JP2008055554A - Deformable gantry type working device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gantry type working device capable of deforming it so that an occupying space becomes smaller in transferring it and capable of easily reversing it, too. <P>SOLUTION: A base unit is furnished with two frames provided in parallel in the first direction, a gantry frame with a lower end part connected to the two frames through a rotating means and a working part arranged on the gantry frame and to work on a work, a work table unit is furnished with a work table set between the two frames which the base unit has and to hold the work and a table frame to support it, and consequently, this gantry type working device constitutes its characteristic feature capable of carrying out desired working on the work by changing a relative positional relation of the working part and the work, separating the work table unit from the base unit when it does not work and reducing an interval between the two frames while revolving the gantry frame. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、作業部と相対動するワークに対して所望の作業を行うガントリー型作業装置において、移送時のスペース面での問題を解消することができる変形可能なガントリー型作業装置に関する。   The present invention relates to a deformable gantry-type working device that can solve a problem in terms of space during transfer in a gantry-type working device that performs a desired work on a workpiece that moves relative to a working unit.

ワークが載置されるワークテーブルを縦断するビーム（ガントリーフレーム）を有する構造を有する作業装置があり、一般にガントリー型作業装置と呼ばれる。相対動するワークに対して所望の作業を行うためのガントリー型の作業装置としては、例えば、液晶表示パネルの製造におけるシール剤を塗布する装置、太陽電池パネルのパターニング装置、半導体デバイスの欠陥検査装置等がある。
この種の装置は、ワークの大型化に伴い装置本体そのものが大型化される傾向にあり、例えば、第８世代と呼ばれる液晶表示パネル用のガラス基板のサイズは２１６０ｍｍ×２４００ｍｍであり、作業装置はこれを載置できるワークテーブルを備える必要がある。 There is a working device having a structure having a beam (gantry frame) that vertically traverses a work table on which a work is placed, and is generally called a gantry type working device. Examples of a gantry-type working device for performing a desired work on a relatively moving workpiece include, for example, a device for applying a sealant in manufacturing a liquid crystal display panel, a patterning device for a solar cell panel, and a defect inspection device for a semiconductor device. Etc.
This type of apparatus has a tendency to increase the size of the apparatus body itself as the workpiece becomes larger. For example, the size of a glass substrate for a liquid crystal display panel called 8th generation is 2160 mm × 2400 mm, and the working apparatus is It is necessary to provide a work table on which this can be placed.

液晶用基板にシール剤を塗布するための塗布装置としては、例えば、液状体が収容されるバレルおよびこのバレルの先端部に着脱自在に設けられ先端から上記バレル内の液状体が吐出されるノズル体とを有するディスペンサと、上記ワークに対して上記ディスペンサを相対的にＸ、ＹおよびＺ方向に移動させる駆動手段と、上記ノズル体の先端部を撮像しその撮像信号によってこのノズル体の先端部の位置を検出するノズル撮像手段とを具備した液状体の塗布装置が提言されている（特許文献１）。   Examples of the application device for applying the sealant to the liquid crystal substrate include a barrel in which the liquid material is accommodated and a nozzle that is detachably provided at the tip of the barrel and discharges the liquid in the barrel from the tip. A dispenser having a body, a drive means for moving the dispenser relative to the workpiece in the X, Y, and Z directions, and imaging the tip of the nozzle body and using the imaging signal, the tip of the nozzle body There has been proposed a liquid material coating apparatus comprising a nozzle imaging means for detecting the position of the liquid (Patent Document 1).

ガントリー型のペースト塗布機としては、例えば、ワークテーブルに載置された基板に対してノズルをＺ軸方向に移動させるＺ軸移動手段を有するガントリーフレーム（Ｙ軸移動テーブル）を備え、ガントリーフレームをＸ軸移動テーブルによりＸ軸方向に移動させる構造を有するものがある（特許文献２）。   The gantry-type paste applicator includes, for example, a gantry frame (Y-axis movement table) having a Z-axis moving means for moving the nozzle in the Z-axis direction with respect to the substrate placed on the work table. There is one having a structure for moving in the X-axis direction by an X-axis moving table (Patent Document 2).

固定テーブルに取りつけたワークに対して加工ヘッドをＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸方向に制御移動して加工を行うガントリー型の工作機械としては、例えば、特許文献３に開示される装置がある。
特開平１１−０３３４５８号公報 特許第３５２０２０５号公報 特開２００１−２１９３２５号公報 An example of a gantry-type machine tool that performs machining by controlling and moving a machining head in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions with respect to a workpiece attached to a fixed table is, for example, an apparatus disclosed in Patent Document 3.
Japanese Patent Laid-Open No. 11-033458 Japanese Patent No. 3520205 JP 2001-219325 A

上記従来の作業装置は、ワークが保持されるワークテーブルと、ワークに所望の作業する作業部が一体的に構成されているため、移設が困難であった。具体的には、一度設置した作業装置を他の場所へ移設する場合や、作業装置を組み立てる場所と稼働させる場所が離れている場合などにおいて、狭い搬送路を通ったり、トラック等の輸送手段に積載する際に、作業装置を部品レベルに分解する必要が生じることがあった。
しかしながら、作業装置は一つの場所で利用するものであり、分解して移動することを前提とするもではなく、分解には非常に多くの時間と労力が必要であった。
特に、精密な作業を行う装置においては、その組み立て作業も精密に行わなくてはならず、十分な精度を確保するための調整作業には高度な技術が必要とされる場合もあった。 The conventional work device is difficult to relocate because a work table for holding a work and a work unit for performing a desired work on the work are integrally configured. Specifically, when a work device once installed is moved to another place, or when the place where the work device is assembled and the place where the work device is to be operated are separated, the work device passes through a narrow conveyance path or is used as a transportation means such as a truck. When loading, it may be necessary to disassemble the working device to the parts level.
However, the working device is used in one place, and is not premised on being disassembled and moved, and disassembling requires a great deal of time and labor.
In particular, in an apparatus that performs precise work, the assembly work must also be performed precisely, and an advanced technique may be required for adjustment work to ensure sufficient precision.

しかも、大型化された作業装置は重量も大きなものとなるため、その組立には、クレーン等の重機を要するという課題があった。   In addition, since the large-sized working device is heavy, there is a problem that a heavy machine such as a crane is required for the assembly.

上記課題を鑑み、本発明は、移送時には占有スペースが小さくなるよう変形することができ、復元も容易であるガントリー型作業装置を提供することを目的とする。   In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a gantry-type working device that can be deformed so as to reduce an occupied space during transfer and can be easily restored.

上記課題を解決し目的を達成するために、本発明のガントリー型作業装置は、ワークテーブルユニットとベースユニットを分離可能とし、さらに占有スペースを小さくするためにベースユニットを変形可能に構成した。また、ガントリーフレームと架台を回動する構成とし、移送時にこれらを固定する固定具や組立を容易にする調整具を設けるなどの工夫を行うことにより、移送作業および移送後の組立作業を容易かつ安全に行うことを可能ならしめた。   In order to solve the above-described problems and achieve the object, the gantry-type work apparatus of the present invention is configured such that the work table unit and the base unit can be separated, and the base unit can be deformed to reduce the occupied space. In addition, the gantry frame and the gantry are configured to rotate, and by carrying out contrivances such as providing a fixing tool for fixing them during transfer and an adjustment tool for facilitating assembly, the transfer work and the assembly work after the transfer can be performed easily and easily. Made it possible to do it safely.

