JP2008043123A - 超音波モータ及び超音波モータの振動検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電セラミックシートを長手方向に2等分及び幅方向に2等分して4つの領域に区分した場合に、各領域にまたがって配置されるとともに、各領域における占有面積が略同一になるように内部電極を配置し、該内部電極間の電位差に基づいて縦振動を検出する。
【選択図】図11
Description
(1)ギヤなしで高トルクが得られる。
(2)電気OFF時に保持力がある。
(3)高分解能である。
(4)静粛性に富んでいる。
(5)磁気的ノイズを発生せず、また、ノイズの影響も受けない。
本発明は、第1の圧電素子と第2の圧電素子とが交互に積層された超音波振動子に、縦振動と屈曲振動とを同時に発生させ、前記超音波振動子の出力端に略楕円振動を生じさせて、前記超音波振動子と前記超音波振動子に接触する被駆動体とを相対的に移動させる超音波モータであって、前記第1の圧電素子を長手方向に2等分及び幅方向に2等分して4つの領域に区分した場合に、隣接する2つの領域、または、全ての領域に、各前記領域における占有面積が略等しくなるように配置される第1の内部電極と、前記第2の圧電素子において、前記第1の内部電極に対応する位置に配置される第2の内部電極と、前記第1の内部電極と前記第2の内部電極との電位差に基づいて前記縦振動を検出する縦振動検出手段とを具備する超音波モータを提供する。
また、第2の圧電素子においても、第1の内部電極に対応する位置に第2の内部電極が配置されているので、同様に、縦振動に応じた同一符号の電荷が励起されることとなる。ここで、第1の内部電極に励起される電荷は、第2の内部電極に励起される電荷と異符号となる。従って、第1の内部電極から得られる電気信号と第2の内部電極から得られる電気信号との差分(電位差)をとることにより、超音波振動子に発生している縦振動を電気信号として検出することができる。
このような構成によれば、縦振動を容易に検出することができる。
このような構成によれば、屈曲振動を容易に検出することができる。
〔第1の実施形態〕
図1に示されるように、本発明の第1の実施形態に係る超音波モータ1は、被駆動体2に接触配置される超音波振動子3と、該超音波振動子3を被駆動体2に押し付ける押圧手段4とを備えている。被駆動体2は、ベース5に固定された直動ベアリング6の可動部7に固定されている。また、被駆動体2には、超音波振動子3に接触する面に、例えば、ジルコニアセラミックスからなる摺動板8が接着されている。図中符号9は、直動ベアリング6の固定部10をベース5に固定するためのネジである。
圧電積層体13を構成する圧電セラミックスシート11は、図4及び図5に示されるように、例えば、厚さ約80μmのチタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックス素子(以下、PZTという。)である。PZTとしては、Qm値の大きなハード系材料を選択した。Qm値は約1800である。
また、内部電極12は、例えば、厚さ約4μmの銀パラジウム合金からなっている。積層方向の一端に配置される圧電セラミックスシート11a(図2参照)は内部電極12を備えていない。それ以外の圧電セラミックスシート11は、図4及び図5に示されるような2種類の内部電極12を備えている。
本実施形態において、内部電極12(C+)は、縦振動検出用の内部電極として、また、12(D+)及び12(E+)は、屈曲振動検出用の内部電極として用いられる。
内部電極12(C+)は、圧電セラミックスシート11の幅方向の中央部において、圧電セラミックスシート11の長さ方向に沿って帯状に設けられている。具体的には、縦振動検出用の内部電極12(C+)は、図8に示すように、圧電セラミックスシート11を長手方向に2等分及び幅方向に2等分して第1の領域乃至第4の領域からなる4つの領域に区分した場合に、第1から第4の各領域における占有面積が略等しくなるように配置されている。
