JP2008053366A - 固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、積層増幅型のMOSセンサにおいて、画素の微細化にともなう感度特性・飽和信号量の劣化を抑制できるようにする。
【解決手段】たとえば、MOSセンサの単位セル611は、P導電型シリコン基板21上のP導電型エピタキシャル層21aの表面に、フォトダイオードとなるN導電型の電荷蓄積部24、および、走査トランジスタ部のP導電型ウェル領域25が設けられている。エピタキシャル層21aの上方には、層間膜31,33,35および窒化膜38を介して、N導電型の光電変換層39が積層されている。光電変換層39には、窒化膜38および層間膜31,33,35を貫通し、電荷蓄積部24につながるN導電型のコンタクト層40が接続されている。光電変換層39は、分離層41によって画素ごとに分離されている。
【選択図】 図2
【解決手段】たとえば、MOSセンサの単位セル611は、P導電型シリコン基板21上のP導電型エピタキシャル層21aの表面に、フォトダイオードとなるN導電型の電荷蓄積部24、および、走査トランジスタ部のP導電型ウェル領域25が設けられている。エピタキシャル層21aの上方には、層間膜31,33,35および窒化膜38を介して、N導電型の光電変換層39が積層されている。光電変換層39には、窒化膜38および層間膜31,33,35を貫通し、電荷蓄積部24につながるN導電型のコンタクト層40が接続されている。光電変換層39は、分離層41によって画素ごとに分離されている。
【選択図】 図2
Description
この発明は固体撮像装置に関し、たとえばCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)センサカメラに使用される、積層された光電変換層を備える積層増幅型固体撮像装置に関する。
近年、MOS型の固体撮像装置においては、画素(単位セル)の微細化にともなう、光電変換部である埋め込みフォトダイオードの面積の縮小により、感度特性・飽和信号量が劣化するという問題が顕在化している。また、微細化は、画素間での信号リーク量を増加させ、混色の増大により、色再現性の悪化を招くという問題もある。
すなわち、MOS型の固体撮像装置の場合、近年の多画素化・画素微細化にともない、1画素あたりの画素サイズが2μmを切るようになってきた。これ以上、画素サイズが小さくなると、埋め込みフォトダイオードのサイズが光の回折限界を下回ってしまうことになる。そのため、どのようなレイアウトを駆使しても、画素特性を維持することは不可能である。
なお、昨今では、画素の開口率を上げるため、走査トランジスタ上に光電変換膜を形成する技術(いわゆる、積層増幅型固体撮像装置)も見られるが、残像および画素間での信号リークの問題は解決されていない(たとえば、特許文献1参照)。
特開2001−144279号公報
本発明は、上記の問題点を解決すべくなされたもので、画素の微細化にともなう感度特性・飽和信号量の劣化を抑制でき、混色の増大を防止することが可能な固体撮像装置を提供することを目的としている。
本願発明の一態様によれば、半導体基板上に、光電変換部および信号走査回路部を含む複数の単位セルを行列方向に二次元状に配置してなる撮像領域を備える固体撮像装置であって、前記光電変換部が、前記半導体基板の表面領域に形成された電荷蓄積層と、前記電荷蓄積層の上方に層間膜を介して積層され、かつ、前記単位セルごとに分離して形成された光電変換層とを有してなることを特徴とする固体撮像装置が提供される。
また、本願発明の一態様によれば、半導体基板の表面領域に形成された複数の信号走査回路部と、前記複数の信号走査回路部の近傍にそれぞれ設けられた、前記半導体基板の表面領域に埋設された電荷蓄積層、および、前記電荷蓄積層の上方に層間膜を介して積層された光電変換層を含む、複数の光電変換部と、前記光電変換層の相互を各画素単位に分離するための分離層とを具備したことを特徴とする固体撮像装置が提供される。
上記の構成により、画素の微細化にともなう感度特性・飽和信号量の劣化を抑制でき、混色の増大を防止することが可能な固体撮像装置を提供できる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。ただし、図面は模式的なものであり、各図面の寸法や比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面の相互間においても、互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
[第1の実施形態]
