JP2008039521A - 集束イオンビームを用いる微細部位解析装置 - Google Patents
集束イオンビームを用いる微細部位解析装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008039521A JP2008039521A JP2006212399A JP2006212399A JP2008039521A JP 2008039521 A JP2008039521 A JP 2008039521A JP 2006212399 A JP2006212399 A JP 2006212399A JP 2006212399 A JP2006212399 A JP 2006212399A JP 2008039521 A JP2008039521 A JP 2008039521A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- ion beam
- focused ion
- beam device
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 title claims abstract description 86
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 37
- 150000002500 ions Chemical group 0.000 claims abstract description 31
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 39
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 18
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 abstract description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 75
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 11
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000012798 spherical particle Substances 0.000 description 2
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 description 2
- 239000011882 ultra-fine particle Substances 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003245 coal Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000010881 fly ash Substances 0.000 description 1
- CKHJYUSOUQDYEN-UHFFFAOYSA-N gallium(3+) Chemical compound [Ga+3] CKHJYUSOUQDYEN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000003909 pattern recognition Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000000682 scanning probe acoustic microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000012916 structural analysis Methods 0.000 description 1
- 238000001269 time-of-flight mass spectrometry Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
【解決手段】試料を断面加工して解析する微細部位解析装置は、試料台1と集束イオンビーム装置2と回転機構3と電子ビーム装置4と補正部5と分析装置6とからなる。集束イオンビーム装置2は、試料が置かれた試料台に向かって斜め方向の視線を有するよう配置され、試料台に対して斜め方向にターゲットを切断する。回転機構3は、ターゲットを中心に試料台を着眼位置中心回転させる。電子ビーム装置4は、切断するターゲットを探索すると共に回転中のターゲットを観察する。補正部5は、電子ビーム装置により観察されるターゲットの位置を補正する。分析装置6は、集束イオンビーム装置からターゲットの断面に照射される集束イオンビームにより放出される二次イオンを分析する。
【選択図】図1
Description
2 集束イオンビーム装置
3 回転機構
4 電子ビーム装置
5 補正部
6 分析装置
Claims (5)
- 試料を断面加工して解析する微細部位解析装置であって、該装置は、
試料が置かれる試料台と、
前記試料台に向かって斜め方向の視線を有するよう配置され、前記試料台に対して斜め方向にターゲットを切断可能な集束イオンビーム装置と、
前記集束イオンビーム装置からの集束イオンビームを切断されたターゲットの断面に照射可能とするために、ターゲットを中心に試料台を着眼位置中心回転させる回転手段と、
切断するターゲットを探索すると共に前記回転手段による着眼位置中心回転中のターゲットを観察する電子ビーム装置と、
前記電子ビーム装置により観察されるターゲットの位置を補正する補正手段と、
前記集束イオンビーム装置からターゲットの断面に照射される集束イオンビームにより放出される二次イオンを分析する分析装置と、
を具備することを特徴とする微細部位解析装置。 - 請求項1に記載の微細部位解析装置において、前記集束イオンビーム装置は、その視線が前記試料台の表面法線に対して45度になるように配置されることを特徴とする微細部位解析装置。
- 請求項1又は請求項2に記載の微細部位解析装置において、前記回転手段は、前記試料台を180度回転するように着眼位置中心回転させることを特徴とする微細部位解析装置。
- 請求項1乃至請求項3の何れかに記載の微細部位解析装置において、前記分析装置は、その取り込み口が前記試料台に対して垂直方向に向くように配置されることを特徴とする微細部位解析装置。
- 請求項1乃至請求項4の何れかに記載の微細部位解析装置において、前記集束イオンビーム装置は、ターゲットから二次イオンを放出させるために、ターゲットの切断前の表面及び切断後の断面に集束イオンビームをそれぞれ照射し、前記分析装置は、切断前の表面及び切断後の断面からの二次イオンをそれぞれ分析することを特徴とする微細部位解析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006212399A JP4785193B2 (ja) | 2006-08-03 | 2006-08-03 | 集束イオンビームを用いる微細部位解析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006212399A JP4785193B2 (ja) | 2006-08-03 | 2006-08-03 | 集束イオンビームを用いる微細部位解析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008039521A true JP2008039521A (ja) | 2008-02-21 |
JP4785193B2 JP4785193B2 (ja) | 2011-10-05 |
Family
ID=39174708
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006212399A Active JP4785193B2 (ja) | 2006-08-03 | 2006-08-03 | 集束イオンビームを用いる微細部位解析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4785193B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011003484A (ja) * | 2009-06-22 | 2011-01-06 | Nippon Steel Corp | 集束イオンビームを用いる微細部位解析装置および微細部位解析方法 |
