JP2008046085A - Panel support mechanism and inspection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液晶表示パネルのような検査対象板をクランプして検査するパネル支持機構及び検査装置に関する。 The present invention relates to a panel support mechanism and an inspection apparatus that clamp and inspect an inspection target plate such as a liquid crystal display panel.
液晶表示パネルのような検査対象板を検査する装置の1つとして、複数の接触子ユニット(すなわち、プローブユニット)を、表示用パネルを受けて移動させる検査ステージに取り付けたものがある(特許文献1)。 One apparatus for inspecting an inspection target plate such as a liquid crystal display panel includes a plurality of contact units (that is, probe units) attached to an inspection stage that receives and moves a display panel (Patent Document). 1).
複数の接触子ユニットは、それら全体で、表示用パネルの通電回路に接続するための電気的接続装置として作用する。各接触子ユニットは、表示用パネルの電極に接触される複数のプローブすなわち接触子を備えた接触子ブロックを支持ブロックに支持させており、また表示用パネルを支持して移動させる検査ステージに支持ブロックで取り付けられている。 The plurality of contact units as a whole act as an electrical connection device for connecting to the energization circuit of the display panel. Each contact unit supports a contact block having a plurality of probes that are in contact with the electrodes of the display panel, that is, a contact, supported by a support block, and is supported by an inspection stage that supports and moves the display panel. It is attached with a block.
検査ステージは、パネルをパネル受け部に受けるチャックトップのようなパネル受けをステージ本体の上部に取り付けている。接触子ユニットは、パネル受けに取り付けられている。検査ステージは、パネル受けをステージ本体により、少なくとも三次元的に移動させる。 In the inspection stage, a panel receiver such as a chuck top that receives the panel in the panel receiving portion is attached to the upper portion of the stage main body. The contact unit is attached to the panel receiver. The inspection stage moves the panel receiver at least three-dimensionally by the stage body.
しかし、上記従来の検査装置では、パネル受けのパネル受け部の大きさが不変であるから、検査可能の表示用パネルの大きさがパネル受け及び接触子ユニットによって決定され、したがって大きさが異なるパネルの検査に適用することができない。 However, in the above conventional inspection apparatus, since the size of the panel receiving portion of the panel receiver is unchanged, the size of the display panel that can be inspected is determined by the panel receiver and the contact unit, and thus the panels having different sizes. It cannot be applied to inspection.
上記の結果、従来の検査装置では、パネル受けを検査ステージに設けていることと相まって、大きさが異なる表示用パネルの検査をするときは、接触子ユニット及び検査ステージの両者の交換をしなければならず、その作業が繁雑である。 As a result of the above, in the conventional inspection apparatus, in combination with the provision of the panel receiver on the inspection stage, when inspecting display panels having different sizes, both the contact unit and the inspection stage must be replaced. The work is complicated.
本出願人は、このような問題点に鑑みて、先に特許文献2に記載の発明を提案した。この発明では、可動ベースを可動式として、パネルの寸法の違いに応じて開口の大きさを調整すると共に接触子ユニットの位置を調整することで、接触子ユニットや検査ステージの交換をしないで対応できるようにしていた。
ところで、検査対象のパネルは、検査ステージ上の正確な位置に支持されて、検査が行われる。この際、検査ステージ上の正確な位置にパネルを支持するために、移動可能に配置させたストッパピンやプッシャーでパネルが支持される。 By the way, the panel to be inspected is supported at an accurate position on the inspection stage and inspected. At this time, in order to support the panel at an accurate position on the inspection stage, the panel is supported by a stopper pin and a pusher that are movably disposed.
このとき、前記ストッパピンやプッシャーは、その位置が変更可能に配置されて、パネルに対して最適な位置に配設することができる。 At this time, the stopper pin and the pusher are arranged so that their positions can be changed, and can be arranged at an optimum position with respect to the panel.
しかしながら、この調整は手動で前記ストッパピンやプッシャーを移動させることで行われるため、パネルに対して最適な位置に正確に調整するのが難しい。これにより、パネルが僅かにずれることがある。そして、高い精度が求められる検査装置では、パネルの僅かにずれも問題にあることがある。 However, since this adjustment is performed by manually moving the stopper pin and the pusher, it is difficult to accurately adjust to the optimum position with respect to the panel. Thereby, a panel may shift | deviate slightly. In an inspection apparatus that requires high accuracy, a slight shift of the panel may be a problem.
