JP2008039707A - 被測定物の振れを測定する装置 - Google Patents

被測定物の振れを測定する装置 Download PDF

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Abstract

【課題】感光体ドラム等の中空円筒状の被測定物の振れを直接測定することの可能な被測定物の振れを測定する装置の提供。
【解決手段】チャック手段2は、2分割された円筒状の爪部2aを有しており、これらの爪部2aの円弧状の外周部2cは、先端先細状の真円状に形成されており、また中央部2bは中空となっている。この中空中央部2b内に図示されない空気圧や楔状の拡開手段が挿入されて、拡開手段の拡開作用によって、この径方向(矢印D方向)に爪部2aを開閉自在に移動可能に取り付けられている。従って、このチャック手段2の爪部2a内に、ワーク1の両端の内周に挿入し、爪部2aを拡開したとき、歪んだ形状のワーク1の両端の断面が、爪部2aの外周形状に沿ってほぼ真円状に変形、矯正されてチャック部2にワーク1が保持されることになる。
【選択図】図3

Description

本発明は、画像形成装置の感光体ドラムや現像ローラ等の中空円筒状の被測定物の振れを測定する装置に関する。
複写機、プリンタ、ファクシミリ等の電子写真方式の画像形成装置においては、感光体ドラムや現像装置の現像ローラ等の中空円筒状のローラが種々使用されており、これらのローラの振れによって印刷特性が影響されるために、これらのローラを組み立てて画像形成装置を製作する前に、これらのローラの検査を行って、良品を選別してローラの組み立てが行われている。
このようなローラの検査においては、図1に示すような中空円筒状の被測定物の振れを測定装置を使用することが知られている。(例えば特許文献1参照)この測定装置では、被測定物である感光体ドラム100の両端に凹状回転中心軸部を有するフランジ110を嵌合し、この凹状回転中心軸部に貫通したシャフト120を取り付ける。次に、この感光体ドラム100をシャフト120で回転自在に支持するVブロック130に載置、支持し、感光体ドラム100を回転させながら、感光体ドラム100の近傍に配置された非接触式のレーザ透過型変位センサ140によって、感光体ドラム100の外形を計測する。この計測結果から演算装置150で感光体ドラム100の振れを測定するようになっている。
特開平10−132552号公報
しかしながら、上記特許文献1記載のものでは、感光体ドラムの両端に嵌合したフランジの中心軸部に挿入されたシャフトで回転支持しながら感光体ドラムの振れを測定するようにしているので、感光体ドラムとフランジとシャフトの振れが加味された振れを測定することになり、感光体ドラム自体の振れを測定することができず、感光体ドラムが良品であっても、フランジやシャフトが偏芯しているため、振れが大きくなって全体としては、不良と判定される場合があり、良品の感光体ドラムも廃棄されてしまうというムダが発生する問題がある。
本発明は、上記実情を考慮してなされたものであり、感光体ドラム等の中空円筒状の被測定物の振れを直接測定することの可能な被測定物の振れを測定する装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、請求項1に記載の発明は、中空円筒形状の被測定物の軸方向両端の内周部を保持するチャック手段と、当該被測定物を軸回りに回転するための回転手段と、当該被測定物の外周の振れを検出する振れ検出手段と、を備えた被測定物の振れを測定する装置において、前記チャック手段は、被測定物の両端の内周面と当接する当接部の外周に真円状の円弧部分を有し、当該当接部の真円状円弧部分を被測定物の内周部の内周面に当接させて被測定物の両端の内周面を真円状に変形させる変形手段を備えたことを特徴とする。
また、請求項2の発明は、請求項1記載の被測定物の振れを測定する装置において、前記チャック手段の当接部の真円状の円弧部分は、複数に分割され、前記変形手段は、前記分割された円弧部分を拡開して被測定物の内周面を真円状に変形させることを特徴とする。
