JP2008012384A - 微細ラインの形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属超微粒子を含む分散液を液滴2として基板1上の所定位置に吐出して、微細ラインの形成を行う。基板上に液滴を吐出することにより断面形状が中央部に凹部を有する形状の微細ライン4を形成する第1工程と、第1工程で形成した微細ラインの凹部に液滴を吐出して微細ライン5を形成する第2工程とを含む。
【選択図】図2
Description
まず、図1(a)のように、液滴材料を吐出手段3から、液滴2として基板1上の所定位置に吐出して、微細ライン4を形成する。この際の液滴2の吐出速度を、下記の(式1)で表される値以上にすることで、衝突エネルギーによって図1(b)のような断面形状が中央部に凹部を有する形状になる。(式1)において、m=1滴の重量[ng]である。
次に、図2(a)のように、液滴2を第1工程で形成した微細ラインの凹部4に吐出する。この際の液滴2の吐出速度を、上記の(式1)で表される値未満にすることで、図2(b)のように濡れ広がりなく吐出することができる。
液滴の吐出速度を変化させて、その液滴を吐出した場合の中凹部量の変化を検証した。既にITOが形成されているガラス基板上に、銀粉末を含有した分散液(日本ペイント(株)製ファインスフェアSVW102、銀粒子の最大粒径76.3[nm]、温度25度、湿度50%における、粘度が8[mPa・s]、表面張力が40[mN/m]、固形分濃度が30[w%]である。)を、図3の装置(インクジェット方式塗布装置:(有)マイクロジェット社製IJK−100T)を用いて吐出した。
PDPの42型パネルに対し、前面板ユニットの放電電極と背面板ユニットのアドレス電極を形成し、PDPパネルを作成し評価を行った。その電極形成工程及びパネル作成工程について、以下に述べる。
実施例2と同様の材料、手段の構成で、線幅50μm、線間隔50μmのラインを平行に40本描画し、導電回路のラインを作成した。そして、膜厚、直線性、表面抵抗、抵抗率の評価を行った結果、従来技術の方法で製造された導電回路と比べても差異は認められなかった。
2 液滴
3 吐出手段
4、5 微細ライン
Claims (7)
- 金属超微粒子を含む分散液を液滴として基板上の所定位置に吐出して、微細ラインの形成を行う形成方法において、
前記基板上に液滴を吐出することにより断面形状が中央部に凹部を有する形状の微細ラインを形成する第1工程と、前記第1工程で形成した微細ラインの凹部に液滴を吐出して更に微細ラインを形成する第2工程とを含むことを特徴とする微細ラインの形成方法。 - 前記第1工程において、前記金属超微粒子が粒径100[nm]以下であり、前記分散液の粘度が1〜20[mPa・s]以下、その表面張力が25〜80[mN/m]、固形分濃度が5〜40[w%]、液滴の吐出速度が√(4.83/m)[m/s](m=1滴の重量[ng])以上である請求項1記載の微細ラインの形成方法。
- 前記第2工程において、前記金属超微粒子が粒径100[nm]以下であり、前記分散液の粘度が1〜20[mPa・s]以下、その表面張力が25〜80[mN/m]、固形分濃度が5〜40[w%]、液滴の吐出速度が√(4.83/m)[m/s](m=1滴の重量[ng])未満である請求項1記載の微細ラインの形成方法。
- 前記第1工程で吐出する前記分散液と前記第2工程で吐出する前記分散液が同じである請求項1に記載の微細ラインの形成方法。
- 前記第1工程で吐出する前記分散液と前記第2工程で吐出する前記分散液が異なる請求項1に記載の微細ラインの形成方法。
- 前記第2工程の後に、前記第2工程と同じ工程を1〜20回繰り返す請求項1に記載の微細ラインの形成方法。
- 前記基板と前記第1工程の前記液滴との接触角が45〜90[deg]である請求項1に記載の微細ラインの形成方法。
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