本発明は上述の課題を解決するためになされたもので、本発明の目的は、検査ステージ上のパネルを正確にかつ容易に支持できるようにすることにある。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to enable accurate and easy support of a panel on an inspection stage.
前記課題を解決するために本発明は、検査対象板の電極と接触子とを互いに接触させるために、当該検査対象板を正確に位置決めして支持するパネル支持機構である。装置本体側に取り付けられる固定ベースと、当該固定ベース上に4つ組み合わせて矩形状にかつ前記検査対象板の寸法に合わせて移動可能に配置された可動ベースと、当該各可動ベースのいずれかに設けられ前記検査対象板の縁部に当接して当該検査対象板を位置決めするストッパピンと、当該ストッパピンに対向する位置に前記検査対象板を挟んで設けられ当該ストッパピンと相まって前記検査対象板を挟み持つパネルクランプと、前記ストッパピン又はパネルクランプを支持した状態で前記可動ベースに取り付けられる位置決め機構とを備え、前記位置決め機構が、前記ストッパピン又はパネルクランプを支持する基板と、前記検査対象板の縁部に当接する前記ストッパピン又はパネルクランプを支持した前記基板を、前記検査対象板の縁部に並行な方向には移動可能にかつ前記縁部に直交する方向には設定位置で固定して支持する位置規制プレートと、当該位置規制プレートに並行に配設されて当該位置規制プレートに支持された前記基板を、前記検査対象板の縁部に並行な方向の位置決めをして支持する位置決めプレートとを備えて構成されたことを特徴とする。 In order to solve the above-described problems, the present invention is a panel support mechanism that accurately positions and supports an inspection target plate in order to bring an electrode and a contact of the inspection target plate into contact with each other. Any one of the fixed base attached to the apparatus main body, the movable base arranged in a rectangular shape in combination with the four fixed bases and movably arranged in accordance with the dimensions of the inspection object plate, and each of the movable bases A stopper pin that contacts the edge of the inspection object plate and positions the inspection object plate, and is provided with the inspection object plate sandwiched between the stopper pin and a position facing the stopper pin. A panel clamp having a positioning mechanism attached to the movable base in a state of supporting the stopper pin or the panel clamp, and the positioning mechanism includes a substrate that supports the stopper pin or the panel clamp, and a plate to be inspected. The substrate supporting the stopper pin or the panel clamp that contacts the edge portion of the inspection object plate A position restricting plate that is movable in a direction parallel to the portion and fixed and supported at a set position in a direction perpendicular to the edge, and is disposed in parallel to the position restricting plate and supported by the position restricting plate. And a positioning plate for positioning and supporting the substrate in a direction parallel to the edge of the inspection object plate.
前記構成により、位置規制プレートで、前記ストッパピン又はパネルクランプを支持した前記基板を、前記検査対象板の縁部に並行な方向には移動可能にかつ前記縁部に直交する方向には設定位置で固定して支持することで、検査対象板を支持する位置を変えずに前記ストッパピン又はパネルクランプをずらすことができる。また、位置決めプレートで、前記位置規制プレートに支持された前記基板を、前記検査対象板の縁部に並行な方向の位置決めをして支持する。 With the above-described configuration, the substrate that supports the stopper pin or the panel clamp with the position regulating plate can be moved in a direction parallel to the edge of the inspection target plate and set in a direction perpendicular to the edge. By fixing and supporting the plate, the stopper pin or the panel clamp can be shifted without changing the position for supporting the inspection object plate. Further, the positioning plate supports the substrate supported by the position regulating plate by positioning the substrate in the direction parallel to the edge of the inspection object plate.
位置規制プレートで、前記ストッパピン又はパネルクランプを支持した前記基板を、前記検査対象板の縁部に並行な方向には移動可能にかつ前記縁部に直交する方向には設定位置で固定して支持し、位置決めプレートで、前記基板を、前記検査対象板の縁部に並行な方向の位置決めをして支持するため、検査ステージ上のパネルを正確にかつ容易に支持できるようになる。 The substrate that supports the stopper pin or the panel clamp with a position regulating plate is movable in a direction parallel to the edge of the inspection target plate and fixed at a set position in a direction perpendicular to the edge. Since the substrate is supported by the positioning plate and positioned in the direction parallel to the edge of the inspection target plate, the panel on the inspection stage can be accurately and easily supported.
