JP2007504782A - シリコンマイクの製造方法 - Google Patents
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Abstract
シリコンマイクは、高濃度にドープされたシリコン層、シリコン層、2つのシリコン層の間の中間酸化物層とを含む第1ウェハーを提供するステップを有する方法で形成される。第1ウェハーは、高濃度にドープされたシリコン層の1面上の第1主要面と、シリコン層の1面上の第2主要面とを有する。第2シリコンウェハーは、第1主要面と第2主要面とを有する。酸化物層が、第1および第2シリコンウェハーの少なくとも第1主要面上に形成される。第1ウェハーの第1主要面上の酸化物層を貫通し、高濃度にドープされたシリコン層まで到るキャビティがエッチングにより形成される。第1ウェハーの第1主要面が、第2ウェハーの第1主要面に、貼り合わされる。金属層が、第2ウェハーの第2主要面上に形成される。金属層および第2ウェハーの第2主要面がパターンニングの後、アコースティック・ホールがエッチングにより形成される。少なくとも1つの電極が第1ウェハーの高濃度にドープされたシリコン層上に形成され、少なくとも1つの電極が第2ウェハー上に形成される。第1ウェハーの酸化層は、シリコンマイクの製造中、少なくともダイアフラムの背面からエッチングされる。
Description
本発明は、シリコンマイク、特にシリコンマイクの製造方法に関する。
コンデンサー(容量型)マイクは、通常、フレキシブル部材に取り付けられた電極と、フレキシブル部材に平行で別の電極が取り付けられているバックプレートとを含むダイアフラムを備えている。バックプレートは、比較的硬く、バックプレートとフレキシブル部材との間を空気が流れることができるように、通常、複数の穴を備えている。バックプレートおよびフレキシブル部材が、コンデンサーの並行平板を構成する。ダイアフラムに作用する音圧によりダイアフラムが動いて、コンデンサーの容量が変化する。容量の変化が電子回路で処理され、その変化に対応する電気信号が出力される。
極小マイク等のマイクロマシン(MEMS)は、集積回路の製造に通常使用される技術で製造される。MEMSマイクの潜在的用途には、聴力補助のためのマイク、携帯電話機、および自動車用の圧力センサー等がある。
利用可能なMEMSマイクの多くは、多数のマスクおよびエッチングステップを含む複雑な製造プロセスが関わっている。製造プロセスが複雑になるほど、試験過程で不具合が見つかり使用不可能となるリスクが増大する。
本発明の課題は、ステップ数が少ないシリコンマイクの製造プロセス、あるいは、少なくとも公衆に有用な選択肢を提供することである。
本発明は、広義には、高濃度にドープされたシリコン層、シリコン層、および2つのシリコン層の間の中間酸化物層を含み、高濃度にドープされたシリコン層の表面上の第1主要面とシリコン層上の第2主要面とを有する第1ウェハーを提供するステップと、第1主要面および第2主要面を有するシリコンの第2ウェハーを提供するステップと、少なくとも第1ウェハーの第1主要面上に酸化物層を形成するステップと、少なくとも第2ウェハーの第1主要面上に酸化物層を形成するステップと、第1ウェハーの第1主要面上の酸化物層を貫通させて高濃度にドープされたシリコン層の中までキャビティをエッチングするステップと、第1ウェハーの第1主要面を第2ウェハーの第1主要面に貼り合わせるステップと、第2ウェハーの第2主要面上に金属層を形成するステップと、第2ウェハーの金属層と第2主要面にアコースティック・ホールをパターニングしてエッチングするステップと、第1ウェハーの高濃度にドープされたシリコン層上に少なくとも1の電極を形成し、第2ウェハー上に少なくとも1つの電極を形成するステップと、シリコンマイクの製造中に、第1ウェハーの酸化物層を、少なくともダイアフラムの背面からエッチングするステップとを含むシリコンマイク製造方法に係るものである。
第2ウェハーに貼り合わせる前あるいは後のいずれかに、第1ウェハーが薄くされて、ダイアフラムが形成される。あるいは、処理前に、第1ウェハーがダイアフラムを備えていてもよい。
両ウェハーの少なくとも1つの主要面上に酸化物層を形成するステップが、両ウェハーの両主要面上に酸化物層を形成するステップを含んでいることが好ましい。
ウェハーの主要面上に形成された酸化物層は、ウェハーの主要面上に成長されたものであることが好ましい。また、酸化物層の形成には、任意の好適な方法を使用することができる。
第2ウェハーの第2主要面上に酸化物層が形成されているときは、第1ウェハーを薄くする前に、この酸化物層が取り除かれることが好ましい。
第1ウェハーの第2主要面上に酸化物層が形成されているときは、第1ウェハーを薄くする前に、この酸化物層が取り除かれることが好ましい。