また、請求項3の発明は、請求項1または2記載の被測定物の振れを測定する装置において、前記チャック手段の真円状円弧部分に、前記変形手段による被測定物の変形によって生ずる真円状円弧部分への圧力を検出する圧力検出手段を設け、この圧力検出手段によって検出された圧力が予め設定された値以上となったときに警報を発する警報手段を備えたことを特徴とする。
また、請求項4の発明は、請求項1乃至3のいずれか1項記載の被測定物の振れを測定する装置において、前記圧力検出手段によって検出された圧力が予め設定された値となるように変形力を制御する制御手段を備えたことを特徴とする。
また、請求項5の発明は、請求項1乃至4のいずれか1項記載の被測定物の振れを測定する装置において、前記チャック手段は、被測定物の回転角度を検出する回転角度検出手段を備えたことを特徴とする。
また、請求項6の発明は、請求項1乃至5のいずれか1項記載の被測定物の振れを測定する装置において、前記振れ検出手段は、前記被測定物の測定位置における外周の測定基準からの第1の変化量及び被測定物の測定基準部分の測定基準からの第2の変化量を連続検出する検出機構と、それぞれ検出機構から検出された第1及び第2の変化量を電気的変動に変換する変換手段と電気的変動をデジタル化する装置とデジタル化された信号を演算処理する演算処理手段装置を備え、前記第2の変化量から、被測定物の測定基準部分の中心を求め、第1の変化量から、被測定物の回転に伴って変化する当該中心の変化量を差し引くことによって被測定物の振れを測定することを特徴とする。
また、請求項7の発明は、請求項6記載の被測定物の振れを測定する装置において、
前記被測定物を回転する回転手段は、当該回転手段の回転角度を検出する回転角度検出手段を備え、当該回転角度検出手段で検出される回転角度から、被測定物の表面に加工された溝の深さを演算することを特徴とする。
本発明によれば、上記構成とすることによって、感光体ドラム等の中空円筒状の被測定物の振れを直接測定することの可能な被測定物の振れを測定する装置を提供することを可能としたものである。
本発明による被測定物の振れを測定する装置においては、被測定物として画像形成装置に使用される感光体ドラム等の中空円筒形状のものであれば、画像形成装置以外の用途の中空円筒形状の被測定物の振れを測定を行うことが可能である。しかし、被測定物として画像形成装置で使用される現像装置の現像ロールの測定において使用した場合には、より有効的な測定が可能となる。
複写機、プリンタ、ファクシミリ等の電子写真方式の画像形成装置の現像剤担持体である現像ローラの表面には、低速で使用する場合を除き、溝加工またはサンドブラスト加工等の荒らし加工を施している。これは高速で回転する現像ローラの現像スリーブ上でトナーがスリップしてトナーの停滞、画像濃度の低下の発生を防止するためである。このような表面加工が施されている現像ローラにおいては、より振れの問題が発生し易く、振れの発生によって適切な印刷を行うことができなくなる問題を招き易い。
図2は、現像ローラユニットの概略構成を示す。現像ローラ200は、内側に磁場発生手段200aを持ち、外側に回転自在な現像スリーブ200bを両端のフランジ200cで固定してあり、フランジ200cに取り付けられた回転軸200を収納ケース230上に図示しない軸受を介して回転可能に支持、固定されている。なお、240は、現像ローラ200にトナーを供給する攪拌ローラである。
現像スリーブ200bはドクターブレード210及び感光体ドラム220と近接しており、スリーブ200bに振れがあるとドクターブレード210もしくは感光体ドラム220とのギャップが現像スリーブ200bの回転周期で変動することになり、トナー量のムラや現像能力のムラを生じてしまい、結果として画像上に現像スリーブピッチのムラを生じてしまう。従って高画質を得るためにはスリーブの振れ精度を高くする必要がある。