すなわち、本発明のガントリー型作業装置は次のように構成されている。
第１の発明は、ベースユニットとワークテーブルユニットとから構成されるガントリー型作業装置であって、前記ベースユニットは、第１の方向に並設される二つの架台と、第１の方向と直交する第２の方向に配設され、その下端部が回転手段を介して二つの架台に接続されるガントリーフレームと、ガントリーフレームに配設され、ワークに対し作業を行う作業部を備え、前記ワークテーブルユニットは、前記ベースユニットの有する前記二つの架台の間に設置され、ワークを保持するワークテーブルと、それを支持するテーブル架台を備え、前記作業部と前記ワークの相対位置関係を変化させることにより、ワークに所望の作業を行うことができ、非作業時においては、前記ワークテーブルユニットを前記ベースユニットから分離すること、並びに、前記ガントリーフレームを回動させながら前記二つの架台の間隔を狭めることができることを特徴とするガントリー型作業装置である。
第２の発明は、第１の発明において、前記ガントリーフレームの下端部のいずれかが、前記架台上を第１の方向に移動するスライダーとを介して前記架台の上面に配設されたスライドベースに接続されることを特徴とする。
第３の発明は、第１の発明において、前記ガントリーフレームの下端部の両方が、前記架台上を第１の方向に移動するスライダーとを介して前記架台の上面に配設されたスライドベースに接続されることを特徴とする。
第４の発明は、第２または３の発明において、前記スライダーは、リニアモータ駆動であることを特徴とする。
第５の発明は、第１ないし４のいずれかの発明において、前記二つの架台にそれぞれ延設された第１の長尺部材と、それらと係合する前記テーブル架台に延設された第２の長尺部材とから構成される架台連結ガイドを備え、前記テーブルユニットおよび前記ベースユニットが架台連結ガイドにより連結されることを特徴とする。
第６の発明は、第５の発明において、前記架台連結ガイドを構成する第１および第２の長尺部材は、二つのＶ谷形状のレール部材と二つのＶ山形状のレール部材との組み合わせからなることを特徴とする。
第７の発明は、第５の発明において、前記架台連結ガイドを構成する第１および第２の長尺部材は、二つのガイドレールとそれらと嵌装する二つのガイドブロックとの組み合わせからなることを特徴とする。
第８の発明は、第６または７の発明において、前記二つの架台はＬ字形状であり、その高位置の上面に前記ガントリーフレームの下端部が接続され、その低位置の上面に前記第１の長尺部材が延設されることを特徴とする。
第９の発明は、第１ないし８のいずれかの発明において、前記ベースユニットは、前記二つの架台と前記ガントリーフレームとが構成する角度を計測し、記憶するエンコーダを有することを特徴とする。
第１０の発明は、第１ないし９のいずれかの発明において、前記ワークテーブルユニットは、前記ワークテーブルを前記第１の方向に移動自在とするワークテーブル移動手段を備えることを特徴とする。
第１１の発明は、第１ないし９のいずれかの発明において、前記ワークテーブルユニットは、前記ワークテーブルを前記第１の方向および前記第２の方向に移動自在とするワークテーブル移動手段を備えることを特徴とする。
第１２の発明は、第１０または１１の発明において、前記ワークテーブル移動手段は、リニアモータ駆動であることを特徴とする。
第１３の発明は、第１ないし１２のいずれかの発明において、前記ガントリーフレームは、前記作業部を第２の方向に移動自在とする作業部移動手段を備えることを特徴とする。
第１４の発明は、第１ないし１３のいずれかの発明において、前記ガントリーフレームは、前記作業部を上下方向に移動自在とする作業部移動手段を備えることを特徴とする。
第１５の発明は、第１ないし１４のいずれかの発明において、前記ベースユニットは、前記二つの架台を非作業時の間隔に保持する固定具を有することを特徴とする。
第１６の発明は、第１５の発明において、前記ベースユニットは、前記固定具を締結するための締結孔を有することを特徴とする。
第１７の発明は、第１ないし１６のいずれかの発明において、前記ベースユニットは、前記二つの架台の間隔を作業時の間隔に調整して、保持する調整具を備えることを特徴とする。
第１８の発明は、第１７の発明において、前記ベースユニットは、前記固定具を締結するための締結孔を有することを特徴とする。
第１９の発明は、第１ないし１８のいずれかの発明において、前記ベースユニットは、複数のガントリーフレームを有することを特徴とする。 That is, the gantry type work device of the present invention is configured as follows.
A first invention is a gantry-type work apparatus including a base unit and a work table unit, wherein the base unit includes two gantry units arranged side by side in a first direction, and orthogonal to the first direction. A gantry frame disposed in a second direction and having a lower end connected to the two gantry via the rotating means, and a working unit disposed on the gantry frame and performing work on the workpiece, The table unit is installed between the two mounts of the base unit, and includes a work table that holds a work and a table support that supports the work table, and changes a relative positional relationship between the working unit and the work. Thus, a desired work can be performed on the work, and the work table unit is separated from the base unit when not working. And a gantry type working device, characterized in that it is possible to reduce the distance of the two frame while rotating said gantry frame.
A second invention is the slide base according to the first invention, wherein any one of the lower end portions of the gantry frame is disposed on the upper surface of the gantry via a slider that moves in the first direction on the gantry. It is connected to.
According to a third invention, in the first invention, both of the lower ends of the gantry frame are arranged on a slide base disposed on the upper surface of the gantry via a slider that moves in the first direction on the gantry. It is connected.
According to a fourth invention, in the second or third invention, the slider is driven by a linear motor.
According to a fifth invention, in any one of the first to fourth inventions, a first elongate member extending on each of the two gantry and a second elongate member extending on the table gantry engaging with the first elongate member. The table unit and the base unit are connected to each other by a gantry connection guide.
In a sixth aspect based on the fifth aspect, the first and second long members constituting the gantry coupling guide are a combination of two V-valley-shaped rail members and two V-shaped rail members. It is characterized by comprising.
In a seventh aspect based on the fifth aspect, the first and second long members constituting the gantry coupling guide are composed of a combination of two guide rails and two guide blocks fitted thereto. It is characterized by.
An eighth invention is the sixth or seventh invention, wherein the two mounts are L-shaped, the lower end of the gantry frame is connected to the upper surface of the high position, and the first frame is connected to the upper surface of the low position. The long member is extended.
According to a ninth invention, in any one of the first to eighth inventions, the base unit includes an encoder that measures and stores an angle formed by the two gantry and the gantry frame.
According to a tenth aspect, in any one of the first to ninth aspects, the work table unit includes work table moving means for moving the work table in the first direction.
In an eleventh aspect based on any one of the first to ninth aspects, the work table unit includes work table moving means for allowing the work table to move in the first direction and the second direction. It is characterized by.
According to a twelfth aspect, in the tenth or eleventh aspect, the work table moving means is a linear motor drive.
In a thirteenth aspect of the present invention based on any one of the first to twelfth aspects, the gantry frame includes a working unit moving means that allows the working unit to move in a second direction.
In a fourteenth aspect based on any one of the first to thirteenth aspects, the gantry frame is provided with working part moving means for allowing the working part to move in the vertical direction.
According to a fifteenth aspect, in any one of the first to fourteenth aspects, the base unit includes a fixture that holds the two gantry at a non-working interval.
In a sixteenth aspect based on the fifteenth aspect, the base unit has a fastening hole for fastening the fixing member.
According to a seventeenth aspect, in any one of the first to sixteenth aspects, the base unit includes an adjustment tool that adjusts and holds the interval between the two mounts to the interval at the time of work.
In an eighteenth aspect based on the seventeenth aspect, the base unit has a fastening hole for fastening the fixture.
In a nineteenth aspect based on any one of the first to eighteenth aspects, the base unit has a plurality of gantry frames.

本発明によれば、ワークテーブルユニットとベースユニットとを分離することができ、しかもベースユニットを占有スペースが小さくなるよう変形可能であるため、移送が容易である。
また、移送に伴う分解・組立作業や移送作業を容易かつ安全に行うことができ、移送に伴う作業工数を大幅に削減することができる。
さらには、作業装置を長期間に渡り使用しないときの装置保管スペースを小さくすることができ、また、ワークテーブルユニットとベースユニットを別々の箇所に保管することも可能である。 According to the present invention, since the work table unit and the base unit can be separated, and the base unit can be deformed so as to reduce the occupied space, the transfer is easy.
In addition, disassembly / assembly work and transfer work associated with the transfer can be performed easily and safely, and the number of work steps involved in the transfer can be greatly reduced.
Furthermore, the device storage space when the work device is not used for a long period of time can be reduced, and the work table unit and the base unit can be stored in different locations.

本発明を実施するための最良の作業装置の一態様を図面を参照しながら説明する。
図１は本発明にかかる作業装置の正面図であり、図２は本発明にかかる作業装置の平面図であり、図３は移送に伴う変形等を説明する図面であり、図４は固定具を装着した状態の正面図である。なお、図１は図２における下側から装置を観察した際の図面である。
≪構成≫
本発明にかかる作業装置は、図１および図２に図示するように、門型に配置されたベースユニット１２と前記ベースユニット１２の門の脚の間に配設されたテーブルユニット１３とから構成される。 One mode of the best working device for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a front view of a working device according to the present invention, FIG. 2 is a plan view of the working device according to the present invention, FIG. 3 is a view for explaining deformation and the like accompanying transfer, and FIG. It is a front view of the state which mounted | wore. 1 is a view when the apparatus is observed from the lower side in FIG.
≪Configuration≫
As shown in FIGS. 1 and 2, the working device according to the present invention includes a base unit 12 disposed in a gate shape and a table unit 13 disposed between the gate legs of the base unit 12. Is done.