以下、本発明の実施形態について説明する。本実施形態に検査装置は、パネル支持機構で正確な位置に支持された検査対象板に対して、点灯検査等の通電試験を行うための装置である。検査対象板は、矩形の形状を有する板材である。その一例としてここでは、液晶パネルを例に説明する。本発明は、液晶パネルを支持する検査ステージや、この検査ステージに支持された液晶パネルの電極に接触する接触子等を備えた検査装置すべてに適用できる。検査ステージは、支持台を、X、Y及びZの三方向に変位させると共に、Z方向に伸びるθ軸線の周りに回転させる機構を備えたステージ本体や、前記支持台に支持されて液晶パネルを背面から照らすバックライトや、このバックライトの上側に設けられて本実施形態に係るパネル支持機構を支持する受けベース等を備えて構成されている。接触子は、パネル支持機構に取り付けられたり、パネル支持機構の上方の装置本体側に設けられたりする。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described. The inspection apparatus according to the present embodiment is an apparatus for performing an energization test such as a lighting inspection on an inspection target plate supported at an accurate position by a panel support mechanism. The inspection object plate is a plate material having a rectangular shape. Here, as an example, a liquid crystal panel will be described as an example. The present invention can be applied to all inspection apparatuses including an inspection stage that supports a liquid crystal panel and a contact that contacts an electrode of a liquid crystal panel supported by the inspection stage. The inspection stage displaces the support base in three directions of X, Y, and Z, and a stage body provided with a mechanism for rotating around the θ axis extending in the Z direction, and the liquid crystal panel supported by the support base. A backlight that illuminates from the back surface, a receiving base that is provided above the backlight and supports the panel support mechanism according to the present embodiment, and the like are provided. The contact is attached to the panel support mechanism or provided on the apparatus main body side above the panel support mechanism.
本発明の特徴は、このような検査装置において、前記検査ステージの上側に取り付けられるパネル支持機構の位置決め機構を改良した点にある。このため、以下では、パネル支持機構を中心に説明する。図1は本発明に係るパネル支持機構を示す斜視図、図2は本発明に係るパネル支持機構を示す一部破断斜視図、図3は本発明に係るパネル支持機構の可動ベースの動作を示す平面図、図4は本発明に係るパネル支持機構の可動ベースの動作を示す平面図、図5は本発明に係るパネル支持機構の位置決め機構を示す斜視図である。 A feature of the present invention is that in such an inspection apparatus, the positioning mechanism of the panel support mechanism attached to the upper side of the inspection stage is improved. For this reason, below, it demonstrates focusing on a panel support mechanism. 1 is a perspective view showing a panel support mechanism according to the present invention, FIG. 2 is a partially broken perspective view showing the panel support mechanism according to the present invention, and FIG. 3 shows the operation of the movable base of the panel support mechanism according to the present invention. FIG. 4 is a plan view showing the operation of the movable base of the panel support mechanism according to the present invention, and FIG. 5 is a perspective view showing the positioning mechanism of the panel support mechanism according to the present invention.
パネル支持機構1は、液晶パネル2の電極と接触子(プローブ)とを互いに接触させるために、液晶パネル2を正確に位置決めして支持するための機構である。パネル支持機構1は、図1,2に示すように主に、装置本体側の前記検査ステージに取り付けられる固定ベース3と、この固定ベース3上に4つ組み合わせて矩形状にかつ液晶パネル2の寸法に合わせて移動可能に配置された可動ベース4と、各可動ベース4のうち隣り合う2つに設けられ液晶パネル2の縁部に当接してこの液晶パネル2を位置決めするストッパピン5と、このストッパピン5に対向する位置に液晶パネル2を挟んで設けられストッパピン5と相まって液晶パネル2を挟み持つパネルクランプ6と、前記ストッパピン5及びパネルクランプ6をそれぞれ支持した状態で各可動ベース4に位置決めして取り付けられる位置決め機構7とを備えて構成されている。
The panel support mechanism 1 is a mechanism for accurately positioning and supporting the liquid crystal panel 2 in order to bring the electrodes of the liquid crystal panel 2 and the contacts (probes) into contact with each other. As shown in FIGS. 1 and 2, the panel support mechanism 1 is mainly composed of a fixed base 3 attached to the inspection stage on the apparatus main body side and a rectangular combination of four on the fixed base 3 and the liquid crystal panel 2. A movable base 4 movably arranged in accordance with the dimensions; a
固定ベース3は全体を矩形状に形成されている。固定ベース3の中央には、検査ステージに設けられた開口と相似の矩形の開口9が設けられている。固定ベース3は、複数のねじ部材(図示せず)により検査ステージ側に取り付けられている。開口9は固定ベース3の厚さ方向に貫通している。 The fixed base 3 is formed in a rectangular shape as a whole. A rectangular opening 9 similar to the opening provided in the inspection stage is provided in the center of the fixed base 3. The fixed base 3 is attached to the inspection stage side by a plurality of screw members (not shown). The opening 9 penetrates the fixed base 3 in the thickness direction.
