JP2008034486A - 発光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】LEDチップ1と、LEDチップ1が実装されるベース基板部たるLED実装用基板20およびLEDチップ1を囲む形でLED実装用基板20から突設された壁部2bを有する実装基板2とを備える。実装基板2は、壁部2bの先端部から内方へ張り出した張出部たる庇部2cを有し、当該庇部2cにおけるLED実装用基板20側にLEDチップ1から放射される光の一部を光電変換する光センサ4が設けられ、壁部2bに、LEDチップ1から放射された光の一部を光センサ4へ反射により導くミラー2dが形成されている。
【選択図】図1
Description
以下、本実施形態の発光装置について図1〜図11を参照しながら説明する。
本実施形態の発光装置の基本構成は実施形態1と略同じであり、図12に示すように、リフレクタ用基板30の内側面に、LEDチップ1から放射された光を反射する金属材料(例えば、Au、Ag、Ni、Cr、Al、Al−Siなど)からなる金属膜39が形成されており、当該金属膜39の表面がLEDチップ1から放射された光を反射により光センサ4へ導くミラー2dを構成している点が相違するだけである。ここで、金属膜39は、例えばスパッタ法とリフトオフ法とを利用して形成すればよい。なお、実施形態1と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
本実施形態の発光装置の基本構成は実施形態1と略同じであり、図13に示すように、リフレクタ用基板30の内側面が、シリコン基板30aの等方性エッチングが可能なエッチング液(例えば、フッ酸と硝酸との混合液など)あるいはICP型のドライエッチング装置を用いた等方性エッチングにより形成された滑らかに連続する曲面からなる点が相違するだけである。ここで、ICP型のドライエッチング装置は、一般的に、エッチング対象をエッチングするエッチングモードと被エッチング面へ有機物を堆積させるデポジションモードとを交互に繰り返すエッチング条件の設定が可能となっており、エッチングモードの時間をデポジションモードの時間に比べて比較的長く設定してエッチングモードとデポジションモードとを交互に繰り返すことにより略垂直なエッチングが可能となるが、エッチングガスとして例えばSF6ガスを採用し、デポジションモードの時間をゼロとするようにエッチング条件を設定すれば、等方性エッチングを行うことが可能となる。なお、実施形態1と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
本実施形態の発光装置の基本構成は実施形態3と略同じであり、図15に示すように、リフレクタ用基板30の内側面に、LEDチップ1から放射された光を反射する金属材料(例えば、Au、Ag、Ni、Cr、Al、Al−Siなど)からなる金属膜39が形成されており、当該金属膜39の表面がLEDチップ1から放射された光を反射により光センサ4へ導くミラー2dを構成している点が相違するだけである。ここで、金属膜39は、例えばスパッタ法とリフトオフ法とを利用して形成すればよい。なお、実施形態3と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
2 実装基板
2b 壁部
2c 庇部(張出部)
2d ミラー
3 透光性部材
4 光センサ
5 封止部
20 LED実装用基板(ベース基板部)
20a シリコン基板(第1のシリコン基板)
30 リフレクタ用基板
30a シリコン基板(第2のシリコン基板)
39 金属膜
40 光センサ形成基板
40a シリコン基板(第3のシリコン基板)
Claims (5)
- LEDチップと、LEDチップが実装されるベース基板部およびLEDチップを囲む形でベース基板部から突設された壁部を有する実装基板とを備え、実装基板は、壁部の先端部から内方へ張り出した張出部を有し、当該張出部におけるベース基板部側にLEDチップから放射される光の一部を光電変換する光センサが設けられ、壁部に、LEDチップから放射された光の一部を光センサへ反射により導くミラーが形成されてなることを特徴とする発光装置。
- 前記実装基板は、前記ベース基板部が第1のシリコン基板を用いて形成されるとともに、前記壁部が第2のシリコン基板と第3のシリコン基板とを用いて形成されてなり、第2のシリコン基板に前記ミラーが形成され第3のシリコン基板において前記張出部となる部分に前記光センサが設けられてなることを特徴とする請求項1記載の発光装置。
- 前記第2のシリコン基板の主表面が(100)面であり、前記壁部のうち前記第2のシリコン基板を用いて形成された部分の内側面が、アルカリ系溶液を用いた異方性エッチングにより形成された(111)面からなることを特徴とする請求項2記載の発光装置。
- 前記壁部のうち前記第2のシリコン基板を用いて形成された部分の内側面が、等方性エッチングにより形成された滑らかに連続する曲面からなることを特徴とする請求項2記載の発光装置。
- 前記ミラーは、前記壁部の内側面に被着された金属膜の表面からなることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の発光装置。
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