JP2011163872A (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Nippon Steel Corp | 微粒子分析方法 |
JP2017072394A (ja) * | 2015-10-05 | 2017-04-13 | 新日鐵住金株式会社 | 微粒子分析方法 |
US9679743B2 (en) | 2015-02-23 | 2017-06-13 | Hitachi High-Tech Science Corporation | Sample processing evaluation apparatus |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09178681A (ja) * | 1995-12-25 | 1997-07-11 | Sharp Corp | 表面分析方法および装置 |
JP2002148159A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-22 | Hitachi Ltd | 試料作製方法および試料作製装置 |
JP2002150990A (ja) * | 2000-11-02 | 2002-05-24 | Hitachi Ltd | 微小試料加工観察方法及び装置 |
-
2006
- 2006-08-03 JP JP2006212399A patent/JP4785193B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09178681A (ja) * | 1995-12-25 | 1997-07-11 | Sharp Corp | 表面分析方法および装置 |
JP2002150990A (ja) * | 2000-11-02 | 2002-05-24 | Hitachi Ltd | 微小試料加工観察方法及び装置 |
JP2002148159A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-22 | Hitachi Ltd | 試料作製方法および試料作製装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011003484A (ja) * | 2009-06-22 | 2011-01-06 | Nippon Steel Corp | 集束イオンビームを用いる微細部位解析装置および微細部位解析方法 |
JP2011163872A (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Nippon Steel Corp | 微粒子分析方法 |
US9679743B2 (en) | 2015-02-23 | 2017-06-13 | Hitachi High-Tech Science Corporation | Sample processing evaluation apparatus |
JP2017072394A (ja) * | 2015-10-05 | 2017-04-13 | 新日鐵住金株式会社 | 微粒子分析方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4785193B2 (ja) | 2011-10-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI442440B (zh) | Composite focusing ion beam device and the use of this processing observation method, processing methods | |
JP4851804B2 (ja) | 集束イオンビーム加工観察装置、集束イオンビーム加工観察システム及び加工観察方法 | |
CN1782690B (zh) | 用于真空腔室中样品形成和微观分析的方法和设备 | |
CN102207472B (zh) | 用于观察特征的自动化片状铣削 | |
JP4307470B2 (ja) | 荷電粒子線装置、試料加工方法及び半導体検査装置 | |
JP5222507B2 (ja) | イオンビーム加工装置及び試料加工方法 | |
US8227781B2 (en) | Variable-tilt specimen holder and method and for monitoring milling in a charged-particle instrument | |
US9384941B2 (en) | Charged particle beam apparatus and sample observation method | |
US20080296498A1 (en) | In-situ STEM sample preparation | |
JP3897271B2 (ja) | 加工観察装置及び試料加工方法 | |
JP5386453B2 (ja) | 荷電粒子線装置および試料観察方法 | |
US20110297827A1 (en) | Charged particle beam device | |
US20160189929A1 (en) | Rapid tem sample preparation method with backside fib milling | |
JP4785193B2 (ja) | 集束イオンビームを用いる微細部位解析装置 | |
US10692695B2 (en) | Cross section processing observation method and charged particle beam apparatus | |
JP2005114578A (ja) | 試料作製方法および試料作製装置ならびに試料観察装置 | |
JP5009126B2 (ja) | アトムプローブ用針状試料の加工方法及び集束イオンビーム装置 | |
JP2013114854A (ja) | 試料観察装置及びマーキング方法 | |
JP5020483B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP2009037910A (ja) | 複合荷電粒子ビーム装置及び加工観察方法 | |
US9947506B2 (en) | Sample holder and focused ion beam apparatus | |
JPH10223168A (ja) | 試料分析装置 | |
JP2008014899A (ja) | 試料作製方法 | |
CN114509326A (zh) | 用于用体积样本来制备微样本的方法和显微镜*** | |
JP5192411B2 (ja) | イオンビーム加工装置及び試料加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080725 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110330 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110419 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110608 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110701 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110711 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4785193 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140722 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140722 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |