JP2008027526A - Perpendicular magnetic recording head - Google Patents

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Masaaki Fujima
優亮 藤間
Hiroshi Kameda
博史 亀田
Kiyoshi Kobayashi
潔 小林
Toru Takahashi
亨 高橋
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a perpendicular magnetic recording head which can improve the resistance against outside magnetic fields by suppressing the Edge Write magnetic fields. <P>SOLUTION: The perpendicular magnetic recording head has a magnetic layer 24 having a main magnetic pole exposed on the surface facing the recording medium M, a return yoke layer 27 formed on the magnetic layer 24 via a non-magnetic layer, and coil layers 18, 23 to apply recording magnetic fields to the magnetic layer 24 and return yoke layer 27. The return yoke layer 27 has a relatively thick edge section 27d. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、記録媒体の媒体面に対して垂直方向に磁界を与えて記録を行う垂直磁気記録ヘッド装置に関する。   The present invention relates to a perpendicular magnetic recording head device that performs recording by applying a magnetic field in a direction perpendicular to the medium surface of a recording medium.

垂直磁気記録ヘッド装置は、記録媒体に対向する面（媒体対向面）に、主磁極層上に対して非磁性絶縁層を介してリターンヨーク層を設けてなる積層構造を有する。主磁極層とリターンヨーク層とは、媒体対向面よりもハイト方向における奥部で磁気的に接続されている。また、非磁性絶縁層内には、主磁極層及びリターンヨーク層に記録磁界を与えるためのコイル層が埋設されている。このような構成を有する磁気ヘッド装置において、コイル層に通電することにより、主磁極層とリターンヨーク層との間に記録磁界が誘導され、この記録磁界が主磁極層の媒体対向面から記録媒体のハード膜に垂直に入射し、記録媒体のソフト膜を通ってリターンヨーク層に帰還する。これにより、記録媒体における主磁極層と対向する領域に情報記録される（特許文献１）。
特開２００５−１２２８３１号公報 The perpendicular magnetic recording head device has a laminated structure in which a return yoke layer is provided on a surface facing a recording medium (medium facing surface) via a nonmagnetic insulating layer on the main magnetic pole layer. The main magnetic pole layer and the return yoke layer are magnetically connected at the depth in the height direction from the medium facing surface. A coil layer for applying a recording magnetic field to the main magnetic pole layer and the return yoke layer is embedded in the nonmagnetic insulating layer. In the magnetic head device having such a configuration, when a coil layer is energized, a recording magnetic field is induced between the main magnetic pole layer and the return yoke layer, and this recording magnetic field is recorded from the medium facing surface of the main magnetic pole layer to the recording medium. Perpendicularly enters the hard film of the recording medium, returns to the return yoke layer through the soft film of the recording medium. As a result, information is recorded in a region facing the main magnetic pole layer in the recording medium (Patent Document 1).
JP 2005-122831 A

垂直磁気記録ヘッド装置におけるリターンヨーク層やシールド層は、一般的に略長方形の薄膜磁性体で構成されており、ハイト方向の外部磁界を印加した場合に磁性体内部の磁束が薄膜のエッジに集中する。このとき、磁化方向成分の中でハイト方向成分が最も大きくなり、これが既存情報の上書き（Edge Write）の原因となる。すなわち、Edge Write磁界を低減するためには、リターンヨーク層やシールド層のエッジから発生するハイト方向成分の磁界を小さくする必要がある。   The return yoke layer and shield layer in a perpendicular magnetic recording head device are generally composed of a substantially rectangular thin film magnetic material. When an external magnetic field in the height direction is applied, the magnetic flux inside the magnetic material is concentrated on the edge of the thin film. To do. At this time, the height direction component is the largest among the magnetization direction components, and this causes overwriting of existing information (Edge Write). That is, in order to reduce the Edge Write magnetic field, it is necessary to reduce the magnetic field of the height direction component generated from the edges of the return yoke layer and the shield layer.

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる垂直磁気記録ヘッド装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of this point, and an object of the present invention is to provide a perpendicular magnetic recording head device that can suppress the edge write magnetic field and improve the external magnetic field resistance.

本発明の垂直磁気記録ヘッド装置は、記録媒体との対向面で露出する主磁極を有する第１磁性層と、前記第１磁性層に対して非磁性層を介して設けられた第２磁性層と、前記第１磁性層に記録磁界を与えるためのコイル層と、を具備し、前記第２磁性層は、相対的に厚いエッジ部を有することを特徴とする。   The perpendicular magnetic recording head device of the present invention includes a first magnetic layer having a main magnetic pole exposed at a surface facing a recording medium, and a second magnetic layer provided to the first magnetic layer via a nonmagnetic layer And a coil layer for applying a recording magnetic field to the first magnetic layer, wherein the second magnetic layer has a relatively thick edge portion.

この構成によれば、第２磁性層は、相対的に厚いエッジ部を有する。エッジ部においては、媒体対向面におけるエッジ部が相対的に大きい露出面積を有する状態となる。このエッジ部においては、エッジ近傍の磁束密度が低くなり、エッジ部から発生する磁界強度が小さくなる。このため、相対的に薄い第２磁性層であってもEdge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる。   According to this configuration, the second magnetic layer has a relatively thick edge portion. In the edge portion, the edge portion on the medium facing surface has a relatively large exposed area. In this edge portion, the magnetic flux density near the edge is lowered, and the magnetic field intensity generated from the edge portion is reduced. For this reason, even if it is a relatively thin second magnetic layer, the edge write magnetic field can be kept low and the external magnetic field resistance can be improved.

本発明の垂直磁気記録ヘッド装置においては、前記エッジ部が前記対向面で露出する位置に設けられたことが好ましい。また、本発明の垂直磁気記録ヘッド装置においては、前記エッジ部のトラック幅方向の長さが４μｍ以上１０μｍ以下であることが好ましい。   In the perpendicular magnetic recording head device of the present invention, it is preferable that the edge portion is provided at a position exposed at the facing surface. In the perpendicular magnetic recording head device of the present invention, it is preferable that the length of the edge portion in the track width direction is 4 μm or more and 10 μm or less.

本発明の垂直磁気記録ヘッド装置は、記録媒体との対向面で露出する主磁極を有する第１磁性層と、前記第１磁性層に対して非磁性層を介して設けられた第２磁性層と、前記第１磁性層に記録磁界を与えるためのコイル層と、を具備し、前記第２磁性層は、相対的に厚いエッジ部を有するので、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる。   The perpendicular magnetic recording head device of the present invention includes a first magnetic layer having a main magnetic pole exposed at a surface facing a recording medium, and a second magnetic layer provided to the first magnetic layer via a nonmagnetic layer And a coil layer for applying a recording magnetic field to the first magnetic layer, and since the second magnetic layer has a relatively thick edge portion, the edge write magnetic field can be kept low and external magnetic field resistance can be reduced. Can be improved.

