JP2008014730A - 半導体検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】所定形状に配列されている複数のポゴピン410の一部を不動支持部420が支持しており、他部をスライド自在な可動支持部430が支持している。ピンボード400の可動支持部430が不動支持部420に対してスライド移動するので、例えば、新型のテストボードの多数の接続パッドには不動支持部420と可動支持部430とのポゴピン410の両方を当接させ、旧型のテストボードの少数の接続パッドには不動支持部420のポゴピン410のみを当接させるようなことができる。
【選択図】図1
Description
また、作業面ではテストヘッド102上に従来無かった変換ボード120のセット作業が新たに加わるため、品種変更時のテストボード104の交換作業が煩雑となり、作業効率が低下している。
101 テスタ本体
102 テストヘッド
103 ケーブル
104 テストボード
110a ピンボード
110b ピンボード
111 ケーブル
112 ポゴピン
120 変換ボード
200 テストボード
210 接続パッド
300 テストボード
310 接続パッド
320 当接部材
400 ピンボード
410 ポゴピン
420 不動支持部
430 可動支持部
431 当接部分
432 当接部材
440 ボード本体
450 スライド支持機構
460 圧縮スプリング
500 ピンボード
510 一時固定機構
600 テストシステム
610 ピンボード
620 テストボード
630 テストボード
631 開口孔
1000 テストシステム
Claims (13)
- テストボードの複数の接続パッドに個々に圧接されて導通する複数の導通ピンが所定形状に配列されているピンボードであって、
所定形状に配列されている複数の前記導通ピンと、
複数の前記導通ピンの一部を支持している不動支持部と、
複数の前記導通ピンの他部を支持している可動支持部と、
前記不動支持部が固定されているボード本体と、
前記可動支持部を前記導通ピンの軸心方向にスライド自在に支持しているスライド支持機構と、
を有するピンボード。 - 前記可動支持部を前記導通ピンの突出方向に付勢しているスライド付勢機構を、さらに有する請求項1に記載のピンボード。
- 前記可動支持部を前記付勢に抗して所定位置に保持する位置保持機構を、さらに有する請求項2に記載のピンボード。
- 前記可動支持部を前記所定位置に一時的に固定する一時固定機構を、さらに有する請求項3に記載のピンボード。
- 前記テストボードに当接する位置で前記可動支持部に設けられていて前記導通ピンより突出している当接部材を、さらに有する請求項2ないし4の何れか一項に記載のピンボード。
- 前記不動支持部で支持されて隣接している前記導通ピンの間隙ごとに前記可動支持部に支持されている前記導通ピンが所定個数ずつ位置している請求項1ないし5の何れか一項に記載のピンボード。
- 複数の前記導通ピンが一列に配列されており、
前記不動支持部は、一列の奇数番目と偶数番目との一方の前記導通ピンを支持しており、
前記可動支持部は、一列の奇数番目と偶数番目との他方の前記導通ピンを支持している請求項1ないし5の何れか一項に記載のピンボード。 - 前記テストボードとして前記接続パッドの配列が相違する第一構造と第二構造とがあり、
前記不動支持部および前記可動支持部で支持されている前記導通ピンと第一構造の前記テストボードの前記接続パッドとの配列が対応しており、
前記不動支持部で支持されている前記導通ピンと第二構造の前記テストボードの前記接続パッドとの配列が対応している請求項1ないし7の何れか一項に記載のピンボード。 - テストボードの複数の接続パッドにピンボードの複数の導通ピンを圧接させて導通させる半導体検査装置であって、
請求項1ないし8の何れか一項に記載のピンボードを有する半導体検査装置。 - 請求項1ないし4の何れか一項に記載のピンボードの導通ピンが圧接されて導通する複数の接続パッドが各々配列されている複数種類のテストボードであって、
前記不動支持部に支持されている前記導通ピンのみが個々に当接する前記接続パッドが配列されており、
前記導通ピンより突出していて前記可動支持部に当接する当接部材が前記接続パッドと同一面に設けられているテストボード。 - 請求項5に記載のピンボードの導通ピンが圧接されて導通する複数の接続パッドが各々配列されている複数種類のテストボードであって、
前記不動支持部に支持されている前記導通ピンと前記可動支持部に支持されている前記導通ピンとの両方が個々に当接する前記接続パッドが配列されており、
前記ピンボードの前記当接部材が挿通される開口孔が形成されているテストボード。 - ピンボードを有する半導体検査装置と、複数種類のテストボードと、を有するテストシステムであって、
前記半導体検査装置は、請求項1ないし4の何れか一項に記載のピンボードを有し、
第一構造の前記テストボードは、前記ピンボードの前記不動支持部と前記可動支持部とに支持されている前記導通ピンの全部が個々に当接する前記接続パッドが配列されており、
第二構造の前記テストボードは、前記不動支持部に支持されている前記導通ピンのみが個々に当接する前記接続パッドが配列されており、前記導通ピンより突出していて前記可動支持部に当接する当接部材が前記接続パッドと同一面に設けられている、テストシステム。 - ピンボードを有する半導体検査装置と、複数種類のテストボードと、を有するテストシステムであって、
前記半導体検査装置は、請求項5に記載のピンボードを有し、
第一構造の前記テストボードは、前記ピンボードの前記不動支持部と前記可動支持部とに支持されている前記導通ピンの全部が個々に当接する前記接続パッドが配列されており、前記ピンボードの前記当接部材が挿通される開口孔が形成されており、
第二構造の前記テストボードは、前記不動支持部に支持されている前記導通ピンのみが個々に当接する前記接続パッドが配列されており、前記接続パッドが配列されている表面に前記当接部材が当接する、テストシステム。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012053030A (ja) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | Hermes Testing Systems Inc | 異なる規格のテスターに同時に適応可能なプローブカード構造 |
CN103022856A (zh) * | 2012-11-29 | 2013-04-03 | 深圳市世纪安软信息技术有限公司 | 建立电气连接的方法及电气连接器 |
CN111722085A (zh) * | 2020-06-29 | 2020-09-29 | 华勤通讯技术有限公司 | 一种pcb功能测试装置及*** |
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2006
- 2006-07-04 JP JP2006184959A patent/JP4734187B2/ja not_active Expired - Fee Related
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