JP2007528607A5

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Info

Publication number: JP2007528607A5
Application number: JP2007502838A
Authority: JP
Filing date: 2005-02-24
Publication date: 2008-04-10
Anticipated expiration: 2025-02-24

Claims

プラズマ開始ターゲットを送出するようになったターゲット送出システムと、望ましいプラズマ開始サイトを定める焦点を有するＥＵＶ光集光光学器械とを含むレーザ生成プラズマ（ＬＰＰ）極紫外線（ＥＵＶ）光源制御システムであって、
ターゲット追跡及びフィードバックシステム、
を含み、
前記ターゲット追跡及びフィードバックシステムは、
ターゲットストリーム進路の画像を出力として供給する少なくとも１つの撮像装置と、望ましいプラズマ開始サイトと交差する望ましいストリーム進路からの前記ターゲットストリーム進路にほぼ垂直な少なくとも１つ軸線における該ターゲットストリーム進路の位置の誤差を検出するストリーム進路誤差検出器と、
を含む、
ことを特徴とするシステム。
前記ターゲット進路に照準し、かつ前記ターゲット進路内の選択スポットを通るターゲットの通過を検出する少なくとも１つのターゲット横断検出器、
を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の機器。
前記少なくとも１つのターゲット横断検出器は、少なくとも第１のターゲット横断検出器及び第２のターゲット横断検出器である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２に記載の機器。
駆動レーザ出力パルスが、前記ターゲット進路に沿って前記望ましいプラズマ開始サイトへのほぼその最も近い接近時に選択プラズマ開始サイトで前記プラズマ開始ターゲットと交差するために、前記ターゲット横断検出器の出力を利用して駆動レーザトリガのタイミングを判断する駆動レーザトリガ機構、
を更に含むことを特徴とする請求項２に記載の機器。
前記ターゲット進路に照準し、それぞれのターゲットに対してプラズマ開始サイトの該ターゲット進路に沿った位置を検出するプラズマ開始検出器、
を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の機器。
中間焦点に形成された開口を照らして前記少なくとも１つの撮像装置に該開口を撮像する中間焦点照明器、
を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の機器。
前記少なくとも１つの撮像装置は、少なくとも２つの撮像装置であり、各々が、該少なくとも２つの撮像装置のそれぞれのものにおける画像の分析に基づいて、前記中間焦点の画像の垂直中心軸からの前記ターゲット進路の分離に関連する誤差信号を供給する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項６に記載の機器。
ターゲット送出フィードバック及び制御システム、
を更に含み、
前記ターゲット送出フィードバック及び制御システムは、
ターゲット送出ユニットと、
少なくとも第１の撮像装置内の画像の分析から導出された第１の変位誤差信号に対応する軸線において、及び少なくとも第２の撮像装置内の画像の分析から導出された第２の変位誤差信号に対応する軸線において前記ターゲット送出機構を変位させるターゲット送出変位制御機構と、
を含む、
ことを特徴とする請求項７に記載の機器。
ＥＵＶ出力光エネルギ検出機構、
を更に含み、
前記ＥＵＶ出力光エネルギ検出機構は、
前記中間焦点に到達するＥＵＶ光エネルギを測定するために配置され、各々がそれぞれの検出器によって検出したＥＵＶ光エネルギの量を表す出力信号を供給する複数のＥＵＶ光エネルギ検出器と、
各ＥＵＶ光エネルギ検出器の出力を受信し、かつ前記それぞれのＥＵＶ光エネルギ検出器の前記出力信号のそれぞれの値の比較に基づいてＥＵＶ光エネルギ誤差信号を判断するＥＵＶ光エネルギ誤差信号発生器と、
を含む、
ことを特徴とする請求項８に記載の機器。
開始サイト誤差検出機構、
を更に含み、
前記開始サイト誤差検出機構は、
画像データを供給する前記少なくとも２つの撮像装置の１つ、
を含み、
前記画像データから、前記少なくとも２つの撮像装置の前記それぞれのものにおける該画像データの分析に基づく望ましいプラズマ開始サイトからの実際のプラズマ開始サイトの第１の軸線における分離と、該それぞれの撮像装置における該画像の分析に基づく前記中間焦点の前記画像の水平中心軸からの該プラズマ開始サイトの該第１の軸線と直交する第２の軸線における分離とに関連する第１の誤差信号を判断することができる、
ことを特徴とする請求項９に記載の機器。
移動プラズマ形成ターゲットを送出するターゲット送出システムと望ましいプラズマ開始サイトを定める焦点を有するＥＵＶ光集光光学器械とを含む制御システムを使用する段階を含む、レーザ生成プラズマ（ＬＰＰ）極紫外線（ＥＵＶ）光を生成する方法であって、
ターゲット追跡及びフィードバック方法を利用する段階、
を含み、
前記方法は、
少なくとも１つの撮像装置を用いて、ターゲットストリーム進路の画像を準備する段階と、
ストリーム進路誤差検出器を用いて、望ましいプラズマ開始サイトと交差する望ましいストリーム進路からの前記ターゲットストリーム進路にほぼ垂直な少なくとも１つの軸線内の該ターゲットストリーム進路の位置の誤差を検出する段階と、
を含む、
ことを特徴とする方法。