以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。
ここでは、第２磁性層がリターンヨーク層である場合について説明する。
垂直磁気記録ヘッド装置において、情報記録時に内部の温度が高くなると、リターンヨーク層を構成する材料と、リターンヨーク層の周囲の絶縁材料などとの間での熱膨張係数の違いにより、リターンヨーク層が媒体対向面から突出し易くなるという、いわゆるＰＴＰ（Pole Tip Protrusion）現象が起こる。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
Here, a case where the second magnetic layer is a return yoke layer will be described.
In the perpendicular magnetic recording head device, when the internal temperature becomes high during information recording, the return yoke layer is caused by the difference in thermal expansion coefficient between the material constituting the return yoke layer and the insulating material around the return yoke layer. A so-called PTP (Pole Tip Protrusion) phenomenon occurs.

本発明者らは、リターンヨーク層の膜厚を薄くすることにより、ＰＴＰ現象を抑制することができることを見出した。しかしながら、ＰＴＰ抑制のためにリターンヨーク層の膜厚を一様に薄くして、媒体対向面に露出するリターンヨーク層の面積が小さくなると、リターンヨーク層がハイト方向に磁化し易くなり、発生するハイト方向成分磁界強度がおおきくなるためEdge Writeが発生するという恐れがある。したがって、本発明者らは、ＰＴＰ現象を抑制しつつ、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることを目的としている。   The present inventors have found that the PTP phenomenon can be suppressed by reducing the thickness of the return yoke layer. However, if the thickness of the return yoke layer is uniformly reduced to suppress PTP and the area of the return yoke layer exposed to the medium facing surface is reduced, the return yoke layer is easily magnetized in the height direction, which occurs. Edge write may occur because the height direction component magnetic field strength is increased. Accordingly, the present inventors aim to improve the external magnetic field resistance by suppressing the Edge Write magnetic field while suppressing the PTP phenomenon.

すなわち、本発明の骨子は、記録媒体との対向面で露出する主磁極を有する磁性層と、前記磁性層上に非磁性層を介して設けられたリターンヨーク層と、前記磁性層及び前記リターンヨーク層に記録磁界を与えるためのコイル層と、を具備し、前記リターンヨーク層は、相対的に厚いエッジ部を有する垂直磁気記録ヘッド装置により、ＰＴＰ現象を抑制しつつ、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることである。   That is, the gist of the present invention includes a magnetic layer having a main magnetic pole exposed on a surface facing a recording medium, a return yoke layer provided on the magnetic layer via a nonmagnetic layer, the magnetic layer, and the return A coil layer for applying a recording magnetic field to the yoke layer, and the return yoke layer has a low edge write magnetic field while suppressing the PTP phenomenon by a perpendicular magnetic recording head device having a relatively thick edge portion. It is to suppress the external magnetic field and suppress it.

図１は、本発明の実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドを示す縦断面図である。図２は、図１に示す垂直磁気記録ヘッドの部分平面図及びリターンヨーク層の部分正面図である。図１において、Ｘはトラック幅方向を示し、Ｙはハイト方向を示し、Ｚは膜厚方向を示す。各方向は残り２つの方向に対して直交する関係となっている。   FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a magnetic head provided with a perpendicular magnetic recording head according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a partial plan view of the perpendicular magnetic recording head shown in FIG. 1 and a partial front view of the return yoke layer. In FIG. 1, X indicates the track width direction, Y indicates the height direction, and Z indicates the film thickness direction. Each direction is orthogonal to the remaining two directions.

図１に示す垂直磁気記録ヘッドＨＷは、記録媒体Ｍに垂直磁界を与え、記録媒体Ｍのハード膜Ｍａを垂直方向に磁化させる。記録媒体Ｍは、例えばディスク状であり、その表面に残留磁化の高いハード膜Ｍａを有し、その内側に磁気透過率の高いソフト膜Ｍｂを有しており、ディスクの中心が回転中心となって回転するように構成されている。 The perpendicular magnetic recording head H W shown in FIG. 1, it applies a perpendicular magnetic field to a recording medium M, to magnetize a hard film Ma of the recording medium M in the vertical direction. The recording medium M has, for example, a disk shape, has a hard film Ma with high remanent magnetization on its surface, and has a soft film Mb with high magnetic permeability inside, and the center of the disk is the center of rotation. Are configured to rotate.

スライダ１０は、Ａｌ２Ｏ３・ＴｉＣなどの非磁性材料で構成されている。スライダ１０の対向面１０ａは記録媒体Ｍに対向しており、記録媒体Ｍが回転すると、表面の空気流によりスライダ１０が記録媒体Ｍの表面から浮上し、又はスライダ１０が記録媒体Ｍに摺動する。スライダ１０のトレーリング側端面（上面）１０ｂには、Ａｌ２Ｏ３又はＳｉＯ２などの無機材料で構成された非磁性絶縁層１２が形成されており、この非磁性絶縁層１２上に読取り部ＨＲが形成されている。 The slider 10 is made of a nonmagnetic material such as Al 2 O 3 .TiC. The facing surface 10a of the slider 10 faces the recording medium M. When the recording medium M rotates, the slider 10 floats from the surface of the recording medium M due to the air flow on the surface, or the slider 10 slides on the recording medium M. To do. A nonmagnetic insulating layer 12 made of an inorganic material such as Al 2 O 3 or SiO 2 is formed on the trailing side end surface (upper surface) 10 b of the slider 10, and a reading unit is formed on the nonmagnetic insulating layer 12. H R is formed.

読取り部ＨＲは、非磁性絶縁層１２上に形成された下部シールド層１３と、下部シールド層１３上に無機絶縁層（ギャップ絶縁層）１５を介して形成された上部シールド層１６とを有する。無機絶縁層１５内には、読み取り素子１４が設けられている。読み取り素子１４としては、ＡＭＲ（Anisotropic MagnetoResistance）素子 、ＧＭＲ（Giant MagnetoResistance）素子、ＴＭＲ（Tunnel MagnetoResistance）素子などの磁気抵抗効果素子が用いられる。 Reading portion H R includes a lower shield layer 13 formed on the nonmagnetic insulating layer 12, and an upper shield layer 16 formed over the inorganic insulating layer (gap insulating layer) 15 on the lower shield layer 13 . A reading element 14 is provided in the inorganic insulating layer 15. As the reading element 14, a magnetoresistive effect element such as an AMR (Anisotropic MagnetoResistance) element, a GMR (Giant MagnetoResistance) element, or a TMR (Tunnel MagnetoResistance) element is used.