ベースユニット１２は、第１の方向（図２の上下方向）に延設される二つの架台１ａ、１ｂと、それらに支持される第２の方向（図２の左右方向）に延設されるガントリーフレーム２と、ガントリーフレーム２に設けられた作業部とを主たる構成要素とする。
ガントリフレーム２は、単数または複数の作業ヘッド８を保持し、作業ヘッド８とワークテーブル９を相対移動させることによりワーク上の任意の位置に所望の作業を行うことができる。このようにワークに対し作業を行う作業ヘッド８のような機器を作業部と呼ぶものとする。
また、ガントリーフレーム２は、回転手段１４ａ、１４ｂを介して架台１ａ、１ｂに接続されている。これにより、架台１ａに接続されたガントリーフレーム２の一の下端が回動可能に支持され、架台１ｂに接続されたガントリーフレーム２の他の下端が回動可能に支持される。ここで、架台１ｂは、回転手段１４ｂを第１の方向に移動可能とするスライダー１５に接合されている。すなわち、架台１ｂの上面に設けられたスライドベース１６と、スライドベース１６上を第１の方向に移動自在なスライダー１５が回転手段１４ｂと接合されることにより、回転手段１４ｂを第１の方向に移動自在としている。なお、図２では、スライドベース１６を架台１ｂの上面に設けているが、架台１ａの上面に設ける構成としても当然よい。 The base unit 12 extends in two frames 1a and 1b extending in a first direction (up and down direction in FIG. 2) and in a second direction (left and right direction in FIG. 2) supported by them. The gantry frame 2 and a working unit provided in the gantry frame 2 are main components.
The gantry frame 2 holds one or a plurality of work heads 8 and can move a work head 8 and a work table 9 relative to each other to perform a desired work on an arbitrary position on the work. A device such as the work head 8 that performs work on the workpiece in this way is referred to as a working unit.
The gantry frame 2 is connected to the gantry 1a, 1b via the rotating means 14a, 14b. Thereby, one lower end of the gantry frame 2 connected to the gantry 1a is rotatably supported, and the other lower end of the gantry frame 2 connected to the gantry 1b is rotatably supported. Here, the gantry 1b is joined to a slider 15 that enables the rotating means 14b to move in the first direction. In other words, the slide base 16 provided on the upper surface of the gantry 1b and the slider 15 movable on the slide base 16 in the first direction are joined to the rotation means 14b, whereby the rotation means 14b is moved in the first direction. It is movable. In FIG. 2, the slide base 16 is provided on the upper surface of the gantry 1b. However, a configuration may be naturally provided on the upper surface of the gantry 1a.

テーブルユニット１３は、ワークを保持するワークテーブル９と、それを支持するテーブル架台３１とを主たる構成要素とする。本装置による作業時には、テーブルユニット１３は、架台１ａ、１ｂの間に設置される必要がある。   The table unit 13 includes a work table 9 that holds a work and a table base 31 that supports the work table 9 as main components. When working with this apparatus, the table unit 13 needs to be installed between the gantry 1a and 1b.

≪移送に伴う変形等≫
本装置を移送に伴い変形等する方法を説明する。
まず、図３（ａ）に示すように、テーブルユニット１３をベースユニット１２の外方（矢印方向）に分離移動し、架台１ａと架台１ｂとの間に空間を設ける。
次に、架台１ａと架台１ｂとの間隔を狭めるよう、架台１ａおよび／または架台１ｂに力をかける。すると、架台１ａに配設される回転手段１４ａと、架台１ｂに配設される回転手段１４ｂとの回転作用により、図３（ｂ）に示すように、ガントリーフレーム２が矢印方向に回動するとともに、スライダー１５がスライドベース１６上を第１の方向を大きい矢印に向かって直進動する。架台１ａと架台１ｂとの間隔をさらに狭めると、図３（ｃ）に示すように、ガントリフレーム２が更に回転し、ベースユニット１２が折りたたまれた状態となる。
以上の工程によって、ベースユニット１２とテーブルユニット１３を分離して移送することができ、さらにはベースユニット１２のサイズをコンパクトにすることができる。 ≪Deformation associated with transfer≫
A method of deforming the apparatus with transfer will be described.
First, as shown in FIG. 3A, the table unit 13 is separated and moved outward (in the direction of the arrow) of the base unit 12, and a space is provided between the gantry 1a and the gantry 1b.
Next, a force is applied to the gantry 1a and / or the gantry 1b so as to narrow the distance between the gantry 1a and the gantry 1b. Then, as shown in FIG. 3B, the gantry frame 2 rotates in the direction of the arrow by the rotating action of the rotating means 14a disposed on the gantry 1a and the rotating means 14b disposed on the gantry 1b. At the same time, the slider 15 moves straight on the slide base 16 in the first direction toward the large arrow. When the distance between the gantry 1a and the gantry 1b is further reduced, the gantry frame 2 is further rotated and the base unit 12 is folded as shown in FIG.
Through the above steps, the base unit 12 and the table unit 13 can be separated and transferred, and the size of the base unit 12 can be made compact.

また、本装置の移送の際には、架台１ａと架台１ｂとの間隔が保持されるよう、架台１ａと架台１ｂとを固定することが好ましい。図４は、板材２１と架台１ａ、１ｂを、ネジ２２で締結する固定具１１を例示するものである。但し、固定具は、架台１ａと架台１ｂとの間隔を保持する作用を有していればよく、図４に開示されるものに限定されない。   Further, when transferring the apparatus, it is preferable to fix the gantry 1a and the gantry 1b so that the distance between the gantry 1a and the gantry 1b is maintained. FIG. 4 illustrates the fixture 11 that fastens the plate material 21 and the mounts 1 a and 1 b with screws 22. However, the fixture is not limited to the one disclosed in FIG. 4 as long as it has an action of maintaining the distance between the gantry 1a and the gantry 1b.

≪移送後の復元≫
移送に伴い変形された本装置を復元する工程は、前述の手順を逆にたどればよい。
まず、コンパクトに折り畳まれたベースユニット１２の架台１ａと架台１ｂとの間隔を拡げるよう力をかける。すると、回転手段１４ａと回転手段１４ｂの回転作用により、ガントリーフレーム２が図３（ｂ）の矢印方向と逆に回動するとともに、スライダー１５がスライドベース１６上を第１の方向を図３（ｂ）の大きい矢印と逆に向かって直進動する。
架台１ａと架台１ｂとの間隔をさらに拡げ、架台１ａと架台１ｂを所定の幅とした位置になったところで架台１ａと架台１ｂを固定する。そして、二つの架台とガントリフレーム２で構成される門形の脚の間にテーブルユニット１３を設置し、ベースユニット１２とテーブルユニット１３の水平方向および高さ方向の相対位置調整を行った後にベースユニット１２の位置を固定する。 ≪Restoration after transfer≫
The process of restoring the apparatus that has been deformed along with the transfer may be performed by reversing the above-described procedure.
First, a force is applied so as to widen the distance between the gantry 1a and the gantry 1b of the base unit 12 folded compactly. Then, due to the rotating action of the rotating means 14a and rotating means 14b, the gantry frame 2 rotates in the direction opposite to the arrow direction in FIG. 3B, and the slider 15 moves on the slide base 16 in the first direction in FIG. b) Go straight in the direction opposite to the large arrow.
The distance between the gantry 1a and the gantry 1b is further increased, and the gantry 1a and the gantry 1b are fixed when the gantry 1a and the gantry 1b are at a predetermined width. Then, the table unit 13 is installed between the gate-shaped legs composed of the two mounts and the gantry frame 2, and the base unit 12 and the table unit 13 are adjusted relative to each other in the horizontal direction and the height direction. The position of the unit 12 is fixed.

なお、以上では、ガントリーフレームが単数の作業装置を前提に説明を行ったが、ガントリーフレームを複数備える作業装置にも本発明の技術思想を適用可能であることはいうまでもない。また、スライドベースを設けず、ガントリーフレームの下端と架台の接続位置を固定としたまま、変形時に二つの架台が段違いに重なることで省スペース化をはかる構成としてもよい。   Although the above description has been made on the assumption that the gantry frame has a single working device, it goes without saying that the technical idea of the present invention can also be applied to a working device having a plurality of gantry frames. In addition, the slide base may not be provided, and the bottom position of the gantry frame and the mounting position of the gantry may be fixed, and the two pedestals may overlap each other at the time of deformation to save space.

以下では、本発明の詳細を実施例により説明するが、本発明は何ら実施例により限定されるものではない。   Hereinafter, details of the present invention will be described with reference to examples, but the present invention is not limited to the examples.

本実施例の作業装置は、液晶パネルを構成するガラス基板にペーストを塗布する塗布装置に関する。   The working apparatus according to the present embodiment relates to a coating apparatus that applies a paste to a glass substrate constituting a liquid crystal panel.

≪構成≫
図５に示すように、本実施例の塗布装置２０は、門型に配置されたベースユニット１２と、ベースユニット１２の間に配設されたテーブルユニット１３とを主たる構成要素とする。
ベースユニット１２は、第１の方向（Ｙ方向）に延設される架台１ａ、１ｂと、これらに支持されるガントリフレーム２とにより構成される。ガントリーフレーム２の下端は、回転手段１４ａ、１４ｂに接合されており、これにより、ガントリーフレーム２は架台１ａ、１ｂと回動自在に支持されている。ガントリフレーム２には、作業部たる塗布ヘッド２９が複数配設される。 ≪Configuration≫
As shown in FIG. 5, the coating apparatus 20 of this embodiment includes a base unit 12 arranged in a gate shape and a table unit 13 arranged between the base units 12 as main components.
The base unit 12 includes gantry frames 1a and 1b that extend in a first direction (Y direction), and a gantry frame 2 that is supported by these. The lower end of the gantry frame 2 is joined to the rotating means 14a and 14b, whereby the gantry frame 2 is rotatably supported by the gantry 1a and 1b. The gantry frame 2 is provided with a plurality of application heads 29 as working portions.