図1は、この発明の第1の実施形態にしたがった、固体撮像装置の基本構成を示すものである。ここでは、CMOSセンサカメラなどに使用される、積層構造の光電変換層を備えるMOSセンサ(積層増幅型固体撮像装置)を例に説明する。
図1は、この発明の第1の実施形態にしたがった、固体撮像装置の基本構成を示すものである。ここでは、CMOSセンサカメラなどに使用される、積層構造の光電変換層を備えるMOSセンサ(積層増幅型固体撮像装置)を例に説明する。
図1に示すように、このMOSセンサは、フォトダイオード(電荷蓄積部)111,112,113、121,122,123、131,132,133と、各フォトダイオード111,112,113、121,122,123、131,132,133の信号を読み出す信号読み出しトランジスタ211,212,213、221,222,223、231,232,233と、各フォトダイオード111,112,113、121,122,123、131,132,133から読み出された信号を増幅する増幅トランジスタ311,312,313、321,322,323、331,332,333と、信号を読み出すラインを選択する垂直選択トランジスタ(アドレストランジスタ)411,412,413、421,422,423、431,432,433と、信号荷電をリセットするリセットトランジスタ511,512,513、521,522,523、531,532,533とからなる複数の単位セル(画素)611,612,613、621,622,623、631,632,633が、3(行方向)×3(列方向)の二次元状に配列されている。なお、ここでは3×3としたが、実際のMOSセンサには、これよりも多くの単位セルが配列されている。
垂直シフトレジスタ7から水平方向に配線されている水平アドレス線81 、82 、83 は、上記垂直選択トランジスタ411,412,413、421,422,423、431,432,433のゲートに接続されて、信号を読み出すラインの決定に供される。リセット線91 、92 、93 は、リセットトランジスタ511,512,513、521,522,523、531,532,533のゲートに結線されている。
上記増幅トランジスタ311,312,313、321,322,323、331,332,333のソースは垂直信号線101 、102 、103 に接続されており、その一端には、負荷トランジスタ111 、112 、113 のドレインが接続されている。負荷トランジスタ111 、112 、113 の各ゲートは信号線12に接続され、各ソースは信号線13に接続されている。垂直信号線101 、102 、103 の他端は、水平シフトレジスタ14から供給される水平選択パルスにより選択される水平選択トランジスタ151 、152 、153 を介して、水平信号線16に結線されている。
なお、図1中に示す17は画素領域(撮像領域)であり、18は、画素領域17を走査するレジスタ7,14などを含む周辺回路領域(駆動回路領域)である。
このように構成されたMOSセンサの動作は、以下の通りである。まず、垂直シフトレジスタ7からの垂直選択パルスが水平アドレス線81 、82 、83 に順次印加され、該ラインの垂直選択トランジスタのみがオンされる。すると、選択されたラインの増幅トランジスタと負荷トランジスタとでソースフォロワ回路が構成され、増幅トランジスタのゲート電圧、つまり、フォトダイオードの電圧とほぼ同等の電圧が垂直信号線に現れる。次いで、水平シフトレジスタ14からの水平選択パルスが水平選択トランジスタ151 、152 、153 に順次印加され、水平信号線16から1ライン分の信号が順次取り出される。この動作を、次のライン、さらに次のラインへと、順次続けることにより、二次元状の全ての信号を読み出すことができる。
図2は、図1に示したMOSセンサの、単位セルの構成を簡易的に示すものである。なお、同図(a)は一部を透過して示す平面図であり、同図(b)は図(a)のIIb−IIb線に沿う断面図である。また、ここでは、単位セル611を例に説明するが、他のセルについても同様である。
図2において、たとえば、半導体基板であるP導電型(第2導電型)シリコン基板21の表面領域(P導電型エピタキシャル層)21aには、素子分離領域22によって、活性化領域23が画定されている。その活性化領域23内には、フォトダイオード111となるN導電型(第1導電型)の電荷蓄積部24、および、走査トランジスタ部(信号走査回路部)用のP導電型のウェル領域25が設けられている。本実施形態の場合、ウェル領域25は、その一部(一端)が素子分離領域22の下方部にまで延在して形成されている。