なお、内部電極12(C+)は、上記配置例に代えて、4つの領域のうち、所定の2つの隣接する領域における占有面積が略等しく、また、その他の2つの隣接する領域における占有面積が略等しくなるように配置されてもよい。例えば、第1の領域と第2の領域とが同一占有面積とされ、第3の領域と第4の領域とが同一占有面積とされるように配置されることとしてもよい。この場合、第1の領域と第3の領域とは、占有面積が異なってもよい。また、4つの領域にわたって内部電極12(C+)を配置するのではなく、隣接する2つの領域にわたって内部電極12(C+)を配置することとしてもよい。例えば、内部電極12(C+)を、第3の領域と第4の領域にわたって互いの領域における占有面積が略等しくなるように配置することとしてもよい。
また、駆動用の内部電極12(A+)及び12(B+)は、圧電セラミックスシート11の長手方向に沿って一列に配置されている。本実施形態では、内部電極12(A+)が図8における第1の領域に、内部電極12(B+)が第2の領域に配置されている。
内部電極12(C−)は、縦振動検出用の内部電極として、また、12(D−)及び12(E−)は、屈曲振動検出用の内部電極として用いられる。
内部電極12(C−)は、図5に示した圧電セラミックスシート11において、図4に示した圧電セラミックスシート11における内部電極(C+)に対応する位置に配置されている。同様に、内部電極12(D−)及び12(E−)についても、図4に示した内部電極12(D+)及び12(E+)にそれぞれ対応する位置に配置されている。
圧電セラミックスシート11の中央に帯状に設けられた内部電極12(C+)、12(C−)はともに略同一の大きさを有し、また、内部電極12(C+),12(C−)をそれぞれ囲んで配置される8つの内部電極12(A+),12(B+),12(D+),12(E+),12(A−),12(B−),12(D−),12(E−)は、略同一の大きさを有している。
各内部電極12は、圧電セラミックスシート11の周縁から約0.4mmの隙間を空けて配置されるとともに、その一部が圧電セラミックスシート11の周縁まで延び、後述する各外部電極17に接続されるようになっている。
このようにして構成された圧電積層体13の長さ方向の端面には、各圧電セラミックスシート11に配置された同種の内部電極12(A+)乃至12(E−)をそれぞれ接続するための外部電極17がそれぞれ設けられている。
具体的には、圧電積層体13の長さ方向の一端には、圧電積層体13の他側面の側(図において上側)からA相の外部電極17(A+),17(A−),C相の外部電極17(C+),17(C−),D相の外部電極17(D+),17(D−)が設けられ、これに対向する面には、図において上方からB相の外部電極17(B+),17(B−),E相の外部電極17(E+),17(E−)が設けられている。
具体的には、A相の外部電極17(A+),(A−)にそれぞれ接続される1対の配線、並びに、B相の外部電極17(B+),(B−)にそれぞれ接続される1対の配線は、それぞれA相、B相の駆動用信号線として、図11に示す制御装置30のドライブIC33に接続される。
一方、外部電極17(D+)及び17(E−)に接続される配線は、結線されて1つの配線とされ、外部電極17(D−)及び17(E+)に接続される配線は、結線されて1つの配線とされた後、1対の配線L2として図11に示す制御装置30の屈曲振動検出回路34に接続される。
A相の外部電極17(A+,A−)(以下、単に「A相」という。)およびB相の外部電極17(B+.B−)(以下、単に「B相」という。)に同位相で共振周波数に対応する駆動交番電圧を印加すると、図6に示されるような1次の縦振動が励起されるようになっている。また、このとき、前述した圧電セラミックスシート11に生ずる電荷は、例えば、図8に示すように、圧電セラミックシート11を4つの領域に区分した場合、図9に示すように、第1領域から第4領域において正電荷もしくは負電荷が同時に励起された状態となる。
図11に示すように、制御装置30は、信号制御部(信号制御手段)50、縦振動検出回路(縦振動検出手段)34、屈曲振動検出回路(屈曲振動検出手段)35を備えている。
信号制御部50は、周波数設定回路31、駆動パルス発生回路32、ドライブIC33、及び振動位相比較回路36を備えている。
駆動パルス発生回路32は、図12に示すように、周波数設定回路31から入力されるパルス信号を用いて、所定の駆動周波数及び所定の位相差(以下「駆動位相差」という。)θの2相の駆動制御信号を生成し、ドライブIC33に出力する。所定の位相差θは、例えば、約120°とされている。
