JP2008058767A - Tftアレイの検査方法及びtftアレイ検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】TFT基板のTFTアレイに対して電圧を印加し、電子線照射により得られる二次電子を検出することによりTFTアレイの欠陥を検査するTFT基板の検査方法であって、所定周期内においてTFTアレイの画素電極に正電圧および負電圧を交互に印加するとともに、画素電極の電位を負側にオフセットさせる。画素電極の電位の負側へのオフセットは、画素電極に交互に印加する正電圧と負電圧において、負電圧の絶対値を正電圧の絶対値よりも大とすることにより行う。画素電極の電位を負側にオフセットさせることによって、画素電圧に電子線を照射して得られる二次電子の放出量を増加させることで画素電極の電位の検出感度を向上させる。
【選択図】図1
Description
Claims (6)
- TFT基板のTFTアレイに対して電圧を印加し、電子線照射により得られる二次電子を検出してTFTアレイの欠陥を検査するTFT基板の検査方法であって、
所定周期内においてTFTアレイの画素電極に正電圧および負電圧を交互に印加するとともに、画素電極の電位を負側にオフセットさせることを特徴とする、TFT基板の検査方法。 - 前記負電圧の絶対値を正電圧の絶対値よりも大とすることにより、画素電極の電位を負側にオフセットさせることを特徴とする、請求項1に記載のTFT基板の検査方法。
- 前記所定周期はゲート周期であり、全TFTアレイの画素電極に印加する電圧を切り換えることを特徴とする、請求項1又は2に記載のTFT基板の検査方法。
- 前記所定周期はゲート周期であり、隣接するTFTアレイの画素電極に印加する電圧を交互に切り換えることを特徴とする、請求項1又は2に記載のTFT基板の検査方法。
- ゲートをゲートラインに接続し、ソースをソースラインに接続し、ドレインを画素電極に接続するTFTを備えるTFTアレイに対して、
複数のゲートラインおよびソースラインをそれぞれ1ライン置きに2つのゲートライン群および2つのソースライン群に分け、
前記2つのソースライン群の間において、互いに時間をずらして正電圧と負電圧を印加し、
前記2つのゲートライン群の間において、互いに時間をずらしてオンパルス信号を印加することによって、TFTアレイの隣接する画素電極に正電圧および負電圧を交互に印加することを特徴とする、請求項1から4の何れか一つに記載のTFT基板の検査方法。 - TFT基板のTFTアレイに対して電圧を印加し、当該電圧印加による電圧状態を電子線照射により得られる二次電子によって検出し、TFTアレイの欠陥を検査するTFT基板の検査装置であって、
TFT基板に電子線を照射する電子線源と、
TFT基板から放出される二次電子を検出する検出器と、
TFT基板のTFTアレイに検査信号を生成し印加する検査信号生成部と、
前記検出器の検出信号に基づいてTFTアレイの欠陥を検出する欠陥検出部とを備え、
前記検査信号生成部は、
所定周期内において、TFTアレイの画素電極に正電圧および負電圧を交互に印加するとともに、当該所定周期内の画素電極の平均電位を負側にオフセットさせることを特徴とする、TFT基板の検査装置。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009265011A (ja) * | 2008-04-28 | 2009-11-12 | Shimadzu Corp | 走査ビーム検査装置、および欠陥検出の信号処理方法 |
JP2009276231A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-11-26 | Shimadzu Corp | Tftアレイ検査装置 |
JP2010085247A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Shimadzu Corp | Tftアレイの検査方法及びtftアレイ検査装置 |
WO2010089856A1 (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-12 | 株式会社島津製作所 | Tftアレイ検査方法およびtftアレイ検査装置 |
JP2011095041A (ja) * | 2009-10-28 | 2011-05-12 | Shimadzu Corp | Tftアレイの検査方法及びtftアレイ検査装置 |
WO2011070663A1 (ja) * | 2009-12-10 | 2011-06-16 | 株式会社島津製作所 | Tft基板検査装置およびtft基板検査方法 |
CN102928685A (zh) * | 2011-08-11 | 2013-02-13 | 富士施乐株式会社 | 基板检查装置及基板检查方法 |
CN106057110A (zh) * | 2016-08-04 | 2016-10-26 | 武汉华星光电技术有限公司 | 阵列测试电路及阵列测试方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63269198A (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-07 | 富士ケンブリツジインスツルメント株式会社 | 液晶表示器用駆動回路基板の検査方法 |
