JP2008032475A - 表面形状測定装置及び触針荷重の異常検出方法 - Google Patents
表面形状測定装置及び触針荷重の異常検出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008032475A JP2008032475A JP2006204850A JP2006204850A JP2008032475A JP 2008032475 A JP2008032475 A JP 2008032475A JP 2006204850 A JP2006204850 A JP 2006204850A JP 2006204850 A JP2006204850 A JP 2006204850A JP 2008032475 A JP2008032475 A JP 2008032475A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stylus
- motor
- load
- measured
- surface shape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
【課題】被測定物の表面に接触する触針を有する表面形状測定装置において、触針に作用する荷重の異常を検出することを可能にすることにより、触針に作用する過大な荷重による触針やピックアップの破損を防止する。
【解決手段】表面形状測定装置1を、触針11と被測定物Wとを相対移動させるモータ(51、52)の回転速度又は触針1と被測定物Wとの間の相対移動速度を検出する速度検出部64と、モータ(51、52)を流れる駆動電流を検出する電流検出部(53、54)と、モータ(51、52)の回転速度又は相対移動速度が所定の閾値速度Tvより遅く、かつ駆動電流が所定の閾値電流Tiを超えるとき、触針11に異常な荷重が作用していると判定する触針荷重異常検出部64と、を備えて構成する。
【選択図】図4
【解決手段】表面形状測定装置1を、触針11と被測定物Wとを相対移動させるモータ(51、52)の回転速度又は触針1と被測定物Wとの間の相対移動速度を検出する速度検出部64と、モータ(51、52)を流れる駆動電流を検出する電流検出部(53、54)と、モータ(51、52)の回転速度又は相対移動速度が所定の閾値速度Tvより遅く、かつ駆動電流が所定の閾値電流Tiを超えるとき、触針11に異常な荷重が作用していると判定する触針荷重異常検出部64と、を備えて構成する。
【選択図】図4
Description
本発明は、触針を被測定物の表面に接触させながら相対移動させ、このとき被測定物の表面の起伏により生じる触針の変位を検出した変位信号を生成して、被測定物の表面形状を測定する表面形状測定装置に関し、特にこの触針、若しくは触針の変位を検出するピックアップ部の破損を防止する技術に関する。
表面形状測定装置は、被測定物の表面に所定の測定圧力で触針を押しつけながら、この触針と被測定物を相対移動させ、そのとき被測定物の表面の起伏により生じる触針の変位量を電気信号に変換して、電気信号に変換された変位信号をコンピュータ等の計算機で読み取り、この変位量から求まる触針と被測定物表面との接触点の高さ情報を、触針の移動経路上に順次配置することにより被測定物の表面形状データを作成するものである(例えば、下記特許文献1)。図1に、表面形状測定装置の基本構成を示す。
表面形状測定装置1には、被測定物Wを載置するためのXY平面に沿ったテーブル2が設けられる。テーブル2にはコラム3が立設される。そしてコラム3にはZ方向可動部4が取り付けられる。コラム3にはモータ51が内蔵されており、このモータ51が駆動されることによりZ方向可動部4がコラム3に沿って(すなわちZ方向に沿って)上下に昇降する。
Z方向可動部4にはX方向可動部5が設けられ、このX方向可動部5に腕部10を取り付け、さらに腕部10の先にピックアップ6を取り付ける。Z方向可動部4もまたモータ52を内蔵しており、このモータ52が駆動されることによってX方向可動部5がX方向に駆動される。
Z方向可動部4にはX方向可動部5が設けられ、このX方向可動部5に腕部10を取り付け、さらに腕部10の先にピックアップ6を取り付ける。Z方向可動部4もまたモータ52を内蔵しており、このモータ52が駆動されることによってX方向可動部5がX方向に駆動される。
腕部10の先端には、テーブル2上に載置された被測定物の表面粗さを測定するための測定子(ピックアップ)6が設けられ、このピックアップ6には、一方の端に触針11が設けられたカンチレバー7が取り付けられる。
被測定物Wの測定面103上の表面形状を測定する際には、まずコンピュータ等の計算部40が、モータ駆動回路70を介してZ方向可動部4を移動させるモータ51及びX方向可動部5を移動させるモータ52を駆動し、測定面103上の測定開始位置に触針11を位置付ける。
そして計算部40は、触針11を測定面103に押し当てた状態のままモータ52を駆動させてX方向駆動部4を一定速度で移動させる。触針11が測定面の輪郭に沿って昇降するとカンチレバー7が揺動する。この揺動量がピックアップ6内の差動トランスや差動インダクタンスによって電気信号に変換される。図2にピックアップの内部構造を示す。