架台１ａ、１ｂはＬ字形状であり、第１の方向に沿って並設され、逆さの凸溝を構成する。テーブルユニット１３は、その凸溝に嵌合されるよう設置され、水平方向に延出されたテーブルユニット支持部１９ａ、１９ｂの上面（低い位置にある上面）により支持される。
架台１ａ、１ｂは、下面にレベルアジャスタ６２を有し、床面と本装置との水平レベルを調整することができる。 The mounts 1a and 1b are L-shaped and are arranged side by side along the first direction to form inverted convex grooves. The table unit 13 is installed so as to be fitted into the convex groove, and is supported by upper surfaces (upper surfaces at lower positions) of the table unit support portions 19a and 19b extending in the horizontal direction.
The gantry 1a, 1b has a level adjuster 62 on the lower surface, and can adjust the horizontal level between the floor surface and the apparatus.

架台１ａの高い位置にある上面にはリニアガイド７ａ、リニアモータ固定子２４ａ、およびリニアスケール２６ａが設けられており、架台１ｂの高い位置にある上面にはリニアガイド７ｂ、リニアモータ固定子２４ｂ、およびリニアスケール２６ｂが設けられている。
回転手段１４ａ、１４ｂの下面は、リニアモータ可動子２５ａ、２５ｂと接合されており、リニアガイド７ａ、７ｂ、およびリニアモータ固定子２４ａ、２４ｂと協働してガントリーフレーム２を第１の方向に移動自在とし、またリニアスケール２６ａ、２６ｂによりガントリーフレーム２の移動を高精度としている。 A linear guide 7a, a linear motor stator 24a, and a linear scale 26a are provided on the upper surface of the gantry 1a, and the linear guide 7b, linear motor stator 24b, A linear scale 26b is provided.
The lower surfaces of the rotating means 14a and 14b are joined to the linear motor movable elements 25a and 25b, and the gantry frame 2 is moved in the first direction in cooperation with the linear guides 7a and 7b and the linear motor stators 24a and 24b. The movement of the gantry frame 2 is made highly accurate by the linear scales 26a and 26b.

図６は、回転手段１４ａの断面構成図である。
回転手段１４ａは、軸台４１ａ、回転軸４２ａ、ベアリング４３ａ、および絶対値エンコーダ４４ａで構成される。回転軸４２ａは、ベアリング４３ａを介して軸台４１ａと係合され、軸台４１ａに対し回動する。回転軸４２ａの上面は、ガントリーフレーム２と接合される。軸台４１ａの下面中央部にリニアモータ可動子２５ａが配設され、下面辺縁部にリニアガイド７ａが位置し、リニアモータ可動子２５ａの両側方にリニアモータ固定子２４ａが位置する。
なお、回転手段１４ｂも同様の構成である。 FIG. 6 is a cross-sectional configuration diagram of the rotating means 14a.
The rotating means 14a includes a shaft base 41a, a rotating shaft 42a, a bearing 43a, and an absolute value encoder 44a. The rotating shaft 42a is engaged with the shaft base 41a via the bearing 43a, and rotates with respect to the shaft base 41a. The upper surface of the rotating shaft 42 a is joined to the gantry frame 2. The linear motor movable element 25a is disposed at the center of the lower surface of the shaft base 41a, the linear guide 7a is positioned at the edge of the lower surface, and the linear motor stator 24a is positioned on both sides of the linear motor movable element 25a.
The rotating means 14b has the same configuration.

ベアリング４３ａの上方に配設される絶対値エンコーダ４４ａは、軸台４１ａと回転軸４２ａとの相対回転角度を検出する機器であり、相対回転角度を検出して制御装置１０１に記憶することができる。すなわち、ベースユニット１２とテーブルユニット１３の位置調整後、絶対値エンコーダ４４ａに最適化された相対回転角度を記憶しておくことで、移送に伴い変形等した作業装置を復元する際の調整作業の効率化および高精度化をはかることが可能となる。
なお、絶対値エンコーダ４４ａを備えることが好ましいが、必須の構成要素ではない。 The absolute value encoder 44a disposed above the bearing 43a is a device that detects the relative rotation angle between the shaft base 41a and the rotation shaft 42a, and can detect the relative rotation angle and store it in the control device 101. . That is, after adjusting the positions of the base unit 12 and the table unit 13, the relative rotation angle optimized for the absolute value encoder 44a is stored, so that the adjustment work when restoring the working device deformed due to the transfer is restored. Efficiency and high accuracy can be achieved.
In addition, although it is preferable to provide the absolute value encoder 44a, it is not an essential component.

ガントリフレーム２に複数配設される塗布ヘッド２９は、液体を吐出するノズル３０を有する。各塗布ヘッド２９は、図示しないリニアモータにより、ガントリフレーム２の延設方向に移動自在である。また、塗布ヘッド２９はそれぞれ独立して移動することが可能である。
ガントリフレーム２が移動する第１の方向（Ｙ方向）と、塗布ヘッド２９が移動する第２の方向（Ｘ方向）とは互いに直交する。各塗布ヘッド２９は、ノズル３０をワークに近づく方向ないしは遠ざかる方向（Ｚ方向）に移動させる昇降機構を備えている。すなわち、塗布ヘッド２９の有するノズル３０とワークをＸＹＺ方向に相対動することが可能である。 A plurality of coating heads 29 arranged on the gantry frame 2 have nozzles 30 for discharging liquid. Each coating head 29 is movable in the extending direction of the gantry frame 2 by a linear motor (not shown). Further, the coating heads 29 can move independently.
A first direction (Y direction) in which the gantry frame 2 moves and a second direction (X direction) in which the coating head 29 moves are orthogonal to each other. Each coating head 29 includes an elevating mechanism that moves the nozzle 30 in a direction approaching or moving away from the workpiece (Z direction). That is, the nozzle 30 of the coating head 29 and the work can be moved relative to each other in the XYZ directions.

テーブルユニット１３は、テーブル架台３１とその上部に配設されるワークテーブル９とから構成され、テーブル架台３１はワークテーブル９を回転する回転機構を有する。すなわち、図示しないθモータ１０５の動力によりワークテーブル３２が回転することができる。
テーブルユニット１３は、架台１ａ、１ｂから延出するテーブルユニット支持部１９ａ、１９ｂに支持され、架台連結ガイド３３ａ、３３ｂにより連結される。 The table unit 13 includes a table base 31 and a work table 9 disposed on the table base 31, and the table base 31 has a rotation mechanism for rotating the work table 9. That is, the work table 32 can be rotated by the power of the θ motor 105 (not shown).
The table unit 13 is supported by table unit support portions 19a and 19b extending from the gantry 1a and 1b, and is coupled by gantry coupling guides 33a and 33b.

架台連結ガイド３３ａの構成を説明する。
図７は、前記架台連結ガイド３３ａの断面構成を示す図面である。
架台連結ガイド３３ａは、ガイドレール５１ａとガイドブロック５２ａとベアリング５３ａで構成される。
ガイドレール５１ａは、テーブルユニット支持部１９ａの上面で第１の方向（Ｙ方向）に延設される長尺部材である。ガイドブロック５２ａは、テーブル架台３１下部に接合される長尺部材であって、ガイドレール５１に嵌装することができる。
ベースユニット１２にテーブルユニット１３を連結する際は、ベースユニット１２の側方からガイドブロック５２ａをガイドレール５１ａに嵌装し、第１の方向をスライドすることで、テーブルユニット１３を取り付けることができる。テーブルユニット１３を分離する際は、ベースユニット１２の外側に向かってテーブルユニット１３を第１の方向をスライドすることで、円滑かつ容易に分離することができる。
ガイドレール５１ａとガイドブロック５２ａは、一般的なリニアガイドと同じ構成であり、ガイドレール５１ａ上をガイドブロック５２ａが円滑にスライドし、且つ、スライド方向に対し直交する方向（すなわちＸ方向およびＺ方向）のガタが小さくなるよう構成されている。
なお、架台連結ガイド３３ｂも同様の構成である。 The configuration of the gantry connection guide 33a will be described.
FIG. 7 is a cross-sectional view of the gantry connection guide 33a.
The gantry connection guide 33a includes a guide rail 51a, a guide block 52a, and a bearing 53a.
The guide rail 51a is a long member that extends in the first direction (Y direction) on the upper surface of the table unit support portion 19a. The guide block 52 a is a long member joined to the lower part of the table base 31 and can be fitted to the guide rail 51.
When connecting the table unit 13 to the base unit 12, the table unit 13 can be attached by fitting the guide block 52a to the guide rail 51a from the side of the base unit 12 and sliding in the first direction. . When separating the table unit 13, the table unit 13 can be smoothly and easily separated by sliding the table unit 13 in the first direction toward the outside of the base unit 12.
The guide rail 51a and the guide block 52a have the same configuration as a general linear guide, and the guide block 52a slides smoothly on the guide rail 51a and is orthogonal to the sliding direction (that is, the X direction and the Z direction). ) Is reduced.
The gantry connection guide 33b has the same configuration.