第2ウェハーの別の主要面上に金属層を形成するステップは、第2ウェハーの第2主要面上への金属のスパッタリングによりおこなわれるものであってもよい。
別の実施形態では、本発明は、ウェハーの第2主要面のウェハーの周縁近くの部分を第2主要面からエッチングして、第2主要面を第1主要面に近づけるステップをさらに含んでいる。アコースティック・ホールがエッチングされるときに、このエッチングもおこなわれることが好ましい。
第1ウェハーが、その第2主要面から薄くされるときには、中間酸化物層に到るまで第1ウェハーが薄くされることが好ましい。
別の実施形態では、高濃度にドープされた第1ウェハーのシリコン層と第2ウェハー上に電極を形成するステップは、高濃度にドープされた第1ウェハーのシリコン層の露出面および第2ウェハーの露出した第1主要面の全体の上に、金属電極層を形成することによりおこなわれる。この金属層がエッチングされて、電極が形成される。
また、高濃度にドープされた第1ウェハーのシリコン層と第2ウェハー上に電極を形成するステップは、金属のスパッタリングと電極をパターニングするためのシャドウマスクの使用によりおこなわれることもある。
別の実施形態では、第2ウェハーの第2主要面上に形成された金属層は、クロムおよび金の合金あるいは混合物である。あるいは、この電極には、適合する他の導電性金属を使用してもよい。
第2ウェハーの第2主要面上に形成された金属層にアコースティック・ホールがパターニングされて、エッチングされるときに、通常、第2ウェハーの第2主要面上に形成された金属層のウェハーの端部に、アンカーがパターニングされて形成される。これらのアンカーの1つを、電極として使用してもよい。他のアンカーには、第2ウェハーの1部分と金属で覆われた部分との両方を含んでもよい。金属で覆割れた部分は、アコースティック・ホールを囲む金属からは理想的に分離されている。金属層にアコースティック・ホールがパターニングされエッチングされるときに、この分離をパターニングしてエッチングすることにより、この分離をおこなうようにしてもよい。
別の観点において、本発明は、広義には、本発明の方法で形成されたシリコンマイクである。
以下図面を参照して、本発明に係るシリコンマイクの製造方法を説明するが、これは例示であり、本発明を制限することを意図していない。
図1Aは、シリコンマイクの製造に使用される第1ウェハーの断面図である。このウェハーは、高濃度にドープされたシリコンの第1層1、酸化物の中間層2、およびシリコン基板の第3層3から構成される。1実施形態では、第1層は高濃度にドープされたp型(p++)シリコンであり、第3層はn型基板である。別の実施形態では、第1層は高濃度にドープされたn型(n++)シリコンであり、第3層はp型基板であってもよい。通常、第1層1の厚さは4マイクロメータ程度であり、第2層の厚さは2マイクロメータ程度である。シリコンマイクで使用されるこれらの層の厚さは、必要とされるマイクの特性に依存するであろう。基板の層は、他の2つの層よりも厚く、その厚さは、例えば、約400〜600マイクロメータ程度である。
実施形態が異なれば、基板は上記よりも薄くなることもある。あるいは、基板は、処理前あるいは第2ウェハーに貼り合わせる前又は後に、パターニングしてダイアフラムを構成してもよい。
なお、図示する断面図は、説明のためにのみ描かれているので、実物大には描かれていない。
図1Bは、シリコンマイクの製造に使用される第2ウェハーの断面図である。第2ウェハーは、シリコンウェハー4からなる。ウェハーは、高濃度にドープされたシリコンであり、p型、n型のいずれであってもよい。好適実施形態においては、ウェハーは、面方位<100>のシリコンである。また、異なるシリコン表面あるいは構造を使用してもよい。
図1Aおよび1Bは、2枚のウェハーの断面図であるが、ウェハーは、2つの主要面を備える3次元の物体である。第1ウェハーの2つの主要面は、上面と底面である(図1Aには示していない)。その第1主要面、すなわち上面、は高濃度にドープされたシリコンからなる。その第2主要面、すなわち底面、はシリコン基板からなる。
図1Bにおいて、主要面は、ウェハーの上面と底面であり、両面は高濃度にドープされたシリコンウェハーからなる。
シリコンマイクの製造するとき、始めに2枚のウェハーは別々に処理され、張り合わせがおこなわれ、それからさらに加工される。
図2Aおよび2Bは、ウェハーの主要面上に酸化物層5が形成された後における、第1および第2ウェハーを示す。酸化物は、通常、熱成長あるいはデポジションプロセスにより両ウェハーの両面に形成される。各ウェハーの片面にしか酸化物を形成しないときには生じることがあるウェハーが歪むというリスクが、各ウェハーの両主要面上に酸化物を形成することにより軽減される。別の実施形態では、酸化物は、各ウェハーの主要面の一方の上にのみに形成される。図2Aおよび2Bからわかるように、酸化物層5の厚さは、シリコンウェハーの厚さよりも薄い。