上部シールド層１６上には、コイル絶縁下地層１７を介して、導電性材料で構成された複数本の下層コイル片１８が形成されている。下層コイル片１８は、例えばＡｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｔｉ，ＮｉＰ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ｒｈ，Ｎｉから選ばれた少なくとも１種の金属材料で構成される。また、下層コイル片１８は、これらの非磁性金属材料で構成された層を積層して構成しても良い。   A plurality of lower coil pieces 18 made of a conductive material are formed on the upper shield layer 16 with a coil insulating base layer 17 interposed therebetween. The lower coil piece 18 is made of at least one metal material selected from, for example, Au, Ag, Pt, Cu, Cr, Al, Ti, NiP, Mo, Pd, Rh, and Ni. The lower coil piece 18 may be formed by laminating layers made of these nonmagnetic metal materials.

下層コイル片１８の周囲には、Ａｌ２Ｏ３などの無機絶縁材料や、レジストなどの有機絶縁材料で形成されたコイル絶縁層１９が形成されている。コイル絶縁層１９の上面は平坦に形成され、この上面に、メッキ下地層（図示せず）が形成され、このメッキ下地層上に、主磁極層２４が設けられている。主磁極層２４の周囲は、Ａｌ２Ｏ３やＳｉＯ２などで構成された絶縁層３２によって埋められ、主磁極層２４の上面と絶縁層３２の上面とが略同一平面になるように平坦化処理されている。主磁極層２４は、例えばＮｉＦｅ、ＣｏＦｅ、ＮｉＦｅＣｏなどの飽和磁束密度の高い強磁性材料で構成されており、例えばメッキにより形成される。 A coil insulating layer 19 made of an inorganic insulating material such as Al 2 O 3 or an organic insulating material such as a resist is formed around the lower coil piece 18. The upper surface of the coil insulating layer 19 is formed flat, a plating underlayer (not shown) is formed on this upper surface, and the main magnetic pole layer 24 is provided on this plating underlayer. The periphery of the main magnetic pole layer 24 is filled with an insulating layer 32 made of Al 2 O 3 , SiO 2 or the like, and is flattened so that the upper surface of the main magnetic pole layer 24 and the upper surface of the insulating layer 32 are substantially in the same plane. Has been processed. The main magnetic pole layer 24 is made of a ferromagnetic material having a high saturation magnetic flux density such as NiFe, CoFe, or NiFeCo, and is formed by plating, for example.

図２に示すように、主磁極層２４は、記録媒体との対向面Ｈ１ａ（対向面Ｈ１ａはスライダ１０の対向面１０ａと略同一平面で形成されている）からハイト方向（図示Ｙ方向）にトラック幅Ｔｗで形成された細長い形状の前方部２４ａと、前方部２４ａのハイト方向後方において前方部２４ａよりもトラック幅方向（図示Ｘ方向）の幅寸法が広い後方部２４ｂ（最大幅寸法Ｔ２）とを有する。   As shown in FIG. 2, the main magnetic pole layer 24 extends from the facing surface H1a to the recording medium (the facing surface H1a is formed in substantially the same plane as the facing surface 10a of the slider 10) in the height direction (Y direction in the drawing). An elongated front part 24a formed with a track width Tw, and a rear part 24b (maximum width dimension T2) having a wider width dimension in the track width direction (X direction in the drawing) than the front part 24a behind the front part 24a in the height direction. And have.

図１に示すように、主磁極層２４上には、Ａｌ２Ｏ３又はＳｉＯ２などの無機材料で構成された非磁性層であるギャップ層２１が形成されている。ギャップ層２１上には、コイル絶縁下地層２２を介して上層コイル片２３が形成されている。ギャップ層２１は、上層コイル片２３の絶縁下地としても機能しているので、コイル絶縁下地層２２は形成されていなくても良い。上層コイル片２３は、下層コイル片１８と同様に、導電性材料によって複数本形成されている。上層コイル片２３は、例えばＡｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｔｉ，ＮｉＰ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ｒｈ，Ｎｉから選ばれた少なくとも１種の金属材料で構成される。また、上層コイル片２３は、これらの非磁性金属材料で構成された層を積層して構成しても良い。 As shown in FIG. 1, a gap layer 21, which is a nonmagnetic layer made of an inorganic material such as Al 2 O 3 or SiO 2 , is formed on the main magnetic pole layer 24. An upper coil piece 23 is formed on the gap layer 21 with a coil insulating base layer 22 interposed therebetween. Since the gap layer 21 also functions as an insulating base of the upper coil piece 23, the coil insulating base layer 22 may not be formed. Similar to the lower layer coil piece 18, a plurality of upper layer coil pieces 23 are formed of a conductive material. The upper layer coil piece 23 is made of, for example, at least one metal material selected from Au, Ag, Pt, Cu, Cr, Al, Ti, NiP, Mo, Pd, Rh, and Ni. Further, the upper coil piece 23 may be formed by stacking layers made of these nonmagnetic metal materials.

下層コイル片１８と上層コイル片２３とは、図２に示すように、ソレノイド状に配置され、各コイル片のトラック幅方向（図示Ｘ方向）における端部同士が電気的に接続されている。下層コイル片１８及び上層コイル片２３には、それぞれ引き出し部１８ａ，２３ａが形成されており、この引き出し部１８ａ、２３ａから電流がソレノイド状コイルに供給されるようになっている。   As shown in FIG. 2, the lower layer coil piece 18 and the upper layer coil piece 23 are arranged in a solenoid shape, and the ends of each coil piece in the track width direction (X direction in the drawing) are electrically connected to each other. The lower layer coil piece 18 and the upper layer coil piece 23 are formed with lead portions 18a and 23a, respectively, and current is supplied from the lead portions 18a and 23a to the solenoid coil.