ドライブIC33は、駆動パルス発生回路32から入力される2相の駆動制御信号に基づいて、所定の位相差、及び、所定の駆動周波数の2相の駆動交番電圧を生成し、各駆動交番信号を上述したA相の外部電極17(A+,A−)、並びにB相の外部電極17(B+,B−)に印加する。
上記基準位相差φ1refは、超音波モータ1の駆動効率に応じて設計事項により任意に決定できる値である。ここで、超音波モータの駆動効率と超音波振動子3の振動位相差φ1との関係を図13に示す。この図に示すように、振動位相差φ1が120°付近のときに超音波モータの駆動効率が最大値をとり、振動位相差φ1が120°から離れるにつれて、徐々に駆動効率が低下する。本実施形態では、超音波モータ1を最も効率よく駆動させるために、基準位相差φ1refを120°に設定している。
まず、周波数設定回路31から共振周波数のパルス信号が駆動パルス発生回路32に入力されると、駆動パルス発生回路32において、所定の駆動周波数、及び、所定の駆動位相差θ(=120°)の2相の駆動制御信号が生成され、ドライブIC33に出力される。ドライブIC33では、この2相の駆動制御信号に基づいて、所定の位相差、及び、所定の駆動周波数の2相の駆動交番電圧が生成され、この2相の駆動交番電圧がA相、B相の外部電極17(A+,A−)、17(B+,B−)にそれぞれ印加される。これにより、超音波振動子3には、縦振動と屈曲振動とが同時に励起され、摩擦接触子14には、図14に示すような略楕円振動が発生し、この略楕円振動の接線方向に沿って被駆動体2の摺動板8との間の生ずる摩擦力により、被駆動体2が推進されることになる。
振動位相比較回路36では、縦振動検出信号と屈曲振動検出信号との振動位相差φ1が求められ、更に、この振動位相差φ1と基準位相差φ1refとの差分Δφが求められ、この差分Δφに応じた信号が駆動パルス発生回路32に出力される。
これにより、駆動パルス発生回路32は、差分Δφがゼロとなるように、2相の駆動制御信号の駆動位相差θを調整する。
具体的には、振動位相比較回路36は、縦振動検出信号と屈曲振動検出信号との振動位相差φ1を求めると、この振動位相差φ1に応じた信号を駆動パルス発生回路32に出力する。駆動パルス発生回路32は、入力された位相差φ1に対応する駆動位相差θを図15に示した特性テーブルを参照して取得し、駆動位相差θを持つ2相の駆動制御信号を生成して出力する。
なお、図15に示した振動位相差φ1−駆動位相差θの特性テーブルに代えて、振動位相差φ1をパラメータとした演算式を用いることにより、振動位相差φ1に応じた駆動位相差θを求めることとしても良い。
なお、本実施形態では、基準位相差φ1refを120°としたが、この基準位相差φ1refは、所望のモータ効率に応じて複数設定されており、モータの使用状況に応じて、基準位相差φ1refを切り替えることとしても良い。更に、被駆動体の移動方向に応じて、基準位相差φ1refを切り替えることとしても良い。例えば、図14に示すような向きで被駆動体を移動させる場合には、振動位相差120°のときにモータ効率が最も高くなるが、被駆動体の移動方向を逆方向にした場合には、異なる振動位相差(例えば、60°)でモータ効率が最も高くなる。従って、この場合には、基準位相差φ1refを60°に設定することとしても良い。
次に、本発明の第2の実施形態に係る超音波モータについて説明する。
本実施形態に係る超音波モータは、その制御装置が周波数追従機能を更に備えている点で、上述した第1の実施形態と異なる。以下、本実施形態の超音波モータについて、第1の実施形態と共通する点については説明を省略し、異なる点についてのみ説明する。
図16に示すように、本実施形態に係る超音波モータは、追尾位相比較回路40を備えている。追尾位相比較回路40は、縦振動検出回路34から出力される縦振動検出信号と、駆動パルス発生回路32から出力されるA相の駆動制御信号とが入力されるようになっている。追尾位相比較回路40は、縦振動検出信号とA相の駆動制御信号との位相差φ2を求め、更に、この位相差φ2と予め記憶している基準位相差φ2refとの差分Δφ2(=φ2−φ2ref)を求め、この差分Δφ2に応じた信号を出力する。