各可動ベース4はその全体形状を、長い板状に形成されている。可動ベース4の全長は、開口9の対応する縁部の長さ以上に設定されている。4つの可動ベース4が組み合わされて開口10が形成されている。即ち、1つの可動ベース4の長手方向の一端面が、相手側の可動ベース4の側面に当接することで、四角形の開口10を形成している。さらに、各可動ベース4は、その長手方向の一端面と、相手側の側面との間で、相手側の側面に沿ってスライド可能に支持されている。これにより、図3のような小さな液晶パネル2に対応した小さな開口10から、図4のような大きな液晶パネル2に対応した大きな開口10まで、その大きさを任意に調整できるようになっている。 Each movable base 4 is formed in a long plate shape as a whole. The total length of the movable base 4 is set to be equal to or longer than the corresponding edge of the opening 9. Four movable bases 4 are combined to form an opening 10. That is, one end surface in the longitudinal direction of one movable base 4 is in contact with the side surface of the other movable base 4 to form a rectangular opening 10. Further, each movable base 4 is supported so as to be slidable along the other side surface between one end surface in the longitudinal direction and the other side surface. Thereby, the size can be arbitrarily adjusted from the small opening 10 corresponding to the small liquid crystal panel 2 as shown in FIG. 3 to the large opening 10 corresponding to the large liquid crystal panel 2 as shown in FIG. .
各可動ベース4には、図1、2に示すように、互いに組み合わされることによって、液晶パネル2を固定ベース3と平行に受けるパネル受け12が形成されている。可動ベース4は、肉厚平板状に形成され、その平板の内側端に立て板状にパネル受け12が形成されている。これにより、可動ベース4とパネル受け12は、その断面形状がL字型に形成されている。4つの可動ベース4が互いに組み合わされることによって、図3、4のように、4つのパネル受け12が、液晶パネル2を支持する開口10を形成する。
As shown in FIGS. 1 and 2, each movable base 4 is formed with a
各可動ベース4は、図1、2に示すように、各結合装置14により固定ベース3に結合されている。結合装置14は、可動ベース4を、固定ベース3と平行の面内で二次元的に移動可能に支持している。
As shown in FIGS. 1 and 2, each movable base 4 is coupled to the fixed base 3 by each
この結合装置14は、各可動ベース4の長手方向と直交する方向(第1の方向)に伸びるように固定ベース3の上面に取り付けられた第1のレール16と、この第1のレール16に移動可能に結合された第1のガイド17と、この第1のガイド17の上側に一体的に取り付けられた支持板18と、可動ベース4の長手方向(第2の方向)に沿って可動ベース4の下面に一体的に取り付けられた第2のレール19と、この第2のレール19に移動可能に結合されると共に前記支持板18に一体的に取り付けられた2つの第2のガイド20と、固定ベース3の上面に取り付けられた状態で前記支持板18に連結されてこの支持板18及びその上側の構造物を第1のレール16に沿って第1の方向に移動させる駆動部21とを備えて構成されている。
The
駆動部21は、第1のレール16に沿って回転可能に配設されたボールネジ23と、このボールネジ23を回転駆動する駆動モータ24と、ボールネジ23にねじ込まれた状態で支持板18に固定されてボールネジ23の回転によって第1のレール16に沿って支持板18を移動させるナット25とから構成されている。
The
さらに、可動ベース4の下側面には、前記第2のレール19と並行に第3のレール26が一体的に取り付けられている。この第3のレール26には第3のガイド27(図2参照)が移動可能に結合されている。そして、この第3のガイド27は、可動ベース4の一端部に一体的に取り付けられている。これにより、各可動ベース4は、その長手方向の一端面と、直交する相手側の可動ベース4の側面との間で、相手側の側面に沿って移動可能に支持されている。そして、4つの可動ベース4全てが、この構造で互いに結合されている。この結果、4つの可動ベース4で形成される開口10は、図3のような小さな液晶パネル2に対応した小さな開口10から、図4のような大きな液晶パネル2に対応した大きな開口10まで、その大きさを任意に調整できるようになっている。具体的には、4つの駆動部21を同時に作動させて、4つの可動ベース4を同時に移動させることで、開口10の大きさを任意に調整できるようになっている。