上層コイル片２３上には、Ａｌ２Ｏ３などの無機絶縁材料や、レジストなどの有機絶縁材料で構成されたコイル絶縁層２６が形成されている。また、本実施の形態においては、ギャップ層２１上に、無機材料又は有機材料で構成された間隔調整絶縁層２８が形成されている。コイル絶縁層２６の前縁は、間隔調整絶縁層２８上に重なっている。図２に示すように、間隔調整絶縁層２８の前縁２８ａは、トラック幅方向（図示Ｘ方向）と略平行な方向に向けて直線状に延在している。間隔調整絶縁層２８の前縁２８ａは、対向面Ｈ１ａからハイト方向に所定距離（ギャップデプス）Ｌ１だけ離れて形成されている。間隔調整絶縁層２８は、図２に示すように、トラック幅方向（図示Ｘ方向）に長く延在している。間隔調整絶縁層２８の前縁２８ａの幅寸法Ｔ３は、少なくとも主磁極層２４の最大幅寸法Ｔ２よりも大きく形成される。 A coil insulating layer 26 made of an inorganic insulating material such as Al 2 O 3 or an organic insulating material such as a resist is formed on the upper layer coil piece 23. In the present embodiment, a gap adjusting insulating layer 28 made of an inorganic material or an organic material is formed on the gap layer 21. The front edge of the coil insulating layer 26 overlaps the interval adjusting insulating layer 28. As shown in FIG. 2, the front edge 28a of the gap adjusting insulating layer 28 extends linearly in a direction substantially parallel to the track width direction (X direction in the drawing). The front edge 28a of the gap adjusting insulating layer 28 is formed away from the facing surface H1a by a predetermined distance (gap depth) L1 in the height direction. As shown in FIG. 2, the gap adjusting insulating layer 28 extends long in the track width direction (X direction in the drawing). The width dimension T3 of the front edge 28a of the gap adjusting insulating layer 28 is formed to be at least larger than the maximum width dimension T2 of the main magnetic pole layer 24.

ソレノイド状のコイル層を用いる場合、上層コイル片２３のトラック幅方向の幅寸法は、主磁極層２４の最大幅寸法Ｔ２よりも必ず大きくなるので、上層コイル片２３上を覆うコイル絶縁層２６の最大幅寸法Ｔ４は、主磁極層２４の最大幅寸法Ｔ２より必ず大きくなる。間隔調整絶縁層２８は、例えば有機絶縁材料で構成され、熱硬化により形成される。熱処理により間隔調整絶縁層２８の縦断面形状は、矩形状から略半楕円形状（あるいは少なくとも上面２８ｂは曲面状）となる。間隔調整絶縁層２８上に一部重なってハイト方向に向けて形成されるコイル絶縁層２６も有機絶縁材料で構成され、熱硬化により形成されたものであり、コイル絶縁層２６の対向面側上面２６ｂは、間隔調整絶縁層２８の上面２８ｂから曲面形状に盛り上がって形成される。間隔調整絶縁層２８及びコイル絶縁層２６（以下、この２層を「絶縁層３０」と称する場合がある）は、ギャップ層２１の上面を基準平面としたとき、基準平面よりも上方（図示Ｚ方向）に盛り上がって形成されている。絶縁層３０の周囲には、ギャップ層２０の上面が露出している。以下では、間隔調整絶縁層２８の前縁２８ａと対向面Ｈ１ａとの間の領域を前方領域Ａ（図３に示す斜線領域）と称し、絶縁層３０のトラック幅方向（図示Ｘ方向）における両側の領域を両側領域Ｂと称する。   When the solenoid coil layer is used, the width dimension of the upper coil piece 23 in the track width direction is always larger than the maximum width dimension T2 of the main magnetic pole layer 24. Therefore, the coil insulating layer 26 that covers the upper coil piece 23 is used. The maximum width dimension T4 is necessarily larger than the maximum width dimension T2 of the main magnetic pole layer 24. The gap adjusting insulating layer 28 is made of, for example, an organic insulating material and is formed by thermosetting. The vertical cross-sectional shape of the spacing adjustment insulating layer 28 is changed from a rectangular shape to a substantially semi-elliptical shape (or at least the upper surface 28b is a curved surface) by heat treatment. The coil insulating layer 26 partially overlapped on the gap adjusting insulating layer 28 and formed in the height direction is also made of an organic insulating material and is formed by thermosetting. 26 b is formed so as to rise from the upper surface 28 b of the spacing adjustment insulating layer 28 into a curved shape. The spacing adjusting insulating layer 28 and the coil insulating layer 26 (hereinafter, these two layers may be referred to as “insulating layer 30”) are located above the reference plane when the upper surface of the gap layer 21 is the reference plane (Z in the figure). Direction). The upper surface of the gap layer 20 is exposed around the insulating layer 30. Hereinafter, a region between the front edge 28a of the gap adjusting insulating layer 28 and the facing surface H1a is referred to as a front region A (shaded region shown in FIG. 3), and both sides of the insulating layer 30 in the track width direction (X direction in the drawing). This area is referred to as a both-side area B.

図１及び図２に示すように、前方領域Ａ上、絶縁層３０上、及び両側領域Ｂ上には、パーマロイなどの磁性材料で構成された第２磁性層であるリターンヨーク層２７が形成されている。図１に示すように、リターンヨーク層２７のハイト方向の後端部は、主磁極層２４と磁気的に接続する接続部２７ｇとなっている。リターンヨーク層２７上は、無機絶縁材料などで構成された保護層３１により覆われている。なお、第２磁性層としては、主磁極を有する磁性層と磁気的結合のない、単にシールド作用のみを有する磁性層であっても良い。   As shown in FIGS. 1 and 2, a return yoke layer 27, which is a second magnetic layer made of a magnetic material such as permalloy, is formed on the front region A, the insulating layer 30, and the both side regions B. ing. As shown in FIG. 1, the rear end of the return yoke layer 27 in the height direction is a connection portion 27 g that is magnetically connected to the main magnetic pole layer 24. The return yoke layer 27 is covered with a protective layer 31 made of an inorganic insulating material or the like. Note that the second magnetic layer may be a magnetic layer having only a shielding action and having no magnetic coupling with the magnetic layer having the main magnetic pole.