具体的には、追尾位相比較回路40は、A相の駆動制御信号と縦振動検出信号との位相差φ2を求めると、この位相差φ2に応じた信号を周波数設定回路31に出力する。周波数設定回路31は、入力された位相差φ2に対応する周波数fを図19に示した特性テーブルを参照して取得し、この周波数fのパルス信号を生成して、駆動パルス発生回路32に出力する。
なお、図19に示した位相差φ2−周波数fの特性テーブルに代えて、位相差φ2をパラメータとした演算式を用いることにより、位相差φ2に応じた周波数fを求めることとしても良い。
更に、縦振動検出信号に代えて、屈曲振動検出信号を用いることとしても良い。この場合においても、基準位相差φ2refを縦振動検出信号と屈曲振動検出信号との位相差(本実施形態では120°)に応じて変更する必要がある。
次に、本発明の第3の実施形態に係る超音波モータについて説明する。
上述した第1の実施形態に係る超音波モータでは、縦振動を検出するための内部電極と、屈曲振動を検出するための内部電極とをそれぞれ設けていたが、本実施形態では、同一の内部電極から得られる信号を用いて縦振動並びに屈曲振動を検出することとしている。
以下、本実施形態の超音波モータについて、第1の実施形態と共通する点については説明を省略し、異なる点についてのみ説明する。
図20及び図21は、本実施形態に係る圧電セラミックシートの内部電極の配置を示した図、図22は、図20及び図21に示した圧電セラミックシートを交互に積層して構成される圧電積層体を示した図である。図20乃至図22に示すように、本実施形態に係る圧電セラミックシートは、第1の実施形態に係る内部電極12(C+),12(C−)が除去された構成をとる。つまり、本実施形態においては、内部電極12(D+),12(D−),12(E+),12(E−)を用いて、縦振動及び屈曲振動を検出する。
第1振動検出回路41は、配線L3を介して入力される電気信号に対して、ノイズ除去を行い、第1の振動検出信号として振動分離回路(第3振動検出手段)43に出力する。
振動分離回路43は、第1の振動検出信号及び第2の振動検出信号が入力されると、これらの信号の和をとることで縦振動検出信号を得、また、これらの信号の差をとることで屈曲振動検出信号を得る。そして、これら縦振動検出信号及び屈曲振動検出信号を振動位相比較回路に出力する。
例えば、上述した実施形態では、振動検出用の内部電極を全層にわたって設けるようにしているが、本発明はこれに限定されるものではなく、一層にだけもしくは数層にだけ設けるようにすることとしても良い。
2 被駆動体
3 超音波振動子
11 圧電セラミックスシート
12 内部電極
14 摩擦接触子
17 外部電極
30 制御装置
31 周波数設定回路
32 駆動パルス発生回路
33 ドライブIC
34 縦振動検出回路
35 屈曲振動検出回路
36 振動位相比較回路
40 追尾位相比較回路
41 第1振動検出回路
42 第2振動検出回路
43 振動分離回路
50 信号制御部
Claims (12)
- 第1の圧電素子と第2の圧電素子とが交互に積層された超音波振動子に、縦振動と屈曲振動とを同時に発生させ、前記超音波振動子の出力端に略楕円振動を生じさせて、前記超音波振動子と前記超音波振動子に接触する被駆動体とを相対的に移動させる超音波モータであって、
前記第1の圧電素子を長手方向に2等分及び幅方向に2等分して4つの領域に区分した場合に、隣接する2つの領域、または、全ての領域に、各前記領域における占有面積が略等しくなるように配置される第1の内部電極と、
前記第2の圧電素子において、前記第1の内部電極に対応する位置に配置される第2の内部電極と、
前記第1の内部電極と前記第2の内部電極との電位差に基づいて前記縦振動を検出する縦振動検出手段と
を具備する超音波モータ。 - 第1の圧電素子と第2の圧電素子とが交互に積層された超音波振動子に、縦振動と屈曲振動を同時に発生させ、前記超音波振動子の出力端に略楕円振動を生じさせて、前記超音波振動子と前記超音波振動子に接触する被駆動体とを相対的に移動させる超音波モータであって、
前記第1の圧電素子を長手方向に2等分及び幅方向に2等分して4つの領域に区分した場合に、一の前記領域に配置される第1の内部電極と、
前記一の領域に隣接する隣接領域に配置される第2の内部電極と、
前記第2の圧電素子において、前記一の領域に対応する領域に配置される第3の内部電極と、
