。その結果、高平坦度な半導体ウェーハが得られる。よって、例えばSOIウェーハを作製する際に、この外周ダレを原因としたボイドの発生を防ぐことができる。
そして、テンプレートの孔部内において、バックパッドの中央部の表側に、バックパッドと同じ素材で一体形成された略円形状の中央部分バックパッドを配置する。これにより、半導体ウェーハの中央部が、その外周部よりも所定高さだけ高く研磨布に向かって突出される。その結果、既存の研磨装置であっても、簡単かつ低コストで、バックパッドの中央部を厚肉化したこの発明の効果が得られる研磨装置に変更することができる。
そして、テンプレートの孔部内において、バックパッドの中央部の表側に、バックパッドと同じ素材で一体形成された略円形状の中央部分バックパッドを配置する。これにより、半導体ウェーハの中央部が、その外周部よりも所定高さだけ高く研磨布に向かって突出される。その結果、既存の研磨装置であっても、簡単かつ低コストで、バックパッドの中央部を厚肉化したこの発明の効果が得られる研磨装置に変更することができる。
請求項1および請求項2の発明によれば、テンプレートの孔部内において、バックパッドの中央部をその外周部より厚肉化して、半導体ウェーハの中央部をその外周部より研磨布に向かって所定高さだけ突出させたので、保水状態のバックパッドによる半導体ウェーハの保持力をほとんど低下せず、半導体ウェーハの外周ダレを簡単かつ低コストで防ぐことができる。これにより、高平坦度な半導体ウェーハを作製することができ、例えば張り合わせウェーハの製造時に、この外周ダレを原因とした半導体ウェーハと半導体ウェーハとの張り合わせ界面におけるボイドの発生を防止することができる。
そして、テンプレートの孔部内において、バックパッドの中央部の表側に、バックパッドと同じ素材で一体形成された略円形状の中央部分バックパッドを配置することで半導体ウェーハの中央部が、その外周部よりも所定高さだけ高く研磨布に向かって突出される。これにより、既存の研磨装置であっても、簡単かつ低コストで、バックパッドの中央部を厚肉化したこの発明の効果が得られる研磨装置に変更することができる。
そして、テンプレートの孔部内において、バックパッドの中央部の表側に、バックパッドと同じ素材で一体形成された略円形状の中央部分バックパッドを配置することで半導体ウェーハの中央部が、その外周部よりも所定高さだけ高く研磨布に向かって突出される。これにより、既存の研磨装置であっても、簡単かつ低コストで、バックパッドの中央部を厚肉化したこの発明の効果が得られる研磨装置に変更することができる。
以下、この発明の参考例を説明する。
図1は、この発明の参考例に係るワックスレスマウント式研磨装置の縦断面図である。図2は、この発明の参考例に係るバックパッドの斜視図である。
図1において、10はこの発明の参考例に係るワックスレスマウント式研磨装置である。この研磨装置10は、研磨定盤11と、これに対向して上方に配設された研磨ヘッド12とを備えている。研磨定盤11は、その上面に厚地のスポンジゴムを介して研磨布13が展張されている。研磨ヘッド12は、その下面に、ウェーハ固定用のテンプレート14が設けられている。
図1において、10はこの発明の参考例に係るワックスレスマウント式研磨装置である。この研磨装置10は、研磨定盤11と、これに対向して上方に配設された研磨ヘッド12とを備えている。研磨定盤11は、その上面に厚地のスポンジゴムを介して研磨布13が展張されている。研磨ヘッド12は、その下面に、ウェーハ固定用のテンプレート14が設けられている。
研磨定盤11および研磨ヘッド12は円板形で、対向する各面はそれぞれ平坦面である。これらの研磨定盤11および研磨ヘッド12は、各回転軸を中心にして、図示しない回転手段によってそれぞれ回転する。この研磨ヘッド12は、回転軸の昇降により上下動する。
テンプレート14は円形のリング状のガラスエポキシ板である。テンプレート14は、研磨ヘッド12の下面に貼着されたバックパッド15を介して、研磨ヘッド12の下面に設けられている。テンプレート14の厚さは、シリコンウェーハWと略同じである。
図1および図2に示すように、バックパッド15はスウェード製であり、厚さはパッド全域で均一である。研磨されるシリコンウェーハWはCZウェーハである。
テンプレート14は円形のリング状のガラスエポキシ板である。テンプレート14は、研磨ヘッド12の下面に貼着されたバックパッド15を介して、研磨ヘッド12の下面に設けられている。テンプレート14の厚さは、シリコンウェーハWと略同じである。
図1および図2に示すように、バックパッド15はスウェード製であり、厚さはパッド全域で均一である。研磨されるシリコンウェーハWはCZウェーハである。