さらに、現像ローラ200は、現像スリーブ200bの両端にフランジ200cを圧入して組み立てられるが、現像スリーブ200bの両端面は必ずしも真円ではなく、フランジ200cの圧入により、現像スリーブ200bの両端面付近が変形し、フランジ200cの圧入前後で、現像スリーブ200bの振れ量が異なる場合がある。この時、フランジ200cの圧入前は良品であったものが、圧入後に不良品となり、無駄な圧入作業の発生や、圧入したフランジ部品が無駄になり、生産効率が低下するという問題が発生している。そのため、生産効率向上のためには、フランジ200cの圧入前に、フランジ圧入後においても、不良品となるかどうかの判定ができる必要がある。
本発明においては、上記事情から、フランジ200cを圧入せずに、現像スリーブ200bだけの振れの測定によって、フランジ200cが圧入されている場合と同様な状況の下での現像スレーブ200bの振れを測定可能としたものである。従って、以下の本発明による実施形態においては、被測定物として現像スリーブ200bの振れの状態を測定している。
以下、図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
<実施例1>
図3は、本発明による一実施形態の被測定物の振れを測定する装置の概略構成を示す図である。1は被測定物である薄肉中空円筒形状の現像スリーブ(以下ワークという)、2はワーク1の両端の内周面に当接してワークを保持するチャック手段、3は軸受け4に回転可能に支持されたチャック手段2を回転するモータである。5は、コントローラ6によって制御されてチャック手段2をワーク1の軸方向(矢印W方向)に進入、退出させる駆動手段である。7は、レーザ光等の平行走査光線7cをワーク1に向けて照射する投光部7aと、投光部7aからの平行走査光線7cをワーク1に照射して透過した走査光線を検出する受光部7bを有する非接触レーザ透過型の変位センサである。8は、変位センサ8をワーク1の軸方向Wに平行に移動させ、その移動位置を検知することのできる変位センサ駆動手段である。
図4は、図3のA−A線上で切断した断面図で、チャック手段2は、2分割された円筒状の爪部2aを有しており、これらの爪部2aの円弧状の外周部2cは、先端先細状の真円状に形成されており、また中央部2bは中空となっている。この中空中央部2b内に図示されない空気圧や楔状の拡開手段が挿入されて、拡開手段の拡開作用によって、この径方向(矢印D方向)に爪部2aを開閉自在に移動可能に取り付けられている。従って、このチャック手段2の爪部2a内に、ワーク1の両端の内周に挿入し、爪部2aを拡開したとき、図5(a)に示すような歪んだ形状のワーク1の両端の断面が、図5(b)に示すように、爪部2aの外周形状に沿ってほぼ真円状に変形、矯正されてチャック部2にワーク1が保持されることになる。このように、矯正されて保持されたワーク1の形状は、ワーク1の内周にフランジ200cを圧入した際の形状に近似したものとなる。このチャック手段2によってワーク1を保持した状態でワーク1の外形を測定することによって、ワーク1の両端にフランジ200cが圧入された実際に使用される場合の形状における振れの測定値と実質的に同一なものとすることができる。この場合に、前記爪部2aは、上述の2分割に限らずそれ以上の分割数とすることができる。
この測定装置によってワーク1の測定を行う場合には、次のステップに従って行う。
ステップ1:ワーク1を仮受け台に載せ、チャック手段2をワーク1の両側から挿入し、チャック位置で爪部2aを開く。
ステップ2:ワーク1は、肉厚が薄いため、爪部2aの外周表面2cに沿って変形する。この時、ワーク1は、図5(a)、(b)のように、振れのピークの位置1a、1a’及び振れの量がチャックの前後で変化する。
ステップ3:爪部2aは、真円状に開いた時点で、開きを止める。これにより、ワーク1は、フランジ圧入部にフランジ200cが圧入された場合と同じ状態となる。この場合に、爪部2aは、ワーク1に接触する円弧状の外周部分が真円状になるまで開くが、チャック2の爪部2aに取り付けられた圧力センサ(図示せず)により、爪部2aにかかる力を測定する。この測定値が、予め設定された値以上になった時は、爪部2aは移動を止め、ブザー等の警報手段から警報を発することにより爪部2aの開き過ぎによって、ワーク1が塑性変形するのを防ぐことができる。