被測定物Wの測定面103上の表面形状を測定する際には、まずコンピュータ等の計算部40が、モータ駆動回路70を介してZ方向可動部4を移動させるモータ51及びX方向可動部5を移動させるモータ52を駆動し、測定面103上の測定開始位置に触針11を位置付ける。
そして計算部40は、触針11を測定面103に押し当てた状態のままモータ52を駆動させてX方向駆動部4を一定速度で移動させる。触針11が測定面の輪郭に沿って昇降するとカンチレバー7が揺動する。この揺動量がピックアップ6内の差動トランスや差動インダクタンスによって電気信号に変換される。図2にピックアップの内部構造を示す。
ピックアップ6は、カンチレバー7の長手方向と触針11の突出方向とに直角な方向を回転軸としてカンチレバー7を揺動可能に支える支点21と、カンチレバー7に付勢を与え、触針11を一定の測定圧力で被測定物Wの測定面103に押し当てるための、バネ等の弾性体である付勢手段22と、を備える。
触針11が測定面103の起伏に沿って変位すると(すなわち、図示したZ方向可動部4の所定の基準面に対して触針11が上下方向に変位すると)、この触針11の変位によってカンチレバー7が揺動し、この揺動量がピックアップ6内の差動トランスによって電気信号に変換される。
図示の構成例では、差動トランスは、励磁された1次コイル23と、2つの2次コイル25と、その中心部に挿入された磁性体コア26を備えて構成され、磁性体コア26はカンチレバー7に固定される。触針11の変位に応じてカンチレバーが回転すると、これに応じて磁性体コア26がコイル内で移動し、1次コイル23に対する2つの2次コイル25のそれぞれの相互インダクタンスが変化する。このため2つの2次コイル25の誘導電圧に違いが生じ、コアの移動量すなわち触針11の変位量に応じた出力電圧を得ることができる。差動トランスの代わりに差動インダクタンスやレーザ干渉計、光学式エンコーダが用いられることもある。
図示の構成例では、差動トランスは、励磁された1次コイル23と、2つの2次コイル25と、その中心部に挿入された磁性体コア26を備えて構成され、磁性体コア26はカンチレバー7に固定される。触針11の変位に応じてカンチレバーが回転すると、これに応じて磁性体コア26がコイル内で移動し、1次コイル23に対する2つの2次コイル25のそれぞれの相互インダクタンスが変化する。このため2つの2次コイル25の誘導電圧に違いが生じ、コアの移動量すなわち触針11の変位量に応じた出力電圧を得ることができる。差動トランスの代わりに差動インダクタンスやレーザ干渉計、光学式エンコーダが用いられることもある。
ピックアップ6の出力信号は、アナログディジタル変換回路(ADC)30に入力されて、アナログディジタル変換回路30はこのアナログ信号を所定のサンプリング周期でディジタル形式の変位信号列に変換する。ディジタル形式の変位信号列は計算部40に入力される。計算部40は、X方向可動部5を一定速度で移動させて触針11を被測定物表面103上で移動させながら順次読み取った各変位信号の値から、それぞれの位置における触針11と被測定物表面103との接触点のZ座標を求め、これを触針11の移動経路上に順次配置することにより被測定物の表面形状データを作成する。
上述のような、触針11を被測定物に接触させる表面形状測定装置1では、被測定物の表面に穴や段差があるとそこに触針11がひっかかり、触針11に過大な荷重が作用する場合がある。しかし従来の表面形状測定装置1では触針11に作用する荷重の検出手段を有しないため、触針11に過大な荷重が作用したままX方向可動部5やZ方向可動部4移動させ続けてしまい、触針11を破損することがある。
例えば図3の(A)に示すように、被測定物Wの横穴101の内側面の表面形状を測定する場合には、図において点線で示した測定開始点まで触針を移動する場合に、触針11を穴101の奥にぶつけて破損しやすい。
また図3の(B)に示すように、被測定物Wの表面に穴102がある場合に、触針11が穴102に落ちてしまい、これに引っかかって触針11を破損することがある。
また図3の(B)に示すように、被測定物Wの表面に穴102がある場合に、触針11が穴102に落ちてしまい、これに引っかかって触針11を破損することがある。
また表面形状測定装置1では、測定中でない触針11の移動時、例えば測定開始点まで触針11を移動させる際に、触針11を障害物にぶつけたままZ方向可動部4やX方向可動部5を移動させてしまい、触針11やピックアップ6を破損することがあった。
上記問題点に鑑み、本発明は被測定物の表面に接触する触針を有する表面形状測定装置において、触針に作用する荷重の異常を検出することを可能にすることにより、触針に作用する過大な荷重による触針やピックアップの破損を防止することを目的とする。
上記問題点に鑑み、本発明は被測定物の表面に接触する触針を有する表面形状測定装置において、触針に作用する荷重の異常を検出することを可能にすることにより、触針に作用する過大な荷重による触針やピックアップの破損を防止することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明では触針と被測定物とをモータで相対移動させる際に、このモータによる触針及び被測定物の間の相対移動速度とこのモータの駆動電流とを各々監視し、相対移動速度が低下しかつ駆動電流が所定の閾値を超えるときに、触針に作用する荷重の異常を検出する。