この参考例の特長は、テンプレート14の孔部内において、バックパッド15の外周部の表側に環状の外周部分バックパッド16を配置し、シリコンウェーハWの外周部を、シリコンウェーハWの中央部よりも下方に向かって所定高さだけ突出させて研磨する点である。
外周部分バックパッド16は、バックパッド15の外周部だけを厚肉化させるもので、厚さ200μm以下、半径方向の幅が5mm以下のリング形状を有するスウェード製のパッドである。外周部分バックパッド16をテンプレート14の内周に沿って、バックパッド15の下面に貼着すると、研磨時に前記シリコンウェーハWの外周部が、テンプレート14の外縁面から高さdだけ外方へ突出する。
外周部分バックパッド16は、バックパッド15の外周部だけを厚肉化させるもので、厚さ200μm以下、半径方向の幅が5mm以下のリング形状を有するスウェード製のパッドである。外周部分バックパッド16をテンプレート14の内周に沿って、バックパッド15の下面に貼着すると、研磨時に前記シリコンウェーハWの外周部が、テンプレート14の外縁面から高さdだけ外方へ突出する。
次に、この参考例に係るワックスレスマウント式研磨装置10を用いたシリコンウェーハWのワックスレスマウント式研磨方法を説明する。
図1に示すように、シリコンウェーハWの研磨時には、テンプレート14および外周部分バックパッド16をそれぞれ所定位置に装着し、バックパッド15および外周部分バックパッド16に純水などを所定量供給しておく。その後、シリコンウェーハWをテンプレート14に収容する。これにより、シリコンウェーハWの裏面が、水の表面張力によりバックパッド15に吸着・保持される。この際、シリコンウェーハWの外周部が、外周部分バックパッド16に吸着・保持される。
これにより、シリコンウェーハWの中央部の表面(研磨面)は、テンプレート14の下縁面と略同じ高さとなる一方、シリコンウェーハWの最外周部の表面が、ウェーハ中央部よりも高さdだけ下方に向かって突出する。
その後、砥粒を含む研磨剤を供給しながら、研磨ヘッド12を研磨定盤11上で自転および公転させ、シリコンウェーハWの表面を研磨布13により研磨する。
図1に示すように、シリコンウェーハWの研磨時には、テンプレート14および外周部分バックパッド16をそれぞれ所定位置に装着し、バックパッド15および外周部分バックパッド16に純水などを所定量供給しておく。その後、シリコンウェーハWをテンプレート14に収容する。これにより、シリコンウェーハWの裏面が、水の表面張力によりバックパッド15に吸着・保持される。この際、シリコンウェーハWの外周部が、外周部分バックパッド16に吸着・保持される。
これにより、シリコンウェーハWの中央部の表面(研磨面)は、テンプレート14の下縁面と略同じ高さとなる一方、シリコンウェーハWの最外周部の表面が、ウェーハ中央部よりも高さdだけ下方に向かって突出する。
その後、砥粒を含む研磨剤を供給しながら、研磨ヘッド12を研磨定盤11上で自転および公転させ、シリコンウェーハWの表面を研磨布13により研磨する。
このような研磨を実施するので、シリコンウェーハWの外周部はその中心部に比べて、研磨布13との単位時間当たりの接触面積および単位面積当たりの圧力が大きくなる。その結果、シリコンウェーハWの外周部の研磨量が、この中央部よりも増える。したがって、研磨前のエッチドウェーハの外周部の裏面形状がダレていても、研磨後、シリコンウェーハWをバックパッド15から剥離した時に、ウェーハ表面へのダレの転写によるシリコンウェーハWの外周立ちの分だけ、あらかじめシリコンウェーハWの外周部の表面が研磨される。これにより、シリコンウェーハWの外周立ちが防止され、シリコンウェーハWの表面の平坦性が改善される。その結果、例えばSOIウェーハを作製する際、この外周立ちを原因とした活性層用ウェーハと支持基板用ウェーハとの張り合わせ界面でのボイドの発生を防ぐことができる。
しかも、この参考例では、テンプレート14の孔部内において、バックパッド15の表側にバックパッド15とは別体である外周部分バックパッド16を貼着している。そのため、既存の研磨装置であっても、簡単かつ低コストで上述した効果を有する研磨装置に変更することができる。
しかも、この参考例では、テンプレート14の孔部内において、バックパッド15の表側にバックパッド15とは別体である外周部分バックパッド16を貼着している。そのため、既存の研磨装置であっても、簡単かつ低コストで上述した効果を有する研磨装置に変更することができる。
次に、図3および図4に基づき、この発明の実施例を説明する。
図3は、この発明の実施例に係るワックスレスマウント式研磨装置の縦断面図である。図4は、この発明の実施例に係るバックパッドの斜視図である。