Further, a
位置決め機構7は、前記ストッパピン5及びパネルクランプ6をそれぞれ支持した状態で各可動ベース4に位置決めして取り付けられるが、ストッパピン5を支持する位置決め機構7もパネルクランプ6を支持する位置決め機構7も同様の構成を有するため、ここでは、パネルクランプ6を支持する位置決め機構7を図5に基づいて説明する。
The
位置決め機構7は、基板31と、位置規制プレート32と、位置決めプレート33とから構成されている。
The
基板31は、前記パネルクランプ6を支持するための板材である。基板31は、四角形平板状に形成されている。パネルクランプ6は、基板31の一辺に沿って取り付けられた。基板31には、長穴35と、円穴36とが設けられている。
The
長穴35は、前記液晶パネル2の縁部に並行な方向に沿って長く形成されている。さらに長穴35は、液晶パネル2の縁部に並行な方向に沿って2つ並べて設けられている。各長穴35は、基板31を位置規制プレート32に固定するネジ37を通すための穴である。長穴35は、この長穴35に通されたネジ37が長穴35内で移動できることによって、後述する位置規制プレート32のネジ穴40にねじ込まれたネジ37に対して、基板31を前記液晶パネル2の縁部に並行な方向に多少移動できるようになっている。
The
円穴36は、基板31を位置決めプレート33に固定するネジ38を通して液晶パネル2の縁部に並行な方向の位置決めをするための穴である。円穴36は、ネジ38の大きさに合わせて形成され、ネジ38との間でがたつきがないように、その内径が設定されている。
The
なお、基板31とパネルクランプ6とでパネルクランプユニット41が構成されている。
The
位置規制プレート32は、前記液晶パネル2の縁部に当接するパネルクランプ6を支持した前記基板31を、前記液晶パネル2の縁部に並行な方向には移動可能にかつ前記縁部に直交する方向には設定位置で固定して支持するためのプレートである。位置規制プレート32は具体的には、細長い板材で構成され、可動ベース4のパネル受け12に沿って固定されている。細長い板状の位置規制プレート32には、前記液晶パネル2の縁部に並行な方向に沿って、その全長に亘って一列にネジ穴40が多数設けられている。各ネジ穴40は、長穴35の長さとほぼ同じ間隔に設定されている。これにより、あるネジ穴40にネジ37がねじ込まれた状態で基板31が長穴35に沿って移動できる範囲と、隣のネジ穴40にネジ37がねじ込まれた状態で基板31が長穴35に沿って移動できる範囲とが互いに重なり合って、位置規制プレート32の全長の全ての位置で基板31を固定できるようになっている。
The
位置決めプレート33は、位置規制プレート32に並行に配設されて位置規制プレート32に支持された前記基板31を、前記液晶パネル2の縁部に並行な方向の位置決めをして支持するためのプレートである。位置決めプレート33は細長い板材で構成されている。位置決めプレート33には、基板31の円穴36に通されたネジ38がねじ込まれるネジ穴42が、基板31の設置位置に合わせて1又は複数設けられる。ここでは、液晶パネル2の短辺側に合わせて1つのネジ穴42が位置決めプレート33に設けられている。
The
位置決めプレート33の両端部には、嵌合部としてのピン穴43が設けられている。可動ベース4側には、ピン穴43に対応する位置に、前記嵌合部が嵌合する被嵌合部としての2つの嵌合ピン44が設けられている。これらピン穴43及び嵌合ピン44は、位置決めプレート33のネジ穴42が設置位置に整合するように、位置決めされている。これにより、基板31上のパネルクランプ6が正確な位置に位置決めされるようになっている。
Pin holes 43 as fitting portions are provided at both ends of the
位置決めプレート33としては、設定の異なる複数種類のプレートが用意される。具体的には、液晶パネル2の寸法により設定されたパネルクランプ6の設置数に応じた個数のネジ穴42が設けられた複数種類のプレートが用意される。これらの位置決めプレート33は、ピン穴43及び嵌合ピン44によって容易に入れ替えられる。位置決めプレート33の長さは、各可動ベース4に応じて異ならせてもよく、全て同じにしても良い。
As the
なお、ストッパピン5を支持する位置決め機構7も前記同様に構成されている。
The
以上のように構成されたパネル支持機構1では、次のように作用する。なお、検査装置全体の作用は、従来の検査装置と同様であるため、ここではパネル支持機構1の作用を中心に説明する。 The panel support mechanism 1 configured as described above operates as follows. In addition, since the effect | action of the whole inspection apparatus is the same as that of the conventional inspection apparatus, it demonstrates focusing on the effect | action of the panel support mechanism 1 here.