障害物により触針に異常な荷重が作用しているか否かを判定するには、モータ駆動中にこのモータによる運動が停止しそのためにモータの駆動電流が増大し又は触針及び被測定物の間の相対移動速度が低下したことを検出すればよいが、本発明では相対移動速度及びモータの駆動電流の双方を監視する。
障害物により触針に異常な荷重が作用しているか否かを判定するには、モータ駆動中にこのモータによる運動が停止しそのためにモータの駆動電流が増大し又は触針及び被測定物の間の相対移動速度が低下したことを検出すればよいが、本発明では相対移動速度及びモータの駆動電流の双方を監視する。
これによって、例えば測定表面の摺動抵抗が変化して一時的に駆動電流だけが大きくなった場合でも、触針荷重の異常を誤検出することを防止する。また低速で触針を測定表面上で摺動させる場合には、「スティックスリップ」と呼ばれる運動、すなわち触針が一瞬動いてまた停止する動作を繰り返すが、このとき駆動電流も併せて監視することによって、触針と被測定物との間の相対移動だけが一時的に低下た場合に触針荷重の異常を誤検出することを防止する。
触針及び被測定物の間の相対移動速度は、相対移動速度を直接測定してもよくモータの回転速度を測定することにより間接的に測定してもよい。
そして触針荷重の異常を検出した際には、触針と被測定物とを相対移動させるモータを停止させることによって、触針やこれを支持するピックアップの破損を防止する。
そして触針荷重の異常を検出した際には、触針と被測定物とを相対移動させるモータを停止させることによって、触針やこれを支持するピックアップの破損を防止する。
さらに、正常な測定が行われている間であっても一時的に摺動抵抗が増加することによって、一時的にモータの駆動電流の増加と相対移動速度の低下とが同時が生じることがある。このような場合にまで触針荷重の異常を検出してモータを停止させると測定作業に支障をきたすおそれがある。
このため駆動電流の増加によって触針荷重の異常を検出するにあたっては、駆動電流が所定の閾値を超える時間が、所定時間以上であるときに限り触針に異常な荷重が作用していると判定してもよい。
このため駆動電流の増加によって触針荷重の異常を検出するにあたっては、駆動電流が所定の閾値を超える時間が、所定時間以上であるときに限り触針に異常な荷重が作用していると判定してもよい。
本発明は被測定物の表面に接触する触針を有する表面形状測定装置において、触針に作用する荷重の異常を検出することを可能にすることにより、異常を検出した際には触針の移動を止め触針に作用する過大な荷重による触針やピックアップの破損を防止することが可能となる。
以下、添付する図面を参照して本発明の実施例を説明する。図4は、本発明の実施例による表面形状測定装置の概略構成図である。本実施例では、Z方向可動部4を移動させるモータ51及びX方向可動部5を移動させるモータ52の駆動電流を、それぞれ検出するモータ電流検出部53及び54を備えている。
また計算部40には、モータ51及びモータ52の回転速度を検出するために、これらのモータから各々の回転速度に応じて変化する回転速度指示信号が入力される。回転速度指示信号は例えばモータ51及びモータ52内に内蔵されたエンコーダから出力されるパルス信号であってよく、またはモータ回転速度に応じた大きさの電圧を有する速度発電機からの出力信号であってもよい。
本発明の実施例による表面形状測定装置のその他の構成要素は、図1及び図2に示す表面形状測定装置1と同様であるため、記載の重複を防ぐために説明を省略することとし、以下、特に説明がない限りは同様の機能を有することとする。
また計算部40には、モータ51及びモータ52の回転速度を検出するために、これらのモータから各々の回転速度に応じて変化する回転速度指示信号が入力される。回転速度指示信号は例えばモータ51及びモータ52内に内蔵されたエンコーダから出力されるパルス信号であってよく、またはモータ回転速度に応じた大きさの電圧を有する速度発電機からの出力信号であってもよい。
本発明の実施例による表面形状測定装置のその他の構成要素は、図1及び図2に示す表面形状測定装置1と同様であるため、記載の重複を防ぐために説明を省略することとし、以下、特に説明がない限りは同様の機能を有することとする。
図5は、図4に示す計算部40の概略構成例を示す図である。コンピュータ等で実現される計算部40は、表面形状測定装置1の制御プログラムや、またピックアップ6からの出力信号を処理して表面形状データを作成するプログラムなどを実行するCPU41と、CPU41による各プログラムの実行に必要なデータを記憶するための、RAM及びROMなどの主記憶装置42と、CPU41が実行する各プログラムや作成した表面形状データを保存するための副記憶装置43と、副記憶装置43とCPU41との間のデータのやりとりを行うインタフェース44と、を備える。