ベースユニット１２とテーブルユニット１３とを連結することにより、ベースユニット１２とテーブルユニット１３との相対位置、および、架台１ａと架台１ｂとの間隔が定まり、且つ、架台１ａと架台１ｂが互いに第１の方向に向かって平行な位置関係に調整される。   By connecting the base unit 12 and the table unit 13, the relative position between the base unit 12 and the table unit 13 and the distance between the gantry 1 a and the gantry 1 b are determined, and the gantry 1 a and the gantry 1 b are connected to each other first. It is adjusted to a positional relationship parallel to the direction.

≪移設手順≫
本実施例の塗布装置２０の移設作業においては、まず、テーブルユニット１３をベースユニット１２から分離する。分離作業は、テーブル架台３１を架台１ａ、１ｂの外側に向かって第１の方向をスライドさせることにより行うことができる。
続いて、ガントリーフレーム２を回動させながら架台１ａと架台１ｂとの間隔を狭くする。すなわち、ガントリーフレーム２を、θ方向ないしはその逆方向に回転させる力をかけると、回転手段１４ａ、１４ｂが回動するとともに、リニアモータ可動子２５ａ、２５ｂがスライド動することで、ガントリーフレーム２と架台１ａ、１ｂが構成する角度が直角から鋭角に変化する。これにより、ベースユニット１２は、折り畳むようにしてその荷姿がコンパクトになるため、移設に伴う運搬作業を容易に行うことができる。 ≪Relocation procedure≫
In the transfer operation of the coating apparatus 20 of the present embodiment, first, the table unit 13 is separated from the base unit 12. The separation work can be performed by sliding the table base 31 in the first direction toward the outside of the bases 1a and 1b.
Subsequently, the interval between the gantry 1a and the gantry 1b is narrowed while the gantry frame 2 is rotated. That is, when a force for rotating the gantry frame 2 in the θ direction or in the opposite direction is applied, the rotating means 14a and 14b rotate and the linear motor movable elements 25a and 25b slide to move the gantry frame 2 and The angle formed by the gantry 1a, 1b changes from a right angle to an acute angle. As a result, the base unit 12 can be folded so that the packing form becomes compact, and therefore, the carrying work accompanying the relocation can be easily performed.

運搬作業終了後、ベースユニット１２とテーブルユニット１３とを組み立てるにあたっては、まずコンパクトに変形されたベースユニット１２を元の形状に戻す作業を行う。すなわち、ガントリーフレーム２が架台１ａ、１ｂと直交する位置となるように力をかけると、回転手段１４ａ、１４ｂを回動するとともに、リニアモータ可動子２５ａ、２５ｂがスライド動し、架台１ａ、１ｂとの間隔が拡げられる。
ここで、図１２に図示するとおり、本実施例の調整具１８によれば、架台１ａ、１ｂを作業に適した間隔で保持することが可能である。すなわち、調整具１８を、架台連結ガイド３３ａ、３３ｂに通すことにより、リニアガイド７ａ、７ｂ間の平行調整および高さ調整を行うことができるよう、予め所定の距離に形成された部材が設けられており、調整後には調整具１８の締結孔１８１ａ、１８１ｂと架台１ａ、１ｂをネジ等により結合することができる。なお、図１２では、調整具１８を架台連結ガイド３３ａ、３３ｂに通して調整しているが、リニアガイド７ａ、７ｂに通して調整するようにしてもよい。
この際、分離前に絶対値エンコーダ４４ａにより記憶した回転角度の値を利用して、復元時の回転角度を調整すると、調整作業を精度良く簡単に行うことができる。
最後に、テーブル架台３１を架台連結ガイド３３ａ、３３ｂによりベースユニット１２に連結し、テーブル架台３１を所定の位置にセットすることで移設作業が完了する。 In assembling the base unit 12 and the table unit 13 after the transportation work is completed, first, the work of returning the base unit 12 that has been compactly deformed to its original shape is performed. That is, when a force is applied so that the gantry frame 2 is at a position orthogonal to the gantry 1a, 1b, the rotating means 14a, 14b are rotated and the linear motor movable elements 25a, 25b are slid to move the gantry frame 1a, 1b. The interval between and is expanded.
Here, as shown in FIG. 12, according to the adjusting tool 18 of the present embodiment, the gantry 1a, 1b can be held at intervals suitable for work. That is, a member previously formed at a predetermined distance is provided so that parallel adjustment and height adjustment between the linear guides 7a and 7b can be performed by passing the adjustment tool 18 through the gantry coupling guides 33a and 33b. After the adjustment, the fastening holes 181a and 181b of the adjustment tool 18 and the mounts 1a and 1b can be coupled with screws or the like. In FIG. 12, the adjustment tool 18 is adjusted through the gantry coupling guides 33a and 33b. However, the adjustment tool 18 may be adjusted through the linear guides 7a and 7b.
At this time, if the rotation angle at the time of restoration is adjusted using the value of the rotation angle stored by the absolute value encoder 44a before separation, the adjustment work can be easily performed with high accuracy.
Finally, the table base 31 is connected to the base unit 12 by means of base connection guides 33a and 33b, and the transfer operation is completed by setting the table base 31 at a predetermined position.

≪動作≫
本実施例の塗布装置２０の動作を、図１１に示す制御ブロック図を参照しながら説明する。
本実施例の塗布装置２０は、設定・表示器・入力手段１００から制御装置１０１に送られれた、ロボット動作手順に関するプログラム情報や、塗布に必要な各種パラメータ情報に基づき動作する。
作業対象となるワークであるガラス基板がワークテーブル９に設置されると、ワークテーブル９に配設されたセンサ１０２がガラス基板を検出した後、制御装置１０１が電磁弁１０３をＯＮとし、ワークテーブル９にガラス基板を真空吸着して固定する。
続いて、塗布ヘッド２９が備えるＣＣＤカメラ１０４にてガラス基板上に印刷された基準マーク位置を検出すると、ガントリーフレーム２の延設方向および移動方向で規定されるＸ−Ｙ軸に対するガラス基板の載置位置の傾きを算出し、θモータ１０５を駆動しワークテーブル３２をθ回転することでガラス基板のずれを補正する。 << Operation >>
The operation of the coating apparatus 20 of the present embodiment will be described with reference to the control block diagram shown in FIG.
The coating apparatus 20 according to the present embodiment operates based on program information related to the robot operation procedure sent from the setting / display / input unit 100 to the control apparatus 101 and various parameter information necessary for coating.
When a glass substrate, which is a work to be worked, is placed on the work table 9, the sensor 102 disposed on the work table 9 detects the glass substrate, and then the control device 101 turns on the electromagnetic valve 103, and the work table is turned on. A glass substrate is fixed to 9 by vacuum suction.
Subsequently, when the reference mark position printed on the glass substrate is detected by the CCD camera 104 provided in the coating head 29, the glass substrate is placed on the XY axes defined by the extending direction and moving direction of the gantry frame 2. The inclination of the mounting position is calculated, and the θ motor 105 is driven to rotate the work table 32 by θ, thereby correcting the deviation of the glass substrate.

次に、複数の塗布ヘッド２９を、そのノズル３０がガラス基板上のＸＹ平面の所定位置となるよう移動させた後、ノズル３０とガラス基板とのクリアランスが所望量となるよう塗布ヘッド２９をＺ方向に下降させる。なお、塗布ヘッド２９は、予めペーストが充填された貯留容器を備えている。
塗布ヘッド２９の移動が完了すると、制御装置１０１からディスペンスコントローラ１１１へ吐出信号が出力され、ノズル３０よりペーストを吐出しながら複数の塗布ヘッド２９がＸＹ移動する。この動作により、ガラス基板に所定の塗布形状が形成される。ここで、本実施例の塗布装置２０は、複数の塗布ヘッド２９を有するため、複数の同一塗布パターンを同時に描画形成させることができる。 Next, after moving the plurality of coating heads 29 so that the nozzles 30 are located at predetermined positions on the XY plane on the glass substrate, the coating heads 29 are moved to Z so that the clearance between the nozzles 30 and the glass substrate becomes a desired amount. Lower in the direction. The application head 29 is provided with a storage container filled with a paste in advance.
When the movement of the coating head 29 is completed, a discharge signal is output from the control device 101 to the dispense controller 111, and the plurality of coating heads 29 move XY while discharging the paste from the nozzle 30. By this operation, a predetermined coating shape is formed on the glass substrate. Here, since the coating apparatus 20 of the present embodiment has a plurality of coating heads 29, a plurality of the same coating patterns can be drawn and formed simultaneously.