活性化領域23に対応する、上記P導電型エピタキシャル層21aの表面上には、ゲート絶縁膜をそれぞれ介して、信号読み出しトランジスタ211のゲート電極26、リセットトランジスタタ511のゲート電極27、垂直選択トランジスタ411のゲート電極28、および、増幅トランジスタ311のゲート電極29が配置されている。ゲート電極26,27,28,29にそれぞれ隣接する、上記ウェル領域25の表面領域には、各トランジスタ211,311,411,511のソースまたはドレインとなるN導電型の拡散層領域30が形成されている。なお、電荷蓄積部24が、信号読み出しトランジスタ211のドレインとして機能する。
P導電型シリコン基板21の表面上には、層間膜31を介して、たとえばアルミニウム(Al)からなる下層の配線層32が設けられている。この下層の配線層32の上層には、層間膜33を介して、たとえばAlからなる上層の配線層34が設けられている。層間膜33上には、上層の配線層34の周囲を覆うようにして層間膜35が設けられている。上記層間膜31,33には、この断面または他の断面において、各配線層32,34につながる、複数のゲートコンタクト36および拡散層コンタクト37が形成されている。
層間膜35上には、窒化膜38を介して、N導電型の光電変換層39が積層されている。光電変換層39は、たとえば、Nドープトポリシリコンといった水素含有量の高いアモルファスシリコンからなる光CVD(Chemical Vapor Deposition)膜である。この光電変換層39には、上記窒化膜38および上記層間膜31,33,35を貫通し、上記電荷蓄積部24につながるN導電型のコンタクト層40が接続されている。このコンタクト層40を含む、上記電荷蓄積部24および上記光電変換層39によって、光電変換部が構成されている。
光電変換層39の周辺部には、この光電変換層39を画素ごとに分離するための分離層41が設けられている。分離層41は、活性化領域23を除く、素子分離領域22にほぼ対応して配置されている。すなわち、単位セル611,612,613、621,622,623、631,632,633は、光電変換層39の相互が分離層41によって分離されている。これにより、全ての画素に対して、光電変換層を単一層によって形成し、電荷蓄積部から引き出される電極と透明電極との電界によって画素間を分離する方式のものに比して、隣接する画素間での電荷の混入を減少できる。したがって、画素が微細化されても、良好な感度特性・飽和信号量を確保することができるとともに、混色を防止することが可能となる。なお、分離層41は、光電変換層39に比べ、水素含有量が少ない(光透過率の低い)、たとえばTEOS(Tetra Ethoxy Silane)膜からなる。
そして、少なくとも上記光電変換層39の上面には、順に、透明電極42、カラーフィルタ43、および、マイクロレンズ44が積層されている。
このような積層増幅型構造のMOSセンサ(単位セル611)においては、マイクロレンズ44により集光された光が、カラーフィルタ43および透明電極42を介して、光電変換層39に入射され、ここで信号電荷に変換される。この信号電荷は、光電変換層39と電荷蓄積部24との間の電位関係(電位差)により、コンタクト層40を介して、光電変換層39から電荷蓄積部24へと引き込まれ、そこに蓄積される。
次に、上記した構造のMOSセンサの製造方法について、一例を挙げて簡単に説明する。なお、ここで示す各工程図は、いずれも図2(b)に対応する(図2(a)のIIb−IIb線に沿う)断面図である。
まず、たとえば図3に示すように、P導電型シリコン基板21上のP導電型エピタキシャル層21aの表面領域に選択的に素子分離領域22を形成する。たとえば、P導電型シリコン基板21の不純物濃度は、1E18〜1E20cm-3であり、P導電型エピタキシャル層21aの不純物濃度は、1E14〜1E16cm-3である。
次いで、たとえば図4に示すように、素子分離領域22によって画定された活性化領域23内に、電荷蓄積部24およびウェル領域25を形成する。なお、電荷蓄積部24の形成は、ゲート電極の配置後に行うようにしてもよい。
次いで、たとえば図5に示すように、P導電型エピタキシャル層21aの表面上に、ゲート絶縁膜をそれぞれ介して、信号読み出しトランジスタ211のゲート電極26、リセットトランジスタタ511のゲート電極27、垂直選択トランジスタ411のゲート電極28、および、増幅トランジスタ311のゲート電極29を形成する。
次いで、たとえば図6に示すように、ゲート電極26,27,28,29にそれぞれ隣接する、上記ウェル領域25の表面領域に、各トランジスタ211,311,411,511のソースまたはドレインとなる拡散層領域30を形成する。