また計算部40は、ピックアップ6からの出力信号をアナログディジタル変換回路30にてディジタル信号に変換した変位信号を計算部40に入力し、またモータ51及び52の動作を制御する制御信号をモータ駆動回路50に出力し、またモータ51及び52にて検出されたこれらモータの回転速度指示信号を入力し、モータ電流検出部53及び54にてそれぞれ検出されたモータ51及び52を駆動するモータ電流値指示信号を入力するためのインタフェース部(I/F)45を備える。
図6は、図5に示す計算部40により実現される機能ブロック図である。計算部40は、副記憶装置43に記憶した所定のプログラムをCPU41で実行することにより、少なくとも移動機構制御部61と、表面形状データ作成部62と、速度検出部63と、触針荷重異常検出部64、タイマ65の各機能ブロックを実現する。
移動機構制御部61は、モータ51及び52を駆動するためのモータ制御命令をモータ駆動回路50に供給する。移動機構制御部61は、駆動回路50にモータ制御命令を与えることによって、被測定物Wの表面上の所定測定開始位置まで触針11を運搬させ、また測定中にはZ方向可動部5を一定速度で移動させる。
モータ制御命令を受信したモータ制御回路50は、移動機構制御部61から指示された移動速度で指示された移動量だけX方向可動部5及びZ方向可動部4を移動するように、モータ51及び52を駆動する。このときモータ制御回路50は、サーボ制御を行うことによって、各モータ51及び52の回転速度が一定になるようにモータへの駆動電流を制御する。
また移動機構制御部61は、表面形状データの作成に必要なZ方向可動部5の移動量や座標値などのデータを、表面形状データ作成部60に供給する。
モータ制御命令を受信したモータ制御回路50は、移動機構制御部61から指示された移動速度で指示された移動量だけX方向可動部5及びZ方向可動部4を移動するように、モータ51及び52を駆動する。このときモータ制御回路50は、サーボ制御を行うことによって、各モータ51及び52の回転速度が一定になるようにモータへの駆動電流を制御する。
また移動機構制御部61は、表面形状データの作成に必要なZ方向可動部5の移動量や座標値などのデータを、表面形状データ作成部60に供給する。
表面形状データ作成部62は、触針11が被測定物Wの表面に沿って移動するのに伴ってピックアップ6が出力する変位信号の列を順次受信する。そしてこの変位信号から、各測定点における触針11と被測定物W表面との接触点の高さ情報を求める。
そして表面形状データ作成部62は、移動機構制御部61から得たZ方向可動部5の移動量及び座標値から触針11が移動した移動経路を求める。そして各測定点の高さ情報をこの移動経路上に順次配置することにより被測定物の表面形状データを作成する。
そして表面形状データ作成部62は、移動機構制御部61から得たZ方向可動部5の移動量及び座標値から触針11が移動した移動経路を求める。そして各測定点の高さ情報をこの移動経路上に順次配置することにより被測定物の表面形状データを作成する。
速度検出部63は、モータ51及び52から出力された回転速度指示信号を各々受信して、これらモータ51及び52のそれぞれの回転速度を検出し触針荷重異常検出部64に出力する。
触針荷重異常検出部64は、移動機構制御部61がモータ51及び52を駆動していることを示す動作信号を受信する。そしてこれらのモータが駆動されている間は、モータ電流検出部53及び54によって検出されたモータ51及び52のモータ電流及び、速度検出部63によって検出されたモータ51及び52の回転速度を監視し、これらモータ電流及び回転速度の情報を用いて後述する検出方法に従って、触針11に作用する荷重の異常があったことを検出する。
タイマ65については後述する。
触針荷重異常検出部64は、移動機構制御部61がモータ51及び52を駆動していることを示す動作信号を受信する。そしてこれらのモータが駆動されている間は、モータ電流検出部53及び54によって検出されたモータ51及び52のモータ電流及び、速度検出部63によって検出されたモータ51及び52の回転速度を監視し、これらモータ電流及び回転速度の情報を用いて後述する検出方法に従って、触針11に作用する荷重の異常があったことを検出する。
タイマ65については後述する。
図7を参照して、触針荷重異常検出部64による触針荷重の異常検出方法を説明する。図7は、各モータ51及び52を駆動させた場合のモータ電流Imとモータ回転速度Vmの時間変化を示すグラフである。図7において実線はモータ回転速度Vmを示し、一点鎖線はモータ電流Imを示す。図示するように、モータ制御回路50がサーボ制御を行うことにより、各モータ51及び52の回転速度は時刻t0に至るまで一定である。
時刻t0において、図3の(A)を参照して説明したように、触針11が被測定物Wの横穴101の奥にぶつかるとモータ52に過大な負荷がかかり速度が低下する。このためモータ制御回路50はモータ52の回転速度を維持するためにモータ電流を増加させるが、モータ52は時刻t1において停止するに至る。
また図3の(B)に示すように、触針11が被測定物Wの表面の穴102に落ちて引っかかった場合にも、モータ52が停止すると共にモータ電流が増加する。