ステップ4:ステップ3の状態で、チャック手段2をギヤ等を介してモータ3により回転させることにより、ワーク1を回転し、振れを透過型の非接触式変位センサ7で測定する。
以上のようにして、ワーク1にフランジ200cが圧入された後の状態を模擬して適切にワーク1の振れ量を測定することができる。従って、実際にフランジを使用しなくても、フランジを使用した場合に不良品となるかどうかの判定を適切に行うことができる。
<実施例2>
次に本発明による他の実施形態に係る被測定物の振れを測定する装置について図6に基づいて説明する。図6に示す実施例2のものは、前述の実施例1に係る被測定物の振れを測定する装置と基本的に同一であるが、本実施例においては、チャック手段2を回転するモータ3の後方にチャック手段2の回転角度を検出する回転角度検出手段9が取り付けられている。従って、実施例1におけるステップ4における振れ量の測定時に、この回転角度検出手段からの回転角度を検出することによってチャック手段2の回転角度のデータとワーク1の振れ量のデータとをマッチングさせてワーク1のピッチムラ等を正確に把握することが可能となる。その結果、画像のピッチムラとワーク1のピッチムラとの相関関係等の解析に有効なデータを得ることができる。
<実施例3>
図7は、本発明による他の実施形態に係る被測定物の振れを測定する装置の概略構成を示す図で、本実施例による測定装置においては、実施例2のものに加えてチャック手段2のワーク1を保持する爪部2aに、外径測定用変位センサ7と同じ投光部10b、11bと受光部10b、11bを有するレーザ透過型の変位センサからなる振れ補正用の変位センサ10及び11が配置されている。この振れ補正用の変位センサ10、11は、後述するように、ワーク1の両端の中心a及びbのワーク1の回転に伴う中心a及びbの変動を補正して精度良く、ワーク1の振れ量を測定可能としたものである。
次に、この実施例3に示す測定装置を使用してワーク1の外形の振れの測定する方法について、図8〜図16に基づいて説明する。
図8は、本実施例における変位センサ7によるワーク1の測定部位を示す図で、ワーク1は、その両端を保持しているチャック手段2をモータ3によって回転することによって矢印R方向に回転可能に保持されており、本実施例による振れの測定においては、チャック手段2の中心軸の変動による誤差を排除するために、ワーク1の両端部を測定基準端面A、Bとし、これらの測定基準端面A、Bにおける中心軸の変動からワーク1の任意の測定位置Nにおける中心軸の変動分を差し引くことによって、任意の測定位置Nにおけるワーク1の外周の振れを求めるようにしている。なお、測定基準端面A、Bとしては、ワーク1の両端面に近接してワーク1の両端面の外形と近似する爪部2a部分を選定して測定を行っている。
図9は、ワーク1の静止状態のA位置における中心軸を求めるための説明図で、A位置における基準端面の中心aは、変位センサ10の投光部10aから照射される平行走査線によって透過した走査線を受光部10bで受光することによって外径L1−L1’を測定しその中点を求めて中心aとしている。同様に、B位置においても、変位センサ11を使用して基準端面の外径からその中心を求めて中心bとしている。
次に、ワーク1を回転させると、前記A、B位置の中心a、bは、ワーク1の回転軸からの偏心によって図10に示すように曲線c、dのような軌跡を描くことになる。これらの曲線c、dと所定の回転角度における中心a、bと結ぶ直線eから任意測定位置Nにおける中心fの軌跡を求めると図10の曲線gの軌跡を求めることができる。一方、変位センサ7によってワーク1の任意測定位置Nの表面の測定点Eを測定すると曲線hのような軌跡になり、測定点Eから中心fまでの距離Fを求め、測定点Eをワーク1の任意測定位置Nの全周にわたって変えた際に求められるFの最大値から最小値を差し引いた値がワーク1の振れ量になる。
次に、前記Fの変動幅(振れ量)をコンピュータを使用して演算処理を行うためのX−Y−Z軸の座標で捉えて演算する場合の原理について説明する。