なお、酸化物層の代わりに、適合する誘電性物質あるいは絶縁性物質、例えば窒化珪素を使用してもよい。
図3は、第1ウェハーの第1主要面にキャビティ6がパターニングされエッチングされている1実施形態を示す。このステップでは、高濃度にドープされたシリコン層の一部がエッチングで取り除かれ、高濃度にドープされた部分1の薄い領域が生成される。シリコンの湿式あるいは乾式エッチングを使用することができる。最終的にこの薄い領域がマイクのダイアフラムを構成するので、この領域の厚さがシリコンマイクの特性を決定付ける。1実施形態では、キャビティの形成に、反応性イオンエッチング(RIE)が使用される。高濃度にドープされた部分の薄い領域の仕上がり厚さがエッチング時間に依存するので、このエッチングは時間でおこなうエッチングである。
必要とされるシリコンマイクの特性から、キャビティの所望の形状が決定される。
1実施形態では、ドープされた部分1から酸化物層2までウェハーの一部がエッチングされ、第2ウェハー4上に後段のプロセス段階で電極を形成できるようにしてもよい。ダイアフラムのキャビティがエッチングされるときに、このエッチングができる。
図4に示すように、2枚のウェハーは貼り合わされる。貼り合わされる主要面は、第1ウェハーの第1主要面および第2ウェハー4の主要面の1つである。好適実施形態では2枚のウェハーは、フュージョン・ボンディングを使用して貼り合わされる。図4に示すように、第2ウェハー4の酸化物層5と第1ウェハーのパターニングされた酸化物層5とが張り合わされる。
図5は、露出しているウェハーの主要面から酸化物層を除去した後における、2枚のウェハーを示す。酸化物の除去は公知であり、露出した面から酸化物を除去する任意の適合する技術を使用してもよい。
図6は、第1ウェハーからシリコン基板が取り除かれた後における、2枚のウェハーを示す。好適実施形態において、この薄くする処理は、単一の動作の中でおこなわれる。第1ウェハーから基板の層を取り除くには、任意の適合する技術を使用してもよい。
第1ウェハーを薄くした後、第2ウェハーにアコースティック・ホールがパターニングされ、図7に示すようにエッチングされる。アコースティック・ホールをパターニングしてエッチングするために、まず、第2ウェハーの外側の主要面4上に金属層7が形成される。1実施形態では、金属層が第2ウェハーの主要面上にスパッタ蒸着される。次に、金属層は、レジスト層で被覆される。レジスト層はパターニングされる。金属層7およびシリコン4を貫通してアコースティック・ホールをエッチングにより形成するために、エッチングがおこなわれる。アコースティック・ホールと第1ウェハーの高濃度にドープされたシリコン層1に形成されたキャビティとの間でアクセスができるように、このエッチングにより、アコースティック・ホールの底の酸化物層5がエッチングされてもよい。
金属は、クロムおよび金の混合物、適合する任意の金属あるいは金属の組み合わせ、例えばチタンあるいはアルミニウムであってもよい。1実施形態では、金属層7は、コーナーアンカーパッドを含むようにパターニングされてエッチングされる。マイクは、このコーナーアンカーパッドにより、下に置かれるキャリアーに取り付けることができる。
図11は、穴があけられ金属で覆われたシリコン層とコーナーアンカーパッドとを示す。もし第2ウェハーのシリコン層4への接続が別の側からおこなわれていれば、図11に示すように全てのパッドが金属層7から遮断されている。例えば、アンカーパッドの1つが、第2ウェハーのシリコン層4に接続する電極として使用されるとしたら、他のアンカーパッドは、金属層の残りの部分から分離されていてもよい。このアンカーパッドを金属のバルクから分離することにより、アンカーパッドからのノイズの寄与が減少する。この分離は、パターニングされ、金属層の残りの部分とともにエッチングされる。
シリコンウェハーのアコースティック・ホールあるいはアパーチャは、円形であり、その円の中心がシリコンウェハースタックの中心となるが、その長さおよび幅はウェハースタックよりも小さくなるようにして、長方形状のシリコンウェハーに収まるように配置されてもよい。アパーチャの形状と配置とは、適切なアコースティック性能が、マイクから出るように選択される。
図7Aは、平面図11のA-A線に沿って得られる、典型的なシリコンマイクの断面線図を示す。この図は、マイクの別の領域における、シリコンマイクの種々の層を示す。図7Aからわかるように、金属層7はシリコンウェハー4の第2主要面の全部を覆ってはいない。
図7および図7Aからわかるように、第1ウェハーのキャビティは、第2ウェハーのアコースティック・ホールで画定される面積よりも広い。第1ウェハーのダイアフラム1についてキャビティ6をより広くすることで、アコースティック・ホールの位置決めに必要とされる精度が低くなる。