まず、液晶パネル2の寸法に合わせてパネル支持機構1の可動ベース4を調整する。具体的には、駆動部21の駆動モータ24でボールネジ23を回転させて、ナット25を移動させる。これにより、支持板18に固定された第2のガイド20が第2のレール19を介して可動ベース4を移動させる。この動作が、4つの駆動部21で同時に起きて、4つの可動ベース4を互いにずらす。これにより、図3のように、各可動ベース4のパネル受け12で液晶パネル2をその下側から支持し、ストッパピン5とパネルクランプ6とで液晶パネル2を位置決めして支持する。
First, the movable base 4 of the panel support mechanism 1 is adjusted according to the dimensions of the liquid crystal panel 2. Specifically, the
寸法の異なる液晶パネル2の場合は、可動ベース4をずらして調整し直す。この場合は、駆動部21の駆動モータ24でボールネジ23を回転させて、ナット25、支持板18、第2のガイド20、第2のレール19を介して可動ベース4を移動させる。この動作が、4つの駆動部21で同時に起きて、4つの可動ベース4を互いにずらし、例えば図4のように、大きな寸法の液晶パネル2に合わせる。
In the case of the liquid crystal panel 2 having different dimensions, the movable base 4 is shifted and adjusted again. In this case, the
このとき、ストッパピン5とパネルクランプ6とは、液晶パネル2に合わなくなるため、位置決め機構7で調整し直す。この場合は、まず、ネジ37とネジ38とを弛めて、基板31を外す。次いで、位置決めプレート33を液晶パネル2に対応したものに入れ替える。
At this time, the
次いで、ネジ37を長穴35に通して位置規制プレート32のネジ穴40にねじ込んで、基板31の大まかな位置決めをする。次いで、基板31を長穴35の範囲でずらして、円穴36とネジ穴42とを整合させて、ネジ38を円穴36に通し、ネジ穴42にねじ込む。次いで、ネジ37とネジ38を締めつけて、基板31を固定する。
Next, the
この動作を、ストッパピン5とパネルクランプ6の全てに対して行い、ストッパピン5とパネルクランプ6を液晶パネル2に対して最適な位置に合わせる。 This operation is performed on all of the stopper pins 5 and the panel clamps 6, and the stopper pins 5 and the panel clamps 6 are adjusted to the optimum positions with respect to the liquid crystal panel 2.
以上のように、位置決め機構7を、ストッパピン5又はパネルクランプ6を支持する基板31と、前記液晶パネル2の縁部に当接するストッパピン5又はパネルクランプ6を支持した前記基板31を、前記液晶パネル2の縁部に並行な方向には移動可能にかつ前記縁部に直交する方向には設定位置で固定して支持する位置規制プレート32と、この位置規制プレート32に並行に配設されて位置規制プレート32に支持された前記基板31を、前記液晶パネル2の縁部に並行な方向の位置決めをして支持する位置決めプレート33とを備えて構成し、位置規制プレート32で、前記ストッパピン5又はパネルクランプ6を支持した前記基板31を、液晶パネル2の縁部に並行な方向には移動可能にかつ前記縁部に直交する方向には設定位置で固定して支持し、位置決めプレート33で、前記基板31を、前記液晶パネル2の縁部に並行な方向の位置決めをして支持するため、パネル支持機構1上の液晶パネル2を正確に支持できるようになる。
As described above, the
また、前記基板31が、前記液晶パネル2の縁部に並行な方向に長く形成された、当該基板31を前記位置規制プレート32に固定するネジを通す長穴35と、前記基板31を前記位置決めプレート33に固定するネジを通して前記液晶パネル2の縁部に並行な方向の位置決めをする円穴36とを備え、前記位置規制プレート32が、前記基板31の長穴35に通されたネジ37がねじ込まれるネジ穴40を、前記液晶パネル2の縁部に並行な方向に複数備え、前記位置決めプレート33が、前記基板31の円穴36に通されたネジ38がねじ込まれるネジ穴42を、前記基板31の設置位置に合わせて1又は複数備え、前記位置規制プレート32のネジ穴40にネジ37をねじ込み、前記位置決めプレート33のネジ穴42にネジ38をねじ込むだけで、パネル支持機構1上の液晶パネル2を正確にかつ容易に支持できるようになる。
In addition, the
また、寸法の違い液晶パネル2に対しては、位置決めプレート33を交換するだけで、ストッパピン5とパネルクランプ6とを、正確にかつ容易に位置決めすることができるようになる。
Further, with respect to the liquid crystal panel 2 having different dimensions, the
前記位置決めプレート33にピン穴43が設けられると共に、前記可動ベース4に前記ピン穴43が嵌合する嵌合ピン44が設けられ、前記ネジ穴42の配設位置を変えた複数の位置決めプレート33を、液晶パネル2の寸法に応じて適宜付け替えるようにしたので、パネル支持機構1上の液晶パネル2を、その寸法が変わっても正確にかつ容易に支持できるようになる。
The
[変形例]
前記実施形態では、図1,2に基づいてパネル支持機構1の例を説明したが、このパネル支持機構1の構成は一例であって、他の構成のパネル支持機構でもよい。前記位置決め機構7を取り付けることができる構造のパネル支持機構であれば、本発明を適用することができ、前記同様の作用、効果を奏することができる。
[Modification]
In the embodiment, the example of the panel support mechanism 1 has been described with reference to FIGS. 1 and 2. However, the configuration of the panel support mechanism 1 is an example, and a panel support mechanism having another configuration may be used. The present invention can be applied to any panel support mechanism having a structure to which the