次いで、たとえば図7に示すように、P導電型シリコン基板21の表面上に層間膜31を形成した後、その層間膜31に、ゲート電極26,27,28,29および拡散層領域30につながるゲートコンタクト36および拡散層コンタクト37を形成する。また、層間膜31上に、ゲートコンタクト36または拡散層コンタクト37につながる下層の配線層32を形成する。さらに、下層の配線層32の上層にも配線を設ける場合は、層間膜33を形成した後、その層間膜33上に、コンタクト(図示していない)につながる、上層の配線層34を形成する。また、上記層間膜33上に、上層の配線層34を埋め込むようにして、層間膜35を形成する。このとき、配線層32,34を、後に形成される光電変換層39の隙間に、遮光層として配置することにより、混色および画素間での信号リークを防止する上で有効となる。
次いで、たとえば図8に示すように、層間膜35上に、この後に形成する光電変換層39のための、エッチングストッパーとなる窒化膜38を形成する。そして、その上部に、分離層41となる、たとえばTEOS膜を形成する。その後、TEOS膜を選択的にエッチングし、分離層41を形成すると同時に、光電変換層39を形成するための凹部39aを開口する。さらに、上記窒化膜38および上記層間膜31,33,35の一部を貫通し、凹部39aの底に、上記電荷蓄積部24に達するコンタクト孔40aを開口する。
次いで、凹部39aおよびコンタクト孔40a内に、アモルファスシリコンなどの光CVD膜を埋め込み、光電変換層39とコンタクト層40とを同時に形成する。なお、光電変換層39およびコンタクト層40を形成する工程としては、光CVD膜を埋め込んだ後に、その上面をCMP(Chemical Mechanical Polishing)法により平坦化するプロセスが有効である。また、分離層41の形成は、光電変換層39およびコンタクト層40の形成後に行うようにしてもよい。
この後、たとえば図9に示すように、全画素の光電変換層39上に、たとえばITO(Indium Tin Oxide)などの透明電極42を形成する。また、透明電極42上に、それぞれ、カラーフィルタ43およびマイクロレンズ44の形成を行うことによって、図2に示した断面構造の単位セル611を有するMOSセンサが完成する。
上記したように、フォトダイオードとは異なる、光電変換層により光電変換を行う構造のMOSセンサにおいて、分離層によって、この光電変換層を画素ごとに分離させるようにしている。すなわち、同一のシリコン基板上に集積されているフォトダイオードおよび走査トランジスタ部(信号読み出しトランジスタ、増幅トランジスタ、リセットトランジスタ、および、アドレストランジスタ)の上方に積層された光電変換層によって光電変換する積層増幅型のMOSセンサによれば、感度特性を増加でき、飽和信号量を増大させることが可能となるため、画素が微細化されて、フォトダイオードの面積が縮小されても、画素のサイズが光の回折限界を超えるまでは画素特性を維持することが可能となるとともに、S/N比に占める光のショットノイズの比率をも抑制できるのみでなく、光電変換層を分離層によって画素ごとに分離させたことにより、画素の微細化にともなう、画素間での信号リーク量および単板式カメラに応用した場合の混色の低減が可能となる。
[第2の実施形態]
図10は、この発明の第2の実施形態にしたがった、積層構造の光電変換層を備えるMOSセンサ(積層増幅型固体撮像装置)の、単位セルの構成例を示すものである。なお、ここでは、図2に示したMOSセンサ(単位セル611)と同一部分には同一符号を付して、詳しい説明は割愛する。
図10は、この発明の第2の実施形態にしたがった、積層構造の光電変換層を備えるMOSセンサ(積層増幅型固体撮像装置)の、単位セルの構成例を示すものである。なお、ここでは、図2に示したMOSセンサ(単位セル611)と同一部分には同一符号を付して、詳しい説明は割愛する。
本実施形態のMOSセンサ(単位セル611’)は、電荷蓄積部24および光電変換層39とこれらをつなぐコンタクト層40とに、図10に示すような、P導電型の半導体層(第2導電型領域)51を設けてなる点で、第1の実施形態に示したMOSセンサと異なっている。P導電型の半導体層51は、その不純物濃度を、たとえば1E18〜1E20cm-3とすることにより、電荷を空乏化することが可能になる。
すなわち、この第2の実施形態に示すMOSセンサの場合、たとえば、電荷蓄積部24の表面部、光電変換層39の底面部、および、コンタクト層40の側面部に、連続するようにしてP導電型の半導体層51が形成されている。このような構成のMOSセンサによっても、感度特性および飽和信号量を増加できることは勿論のこと、加えて、PN接合による容量結合により光電変換層39で問題となる残像をも低減させることが可能となる。