今、チャック部A部の中心a、チャック部B部の中心b、ワーク1の任意の測定位置Nにおける外径gの測定手段として、透過型の非接触式変位センサ10を図9の様な方向にセットして測定する場合、ワーク1を回転させ、任意の回転角度θ度における、チャック部A部の外径の測定値L1−L1’を測定してA点における中心a、チャック部B部の外径の測定値L2−L2’を測定してB点における中心b、任意のワーク1の測定位置Nの外径の測定値L3−L3’を測定し、その上面をE点における表面Eとし、回転角度0度〜360度まで測定する。
これを図8に示すX−Y−Z軸座標で捉え、ワーク1を回転させたときの回転角度とZ軸座標としたときの中心a、中心b及び表面Eの軌跡の変動を測定した。図11は中心aの軌跡の関係、図12は中心bの関係、図13は表面Eの変位の関係を示す。図11で示すように、回転角度θ1のときに、中心aは最大の変位Zaを示し、中心bは、回転角度θ2のときに最大となりZb2の変位となり、中心aの最大変位を示すθ1のときは、Zb1の変位となる。同様に、表面Eの最大変位Ze3を示す回転角度θ3は、前記θ1、θ2とも異なっており、θ1のときはとZe1の変位を示す。
従って、ワーク1が回転することにより、中心a・中心b・表面Eの空間上の軌跡が、図10のようになっているとすると、中心aの変位yが最大の時(回転角度θ1時)の中心aの空間上の座標は、X軸方向の位置を0とすると、(x、y、z)=(0,0,Za)となる。この時、中心aは、Zaだけ偏芯しながら回転していると考えると、各回転角度θにおける、中心aの空間上の座標は、(x、y、z)=(0,Y,z)であり、図14から明らかなように、Y及びzは、
=zacos(θ1−θ) (1)
=zasin(θ1−θ) (2)
と算出される。但し、θ1は中心aの変位が最大のときの回転角度、zaはθ1のときの中心aの最大変位量である。なお、図14中、座標P1は、回転角度θ=0度のときの中心aの位置、P2は、回転角度(θ1−θ)のときの中心aの位置を示す。
また、中心aの変位yが最大の時(回転角度θ1の時)と中心bの変位が最大の時の回転角度θ2とは、異なるので、中心bの空間上の座標(x、y、z)=(0,Yb1,Zb1)は、図15から明らかなように、Yb1とzb1は、
b1=Zb2×sin(θ1−θ2)
b1=Zb2×cos(θ1−θ2)
となる。但し、θ2は、中心bの最大変位量Zb2を示すときの回転角度である(図10参照)。なお、図15中、P3は、回転角度0度のときの中心aの位置、P4は、回転角度θ1のときの中心bの位置、P5は、回転角度0度のときの中心bの位置を示す。
中心bも、中心aと同様に、zb1だけ偏芯しながら回転していると考えると、各回転角度における、中心bの空間上の座標は、(x、y、z)=(Xb,Y,Z)となり、Y及びZは、
=Zb2cos(θ2−θ) (3)
=zb2sin(θ2−θ) (4)
と算出される。但し、θ2は、中心bの最大変位Zb2を示すときの回転角度である(図12参照)。
従って、測定位置Nにおける、中心aの空間上の座標(x、y、z)=(0,Y,Z)と中心bの空間上の座標(x、y、z)=(Xb,Y,Z)とを結ぶ直線上の、測定位置Nにおける、空間上の座標(x、y、z)=(Xn,Y,Z)は、空間上の直線の方程式より
(Xn−0)/(Xb−0)=(Y−Y)/(Y−Y)=(Z−Z)/(Z−Z)となり、この関係式から
=Y+(Y−Y)×(Xn/Xb) (5)
=Z+(Z−Z)×(Xn/Xb) (6)
と算出される。但し、Xb、Xnは、それぞれ、ワーク1の測定基準端面Aから測定基準端面B及び測定位置Nまでのワーク1の軸方向での距離を示す。
また、測定位置Nにおける、外形は、ワーク1の外周面の上面と下面との中点をワーク中心fとすると、各回転角度毎の、ワーク1の外周面の上面とワーク1の中心fとの距離を、ワーク1の中心fを中心に、プロットした形で表される。図16(a)、(b)は、この関係をで示し、図16(a)は、回転角度θ=0度のときのワーク1の外形形状を示し、曲線hは、回転角度θ=0度のときのワーク1の外周形状を示す。また、図中、P6は、ワーク1の外周面からワーク1の中心fまでの距離を示し、P7は、回転角度θ=2π−θ3のときのワーク1の外周面の座標を示し、P8は、ワーク1の回転中心oの座標を示す。