前記実施形態では、位置決め機構7をストッパピン5側及びパネルクランプ6側の両方に設けたが、いずれか一方のみに設けてもよい。液晶パネル2の縁部を支持して正確な位置に位置決めできる対応であれば、いずれか一方のみに設けるようにしてもよい。
In the above embodiment, the
前記実施形態では、嵌合部及び被嵌合部として、ピン穴43と嵌合ピン44とを用いたが、このピン穴43と嵌合ピン44以外にも、互いに嵌合できる突起、溝等の構造を有する嵌合部及び被嵌合部を用いることができる。
In the above-described embodiment, the
前記実施形態では、液晶パネル2を例に説明したが、他のガラス基板、有機EL等、他の表示用パネルでのよい。 In the above embodiment, the liquid crystal panel 2 has been described as an example, but other display panels such as another glass substrate and organic EL may be used.
本発明は、上記実施形態に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。 The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
1:パネル支持機構、2:液晶パネル、3:固定ベース、4:可動ベース、5:ストッパピン、6:パネルクランプ、7:位置決め機構、9:開口、10:開口、12:パネル受け、14:結合装置、16:第1のレール、17:第1のガイド、18:支持板、19:第2のレール、20:第2のガイド、21:駆動部、23:ボールネジ、24:駆動モータ、25:ナット、26:第3のレール、27:第1のガイド、31:基板、32:位置規制プレート、33:位置決めプレート、35:長穴、36:円穴、37:ネジ、38:ネジ、40:ネジ穴、41:ネジ、42:ネジ穴、43:ピン穴、44:嵌合ピン。
1: panel support mechanism, 2: liquid crystal panel, 3: fixed base, 4: movable base, 5: stopper pin, 6: panel clamp, 7: positioning mechanism, 9: opening, 10: opening, 12: panel support, 14 : Coupling device, 16: first rail, 17: first guide, 18: support plate, 19: second rail, 20: second guide, 21: drive unit, 23: ball screw, 24: drive motor , 25: nut, 26: third rail, 27: first guide, 31: substrate, 32: position regulating plate, 33: positioning plate, 35: long hole, 36: circular hole, 37: screw, 38: Screw: 40: Screw hole, 41: Screw, 42: Screw hole, 43: Pin hole, 44: Fitting pin
Claims (5)
装置本体側に取り付けられる固定ベースと、
当該固定ベース上に4つ組み合わせて矩形状にかつ前記検査対象板の寸法に合わせて移動可能に配置された可動ベースと、
当該各可動ベースのいずれかに設けられ前記検査対象板の縁部に当接して当該検査対象板を位置決めするストッパピンと、
当該ストッパピンに対向する位置に前記検査対象板を挟んで設けられ当該ストッパピンと相まって前記検査対象板を挟み持つパネルクランプと、
前記ストッパピン又はパネルクランプを支持した状態で前記可動ベースに取り付けられる位置決め機構とを備え、
前記位置決め機構が、前記ストッパピン又はパネルクランプを支持する基板と、前記検査対象板の縁部に当接する前記ストッパピン又はパネルクランプを支持した前記基板を、前記検査対象板の縁部に並行な方向には移動可能にかつ前記縁部に直交する方向には設定位置で固定して支持する位置規制プレートと、当該位置規制プレートに並行に配設されて当該位置規制プレートに支持された前記基板を、前記検査対象板の縁部に並行な方向の位置決めをして支持する位置決めプレートとを備えて構成されたことを特徴とするパネル支持機構。 A panel support mechanism for accurately positioning and supporting the inspection target plate in order to bring the electrodes and contacts of the inspection target plate into contact with each other,
A fixed base attached to the apparatus main body side;
A movable base arranged in a rectangular shape in combination with four on the fixed base and movably arranged in accordance with the dimensions of the inspection object plate;
A stopper pin that is provided on any of the movable bases and contacts the edge of the inspection object plate to position the inspection object plate;
A panel clamp that sandwiches the inspection object plate in combination with the stopper pin, and is provided across the inspection object plate at a position facing the stopper pin;
A positioning mechanism attached to the movable base while supporting the stopper pin or panel clamp,