リターンヨーク層２７は、中央部２７ａと、中央部２７ａのトラック幅方向（図示Ｘ方向）の両側に位置する両側端部２７ｂとで形成される。中央部２７ａは、主磁極層２４と膜厚方向（図示Ｚ方向）で対向する位置に形成されている。図１及び図２に示すように、中央部２７ａには、絶縁層３０上から前方領域Ａ上にかけて上方に向けて突出する突出部２７ａ１が形成されている。絶縁層３０上に形成されるリターンヨーク層２７は、そもそも絶縁層３０が両側領域Ｂよりも盛り上がって形成されているから両側領域Ｂ上に形成されるリターンヨーク層２７に比べて突出して形成される。このとき、絶縁層３０上に形成されるリターンヨーク層２７の膜厚と、両側領域Ｂ上に形成されるリターンヨーク層２７の膜厚はあまり変わらない。なお、リターンヨーク層２７の厚さは、ＰＴＰ現象を抑制することを考慮すると、０．１μｍ〜１．０μｍであることが好ましい。   The return yoke layer 27 is formed by a central portion 27a and both end portions 27b located on both sides of the central portion 27a in the track width direction (X direction in the drawing). The central portion 27a is formed at a position facing the main magnetic pole layer 24 in the film thickness direction (Z direction in the drawing). As shown in FIGS. 1 and 2, the central portion 27 a is formed with a protruding portion 27 a 1 that protrudes upward from the insulating layer 30 to the front region A. The return yoke layer 27 formed on the insulating layer 30 is formed so as to protrude from the return yoke layer 27 formed on the both side regions B because the insulating layer 30 is formed so as to be higher than the both side regions B in the first place. The At this time, the film thickness of the return yoke layer 27 formed on the insulating layer 30 and the film thickness of the return yoke layer 27 formed on both side regions B do not change much. The thickness of the return yoke layer 27 is preferably 0.1 μm to 1.0 μm in consideration of suppressing the PTP phenomenon.

上記したように前方領域Ａ上は平坦化面で形成されているので、図３に示すように、前方領域Ａ上に形成されるリターンヨーク層２７の下面は平坦化面で形成され、対向面Ｈ１ａでは、前記リターンヨーク層２７の下辺２７ｃは、トラック幅方向（図示Ｘ方向）と平行な方向の直線状で現れる。また、リターンヨーク層２７の平面形状は、ほぼ矩形状で形成され、図３に示すように、対向面Ｈ１ａに現れるリターンヨーク層２７のトラック幅方向における幅寸法Ｔ４は、主磁極層２４のトラック幅Ｔｗに比べて十分に大きく形成される。   As described above, since the front region A is formed with a flattened surface, the lower surface of the return yoke layer 27 formed on the front region A is formed with a flattened surface as shown in FIG. In H1a, the lower side 27c of the return yoke layer 27 appears in a straight line in a direction parallel to the track width direction (X direction in the drawing). The planar shape of the return yoke layer 27 is formed in a substantially rectangular shape. As shown in FIG. 3, the width dimension T4 of the return yoke layer 27 appearing on the opposing surface H1a in the track width direction is the track of the main magnetic pole layer 24. It is formed sufficiently larger than the width Tw.

リターンヨーク層２７は、相対的に厚いエッジ部を有する。エッジ部は、少なくとも図４及び図５に示す形状を有するものを含む。例えば、エッジ部としては、図４（ａ）に示すような、ブロック形状の厚膜部２７ｄで構成されても良く、図４（ｂ）に示すような、ハイト方向の内側（媒体対向面から内側）に向って傾斜した、すなわち、ハイト方向の内側に向って厚さが小さくなるスロープ面２７ｅを有する厚膜部２７ｄで構成されていても良い。   The return yoke layer 27 has a relatively thick edge portion. The edge portion includes at least one having the shape shown in FIGS. For example, the edge portion may be composed of a block-shaped thick film portion 27d as shown in FIG. 4A, and the inner side in the height direction (from the medium facing surface as shown in FIG. 4B). It may be configured by a thick film portion 27d having a slope surface 27e that is inclined inwardly, that is, has a thickness that decreases inward in the height direction.

磁気ヘッドに面内方向（ハイト方向）の外部磁界を印加すると、各磁性層が磁化し各層のエッジから磁界を発生する。この場合、リターンヨークや、下部シールド層のエッジから発生する磁界（面内方向成分）が最も大きく、既存の情報を上書き消去する現象（Edge Write）の原因となる。本発明者らは、エッジからの磁界に着目し、この磁界の湧き出し口であるエッジ近傍の体積を増やし、エッジ近傍の磁束密度を低下させることで発生する磁界を低減することを見出し本発明をするに至った。   When an external magnetic field in the in-plane direction (height direction) is applied to the magnetic head, each magnetic layer is magnetized and a magnetic field is generated from the edge of each layer. In this case, the magnetic field (in-plane direction component) generated from the edge of the return yoke or the lower shield layer is the largest, which causes the phenomenon of overwriting and erasing existing information (Edge Write). The present inventors have focused on the magnetic field from the edge, found that the magnetic field generated by reducing the magnetic flux density in the vicinity of the edge by increasing the volume in the vicinity of the edge that is the source of this magnetic field is found. I came to do.

したがって、本発明においては、リターンヨーク層のエッジ部において、体積を増加させるような形状を設けることにより、例えば、エッジ部の厚さを相対的に厚くすることにより、エッジ近傍の磁束密度を低下させて、Edge Write磁界を小さくして外部磁界耐性を向上させている。   Therefore, in the present invention, by providing a shape that increases the volume at the edge portion of the return yoke layer, for example, by relatively increasing the thickness of the edge portion, the magnetic flux density near the edge is reduced. Thus, the Edge Write magnetic field is reduced to improve the external magnetic field resistance.

ここで、本発明の効果を明確にするために行った実施例について説明する。
ここでは、静磁界シミュレーションにより本発明の効果を確認した。このシミュレーションでは、垂直磁気記録ヘッドにおいて外部磁界耐性に関わる部位をモデル化し、外部磁界印加時の磁化状態を計算した。なお、磁界強度最大量は、リターンヨーク層から発生するハイト方向成分の磁界強度分布のうち最大の値とした。ハイト方向成分の磁界強度分布は、記録磁性膜の膜厚中央に位置する平面において測定した。リターンヨーク層のエッジ部の厚さが０．６μmである垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドについて磁界強度最大量を求めた。その結果を図６に示す。また、この磁気ヘッドにおいて、リターンヨーク層におけるエッジ部厚さ（図４（ａ）におけるｔ）を変えた場合（０．８μｍ、１μｍ、１．２μｍ、１．４μｍ）の磁界強度最大量についても調べた。その結果を図６に併記する。なお、エッジの形状は、図４（ａ）に示すように、ブロック形状とした。 Here, the Example performed in order to clarify the effect of this invention is described.
Here, the effect of the present invention was confirmed by a static magnetic field simulation. In this simulation, the part related to the external magnetic field resistance in the perpendicular magnetic recording head was modeled, and the magnetization state when the external magnetic field was applied was calculated. The maximum amount of magnetic field strength was the maximum value of the magnetic field strength distribution of the height direction component generated from the return yoke layer. The magnetic field strength distribution of the height direction component was measured on a plane located at the center of the thickness of the recording magnetic film. The maximum amount of magnetic field strength was determined for a magnetic head including a perpendicular magnetic recording head in which the edge portion of the return yoke layer had a thickness of 0.6 μm. The result is shown in FIG. Further, in this magnetic head, the maximum magnetic field intensity when the edge thickness (t in FIG. 4A) in the return yoke layer is changed (0.8 μm, 1 μm, 1.2 μm, 1.4 μm). Examined. The results are also shown in FIG. The shape of the edge was a block shape as shown in FIG.