図3および図4に示すように、この実施例のワックスレスマウント式研磨装置20の特長は、参考例の外周部分バックパッド16に代え、バックパッド15の中央部の表側に略円形状の中央部分バックパッド16Aを配置した点である。これにより、シリコンウェーハWの中央部の研磨量がウェーハ外周部よりも大きくなる。
図3は、この発明の実施例に係るワックスレスマウント式研磨装置の縦断面図である。図4は、この発明の実施例に係るバックパッドの斜視図である。
図3および図4に示すように、この実施例のワックスレスマウント式研磨装置20の特長は、参考例の外周部分バックパッド16に代え、バックパッド15の中央部の表側に略円形状の中央部分バックパッド16Aを配置した点である。これにより、シリコンウェーハWの中央部の研磨量がウェーハ外周部よりも大きくなる。
中央部分バックパッド16Aは、バックパッド15の中央部だけを厚肉化させるもので、厚さ200μm以下、シリコンウェーハWの直径より2mm以上小径な略円形状のパッドである。中央部分バックパッド16Aを、バックパッド15の中央部の下面に貼着することで、研磨時にシリコンウェーハWの中央部が、テンプレート14の外縁面から高さdだけ外方へ突出する。これにより、ウェーハ中央部はその外周部に比べて、研磨布13との単位時間当たりの接触面積および単位面積当たりの圧力が大きくなる。その結果、保水したバックパッド15によるシリコンウェーハWの保持力をほとんど低下せずに、シリコンウェーハWの外周ダレの発生を、簡単かつ低コストで防止することができる。その結果、平坦度が高いシリコンウェーハWを得ることができる。よって、例えばSOIウェーハを作製する際に、この外周ダレを原因とする活性層用ウェーハと支持基板用ウェーハとの張り合わせ界面でのボイドの発生を防ぐことができる。
また、テンプレート14の孔部内において、バックパッド15の中央部に略円形状の中央部分バックパッド16Aを配置したので、既存の研磨装置であっても、簡単かつ低コストで、バックパッド15の中央部が厚肉なこの発明の効果が得られる研磨装置に変更することができる。
その他の構成、作用および効果は、参考例と略同様であるので、説明を省略する。
また、テンプレート14の孔部内において、バックパッド15の中央部に略円形状の中央部分バックパッド16Aを配置したので、既存の研磨装置であっても、簡単かつ低コストで、バックパッド15の中央部が厚肉なこの発明の効果が得られる研磨装置に変更することができる。
その他の構成、作用および効果は、参考例と略同様であるので、説明を省略する。
10,20 ワックスレスマウント式研磨装置、
12 研磨ヘッド、
13 研磨布、
14 テンプレート、
15 バックパッド、
16A 中央部分バックパッド、
W シリコンウェーハ(半導体ウェーハ)。
12 研磨ヘッド、
13 研磨布、
14 テンプレート、
15 バックパッド、
16A 中央部分バックパッド、
W シリコンウェーハ(半導体ウェーハ)。
Claims (3)
- 環状のテンプレートの内側の孔部に半導体ウェーハを収容するとともに、この半導体ウェーハと研磨ヘッドとの間にバックパッドを介在させて半導体ウェーハを研磨するワックスレスマウント式研磨方法において、
前記バックパッドの中央部の表側に、該バックパッドと同じ素材からなる略円形状の中央部分バックパッドを一体形成し、前記テンプレートの孔部内で前記バックパッドの中央部を、その外周部より厚肉化することで、前記半導体ウェーハの中央部を、その外周部より研磨布に向かって所定高さだけ突出させた状態で保持して半導体ウェーハを研磨するワックスレスマウント式研磨方法。 - 環状のテンプレートの内側の孔部に半導体ウェーハを収容するとともに、この半導体ウェーハと研磨ヘッドとの間にバックパッドを介在させて半導体ウェーハを研磨するワックスレスマウント式研磨装置において、
このバックパッドの中央部を厚肉化することで、半導体ウェーハの中央部をその外周部より研磨布に向かって所定高さだけ突出させる中央厚肉部を、前記半導体ウェーハの中央部とバックパッドとの間に配設し、
この中央厚肉部は、前記バックパッドの中央部の表面に、前記バックパッドと同じ素材で一体形成された略円状の中央部分バックパッドであるワックスレスマウント式研磨装置。 - 前記中央部分バックパッドは厚さ200μm以下で、この中央部分バックパッドの直径は半導体ウェーハの直径より2mm以上小さい請求項2に記載のワックスレスマウント式研磨装置。
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- 2007-10-16 JP JP2007268624A patent/JP2008060598A/ja active Pending
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