図16(b)は、図16(a)に示す外形を有するワーク1を360度回転させた際のワーク1の外周面と中心fの距離と中心fのワーク1の回転に伴う偏心量との和を各回転角度毎に360度プロットした軌跡を示す図である。従って、これらの図からワーク1の外周表面の歪みには、ワーク1の外周面の振れだけでなくワーク1の中心fの偏心量も加味されており、中心fの偏心量を除いて振れ量を求めないと実際ワーク1にフランジを圧入して回転させた場合の振れ量と相違することになる。
この外形形状を持ったワーク1における、中心aと中心bとを結ぶ直線上の、測定位置Nにおける、空間上の座標(=ワーク1の回転中心f)とワーク外周面P7の座標との距離の最大値−最小値が、振れの値となる。ワーク外周面の座標は、Y−Z平面状において、回転角度θ°の時、ワーク外周面の上面と中心との距離=Lθとすると、
(Y,Z)=(Lθcos(π/2−θ3)、Lθsin(π/2−θ3)) (7)
となるので、θ=0〜360度まで計算したときの振れの量(Fmax−Fmin)は、
Fmax−Fmin=((Y2−Y 2)+(Z2−Z 2))1/2 (8)
で表される。
これらの関係式からパソコンの演算処理手段12を使用して、ワーク1の振れ量を算出することができる。
次に演算処理手段12を使用してワーク1の振れ量を算出する演算フローを図17に示す。先ず、ステップS1において、回転角度センサ9、振れ補正用センサ10、11及びワーク1の外径測定用センサ7からZa、回転角度θ、中心a、bの測定値を取り込む。ステップS2で、これらの測定値のデータの移動平均化処理(所定に設定した平均個数で、データの平均の演算を行う処理)を行い、これらの処理によってθ1、θ2、Lθを計算する(ステップS3)。次に、θ1を使用して中心aの空間上の座標、(x、y、z)=(0,Y,z)を前記(1)式、(2)式を使用して計算する(ステップS4)。続いて、θ2を使用して中心bの空間上の座標、(x、y、z)=(Xb,Y,z)を前記(3)式、(4)式を使用して計算する(ステップS5)。さらに、測定位置Nにおける中心aの空間上の座標と中心bの空間状の座標とを結ぶ直線上の空間座標(x、y、z)=(Xn,Y,z)を(5)式、(6)式を使用して求める(ステップS6)。次にワーク1の外周表面の空間上の座標(Y,Z)を(7)式を使用して求める(ステップS7)。最後に、(8)式を用いてFmax−Fminの振れ量を求める(ステップS8)。
以上のようにして、ワーク1にフランジ200cを圧入しなくとも実際に即したワークの振れ量を測定することが可能となり、ワーク1のムダ等を排除することが可能となる。
しかも、このワーク1の振れ量の測定によって、ワーク1の凹凸も測定することが可能となるので、ワーク正面に形成された溝の深さ、角度、幅を高精度で測定することができる利点を有する。
従来の被測定物の振れを測定する装置の概略構成を示す側面図である。 本発明による被測定物の振れを測定する装置で測定される画像形成装置の現像ユニットの概略構成を示す側面図である。 本発明による実施例1に係る被測定物の振れを測定する装置の平面図である。 図3のA−A線上で切断した断面図である。 ワーク1の端面の断面図で、(a)はチャック手段に装着される前のワークの断面図、(b)はチャック手段に装着されて矯正されたワークの断面図である。 本発明による実施例2に係る被測定物の振れを測定する装置の平面図である。 本発明による実施例3に係る被測定物の振れを測定する装置の平面図である。 図7のワークの測定部位を示す平面図である。 図7のA部のチャック手段の爪部の断面図である。 図8の測定部位におけるワークの回転に伴う軌跡を示す図である。 A点における中心aの変位と回転角度との関係を示す図である。 B点における中心bの変位と回転角度との関係を示す図である。 N点における表面Eの変位と回転角度との関係を示す図である。 A点における中心aの回転角度とY−Z軸の座標関係を示す図である。 B点における中心bの回転角度とY−Z軸の座標関係を示す図である。 ワークの外周形状とワークの中心との関係を示す図で、(a)は回転角度0度における関係図、(b)は360度回転した場合におけるワーク外周面と中心との距離と中心の偏心量との和を回転角度毎にプロットした軌跡を示す図である。 演算処理装置での振れ量を求めるための演算フローチャートである。