また、リターンヨーク層のエッジ部の厚さが０．６μｍである垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドについて磁界強度最大値を上記と同様にして求めた。その結果を図６に併記する。また、この磁気ヘッドにおいて、リターンヨーク層のエッジ部の厚さが１．６μｍである場合の磁界強度最大値についても調べた。その結果を図６に併記する。なお、エッジ部の形状は、図４（ｂ）に示すように、スロープ形状とした。   Further, the maximum value of the magnetic field strength was obtained in the same manner as described above for the magnetic head including the perpendicular magnetic recording head in which the thickness of the edge portion of the return yoke layer was 0.6 μm. The results are also shown in FIG. Further, in this magnetic head, the maximum value of the magnetic field strength when the thickness of the edge portion of the return yoke layer was 1.6 μm was also examined. The results are also shown in FIG. In addition, the shape of the edge part was made into the slope shape as shown in FIG.4 (b).

また、比較のために、リターンヨーク層の厚さが０．５μｍである垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドについて磁界強度最大値を上記と同様にして求めた。その結果を図６に併記する。   For comparison, the maximum value of the magnetic field strength was determined in the same manner as described above for a magnetic head including a perpendicular magnetic recording head having a return yoke layer thickness of 0.5 μm. The results are also shown in FIG.

図６から分かるように、本発明に係る垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドについては、エッジ部に相対的に厚い部分を有するので、磁界強度最大量が３．５ｋＯｅ以下であり、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる。また、エッジ部の厚さを大きくすることにより、より外部磁界耐性を向上させることができる。これは、エッジ部が相対的に厚くなることにより、エッジ（極）の数が増加して磁化集中箇所が増加したこと、ハイト方向内側に分磁化集中部が拡散されていること、及びリターンヨーク層の媒体対向面の露出面積が大きいこと、が実現され、エッジ部に集中するハイト方向成分の磁束密度が低くなるためと考えられる。したがって、エッジ部が媒体対向面で露出する位置に設けられることが好ましい。   As can be seen from FIG. 6, the magnetic head provided with the perpendicular magnetic recording head according to the present invention has a relatively thick portion at the edge portion, so that the maximum magnetic field strength is 3.5 kOe or less, and the Edge Write magnetic field Can be kept low and external magnetic field resistance can be improved. Further, by increasing the thickness of the edge portion, it is possible to further improve the external magnetic field resistance. This is because the edge portion becomes relatively thick, the number of edges (poles) increases and the number of magnetization concentration portions increases, the magnetization concentration portion is diffused inward in the height direction, and the return yoke. It is considered that the exposed area of the medium facing surface of the layer is large, and the magnetic flux density of the height direction component concentrated on the edge portion is reduced. Therefore, it is preferable that the edge portion is provided at a position where it is exposed on the medium facing surface.

一方、リターンヨーク層に相対的に厚いエッジ部を含まない垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドについては、磁界強度最大量が４ｋＯｅ近くあり、記録した媒体の保磁力によっては、Edge Writeが発生する。   On the other hand, a magnetic head having a perpendicular magnetic recording head that does not include a relatively thick edge portion in the return yoke layer has a maximum magnetic field strength of about 4 kOe, and edge write occurs depending on the coercivity of the recorded medium. .

また、エッジ部の厚さを１．５μｍとし、トラック幅方向の厚膜部の長さ（図４（ａ）におけるｗ）を変化させて（０．５μｍ、１μｍ、２μｍ、４μｍ、６μｍ、８μｍ）磁界強度最大値を求めた。その結果を図７に示す。また、比較のために、リターンヨーク層の厚さが０．５μｍである垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドについて磁界強度最大値を上記と同様にして求めた。その結果を図７に併記する。   Further, the thickness of the edge portion is set to 1.5 μm, and the length of the thick film portion in the track width direction (w in FIG. 4A) is changed (0.5 μm, 1 μm, 2 μm, 4 μm, 6 μm, 8 μm). ) The maximum value of the magnetic field strength was obtained. The result is shown in FIG. For comparison, the maximum value of the magnetic field strength was determined in the same manner as described above for a magnetic head including a perpendicular magnetic recording head having a return yoke layer thickness of 0.5 μm. The results are also shown in FIG.

図７から分かるように、トラック幅方向の厚膜部の長さｗが小さいと磁界強度最大量が高く、ある長さ以上で磁界強度最大量が飽和している。したがって、図７から、エッジ部のトラック幅方向の長さが４μｍ以上１０μｍ以下であることが好ましい。なお、エッジ部の厚膜部のハイト方向における長さについては、その長さにより磁界強度最大量の変化が見られないので、特に制限はない。   As can be seen from FIG. 7, when the length w of the thick film portion in the track width direction is small, the maximum magnetic field strength is high, and the maximum magnetic field strength is saturated above a certain length. Therefore, from FIG. 7, it is preferable that the length of the edge portion in the track width direction is 4 μm or more and 10 μm or less. The length in the height direction of the thick film portion of the edge portion is not particularly limited because no change in the maximum magnetic field strength is observed depending on the length.

また、ＰＴＰの観点から、本発明に係る磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドについて熱解析シミュレーションにより、熱により媒体対向面から突出する素子の突き出し量を求めた。なお、素子の突き出し量は、主磁極近傍のトラック幅方向中央部と厚膜部近傍であるエッジ部とで測定した。リターンヨーク層のエッジ部の厚さを０．６μｍとし、トラック幅方向の厚膜部の長さ（図４（ａ）におけるｗ）を変化させた（１μｍ、３μｍ、５μｍ、１０μｍ、２０μｍ、２８μｍ）垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドについて熱による素子の突き出し量を求めた。その結果を図８に示す。   Further, from the viewpoint of PTP, the protrusion amount of the element protruding from the medium facing surface by heat was obtained by thermal analysis simulation for the magnetic head including the magnetic recording head according to the present invention. The protruding amount of the element was measured at the central portion in the track width direction near the main magnetic pole and the edge portion near the thick film portion. The thickness of the edge portion of the return yoke layer was 0.6 μm, and the length of the thick film portion in the track width direction (w in FIG. 4A) was changed (1 μm, 3 μm, 5 μm, 10 μm, 20 μm, 28 μm). ) For the magnetic head provided with the perpendicular magnetic recording head, the protruding amount of the element due to heat was obtained. The result is shown in FIG.