前記第2の圧電素子において、前記隣接領域に対応する領域に配置される第4の内部電極と、
前記第1の内部電極と前記第4の内部電極とに励起される電荷の総和と、前記第2の内部電極と前記第3の内部電極とに励起される電荷の総和との差分に基づいて前記屈曲振動を検出する屈曲振動検出手段と
を具備する超音波モータ。 - 第1の圧電素子と第2の圧電素子とが交互に積層された超音波振動子に、縦振動と屈曲振動とを同時に発生させ、前記超音波振動子の出力端に略楕円振動を生じさせて、前記超音波振動子と前記超音波振動子に接触する被駆動体とを相対的に移動させる超音波モータであって、
前記第1の圧電素子を長手方向に2等分及び幅方向に2等分して4つの領域に区分した場合に、一の前記領域に配置される第1の内部電極と、
前記一の領域に隣接する隣接領域に配置される第2の内部電極と、
前記第2の圧電素子において、前記一の領域に対応する領域に配置される第3の内部電極と、
前記第2の圧電素子において、前記隣接領域に対応する領域に配置される第4の内部電極と、
前記第1の内部電極と前記第3の内部電極との電位差に基づいて第1の振動検出信号を生成する第1振動検出手段と、
前記第2の内部電極と前記第4の内部電極との電位差に基づいて第2の振動検出信号を生成する第2振動検出手段と、
前記第1の振動検出信号と前記第2の振動検出信号との和をとることにより、前記縦振動を検出するとともに、前記第1の振動検出信号と前記第2の振動検出信号との差をとることにより、前記屈曲振動を検出する第3の振動検出手段と
を具備する超音波モータ。 - 第1の圧電素子と第2の圧電素子とが交互に積層された超音波振動子に、縦振動及び屈曲振動を同時に発生させ、前記超音波振動子の出力端に略楕円振動を生じさせて、前記超音波振動子と前記超音波振動子に接触する被駆動体とを相対的に移動させる超音波モータの振動検出方法であって、
前記第1の圧電素子を長手方向に2等分及び幅方向に2等分して4つの領域に区分した場合に、隣接する2つの領域、または、全ての領域に、各前記領域における占有面積が略等しくなるように第1の内部電極を配置し、
前記第2の圧電素子において、前記第1の内部電極に対応する位置に第2の内部電極を配置し、
前記第1の内部電極と前記第2の内部電極との電位差に基づいて前記縦振動を検出する超音波モータの振動検出方法。 - 第1の圧電素子と第2の圧電素子とが交互に積層された超音波振動子に、縦振動及び屈曲振動を同時に発生させ、前記超音波振動子の出力端に略楕円振動を生じさせて、前記超音波振動子と前記超音波振動子に接触する被駆動体とを相対的に移動させる超音波モータの振動検出方法であって、
前記第1の圧電素子を長手方向に2等分及び幅方向に2等分して4つの領域に区分した場合に、一の前記領域に第1の内部電極を配置するとともに、前記一の領域に隣接する隣接領域に第2の内部電極を配置し、
前記第2の圧電素子において、前記一の領域に対応する領域に第3の内部電極を配置するとともに、前記隣接領域に対応する領域に第4の内部電極を配置し、
前記第1の内部電極と前記第4の内部電極とに励起される電荷の総和と、前記第2の内部電極と前記第3の内部電極とに励起される電荷の総和との差分に基づいて前記屈曲振動を検出する超音波モータの振動検出方法。 - 第1の圧電素子と第2の圧電素子とが交互に積層された超音波振動子に、縦振動及び屈曲振動を同時に発生させ、前記超音波振動子の出力端に略楕円振動を生じさせて、前記超音波振動子と前記超音波振動子に接触する被駆動体とを相対的に移動させる超音波モータの振動検出方法であって、
前記第1の圧電素子を長手方向に2等分及び幅方向に2等分して4つの領域に区分した場合に、一の前記領域に第1の内部電極を配置するとともに、前記一の領域に隣接する隣接領域に第2の内部電極を配置し、
前記第2の圧電素子において、前記一の領域に対応する領域に第3の内部電極を配置するとともに、前記隣接領域に対応する領域に第4の内部電極を配置し、
前記第1の内部電極と前記第3の内部電極との電位差に基づいて第1の振動検出信号を生成し、
前記第2の内部電極と前記第4の内部電極との電位差に基づいて第2の振動検出信号を生成し、