ここで、半導体層51の形成は、たとえば、電荷蓄積層24を形成した後に、その表面部(界面)に、あらかじめ半導体層51となるP導電型層を形成する。そして、光電変換層39およびコンタクト層40を形成するための光CVD膜を埋め込む前に、凹部39aおよびコンタクト孔40a内にP導電型層を埋め込む。再度、埋め込んだP導電型層が凹部39aの底面部およびコンタクト孔40aの側面部にだけ残るようにエッチングして、コンタクト層40を形成するためのコンタクト孔を開口し直した後、始めて光CVD膜の埋め込みを行うようにすればよい。なお、コンタクト孔40aを開口する際のオーバーエッチングまたはコンタクト孔を開口し直す際のオーバーエッチングによって、コンタクト層40と電荷蓄積層24との接面におけるP導電型層は簡単に除去できる。
また、P導電型の半導体層51を設けてなる構成のM0Sセンサ(単位セル611’)としては、たとえば図11に示すように、透明電極42側にも同様のP導電型の半導体層52を設けるようにしてもよい。このような構成とした場合、容量結合の面積が拡大し、飽和信号量をさらに増大させることが可能となる。
なお、上記した実施形態においては、配線層がAlからなる場合を例に説明したが、これに限らず、たとえばカッパー(Cu)からなる配線層とすることもできる。Cuを用いる場合、配線層は埋め込み(ダマシン)構造により形成される。
また、配線層数を上下の2層とした場合を例に説明したが、ロジック回路の混載を考え、2層以上の配線層としてもよい。勿論、ロジック回路の部分のみ多層にし、画素領域の部分は1層〜3層までの少ない配線層により形成することもできる。その場合、光電変換層を埋め込むような形状としてもよい。
また、画素ごとにカラーフィルタおよびマイクロレンズが形成されてなる単板式カメラに応用する場合に限らず、他の方式のカメラに応用することも可能である。
また、1画素/1セル構造のMOSセンサに限らず、たとえば2画素/1セル構造のMOSセンサなどにも同様に適用できる。
また、光電変換層の形成には、アモルファスシリコンに限らず、たとえばアモルファスセレンなどの光CVD膜を用いることもできる。
その他、本願発明は、上記(各)実施形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。さらに、上記(各)実施形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。たとえば、(各)実施形態に示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題(の少なくとも1つ)が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果(の少なくとも1つ)が得られる場合には、その構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
611,611’…単位セル、21…P導電型シリコン基板、21a…P導電型エピタキシャル層、24…N導電型の電荷蓄積部、25…P導電型のウェル領域、26,27,28,29…ゲート電極、31,33,35…層間膜、39…N導電型の光電変換層、40…N導電型のコンタクト層、41…分離層、42…透明電極、43…カラーフィルタ、44…マイクロレンズ、51,52…P導電型の半導体層。
Claims (5)
- 半導体基板上に、光電変換部および信号走査回路部を含む複数の単位セルを行列方向に二次元状に配置してなる撮像領域を備える固体撮像装置であって、
前記光電変換部が、
前記半導体基板の表面領域に形成された電荷蓄積層と、
前記電荷蓄積層の上方に層間膜を介して積層され、かつ、前記単位セルごとに分離して形成された光電変換層と
を有してなることを特徴とする固体撮像装置。 - 半導体基板の表面領域に形成された複数の信号走査回路部と、
前記複数の信号走査回路部の近傍にそれぞれ設けられた、前記半導体基板の表面領域に埋設された電荷蓄積層、および、前記電荷蓄積層の上方に層間膜を介して積層された光電変換層を含む、複数の光電変換部と、
前記光電変換層の相互を各画素単位に分離するための分離層と
を具備したことを特徴とする固体撮像装置。 - 前記分離層は、前記光電変換層よりも光透過率の低い膜であることを特徴とする請求項1または2に記載の固体撮像装置。
- 前記光電変換部の、前記電荷蓄積層および前記光電変換層はコンタクト層を介して相互に接続され、