The positioning mechanism includes a substrate that supports the stopper pin or the panel clamp, and a substrate that supports the stopper pin or the panel clamp that contacts the edge of the inspection target plate in parallel with the edge of the inspection target plate. A position restricting plate which is movable in a direction and fixed and supported at a set position in a direction perpendicular to the edge, and the substrate which is disposed in parallel to the position restricting plate and supported by the position restricting plate A panel support mechanism comprising: a positioning plate that supports and positions the edge of the inspection object plate in a parallel direction.
前記基板が、前記検査対象板の縁部に並行な方向に長く形成された、当該基板を前記位置規制プレートに固定するネジを通す長穴と、前記基板を前記位置決めプレートに固定するネジを通して前記検査対象板の縁部に並行な方向の位置決めをする円穴とを備え、
前記位置規制プレートが、前記基板の長穴に通されたネジがねじ込まれるネジ穴を、前記検査対象板の縁部に並行な方向に複数備え、
前記位置決めプレートが、前記基板の円穴に通されたネジがねじ込まれるネジ穴を、前記基板の設置位置に合わせて1又は複数備えたことを特徴とするパネル支持機構。 The panel support mechanism according to claim 1,
The board is formed long in a direction parallel to the edge of the inspection target plate, the elongated hole through which a screw for fixing the board to the position regulating plate is passed, and the screw through which the board is fixed to the positioning plate A circular hole for positioning in the direction parallel to the edge of the inspection object plate,
The position regulating plate is provided with a plurality of screw holes into which screws passed through the long holes of the substrate are screwed in a direction parallel to the edge of the inspection object plate,
The panel support mechanism according to claim 1, wherein the positioning plate includes one or a plurality of screw holes into which screws passed through the circular holes of the substrate are screwed in accordance with an installation position of the substrate.
前記位置決めプレートに嵌合部が設けられると共に、前記可動ベースに前記位置決めプレートの嵌合部が嵌合する被嵌合部が設けられ、
前記ネジ穴の配設位置を変えた複数の前記位置決めプレートを適宜付け替えることを特徴とするパネル支持機構。 In the panel support mechanism according to claim 1 or 2,
The positioning plate is provided with a fitting portion, and the movable base is provided with a fitted portion into which the fitting portion of the positioning plate is fitted.
A panel support mechanism, wherein the plurality of positioning plates with different screw hole positions are appropriately replaced.
前記嵌合部が、前記位置決めプレートの両端に設けられたピン穴で構成され、
前記被嵌合部が、前記可動ベースに設けられた2つの嵌合ピンで構成されたることを特徴とするパネル支持機構。 In the panel support mechanism according to claim 3,
The fitting portion is composed of pin holes provided at both ends of the positioning plate,
The panel support mechanism, wherein the fitted portion is composed of two fitting pins provided on the movable base.
前記検査対象板を正確に位置決めして支持するパネル支持機構を備え、
当該パネル支持機構として前記請求項1ないし4のいずれか1項に記載のパネル支持機構を用いたことを特徴とする検査装置。
In an inspection apparatus that conducts an energization test by bringing the electrodes and contacts of the inspection object plate into contact with each other
A panel support mechanism for accurately positioning and supporting the inspection object plate;
An inspection apparatus using the panel support mechanism according to any one of claims 1 to 4 as the panel support mechanism.
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