JP2004239896A (ja) * | 2003-02-07 | 2004-08-26 | Shimadzu Corp | 電子線液晶検査装置及び電子線液晶検査方法 |
JP2004245827A (ja) * | 2003-01-31 | 2004-09-02 | Shimadzu Corp | Tft基板検査装置用パレットおよびtft基板検査装置 |
JP2004271516A (ja) * | 2003-03-04 | 2004-09-30 | Shimadzu Corp | 基板検査装置及び基板検査方法 |
JP2004333352A (ja) * | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Shimadzu Corp | Tftアレイ検査装置 |
-
2006
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63269198A (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-07 | 富士ケンブリツジインスツルメント株式会社 | 液晶表示器用駆動回路基板の検査方法 |
JP2004245827A (ja) * | 2003-01-31 | 2004-09-02 | Shimadzu Corp | Tft基板検査装置用パレットおよびtft基板検査装置 |
JP2004239896A (ja) * | 2003-02-07 | 2004-08-26 | Shimadzu Corp | 電子線液晶検査装置及び電子線液晶検査方法 |
JP2004271516A (ja) * | 2003-03-04 | 2004-09-30 | Shimadzu Corp | 基板検査装置及び基板検査方法 |
JP2004333352A (ja) * | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Shimadzu Corp | Tftアレイ検査装置 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009265011A (ja) * | 2008-04-28 | 2009-11-12 | Shimadzu Corp | 走査ビーム検査装置、および欠陥検出の信号処理方法 |
JP2009276231A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-11-26 | Shimadzu Corp | Tftアレイ検査装置 |
JP2010085247A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Shimadzu Corp | Tftアレイの検査方法及びtftアレイ検査装置 |
WO2010089856A1 (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-12 | 株式会社島津製作所 | Tftアレイ検査方法およびtftアレイ検査装置 |
JP5224194B2 (ja) * | 2009-02-04 | 2013-07-03 | 株式会社島津製作所 | Tftアレイ検査方法およびtftアレイ検査装置 |
JP2011095041A (ja) * | 2009-10-28 | 2011-05-12 | Shimadzu Corp | Tftアレイの検査方法及びtftアレイ検査装置 |
CN102667507A (zh) * | 2009-12-10 | 2012-09-12 | 株式会社岛津制作所 | Tft基板检查装置以及tft基板检查方法 |
WO2011070663A1 (ja) * | 2009-12-10 | 2011-06-16 | 株式会社島津製作所 | Tft基板検査装置およびtft基板検査方法 |
JP5590043B2 (ja) * | 2009-12-10 | 2014-09-17 | 株式会社島津製作所 | Tft基板検査装置およびtft基板検査方法 |
CN102928685A (zh) * | 2011-08-11 | 2013-02-13 | 富士施乐株式会社 | 基板检查装置及基板检查方法 |
CN102928685B (zh) * | 2011-08-11 | 2017-06-23 | 富士施乐株式会社 | 基板检查装置及基板检查方法 |
CN106057110A (zh) * | 2016-08-04 | 2016-10-26 | 武汉华星光电技术有限公司 | 阵列测试电路及阵列测试方法 |
CN106057110B (zh) * | 2016-08-04 | 2019-04-05 | 武汉华星光电技术有限公司 | 阵列测试电路及阵列测试方法 |
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