前記電荷蓄積層および前記光電変換層と前記コンタクト層とは同じ第1導電型領域からなることを特徴とする請求項1または2に記載の固体撮像装置。 - 前記電荷蓄積層および前記光電変換層と前記コンタクト層には、前記第1導電型領域とは導電型が異なる第2導電型領域がさらに設けられてなることを特徴とする請求項4に記載の固体撮像装置。
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---|---|---|---|
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ID=39237147
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006226802A Pending JP2008053366A (ja) | 2006-08-23 | 2006-08-23 | 固体撮像装置 |
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JP (1) | JP2008053366A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016002574A1 (ja) * | 2014-07-03 | 2016-01-07 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子および電子機器 |
JP2016033977A (ja) * | 2014-07-31 | 2016-03-10 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、及び撮像システム |
WO2016055909A1 (en) * | 2014-10-10 | 2016-04-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Imaging device |
JPWO2014002390A1 (ja) * | 2012-06-28 | 2016-05-30 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
-
2006
- 2006-08-23 JP JP2006226802A patent/JP2008053366A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2014002390A1 (ja) * | 2012-06-28 | 2016-05-30 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
US9647038B2 (en) | 2012-06-28 | 2017-05-09 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Solid-state imaging device and method of manufacturing the same |
JP2017157864A (ja) * | 2012-06-28 | 2017-09-07 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 固体撮像装置 |
WO2016002574A1 (ja) * | 2014-07-03 | 2016-01-07 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子および電子機器 |
US10074682B2 (en) | 2014-07-03 | 2018-09-11 | Sony Corporation | Phase difference detection in pixels |
JP2016033977A (ja) * | 2014-07-31 | 2016-03-10 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、及び撮像システム |
WO2016055909A1 (en) * | 2014-10-10 | 2016-04-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Imaging device |
US20160104734A1 (en) * | 2014-10-10 | 2016-04-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Imaging device |
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