Ｙモータ６９およびＸモータ７０に対する制御は、モータコントローラ１０６が各モータの位置制御を行い、モータドライバ１０７が各モータへ通電する電流量を制御することで行う。
塗布ヘッド２９のＹ方向への移動は、ガントリーフレーム２が接続される複数のＸモータ７０を、リニアスケール１０９の位置情報を基に制御することにより行う。塗布ヘッド２９のＺ方向への移動は、ノズル３０とガラス基板の隙間を検出するセンサ１０２の位置情報に基づきＺモータ１１０を制御することにより行う。 The Y motor 69 and the X motor 70 are controlled by the motor controller 106 controlling the position of each motor and the motor driver 107 controlling the amount of current supplied to each motor.
The movement of the coating head 29 in the Y direction is performed by controlling a plurality of X motors 70 to which the gantry frame 2 is connected based on position information of the linear scale 109. The movement of the coating head 29 in the Z direction is performed by controlling the Z motor 110 based on the positional information of the sensor 102 that detects the gap between the nozzle 30 and the glass substrate.

以上の動作を行う本実施例の塗布装置２０において、塗布形状の形成を高精度に行うためには、ベースユニット１２とテーブルユニット１３の位置関係が高精度に調整されている必要がある。ここで、本実施例の塗布装置２０は、移設時に部品レベルの分解が不要であり、また分離前の回転角度の値を絶対値エンコーダ４４ａが記憶しているため、ベースユニット１２とテーブルユニット１３の位置関係の調整を容易かつ効率的に行うことができるため、移設コストを最小限とすることが可能である。   In the coating apparatus 20 of the present embodiment that performs the above operations, in order to form the coating shape with high accuracy, the positional relationship between the base unit 12 and the table unit 13 needs to be adjusted with high accuracy. Here, the application apparatus 20 of the present embodiment does not require disassembly at the part level during the transfer, and the absolute value encoder 44a stores the value of the rotation angle before separation, so the base unit 12 and the table unit 13 are stored. Since the positional relationship can be adjusted easily and efficiently, the relocation cost can be minimized.

本実施例の作業装置は、ワークに接着剤等の液材を塗布する塗布装置に関し、より具体的には、ワーク上に液材を塗布形成させる装置であって、同一形状の描画パターンを同時に複数形成させるのに適した塗布装置である。すなわち、本実施例の塗布装置２０は、ワークテーブル９上に載置されたワークに対し、Ｘモータ７０とＹモータ６９の作動により、塗布ヘッド２９に対しワークテーブル９をＸ−Ｙ方向に移動させることで所望の描画パターンを形成するものである。   The working device of the present embodiment relates to a coating device that applies a liquid material such as an adhesive to a workpiece, and more specifically, a device that applies and forms a liquid material on a workpiece, and simultaneously draws drawing patterns of the same shape. It is a coating apparatus suitable for forming a plurality. That is, the coating apparatus 20 of the present embodiment moves the work table 9 in the XY direction with respect to the coating head 29 by the operation of the X motor 70 and the Y motor 69 with respect to the work placed on the work table 9. By doing so, a desired drawing pattern is formed.

図８は、第２の実施例にかかる作業装置の斜視図である。
架台１ａの上面にはリニアガイド６３が延設されており、ガントリーフレーム２の一端をスライド動することを可能としている。
実施例１と同様に、架台１ａ、１ｂはＬ字形状であり、第１の方向に沿って並設され、テーブルユニット支持部１９ａ、１９ｂの上面テーブルユニット１３を支持する。また、架台１ａ、１ｂは、床面と本装置との水平レベルを調整するレベルアジャスタ６２を下部に有している。 FIG. 8 is a perspective view of the working device according to the second embodiment.
A linear guide 63 is extended on the upper surface of the gantry 1a so that one end of the gantry frame 2 can slide.
Similar to the first embodiment, the gantry 1a, 1b is L-shaped and is arranged in parallel along the first direction, and supports the upper surface table unit 13 of the table unit support portions 19a, 19b. Further, the gantry 1a, 1b has a level adjuster 62 for adjusting the horizontal level between the floor surface and the apparatus at the lower part.

ガントリーフレーム２の下端は、回転手段１４ａ、１４ｂを介してガントリーベース６５ａ、６５ｂと接続されている。ガントリーベース６５ａはリニアガイド６３の延設方向（Y方向）に可動自在に配設されるが、ガントリーベース６５ｂは架台１ｂの上面に固定して接続されている。
回転手段１４ａ、１４ｂは、実施例１と同じ構成であり、これによりガントリーフレーム２は回動可能とされる。 The lower end of the gantry frame 2 is connected to the gantry bases 65a and 65b via the rotating means 14a and 14b. The gantry base 65a is disposed so as to be movable in the extending direction (Y direction) of the linear guide 63, but the gantry base 65b is fixedly connected to the upper surface of the gantry 1b.
The rotating means 14a and 14b have the same configuration as that of the first embodiment, so that the gantry frame 2 can be rotated.

ガントリーフレーム２には、液材を収納する液材貯留容器（図示せず）を備える塗布ヘッド２９が複数搭載され、これらはガントリーフレーム２が有する図示しないモータにより、それぞれ独立してガントリフレーム２の延設方向に可動自在とされる。かかる構成により、本塗布装置の複数の塗布ヘッド２９は、その間隔を所望する間隔（すなわち、描画パターンの間隔）に適宜調整することを可能としている。
描画パターンに応じて、複数の塗布ヘッド２９の間隔を所望間隔に調整した後、ノズル３０から図示しない吐出装置により液材を吐出させるとともに、ワークテーブル９を相対動させることにより、ワーク表面に所望形状の液材による塗布描画を行うことができる。 The gantry frame 2 is provided with a plurality of application heads 29 each having a liquid material storage container (not shown) for storing a liquid material, and these are independently of the gantry frame 2 by a motor (not shown) included in the gantry frame 2. It is movable in the extending direction. With this configuration, the plurality of coating heads 29 of the coating apparatus can appropriately adjust the interval to a desired interval (that is, a drawing pattern interval).
After adjusting the interval between the plurality of coating heads 29 to a desired interval according to the drawing pattern, the liquid material is discharged from the nozzle 30 by a discharge device (not shown) and the work table 9 is moved relative to the desired surface on the workpiece surface. Application drawing with a liquid material having a shape can be performed.

架台１ａ、１ｂの有するテーブルユニット支持部１９ａ、１９ｂの上面には、架台連結ガイド３３ａ、３３ｂを構成する長尺部材が配設されている。
テーブル架台３１を架台１ａ、１ｂの延出方向（すなわちＹ方向）にスライドさせることにより、架台連結ガイド３３ａ、３３ｂの作用によりテーブル架台３１と架台１ａ、１ｂとを円滑かつ容易に接合・分離することができる。 Long members constituting the frame connection guides 33a and 33b are arranged on the upper surfaces of the table unit support portions 19a and 19b of the frame 1a and 1b.
By sliding the table base 31 in the extending direction (that is, the Y direction) of the bases 1a and 1b, the table base 31 and the bases 1a and 1b are joined and separated smoothly and easily by the action of the base connection guides 33a and 33b. be able to.

図９は、架台連結ガイド３３ａの断面構成を示すものである。
架台連結ガイド３３ａは、凸状ブロック８１と精度良く溝状に形成された凹状レール８２で構成される。凸状ブロック８１は架台３１の下面に接合されており、凸状ブロック８１が凹状レール８２上をスライド動することで、架台３１をＹ方向にスライド自在に構成している。なお、凸状ブロック８１と凹状レール８２はＶ溝形状、Ｕ溝形状等の任意の形状とすることができる。
なお、架台連結ガイド３３ｂも同様の構成である。
また、架台連結ガイド３３ａ、３３ｂは、テーブル架台３１がスライドする方向に対し直交する方向（すなわち、Ｘ方向およびＺ方向）のガタを小さくするよう構成されており、架台連結ガイド３３ａ、３３ｂと架台１ａ、１ｂとを精度良く連結させることができる。
架台連結ガイド３３ａ、３３ｂの嵌合部は、円滑にスライドできるよう精度良く加工されていることはいうまでもない。 FIG. 9 shows a cross-sectional configuration of the gantry coupling guide 33a.
The gantry connection guide 33a includes a convex block 81 and a concave rail 82 formed in a groove shape with high accuracy. The convex block 81 is joined to the lower surface of the gantry 31, and the gantry 31 is configured to be slidable in the Y direction when the convex block 81 slides on the concave rail 82. In addition, the convex block 81 and the concave rail 82 can be made into arbitrary shapes, such as V groove shape and U groove shape.
The gantry connection guide 33b has the same configuration.
Further, the gantry connection guides 33a and 33b are configured to reduce backlash in directions orthogonal to the direction in which the table gantry 31 slides (that is, the X direction and the Z direction), and the gantry connection guides 33a and 33b and the gantry 1a and 1b can be connected with high accuracy.
Needless to say, the fitting portions of the gantry connection guides 33a and 33b are processed with high accuracy so that they can slide smoothly.