前記第1の振動検出信号と前記第2の信号検出信号との和をとることにより、前記縦振動を検出するとともに、前記第1の振動検出信号と前記第2の信号検出信号との差をとることにより、前記屈曲振動を検出する超音波モータの振動検出方法。 - 第1の圧電素子と第2の圧電素子とが交互に積層された超音波振動子に、縦振動及び屈曲振動を同時に発生させ、前記超音波振動子の出力端に略楕円振動を生じさせて、前記超音波振動子と前記超音波振動子に接触する被駆動体とを相対的に移動させる超音波モータであって、
前記縦振動に比例する縦振動検出信号を出力する縦振動検出手段と、
前記屈曲振動に比例する屈曲振動検出信号を出力する屈曲振動検出手段と、
前記縦振動検出信号と前記屈曲振動検出信号との位相差を検出し、該位相差が予め設定されている所定の基準位相差になるように、前記超音波振動子に印加する2相の駆動交番電圧の位相を制御する信号制御手段と
を具備する超音波モータ。 - 前記信号制御手段が、前記縦振動検出信号または前記屈曲振動検出信号と何れか一方の前記駆動交番電圧との位相差を検出し、該位相差が所定の値となるように、各前記駆動交番電圧の周波数を制御する請求項7に記載の超音波モータ。
- 前記超音波振動子は、交互に積層される第1の圧電素子と第2の圧電素子とを備えており、
前記縦振動検出手段は、
前記第1の圧電素子を長手方向に2等分及び幅方向に2等分して4つの領域に区分した場合に、隣接する2つの領域、または、全ての領域に、各領域における占有面積が略等しくなるように配置される第1の内部電極と、
前記第2の圧電素子において、前記第1の内部電極に対応する位置に配置される第2の内部電極と
を備え、
前記第1の内部電極と前記第2の内部電極との電位差に基づいて前記縦振動を検出する請求項7または請求項8に記載の超音波モータ。 - 前記超音波振動子は、交互に積層される第1の圧電素子と第2の圧電素子とを備えており、
前記屈曲振動検出手段は、
前記第1の圧電素子を長手方向に2等分及び幅方向に2等分して4つの領域に区分した場合に、一の前記領域に配置される第1の内部電極と、
前記一の領域に隣接する隣接領域に配置される第2の内部電極と、
前記第2の圧電素子において、前記一の領域に対応する領域に配置される第3の内部電極と、
前記第2の圧電素子において、前記隣接領域に対応する領域に配置される第4の内部電極と
を備え、
前記第1の内部電極と前記第4の内部電極とに励起される電荷の総和と、前記第2の内部電極と前記第3の内部電極とに励起される電荷の総和との差分に基づいて前記屈曲振動を検出する請求項7または請求項8に記載の超音波モータ。 - 第1の圧電素子と第2の圧電素子とが交互に積層された超音波振動子に、縦振動と屈曲振動とを同時に発生させ、前記超音波振動子の出力端に略楕円振動を生じさせて、前記超音波振動子と前記超音波振動子に接触する被駆動体とを相対的に移動させる超音波モータであって、
前記第1の圧電素子を長手方向に2等分及び幅方向に2等分して4つの領域に区分した場合に、一の前記領域に配置される第1の内部電極と、
前記一の領域に隣接する隣接領域に配置される第2の内部電極と、
前記第2の圧電素子において、前記一の領域に対応する領域に配置される第3の内部電極と、
前記第2の圧電素子において、前記隣接領域に対応する領域に配置される第4の内部電極と、
前記第1の内部電極と前記第3の内部電極との電位差に基づいて第1の振動検出信号を生成する第1振動検出手段と、
前記第2の内部電極と前記第4の内部電極との電位差に基づいて第2の振動検出信号を生成する第2振動検出手段と、
前記第1の振動検出信号と前記第2の信号検出信号との和をとることにより、前記縦振動を検出するとともに、前記第1の振動検出信号と前記第2の信号検出信号との差をとることにより、前記屈曲振動を検出する第3の振動検出手段と、
前記縦振動検出信号と前記屈曲振動検出信号との位相差を検出し、該位相差が予め設定されている所定の基準位相差になるように、前記超音波振動子に印加する2相の駆動交番電圧の位相を制御する信号制御手段と
を具備する超音波モータ。 - 前記信号制御手段が、前記縦振動検出信号または前記屈曲振動検出信号といずれか一方の前記駆動交番電圧との位相差を検出し、該位相差が所定の値となるように、各前記駆動交番電圧の周波数を制御する請求項11に記載の超音波モータ。
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