図８から分かるように、厚膜部の長さｗが大きいとエッジ部の突き出し量が大きい。一方、中央部における素子の突き出し量は、トラック幅方向の厚膜部の長さｗの値によらず一定であり、厚膜部の長さｗの影響は小さい。また、厚膜部を含まない磁気ヘッドにおいて最も突き出し量が大きい部位はトラック幅方向中央部であることは、グラフの傾向からも明らかである。したがって、厚膜部の長さｗはエッジ部の突き出し量が中央部の突き出し量を上回らない１０μｍ以下が望ましい。   As can be seen from FIG. 8, when the length w of the thick film portion is large, the protruding amount of the edge portion is large. On the other hand, the protruding amount of the element in the central portion is constant regardless of the value of the length w of the thick film portion in the track width direction, and the influence of the length w of the thick film portion is small. Further, it is clear from the tendency of the graph that the portion having the largest protrusion amount in the magnetic head not including the thick film portion is the central portion in the track width direction. Therefore, the length w of the thick film portion is desirably 10 μm or less so that the protruding amount of the edge portion does not exceed the protruding amount of the central portion.

次に、このようなリターンヨーク層を有する垂直磁気記録ヘッドの製造方法について説明する。図９（ａ）〜（ｄ）は、本発明に係る垂直磁気記録ヘッド装置の製造方法を説明するための図である。図９（ａ）〜（ｄ）は、媒体対向面から見た図であり、図９（ｂ）〜（ｄ）については、Ｃ−Ｃ線に沿う断面図も併記する。   Next, a method for manufacturing a perpendicular magnetic recording head having such a return yoke layer will be described. 9A to 9D are views for explaining a method of manufacturing a perpendicular magnetic recording head device according to the present invention. FIGS. 9A to 9D are views seen from the medium facing surface, and FIGS. 9B to 9D also include cross-sectional views taken along the line CC.

スライダ１０上に、非磁性絶縁層１２、下部シールド層１３、無機絶縁層１５、上部シールド層１６を形成し、上部シールド層１６上に主磁極層２４を含む絶縁層１９を形成し、絶縁層１９上にギャップ層２１を形成し、ギャップ層２１上にパターニングしたコイル絶縁下地層２２を形成し、コイル絶縁下地層２２上に上層コイル片２３を形成して、図９（ａ）に示す構造を作製する。なお、図９（ａ）に示す構造を作製する際の方法における条件や材料などについては通常使用されるものを採用することができる。   A nonmagnetic insulating layer 12, a lower shield layer 13, an inorganic insulating layer 15, and an upper shield layer 16 are formed on the slider 10, and an insulating layer 19 including a main magnetic pole layer 24 is formed on the upper shield layer 16. A gap layer 21 is formed on 19, a patterned coil insulating base layer 22 is formed on the gap layer 21, and an upper coil piece 23 is formed on the coil insulating base layer 22, and the structure shown in FIG. Is made. In addition, what is normally used can be employ | adopted about the conditions in the method at the time of producing the structure shown to Fig.9 (a), material.

次いで、図９（ｂ）に示すように、コイル絶縁下地層２２及び上層コイル片２３を含むギャップ層２１上にレジスト層２６を形成する。具体的には、コイル絶縁下地層２２及び上層コイル片２３を含むギャップ層２１上にレジスト材料を被覆し、レジスト形成領域が開口したマスクを介してレジスト材料を露光し、現像することによりレジスト層３３を形成する。   Next, as shown in FIG. 9B, a resist layer 26 is formed on the gap layer 21 including the coil insulating base layer 22 and the upper coil piece 23. Specifically, a resist material is coated on the gap layer 21 including the coil insulating base layer 22 and the upper coil piece 23, and the resist material is exposed and developed through a mask having an opening in the resist formation region, thereby developing the resist layer. 33 is formed.

次いで、図９（ｃ）に示すように、コイル絶縁層であるレジスト層２６上にリターンヨーク層２７を形成する。この場合、レジスト層２６上にメッキ処理を施すことによりリターンヨーク層２７を形成する。次いで、リターンヨーク層２７のエッジ部に厚膜部２７ｄを形成する。この厚膜部２７ｄは、リターンヨーク層２７のエッジ部のみに追加的にメッキ処理を施すことにより形成する。これにより、相対的に厚いエッジ部を設けることができる。次いで、図９（ｄ）に示すように、リターンヨーク層２７上に絶縁層３１を形成する。   Next, as shown in FIG. 9C, a return yoke layer 27 is formed on the resist layer 26 that is a coil insulating layer. In this case, the return yoke layer 27 is formed by plating the resist layer 26. Next, a thick film portion 27 d is formed on the edge portion of the return yoke layer 27. The thick film portion 27d is formed by additionally plating only the edge portion of the return yoke layer 27. Thereby, a relatively thick edge part can be provided. Next, as shown in FIG. 9D, the insulating layer 31 is formed on the return yoke layer 27.

このようにして、相対的に厚いエッジ部を有するリターンヨーク層２７を有する垂直磁気記録ヘッドを作製することができる。この垂直磁気記録ヘッドは、図９（ｃ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図から分かるように、媒体対向面におけるエッジ部が相対的に大きい露出面積を有する状態となる。このエッジ部においては、エッジ近傍の磁束密度が低くなり、エッジ部から発生する磁界強度が小さくなる。このため、相対的に薄いリターンヨーク層２７であってもEdge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる。   In this manner, a perpendicular magnetic recording head having a return yoke layer 27 having a relatively thick edge portion can be manufactured. In this perpendicular magnetic recording head, as can be seen from the cross-sectional view taken along line CC in FIG. 9C, the edge portion on the medium facing surface has a relatively large exposed area. In this edge portion, the magnetic flux density near the edge is lowered, and the magnetic field intensity generated from the edge portion is reduced. For this reason, even with the relatively thin return yoke layer 27, the edge write magnetic field can be kept low and the external magnetic field resistance can be improved.