そこで、触針荷重異常検出部64は、モータ電流検出部53及び54によって検出されたモータ51及び52のモータ電流Im、並びに速度検出部63によって検出されたモータ51及び52の回転速度Vmを監視し、これらモータ電流Imが所定の閾値電流Tiを超え、かつ回転速度Vmが所定の閾値速度Tvよりも遅くなったときに、触針11に作用する荷重の異常があったことを検出し、モータ51及び52を停止させるモータ停止命令信号を移動機構制御部61に出力する。
また図3の(B)に示すように、触針11が被測定物Wの表面の穴102に落ちて引っかかった場合にも、モータ52が停止すると共にモータ電流が増加する。
そこで、触針荷重異常検出部64は、モータ電流検出部53及び54によって検出されたモータ51及び52のモータ電流Im、並びに速度検出部63によって検出されたモータ51及び52の回転速度Vmを監視し、これらモータ電流Imが所定の閾値電流Tiを超え、かつ回転速度Vmが所定の閾値速度Tvよりも遅くなったときに、触針11に作用する荷重の異常があったことを検出し、モータ51及び52を停止させるモータ停止命令信号を移動機構制御部61に出力する。
以下、モータ電流Imだけを監視して触針荷重の異常を検出する方法に比べて、本発明による触針荷重の異常検出方法が優れていることを説明する。モータ電流Imが過大となったことだけを触針荷重の異常の兆候と見なすと、例えば触針11が摺動抵抗が大きい領域を走査している場合には、触針荷重の異常を誤って検出することがあり得る。
すわなち、触針11が摺動抵抗が大きい領域を走査する場合には、図8の(A)に示すように触針11が一定速度で移動していても、モータ電流が瞬間的に上限値Tiを超え、または一定時間以上上限値Tiを超えることがあるからである。
本発明による触針荷重の異常検出方法では、モータ速度も同時に監視しているため、モータ電流Imだけを監視した場合に生じ得る誤検出を防止できる。
すわなち、触針11が摺動抵抗が大きい領域を走査する場合には、図8の(A)に示すように触針11が一定速度で移動していても、モータ電流が瞬間的に上限値Tiを超え、または一定時間以上上限値Tiを超えることがあるからである。
本発明による触針荷重の異常検出方法では、モータ速度も同時に監視しているため、モータ電流Imだけを監視した場合に生じ得る誤検出を防止できる。
次に、モータの回転速度だけを監視して触針荷重の異常を検出する方法に比べて、本発明による触針荷重の異常検出方法が優れていることを説明する。
特に低い速度で触針11を測定表面上で摺動させる場合には、触針11は「スティックスリップ」と呼ばれる運動、すなわち一瞬動いて停止する動作を繰り返す。このときモータ回転速度は、通常の測定動作であるにも関わらず、図8の(B)に示すように一時的に下限値Tvを下回り、触針荷重の異常を誤って検出することがあり得る。
本発明による触針荷重の異常検出方法では、モータ電流も同時に監視しているため、このようなモータ回転速度Vmだけを監視した場合に生じ得る誤検出を防止できる。
特に低い速度で触針11を測定表面上で摺動させる場合には、触針11は「スティックスリップ」と呼ばれる運動、すなわち一瞬動いて停止する動作を繰り返す。このときモータ回転速度は、通常の測定動作であるにも関わらず、図8の(B)に示すように一時的に下限値Tvを下回り、触針荷重の異常を誤って検出することがあり得る。
本発明による触針荷重の異常検出方法では、モータ電流も同時に監視しているため、このようなモータ回転速度Vmだけを監視した場合に生じ得る誤検出を防止できる。
図9は、本発明の実施例による触針荷重の異常検出方法の第1例のフローチャートである。
ステップS11において、図6に示す移動機構制御部61がモータ駆動回路50にモータ制御命令を送信し、これによってモータ51及び52が駆動される。このとき触針荷重異常検出部64は、移動機構制御部61がモータ51及び52を駆動していることを示す動作信号を受信して、モータ51及び52のモータ電流及びモータ回転速度の監視を始める。
ステップS12において、図4に示すモータ電流検出部53及び54によって、モータ51及び52のモータ電流Imを検出する。そしてステップS13において触針荷重異常検出部64は、検出されたモータ電流Imの値が所定の電流閾値Tiを超えているか否かを判定する。
ステップS11において、図6に示す移動機構制御部61がモータ駆動回路50にモータ制御命令を送信し、これによってモータ51及び52が駆動される。このとき触針荷重異常検出部64は、移動機構制御部61がモータ51及び52を駆動していることを示す動作信号を受信して、モータ51及び52のモータ電流及びモータ回転速度の監視を始める。
ステップS12において、図4に示すモータ電流検出部53及び54によって、モータ51及び52のモータ電流Imを検出する。そしてステップS13において触針荷重異常検出部64は、検出されたモータ電流Imの値が所定の電流閾値Tiを超えているか否かを判定する。
ステップS13において、モータ電流Imが閾値Tiを超えていないと判定された場合には、触針荷重異常検出部64は、ステップS14において触針荷重に異常がないと判定し、処理をステップS11に戻す。ステップS13において、モータ電流Imが閾値Tiを超えていると判定された場合には、処理をステップS15に移す。