符号の説明
1 ワーク
2 チャック手段
2a 爪部
2b 中央部
2c 外周部
3 モータ
4 軸受部
5 駆動手段
6 コントローラ
7 変位センサ
7a 投光部
7b 受光部
7c 平行走査光線
8 変位センサ駆動手段
9 回転角度検知センサ
200 現像ローラ
200b 現像スリーブ
200c フランジ
210 ドクターブレード
220 感光体ドラム
230 収容ケース
a A部の中心
b B部の中心
c aの軌跡
d bの軌跡
e aとbを結ぶ直線
f N部の中心
g N部の表面Eの軌跡

Claims (7)

  1. 中空円筒形状の被測定物の軸方向両端の内周部を保持するチャック手段と、当該被測定物を軸回りに回転するための回転手段と、当該被測定物の外周の振れを検出する振れ検出手段と、を備えた被測定物の振れを測定する装置において、
    前記チャック手段は、被測定物の両端の内周面と当接する当接部の外周に真円状の円弧部分を有し、当該当接部の真円状円弧部分を被測定物の内周部の内周面に当接させて被測定物の両端の内周面を真円状に変形させる変形手段を備えたことを特徴とする被測定物の振れを測定する装置。
  2. 請求項1記載の被測定物の振れを測定する装置において、
    前記チャック手段の当接部の真円状の円弧部分は、複数に分割され、前記変形手段は、前記分割された円弧部分を拡開して被測定物の内周面を真円状に変形させることを特徴とする被測定物の振れを測定する装置。
  3. 請求項1または2記載の被測定物の振れを測定する装置において、
    前記チャック手段の真円状円弧部分に、前記変形手段による被測定物の変形によって生ずる真円状円弧部分への圧力を検出する圧力検出手段を設け、この圧力検出手段によって検出された圧力が予め設定された値以上となったときに警報を発する警報手段を備えたことを特徴とする被測定物の振れを測定する装置。
  4. 請求項1乃至3のいずれか1項記載の被測定物の振れを測定する装置において、
    前記圧力検出手段によって検出された圧力が予め設定された値となるように変形力を制御する制御手段を備えたことを特徴とする被測定物の振れを測定する装置。
  5. 請求項1乃至4のいずれか1項記載の被測定物の振れを測定する装置において、
    前記チャック手段は、被測定物の回転角度を検出する回転角度検出手段を備えたことを特徴とする被測定物の振れを測定する装置。
  6. 請求項1乃至5のいずれか1項記載の被測定物の振れを測定する装置において、
    前記振れ検出手段は、前記被測定物の測定位置における外周の測定基準からの第1の変化量及び被測定物の測定基準部分の測定基準からの第2の変化量を連続検出する検出機構と、それぞれ検出機構から検出された第1及び第2の変化量を電気的変動に変換する変換手段と電気的変動をデジタル化する装置とデジタル化された信号を演算処理する演算処理手段装置を備え、前記第2の変化量から、被測定物の測定基準部分の中心を求め、第1の変化量から、被測定物の回転に伴って変化する当該中心の変化量を差し引くことによって被測定物の振れを測定することを特徴とする被測定物の振れを測定する装置。
  7. 請求項6記載の被測定物の振れを測定する装置において、
    前記被測定物を回転する回転手段は、当該回転手段の回転角度を検出する回転角度検出手段を備え、当該回転角度検出手段で検出される回転角度から、被測定物の表面に加工された溝の深さを演算することを特徴とする被測定物の振れを測定する装置。
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