本発明は、垂直磁気記録ヘッド装置において、種々の変更を行うことができる。例えば、図１０（ａ）に示すように、リターンヨーク層２７の後端部側（媒体対向面に対して内側）の形状を変えても良い。例えば、リターンヨーク層２７の後端部側にテーパ面Ｄなどを設けて、内側に進むにしたがって幅が狭くなるようにしても良い。また、図１０（ｂ）に示すように、リターンヨーク層２７の媒体対向面側に湾曲面Ｅなどを設けても良く、図１０（ｃ）に示すように、リターンヨーク層２７の媒体対向面側にテーパ面Ｄを設けて、内側に進むにしたがって幅が広くなるようにしても良い。このような場合においても、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる。   The present invention can be variously modified in the perpendicular magnetic recording head device. For example, as shown in FIG. 10A, the shape of the rear end portion side (inside the medium facing surface) of the return yoke layer 27 may be changed. For example, a tapered surface D or the like may be provided on the rear end portion side of the return yoke layer 27 so that the width becomes narrower as it goes inward. Further, as shown in FIG. 10 (b), a curved surface E or the like may be provided on the medium facing surface side of the return yoke layer 27. As shown in FIG. 10 (c), the medium facing surface of the return yoke layer 27 may be provided. A tapered surface D may be provided on the side, and the width may be increased toward the inside. Even in such a case, it is possible to improve the external magnetic field resistance by suppressing the Edge Write magnetic field low.

本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。例えば、垂直磁気記録ヘッドの各層の構成や形状については、リターンヨークを含むシールド層に、相対的に厚いエッジ部を有するものであれば、特に制限はない。また、上記実施の形態においては、リターンヨーク層に相対的に厚いエッジ部を有する場合について説明しているが、本発明はこれに限定されず、リターンヨーク層以外のシールド層、例えば上部シールド層や下部シールド層にも同様に適用することができる。すなわち、上部シールド層や下部シールド層に、相対的に厚いエッジ部を有する形状を導入することにより、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる。もちろん、リターンヨーク層と、上部シールド層及び／又は下部シールド層とに相対的に厚いエッジ部を設けて、Edge Writeをより低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる。また、上記実施の形態で説明した数値や材質については特に制限はない。また、上記実施の形態で説明したプロセスについてはこれに限定されず、工程間の適宜順序を変えて実施しても良い。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更することが可能である。   The present invention is not limited to the embodiment described above, and can be implemented with various modifications. For example, the configuration and shape of each layer of the perpendicular magnetic recording head are not particularly limited as long as the shield layer including the return yoke has a relatively thick edge portion. In the above embodiment, the case where the return yoke layer has a relatively thick edge is described. However, the present invention is not limited to this, and a shield layer other than the return yoke layer, for example, the upper shield layer. It can be similarly applied to the lower shield layer. That is, by introducing a shape having a relatively thick edge portion into the upper shield layer and the lower shield layer, the edge write magnetic field can be suppressed to be low and the external magnetic field resistance can be improved. Of course, it is possible to provide a relatively thick edge portion in the return yoke layer and the upper shield layer and / or the lower shield layer to suppress the Edge Write to a lower level and improve the external magnetic field resistance. Moreover, there is no restriction | limiting in particular about the numerical value and material which were demonstrated by the said embodiment. Further, the process described in the above embodiment is not limited to this, and the process may be performed by changing the order as appropriate. Other modifications may be made as appropriate without departing from the scope of the object of the present invention.

本発明の実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドを示す縦断面図である。1 is a longitudinal sectional view showing a magnetic head including a perpendicular magnetic recording head according to an embodiment of the present invention. 図１に示す垂直磁気記録ヘッドの部分平面図及びリターンヨーク層の部分正面図である。FIG. 2 is a partial plan view of the perpendicular magnetic recording head shown in FIG. 1 and a partial front view of a return yoke layer. 図１に示す垂直磁気記録ヘッドを記録媒体との対向面から見た部分正面図である。FIG. 2 is a partial front view of the perpendicular magnetic recording head shown in FIG. 1 as viewed from a surface facing a recording medium. （ａ），（ｂ）は、リターンヨーク層の形状を説明するための図である。(A), (b) is a figure for demonstrating the shape of a return yoke layer. リターンヨーク層の形状を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the shape of a return yoke layer. 本発明の実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッドの特性を示す図である。It is a figure which shows the characteristic of the perpendicular magnetic recording head which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッドの特性を示す図である。It is a figure which shows the characteristic of the perpendicular magnetic recording head which concerns on embodiment of this invention. 厚膜部の長さと素子突き出し量との間の関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the length of a thick film part, and element protrusion amount. （ａ）〜（ｄ）は、本発明に係る垂直磁気記録ヘッド装置の製造方法を説明するための図である。(A)-(d) is a figure for demonstrating the manufacturing method of the perpendicular magnetic recording head apparatus based on this invention. （ａ）〜（ｃ）は、本発明の実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッドにおけるリターンヨーク層の他の例を示す図である。(A)-(c) is a figure which shows the other example of the return yoke layer in the perpendicular magnetic recording head concerning embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１０ スライダ
１２ 非磁性絶縁層
１３ 下部シールド層
１５ 無機絶縁層
１６ 上部シールド層
１８ 下層コイル片
２１ ギャップ層
２３ 上層コイル片
２４ 主磁極層
２６ コイル絶縁層
２７ リターンヨーク層
２７ｄ エッジ部（厚膜部）
２７ｅ テーパ面
２８ 間隔調整絶縁層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Slider 12 Nonmagnetic insulating layer 13 Lower shield layer 15 Inorganic insulating layer 16 Upper shield layer 18 Lower layer coil piece 21 Gap layer 23 Upper layer coil piece 24 Main magnetic pole layer 26 Coil insulating layer 27 Return yoke layer 27d Edge part (thick film part)
27e Tapered surface 28 Spacing adjustment insulating layer

Claims (3)

記録媒体との対向面で露出する主磁極を有する第１磁性層と、前記第１磁性層に対して非磁性層を介して設けられた第２磁性層と、前記第１磁性層に記録磁界を与えるためのコイル層と、を具備し、前記第２磁性層は、相対的に厚いエッジ部を有することを特徴とする垂直磁気記録ヘッド装置。   A first magnetic layer having a main magnetic pole exposed at a surface facing the recording medium; a second magnetic layer provided on the first magnetic layer via a nonmagnetic layer; and a recording magnetic field on the first magnetic layer A perpendicular magnetic recording head device, wherein the second magnetic layer has a relatively thick edge portion. 前記エッジ部が前記対向面で露出する位置に設けられたことを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録ヘッド装置。   2. The perpendicular magnetic recording head device according to claim 1, wherein the edge portion is provided at a position exposed at the facing surface. 前記エッジ部のトラック幅方向の長さが４μｍ以上１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の垂直磁気記録ヘッド装置。   3. The perpendicular magnetic recording head device according to claim 1, wherein a length of the edge portion in the track width direction is 4 μm or more and 10 μm or less.
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WO2011099643A1 (en) 2010-02-15 2011-08-18 興研株式会社 Local clean zone forming apparatus

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