≪移設手順≫
本実施例の塗布装置２０の移設作業においては、まず、テーブルユニット１３をベースユニット１２から分離する。分離作業は、テーブル架台３１を連結ガイド３３ａ、３３ｂにより架台１ａ、１ｂの外側に移動させることにより行うことができる。
続いて、回転手段１４ｂを回転中心として、ガントリーフレーム２を回動させながら架台１ａと架台１ｂとの間隔を狭くする。すなわち、ガントリーフレーム２を、θ方向に回転させる力をかけると、回転手段１４ａ、１４ｂが回動するとともに、ガントリーベース６５ａがリニアガイド６３上をスライド動することで、ガントリーフレーム２と架台１ａ、１ｂが構成する角度が直角から鋭角に変化する。これにより、ベースユニット１２は、折り畳むようにしてその荷姿がコンパクトになるため、移設に伴う運搬作業を容易に行うことができる。 ≪Relocation procedure≫
In the transfer operation of the coating apparatus 20 of the present embodiment, first, the table unit 13 is separated from the base unit 12. The separation work can be performed by moving the table base 31 to the outside of the bases 1a and 1b by the connection guides 33a and 33b.
Subsequently, the interval between the gantry 1a and the gantry 1b is narrowed while rotating the gantry frame 2 around the rotation means 14b. That is, when a force for rotating the gantry frame 2 in the θ direction is applied, the rotating means 14a and 14b rotate and the gantry base 65a slides on the linear guide 63, whereby the gantry frame 2 and the gantry 1a, The angle formed by 1b changes from a right angle to an acute angle. As a result, the base unit 12 can be folded so that the packing form becomes compact, and therefore, the carrying work accompanying the relocation can be easily performed.

運搬作業終了後、ベースユニット１２とテーブルユニット１３とを組み立てるにあたっては、まずコンパクトに変形されたベースユニット１２を元の形状に戻す作業を行う。すなわち、ガントリーフレーム２が架台１ａ、１ｂと直交する位置となるように力をかけると、回転手段１４ａ、１４ｂを回動するとともに、ガントリーベース６５ａがスライド動し、架台１ａ、１ｂとの間隔が拡げられる。
この際、分離前に絶対値エンコーダ４４ａにより記憶した回転角度の値を利用して、復元時の回転角度を調整すると、調整作業を精度良く簡単に行うことができる。
最後に、テーブル架台３１を架台連結ガイド３３ａ、３３ｂによりベースユニット１２に連結し、テーブル架台３１を所定の位置にセットすることで移設作業が完了する。 In assembling the base unit 12 and the table unit 13 after the transportation work is completed, first, the work of returning the base unit 12 that has been compactly deformed to its original shape is performed. That is, when a force is applied so that the gantry frame 2 is at a position orthogonal to the gantry 1a, 1b, the rotating means 14a, 14b are rotated, and the gantry base 65a is slid and the distance from the gantry 1a, 1b is increased. Can be expanded.
At this time, if the rotation angle at the time of restoration is adjusted using the value of the rotation angle stored by the absolute value encoder 44a before separation, the adjustment work can be easily performed with high accuracy.
Finally, the table base 31 is connected to the base unit 12 by means of base connection guides 33a and 33b, and the transfer operation is completed by setting the table base 31 at a predetermined position.

以上のとおり、本実施例の装置は、一のリニアガイドで折りたたみを可能とする構成であるから、実施例１の装置よりも低コストで装置を構成できる。
また、架台連結ガイドを簡単な溝構造としているため、実施例１の装置よりも低コストで装置を構成することができる。 As described above, the apparatus according to the present embodiment is configured to be foldable with a single linear guide, and therefore the apparatus can be configured at a lower cost than the apparatus according to the first embodiment.
Further, since the gantry connection guide has a simple groove structure, the apparatus can be configured at a lower cost than the apparatus of the first embodiment.

本実施例の作業装置は、ワークに接着剤等の液材を塗布する塗布装置に関する。
本実施例の塗布装置２０は、図１０に示すように、ユニットテーブル支持部１９ａ、１９ｂの上面に形成されたＶ形状の溝と、テーブルユニット１３の下面に形成されたＶ形状の突起とにより構成される架台連結ガイド３３ａ、３３ｂを有する点に特徴がある。
テーブルユニット１３とベースユニット１２との連結作業は、点線で示す台車３上にテーブル架台３１を積載して行う。台車３を用いることにより、テーブルユニット１３の移動および位置調整が容易となり、連結作業にかかる工数を短縮することができる。その効果は、特に、テーブルユニット１３のサイズが大きくなるほど顕著となる。
なお、テーブルユニット１３とベースユニット１２とを連結した後、台車３をテーブルユニット１３から容易に脱離させることができるよう、高さ調節機構を備えるのが好ましい。 The working apparatus according to the present embodiment relates to a coating apparatus that applies a liquid material such as an adhesive to a workpiece.
As shown in FIG. 10, the coating apparatus 20 of the present embodiment includes a V-shaped groove formed on the upper surfaces of the unit table support portions 19 a and 19 b and a V-shaped protrusion formed on the lower surface of the table unit 13. It is characterized in that it includes the gantry connection guides 33a and 33b.
The connecting operation of the table unit 13 and the base unit 12 is performed by loading the table frame 31 on the carriage 3 indicated by the dotted line. By using the carriage 3, the movement and position adjustment of the table unit 13 can be facilitated, and the number of man-hours required for the connecting work can be reduced. The effect becomes particularly remarkable as the size of the table unit 13 increases.
In addition, after connecting the table unit 13 and the base unit 12, it is preferable to provide a height adjustment mechanism so that the cart 3 can be easily detached from the table unit 13.

本発明の技術思想は、液晶パネル、半導体、プリント基板などの電子機器の製造および検査に用いられる作業装置に適用することができる。例えば、フラットパネルのガラス基板に所望の形状のペーストパターンを塗布する塗布装置や、ペーストを吐出する塗布ヘッドを搭載するガントリー機構とガラス基板を固定するテーブルの機構に好適である。
また、試薬を被試験体に分注する分注装置や、工作加工機、実装機等にも適用することができ、例えば、塗布ヘッドの代わりに、ドリル等の加工ヘッドを搭載した加工機や、ピックアップヘッドを搭載して部品をワークに実装する実装機等にも適用することができる。 The technical idea of the present invention can be applied to a working apparatus used in the manufacture and inspection of electronic devices such as liquid crystal panels, semiconductors, and printed circuit boards. For example, it is suitable for a coating apparatus for applying a paste pattern of a desired shape to a flat panel glass substrate, a gantry mechanism for mounting a coating head for discharging paste, and a table mechanism for fixing the glass substrate.
It can also be applied to a dispensing device, a machine tool, a mounting machine, etc. for dispensing a reagent to a test object. For example, a processing machine equipped with a processing head such as a drill instead of a coating head, The present invention can also be applied to a mounting machine or the like that mounts a pickup head and mounts components on a workpiece.

本発明の作業装置の正面図である。It is a front view of the working device of the present invention. 本発明の作業装置の平面図である。It is a top view of the working device of the present invention. 本発明の作業装置の変形手順を説明する平面図である（１／３）。It is a top view explaining the deformation | transformation procedure of the working device of this invention (1/3). 本発明の作業装置の変形手順を説明する平面図である（２／３）。It is a top view explaining the deformation | transformation procedure of the working device of this invention (2/3). 本発明の作業装置の変形手順を説明する平面図である（３／３）。It is a top view explaining the deformation | transformation procedure of the working device of this invention (3/3). 本発明の作業装置を変形し、固定具を装着した状態の正面図である。It is a front view of the state which deform | transformed the working device of this invention and equipped with the fixing tool. 実施例１に係る作業装置の斜視図である。1 is a perspective view of a working device according to a first embodiment. 実施例１に係る作業装置の回転手段を説明する断面構成図である。It is a cross-sectional block diagram explaining the rotation means of the working device which concerns on Example 1. FIG. 実施例１に係る作業装置の架台連結ガイドを説明する断面構成図である。It is a section lineblock diagram explaining the mount connection guide of the working device concerning Example 1. 実施例２に係る作業装置の斜視図である。6 is a perspective view of a working device according to Embodiment 2. FIG. 実施例２に係る作業装置の架台連結ガイドを説明する断面構成図である。It is a cross-sectional block diagram explaining the mount connection guide of the working device which concerns on Example 2. FIG. 実施例３に係る作業装置の正面図である。FIG. 10 is a front view of a working device according to a third embodiment. 実施例１に係る作業装置の動作の概要を説明する制御ブロック図である。FIG. 3 is a control block diagram for explaining an outline of the operation of the work apparatus according to the first embodiment. 実施例１に係る作業装置に調整具を装着した状態の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a state in which an adjustment tool is mounted on the working device according to the first embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

