JP2007522508A - マイクロリソグラフィック投影露光装置のための投影対物レンズ - Google Patents
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Abstract
Description
NA=n・sin(φ)
と、量2h、すなわち、像を形成することが可能な光学軸OAまわりの円の直径によって特性が示される。
0.95>sin(α)>0.85
R>m・s
ここで、m≒83。s=2mmの場合、これは、最大曲率半径に関して、半径Rが約167mmになる。
Claims (29)
- 像平面(128)に配置可能な感光層(126)上に、物体平面(122)に配置可能なマスク(124)を結像させるための、マイクロリソグラフィ投影露光装置(110)の対物レンズ(120、120’、120”)であって、前記投影対物レンズ(120、120’、120”)が、液浸液が前記感光層(126)に隣接する液浸オペレーションに合わせて設計されており、前記液浸液の屈折率が、前記物体側において前記液浸液と隣接する媒質(L5、142、L205、LL7、LL8、LL9)の屈折率より大きく、
前記投影対物レンズ(120、120’、120”)が、液浸オペレーション中、前記液浸液(134)が前記物体平面(122)に向かって凸状に湾曲するように設計されていることを特徴とする、
投影対物レンズ。 - 前記液浸液(134)が、液浸オペレーション中、前記像側における前記投影対物レンズ(120)の最終光学素子である光学素子(L5、L205、LL7、LL8、LL9)の凹状に湾曲した像側面(136)にすぐ隣接することを特徴とする請求項1に記載の投影対物レンズ。
- 前記湾曲像側面(136)が排流障壁(140)によって包囲されていることを特徴とする請求項2に記載の投影対物レンズ。
- 前記排流障壁が、前記光学素子(L5)及び/または前記投影対物レンズ(120’)のハウジング(141)に接合するリング(140)として設計されていることを特徴とする請求項3に記載の投影対物レンズ。
- 前記湾曲像側面(136)が球面であることを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 前記湾曲像側面(136)の曲率半径(R)が、前記湾曲像側面(136)と前記像平面(128)との間の軸方向距離(d)の0.9倍〜1.5倍、できれば、1.3倍であることを特徴とする請求項5に記載の投影対物レンズ。
- 前記液浸液(134)と混和性ではなく、電界内で湾曲界面(139、139’)を形成する中間液(142)が、液浸オペレーション中、前記液浸液(134)と前記像側において前記投影対物レンズ(120”)の前記最終光学素子である光学素子(L5”)との間に位置することを特徴とする請求項1に記載の投影対物レンズ。
- 前記中間液(142)が導電性であり、前記液浸液(134)が電気的に絶縁性であることを特徴とする請求項7に記載の投影対物レンズ。
- 前記中間液(142)の密度が前記液浸液(134)とほぼ同じであることを特徴とする請求項7または8に記載の投影対物レンズ。
- 前記液浸液(134)が油であり、前記中間液(142)が水であることを特徴とする請求項9に記載の投影対物レンズ。
- 前記電界を発生するための電極(146)を特徴とする請求項7〜10のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 前記電極が、前記光学素子(L5”)と前記像平面(128)との間に配置された環状円錐電極(146)であることを特徴とする請求項11に記載の投影対物レンズ。
- 前記界面(139、139’)の曲率が、前記電極(146)に印加される電圧を変更することによって変更可能であることを特徴とする請求項11または12に記載の投影対物レンズ。
- 前記中間液(142)と前記液浸液(134)との界面(139、139’)がすくなくともほぼ球面であることを特徴とする請求項7〜13のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 前記液浸液と、前記物体平面に向かって凸状に湾曲した媒質によって、正弦が0.5〜0.98の最大入射角で前記界面を光線が通過するように界面が形成されることを特徴とする、先行請求項のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 前記最大入射角の正弦が、0.85〜0.95であることを特徴とする請求項15に記載の投影対物レンズ。
- 前記最大入射角の正弦が、0.87〜0.94であることを特徴とする請求項16に記載の投影対物レンズ。
- 前記投影対物レンズ内の任意の容積内において、条件(k2+l2)/n2>K0が有効であり、k、l、mが、開口光線の3つの方向余弦である場合、nは、k2+l2+m2=n2で、K0=0.95の場合の前記容積内における屈折率であることを特徴とする先行する請求項のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- K0=0.85であることを特徴とする請求項18に記載の投影対物レンズ。
- 前記像側面の最大湾曲の曲率半径が、m・sの積に等しく、sが、前記像側湾曲面と前記像平面との軸方向距離であり、mが20〜120の実数であることを特徴とする請求項2に記載の投影対物レンズ。
- mが40〜100であることを特徴とする請求項20に記載の投影対物レンズ。
- mが70〜90であることを特徴とする請求項21に記載の投影対物レンズ。
- その像平面に配置可能な感光層上にマスクを結像させるための、マイクロリソグラフィ投影露光装置の対物レンズであって、前記投影対物レンズ(120、120’、120”)が、液浸液が前記感光層(126)に隣接する液浸オペレーションに合わせて設計され、
前記液浸液(134)が前記投影対物レンズの物体側において前記液浸液と隣接する媒質(LL9)界面を形成し、前記界面が、前記最大曲率半径が前記積m・sに等しくなるように、前記マスクに向かって凸状に湾曲しており、sが、前記界面と前記像平面との軸方向距離で、mが、20〜120の実数であることを特徴とする投影対物レンズ。 - mが40〜100であることを特徴とする請求項23に記載の投影対物レンズ。
- mが70〜90であることを特徴とする請求項24に記載の投影対物レンズ。
- 前記投影対物レンズ(120)が、少なくとも2つの結像鏡(S1、S2)を備えたカタディオプトリック対物レンズであり、少なくとも2つの中間像が形成されることを特徴とする先行する請求項のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 先行する請求項のいずれか1項に記載の投影対物レンズ(120、120’、120”)を特徴とする、マイクロ構造化部品を作製するためのマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- マイクロリソグラフィによって、マイクロ構造化部品を作製する方法であって、
a)感光材料の層(126)が少なくとも部分的に付着させられる基板(130)を用意するステップと、
b)結像される構造を含むマスク(124)を用意するステップと、
c)請求項1〜21のいずれか1項による投影対物レンズ(120、120’、120”)を含む投影露光装置を用意するステップと、
d)前記投影露光装置を用いて、前記層(126)のある領域に少なくとも前記マスク(124)の一部を投影するステップが含まれている、
方法。 - 請求項28に記載の方法によって作製されたマイクロ構造化部品。
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