ステップS15において、図6に示す速度検出部は、モータ51及び52の回転速度指示信号からモータ51及び52の回転速度Vmを検出する。そしてステップS16において触針荷重異常検出部64は、検出されたモータ回転速度Vmの値が所定の速度閾値Tvよりも遅いか否かを判定する。
ステップS16において、モータ回転速度Vmが閾値Tvよりも速いと判定された場合には、触針荷重異常検出部64は、ステップS14において触針荷重に異常がないと判定し、処理をステップS11に戻す。
ステップS16において、モータ回転速度Vmが閾値Tvよりも速いと判定された場合には、触針荷重異常検出部64は、ステップS14において触針荷重に異常がないと判定し、処理をステップS11に戻す。
ステップS16において、モータ回転速度Vmが閾値Tvよりも遅いと判定された場合には、ステップS17にて触針荷重に異常があったと判定し、ステップS18にてモータ停止命令信号を移動機構制御部61に出力して、モータ51及び52を停止させる。
なお、触針荷重異常検出部64は、移動機構制御部61からモータ51及び52の動作信号を受信している間は、測定中であるか否かを問わず上記ステップS11〜S18を実行し、モータ51及び52のモータ電流及び回転速度を監視する。そして触針11に作用する荷重の異常を検出したときには、モータ51及び52を停止させる。
したがって、測定中だけでなく、触針11の移動時(例えば測定開始点への触針11の移動時)にも、触針11を障害物にぶつけることによる触針11やピックアップ6の破損を防止する。
したがって、測定中だけでなく、触針11の移動時(例えば測定開始点への触針11の移動時)にも、触針11を障害物にぶつけることによる触針11やピックアップ6の破損を防止する。
図10は、本発明の実施例による触針荷重の異常検出方法の第2例のフローチャートである。
正常な測定が行われている間であっても一時的に摺動抵抗が増加することによって、一時的にモータの駆動電流の増加と相対移動速度の低下とが同時が生じることがある。このような場合にまで触針荷重の異常を検出してモータを停止させると測定作業に支障をきたすおそれがある。
正常な測定が行われている間であっても一時的に摺動抵抗が増加することによって、一時的にモータの駆動電流の増加と相対移動速度の低下とが同時が生じることがある。このような場合にまで触針荷重の異常を検出してモータを停止させると測定作業に支障をきたすおそれがある。
このため図10に示す本実施例では、図9に示したフローチャートに加えて、ステップS13においてモータ電流Imが閾値Tiを超えていると判定された場合には、一定期間Δt経過後にもう一度モータ電流Imを検出することによって、モータ電流Imが閾値Tiを超えている期間が、一定期間ΔT以上であるか否かを判定する。
すなわち図10に示すフローチャートでは、ステップS13においてモータ電流Imが閾値Tiを超えていると判定された場合には、ステップS20において図6に示すタイマ65を用いて一定期間ΔTを計時してその間待機した後、再度ステップS21及びS22にてモータ電流Imが閾値Tiを超えているか否かを判定し、このΔT経過中に、モータ電流Imが閾値Tiを超えなくなった場合にはステップS14に進んで、触針荷重に異常がないと判定する。
一方、S22においてモータ電流Imが閾値Tiを超えていると判定した場合には、期間ΔTの間モータ電流Imが閾値Tiを超えていたと判定し、モータ回転速度Vmのチェックを行うステップS15に処理を移行する。
なお、上記実施例では、触針11をモータで移動させることによって触針11と被測定物Wとを相対移動させたが、本発明はこれに限定されることなく、上記実施例とは反対に被測定物Wをモータで移動させることによって触針11と被測定物Wとを相対移動させる態様にも利用可能であり、このような態様も本発明の範囲に含まれる。
さらに上記実施例では、触針11と被測定物Wとの間の相対移動速度を間接的に測定するために、モータ51及び52の回転速度を検出することとしたが、本発明はこれに限定されることなく、触針11と被測定物Wとの間の相対移動速度を、例えばレーザ測長計や超音波測距装置によって、直接測定する態様にも利用可能であり、このような態様も本発明の範囲に含まれる。
さらに上記実施例では、触針11と被測定物Wとの間の相対移動速度を間接的に測定するために、モータ51及び52の回転速度を検出することとしたが、本発明はこれに限定されることなく、触針11と被測定物Wとの間の相対移動速度を、例えばレーザ測長計や超音波測距装置によって、直接測定する態様にも利用可能であり、このような態様も本発明の範囲に含まれる。
本発明は、触針を被測定物の表面に接触させながら相対移動させ、このとき被測定物の表面の起伏により生じる触針の変位を検出した変位信号を生成して、被測定物の表面形状を測定する表面形状測定装置に利用可能である。
1 表面形状測定装置
2 テーブル
3 コラム
4 可動部
6 ピックアップ
7 カンチレバー
10 腕部
11 触針
2 テーブル
3 コラム
4 可動部
6 ピックアップ
7 カンチレバー
10 腕部
11 触針
Claims (6)
- 触針を被測定物の表面に接触させながら相対移動させたときの前記触針の変位を検出して、前記被測定物の表面形状を測定する表面形状測定装置であって、