１ 架台
２ ガントリーフレーム
３ 可動台車
７ リニアガイド
８ 作業ヘッド
９ ワークテーブル
１１ 固定具
１２ ベースユニット
１３ テーブルユニット
１４ 回転手段
１５ スライダー
１６ スライドベース
１８ 調整具
１９ テーブルユニット支持部
２０ 塗布装置
２１ 板材
２２ ネジ
２４ リニアモータ固定子
２５ リニアモータ可動子
２６ リニアスケール
２９ 塗布ヘッド
３０ ノズル
３１ テーブル架台
３３ 架台連結ガイド
４１ 軸台
４２ 回転軸
４３ ベアリング
４４ 絶対値エンコーダ
５１ ガイドレール
５２ ガイドブロック
６２ レベルアジャスタ
６３ リニアガイド
６５ ガントリーベース
６９ Ｙモータ
７０ Ｘモータ
８１ 凸状レール
８２ 凹状レール
１００ 設定・表示器
１０１ 制御装置
１０２ センサ
１０３ 電磁弁
１０４ ＣＣＤカメラ
１０５ θモータ
１０６ モータコントローラ
１０７ モータドライバ
１０９ リニアスケール
１１０ Ｚモータ
１１１ ディスペンスコントローラ
１８１ 締結孔 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Stand 2 Gantry frame 3 Movable carriage 7 Linear guide 8 Work head 9 Work table 11 Fixing tool 12 Base unit 13 Table unit 14 Rotating means 15 Slider 16 Slide base 18 Adjustment tool 19 Table unit support part
DESCRIPTION OF SYMBOLS 20 Application | coating apparatus 21 Plate material 22 Screw 24 Linear motor stator 25 Linear motor movable element 26 Linear scale 29 Coating head 30 Nozzle 31 Table mount 33 Mount mount connection guide 41 Shaft mount 42 Rotating shaft 43 Bearing 44 Absolute value encoder 51 Guide rail 52 Guide block 62 Level adjuster 63 Linear guide 65 Gantry base 69 Y motor 70 X motor 81 Convex rail 82 Concave rail 100 Setting / display 101 Controller 102 Sensor 103 Electromagnetic valve 104 CCD camera 105 θ motor 106 Motor controller 107 Motor driver 109 Linear scale 110 Z motor 111 Dispense controller 181 Fastening hole

Claims (19)

ベースユニットとワークテーブルユニットとから構成されるガントリー型作業装置であって、
前記ベースユニットは、第１の方向に並設される二つの架台と、第１の方向と直交する第２の方向に配設され、その下端部が回転手段を介して二つの架台に接続されるガントリーフレームと、ガントリーフレームに配設され、ワークに対し作業を行う作業部を備え、
前記ワークテーブルユニットは、前記ベースユニットの有する前記二つの架台の間に設置され、ワークを保持するワークテーブルと、それを支持するテーブル架台を備え、
前記作業部と前記ワークの相対位置関係を変化させることにより、ワークに所望の作業を行うことができ、
非作業時においては、前記ワークテーブルユニットを前記ベースユニットから分離すること、並びに、前記ガントリーフレームを回動させながら前記二つの架台の間隔を狭めることができることを特徴とするガントリー型作業装置。 A gantry-type working device composed of a base unit and a work table unit,
The base unit is arranged in two bases arranged in parallel in the first direction and in a second direction orthogonal to the first direction, and a lower end portion thereof is connected to the two bases via a rotating means. A gantry frame, and a working unit that is disposed on the gantry frame and performs work on the workpiece,
The work table unit is installed between the two mounts of the base unit, and includes a work table for holding a work and a table support for supporting the work table.
By changing the relative positional relationship between the working unit and the work, a desired work can be performed on the work,
A gantry-type working device characterized in that, when not in operation, the work table unit can be separated from the base unit, and the interval between the two frames can be narrowed while rotating the gantry frame. 前記ガントリーフレームの下端部のいずれかが、前記架台上を第１の方向に移動するスライダーとを介して前記架台の上面に配設されたスライドベースに接続されることを特徴とする請求項１に記載のガントリー型作業装置。   2. One of the lower ends of the gantry frame is connected to a slide base disposed on an upper surface of the gantry via a slider that moves in the first direction on the gantry. The gantry type work device as described in 1. 前記ガントリーフレームの下端部の両方が、前記架台上を第１の方向に移動するスライダーとを介して前記架台の上面に配設されたスライドベースに接続されることを特徴とする請求項１に記載のガントリー型作業装置。   The both lower ends of the gantry frame are connected to a slide base disposed on an upper surface of the gantry via a slider that moves in a first direction on the gantry. The gantry type working device as described. 前記スライダーは、リニアモータ駆動であることを特徴とする請求項２または３に記載のガントリー型作業装置。   The gantry-type working device according to claim 2 or 3, wherein the slider is driven by a linear motor. 前記二つの架台にそれぞれ延設された第１の長尺部材と、それらと係合する前記テーブル架台に延設された第２の長尺部材とから構成される架台連結ガイドを備え、前記テーブルユニットおよび前記ベースユニットが架台連結ガイドにより連結されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のガントリー型作業装置。   A table connecting guide comprising a first long member extending on each of the two frames and a second long member extending on the table frame engaging with the two members; 5. A gantry-type work apparatus according to claim 1, wherein the unit and the base unit are connected by a gantry connection guide. 前記架台連結ガイドを構成する第１および第２の長尺部材は、二つのＶ谷形状のレール部材と二つのＶ山形状のレール部材との組み合わせからなることを特徴とする請求項５記載のガントリー型作業装置。   6. The first and second long members constituting the gantry connecting guide are a combination of two V-valley-shaped rail members and two V-shaped rail members. Gantry type work device. 前記架台連結ガイドを構成する第１および第２の長尺部材は、二つのガイドレールとそれらと嵌装する二つのガイドブロックとの組み合わせからなることを特徴とする請求項５に記載のガントリー型作業装置。   6. The gantry type according to claim 5, wherein the first and second elongated members constituting the gantry coupling guide comprise a combination of two guide rails and two guide blocks fitted therein. Work equipment. 前記二つの架台はＬ字形状であり、その高位置の上面に前記ガントリーフレームの下端部が接続され、その低位置の上面に前記第１の長尺部材が延設されることを特徴とする請求項６または７に記載のガントリー型作業装置。   The two frames are L-shaped, the lower end of the gantry frame is connected to the upper surface of the high position, and the first long member is extended to the upper surface of the low position. The gantry type work device according to claim 6 or 7. 前記ベースユニットは、前記二つの架台と前記ガントリーフレームとが構成する角度を計測し、記憶するエンコーダを有することを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載のガントリー型作業装置。   The gantry-type work apparatus according to any one of claims 1 to 8, wherein the base unit includes an encoder that measures and stores an angle formed by the two gantry and the gantry frame. 前記ワークテーブルユニットは、前記ワークテーブルを前記第１の方向に移動自在とするワークテーブル移動手段を備えることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載のガントリー型作業装置。   The gantry-type work apparatus according to any one of claims 1 to 9, wherein the work table unit includes work table moving means for moving the work table in the first direction. 前記ワークテーブルユニットは、前記ワークテーブルを前記第１の方向および前記第２の方向に移動自在とするワークテーブル移動手段を備えることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載のガントリー型作業装置。   The gantry type according to any one of claims 1 to 9, wherein the work table unit includes work table moving means for moving the work table in the first direction and the second direction. Work equipment. 前記ワークテーブル移動手段は、リニアモータ駆動であることを特徴とする請求項１０または１１に記載のガントリー型作業装置。   The gantry-type work apparatus according to claim 10 or 11, wherein the work table moving means is a linear motor drive. 前記ガントリーフレームは、前記作業部を第２の方向に移動自在とする作業部移動手段を備えることを特徴とする請求項１ないし１２のいずれかに記載のガントリー型作業装置。   The gantry-type work device according to any one of claims 1 to 12, wherein the gantry frame includes work part moving means for making the work part movable in a second direction. 前記ガントリーフレームは、前記作業部を上下方向に移動自在とする作業部移動手段を備えることを特徴とする請求項１ないし１３のいずれかに記載のガントリー型作業装置。   The gantry-type working device according to any one of claims 1 to 13, wherein the gantry frame includes working part moving means that allows the working part to move in the vertical direction. 前記ベースユニットは、前記二つの架台を非作業時の間隔に保持する固定具を有することを特徴とする請求項１ないし１４のいずれかに記載のガントリー型作業装置。   The gantry-type working device according to any one of claims 1 to 14, wherein the base unit includes a fixture that holds the two mounts at intervals when not in operation. 前記ベースユニットは、前記固定具を締結するための締結孔を有することを特徴とする請求項１５に記載のガントリー型作業装置。   The gantry-type working device according to claim 15, wherein the base unit has a fastening hole for fastening the fixture. 前記ベースユニットは、前記二つの架台の間隔を作業時の間隔に調整して、保持する調整具を備えることを特徴とする請求項請求項１ないし１６のいずれかに記載のガントリー型作業装置。   The gantry-type work apparatus according to any one of claims 1 to 16, wherein the base unit includes an adjustment tool that adjusts and holds the distance between the two gantry to the work interval. 前記ベースユニットは、前記固定具を締結するための締結孔を有することを特徴とする請求項１７に記載のガントリー型作業装置。   The gantry-type work apparatus according to claim 17, wherein the base unit has a fastening hole for fastening the fixture. 前記ベースユニットは、複数のガントリーフレームを有することを特徴とする請求項１ないし１８のいずれかに記載のガントリー型作業装置。
The gantry-type work apparatus according to claim 1, wherein the base unit includes a plurality of gantry frames.
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