前記触針と前記被測定物とを相対移動させるモータの回転速度又は前記触針と前記被測定物との間の相対移動速度を検出する速度検出部と、
前記モータを流れる駆動電流を検出する電流検出部と、
前記モータの回転速度又は前記相対移動速度が所定の閾値速度より遅く、かつ前記駆動電流が所定の閾値電流を超えるとき、前記触針に異常な荷重が作用していると判定する触針荷重異常検出部と、
を備えることを特徴とする表面形状測定装置。 - 前記触針荷重異常検出部は、さらに、前記駆動電流が前記所定の閾値を所定時間以上超えるときに、前記触針に異常な荷重が作用していると判定することを特徴とする請求項1に記載の表面形状測定装置。
- 前記触針荷重異常検出部が前記荷重の異常を検出したとき、前記モータを停止させることを特徴とする請求項1又は2に記載の表面形状測定装置。
- 触針を被測定物の表面に接触させながら相対移動させたときの前記触針の変位を検出して、前記被測定物の表面形状を測定する表面形状測定における、前記触針に作用する荷重の異常を検出する触針荷重の異常検出方法であって、
前記触針と前記被測定物とを相対移動させるモータの回転速度又は前記触針と前記被測定物との間の相対移動速度を検出する速度検出ステップと、
前記モータを流れる駆動電流を検出する電流検出ステップと、
前記モータの回転速度又は前記相対移動速度が所定の閾値速度より遅く、かつ前記駆動電流が所定の閾値電流を超えるとき、前記触針に異常な荷重が作用していると判定する触針荷重異常判定ステップと、
を行うことを特徴とする異常検出方法。 - 前記触針荷重異常判定ステップは、さらに、前記駆動電流が前記所定の閾値を所定時間以上超えるときに、前記触針に異常な荷重が作用していると判定することを特徴とする請求項4に記載の異常検出方法。
- 前記荷重の異常を検出したとき、前記モータを停止させることを特徴とする請求項4又は5に記載の異常検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006204850A JP2008032475A (ja) | 2006-07-27 | 2006-07-27 | 表面形状測定装置及び触針荷重の異常検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006204850A JP2008032475A (ja) | 2006-07-27 | 2006-07-27 | 表面形状測定装置及び触針荷重の異常検出方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008032475A true JP2008032475A (ja) | 2008-02-14 |
Family
ID=39122069
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006204850A Pending JP2008032475A (ja) | 2006-07-27 | 2006-07-27 | 表面形状測定装置及び触針荷重の異常検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008032475A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011163796A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Mitsutoyo Corp | 三次元測定機 |
KR101318596B1 (ko) * | 2012-02-29 | 2013-10-15 | 부산대학교 산학협력단 | 무인 자율 이동체 및 무인 자율 이동체의 하중측정 방법 |
JP2015169641A (ja) * | 2014-03-11 | 2015-09-28 | 株式会社ミツトヨ | 表面粗さ測定ユニット、三次元測定システム、及び表面粗さ測定ユニットの動作状態表示方法 |
KR101960415B1 (ko) * | 2017-12-13 | 2019-03-20 | 서울시설공단 | 받침부 변위궤적 추적을 통한 교량거동 모니터링 장치 |
JP2019168356A (ja) * | 2018-03-23 | 2019-10-03 | 株式会社東京精密 | 表面形状測定装置 |
DE102011089061B4 (de) | 2011-12-19 | 2021-09-23 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät und Verfahren zum Betreiben eines Koordinatenmessgeräts |
DE102011089039B4 (de) | 2011-12-19 | 2022-10-13 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät und Verfahren zum Betreiben eines Koordinatenmessgeräts |
-
2006
- 2006-07-27 JP JP2006204850A patent/JP2008032475A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011163796A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Mitsutoyo Corp | 三次元測定機 |
DE102011089061B4 (de) | 2011-12-19 | 2021-09-23 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät und Verfahren zum Betreiben eines Koordinatenmessgeräts |
DE102011089039B4 (de) | 2011-12-19 | 2022-10-13 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät und Verfahren zum Betreiben eines Koordinatenmessgeräts |
KR101318596B1 (ko) * | 2012-02-29 | 2013-10-15 | 부산대학교 산학협력단 | 무인 자율 이동체 및 무인 자율 이동체의 하중측정 방법 |
JP2015169641A (ja) * | 2014-03-11 | 2015-09-28 | 株式会社ミツトヨ | 表面粗さ測定ユニット、三次元測定システム、及び表面粗さ測定ユニットの動作状態表示方法 |
KR101960415B1 (ko) * | 2017-12-13 | 2019-03-20 | 서울시설공단 | 받침부 변위궤적 추적을 통한 교량거동 모니터링 장치 |
JP2019168356A (ja) * | 2018-03-23 | 2019-10-03 | 株式会社東京精密 | 表面形状測定装置 |
JP7259198B2 (ja) | 2018-03-23 | 2023-04-18 | 株式会社東京精密 | 表面形状測定装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008032475A (ja) | 表面形状測定装置及び触針荷重の異常検出方法 | |
JP5639934B2 (ja) | 表面性状測定機 | |
US9921044B2 (en) | Surface property measuring apparatus and method for controlling the same | |
JP6484287B2 (ja) | リニアガイドの損傷検知装置及び損傷検知方法 | |
JP4880021B2 (ja) | 溶接ワーク位置検出方法 | |
JP2011110630A (ja) | ロボット制御装置 | |
JP2008032540A (ja) | 表面形状測定装置及び触針荷重の異常検出方法 | |
JP4085031B2 (ja) | 形状測定装置及びその制御方法 | |
CN110884385B (zh) | 托盘伸出定位方法和*** | |
JP5037437B2 (ja) | 内部情報出力機能を有するエンコーダ | |
JP2008196983A (ja) | 接触式プローブの倣い制御方法及び接触式測定機 | |
TWI698081B (zh) | 移動體及移動體系統 | |
JP5064725B2 (ja) | 形状測定方法 | |
JP2001062765A (ja) | 自動押し当て方法およびその装置 | |
JP5516974B2 (ja) | 視覚センサのマウント装置と方法 | |
JP6085201B2 (ja) | 制御装置、制御方法及び制御プログラム | |
KR102470391B1 (ko) | 전류 제어 장치 | |
JP3150870B2 (ja) | 計測装置及び計測方法 | |
JP4186757B2 (ja) | 移動体の停止制御装置 | |
JP2006320137A (ja) | モータの駆動制御装置およびこれを用いた測定機 | |
US10802474B2 (en) | Parameter determination support device, and non-transitory computer-readable medium encoded with program | |
WO2022009888A1 (ja) | 数値制御装置 | |
US10663943B2 (en) | Parameter determination support device, and non-transitory computer-readable medium encoded with program | |
US10928452B2 (en) | Parameter determination support device, and non-transitory computer-readable medium encoded with program | |
JP2008116392A (ja) | 被測定物の幾何学的性状算出方法及び幾何学的性状プログラム、並びに輪郭形状測定装置 |