また、図7に示すように、アコースティック・ホールのエッチングの間、シリコンマイクの周縁の周りの狭い領域あるいはギャップがエッチングされてもよい。好適実施形態では、このエッチングは、反応性イオンエッチングのエッチング遅れ(RIE-lag)によりおこなわれる。RIE-lagとは、この場合、レジストマスクで相対的に小さくサイズが設定されている周縁ギャップが相対的に大きくサイズが設定されているアコースティック・ホールに比べてより少なくエッチングされるという現象である。RIE-lagにより、シリコンマイクの周縁部のあたりのギャップでは、シリコン層4全体が完全にエッチングされることはない。このギャップは、図7〜図10Aの断面図に段として示されている。この不完全にエッチングされた周縁部により、応力が加わると、すなわち、ローラによる圧力を受けると、貼り合わされたウェハーが割れる、線状の弱い部分ができる。この不完全なエッチングを構成することにより、研削材あるいは湿式プロセスを使用することなく個別のマイクチップへのウェハーの切り分けができるようになる。したがって、割れやすいダイアフラムにダメージを与える可能性を減少できる。この部分エッチングは、ウェハーの切り分けの際に容易に割れる程度に十分深くなければならないが、切り分けの前は、割れないようにウェハーを容易に取り扱える程度に十分に浅くなければならない。
図8および8Aは、貼り合わされたウェハーを、さらにパターニングおよびエッチングステップをおこなった結果を示す。これらのステップでは、酸化物層2が、高濃度にドープされたシリコン層1の孤立領域を画定するようにパターニングされ、次に、その領域がエッチングされる。次に、酸化物層2は、高濃度にドープされたシリコン層1からエッチングにより取り除かれる。ダイアフラムの孤立領域の周りの酸化物層5がエッチングにより取り除かれ、第2ウェハー4の通常内側にある主要面の一部が露出する。アコースティック・ホール内部の酸化物層5は、エッチングにより取り除かれる。RIEを使用する場合は、貼り合わされたシリコンウェハーの反対側の面は、別のステップでエッチングされる。これらのエッチングステップの後、孤立領域として画定されているので、高濃度にドープされたシリコン層1の残る部分は、第2ウェハーのシリコン4の広い部分の長さよりも短い(シリコンマイクの周縁部で部分的にエッチングされたシリコン層を除く)。
図9は、第1ウェハーの高濃度にドープされたシリコン層および第2ウェハーの露出したシリコンの上に金属層が形成された実施形態を示す。図9に示すように、金属層は、全体にスパッタ蒸着される。次に、金属層がエッチングされて、図10に示すように、少なくとも2つの電極10、11が形成される。少なくとも1電極11が高濃度にドープされたシリコン層上に形成され、少なくとも1電極10が露出した第2ウェハーのシリコン4の内側第1主要面上に形成される。
別の実施形態では、電極10、11は、シャドウマスクを使用して、直接必要とするパターンに金属を堆積させることにより形成される。
図10からわかるように、電極11が第1ウェハーの高濃度にドープされた層1と接続し、電極10が第2ウェハーのシリコン層4と接続している。これにより、マイクの片側のみと接続することにより、マイクを別の装置に接続することができる。あるいは、マイクの別の側に金属層7があるので、第2ウェハーのシリコン4の電極としてこの金属層を使用し、下に置くキャリアーとこの金属層とを、半田付け、導電性ペースト付け、あるいは適合するほかの方法で接続することができる。ウェハーの異なる面に第2ウェハー用の電極を2つ設けることにより、パッケージングの柔軟性が得られる。
シリコンマイクの片側に2つの電極を設けることにより、例えば、マイクがキャリアーあるいは他のシステムに取り付けられる前にシリコンマイクを試験する事が容易になる。シリコンマイクの試験は、マイクの両側を針状プローブで測定する代わりに、マイクの片側を針状プローブで測定することによりおこなうことができる。
別の実施形態では、2枚のウェハーが貼り合わされた後では、シリコン基板3が薄くされない。この実施形態では、キャビティの周りおよび電極が形成されることになる領域の周りで、基板3が選択的に薄くされる。この実施形態が有利な点は、得られるシリコンマイクの機械的強度が向上することである。この実施形態では、基板3のバックプレートのエッチングとシリコンウェハーのアパーチャのエッチングの順番は重要ではない。図12は、基板3の一部がエッチングされて電極用の場所が形成された後における、このシリコンマイクの断面図を示す。このエッチングは、基板3でダイアフラムのバックプレートのエッチングと同時に行ってもよい。電極位置から酸化物を取り除いた後、電極用の金属がシャドウマスクを使用してシリコンマイク上に堆積される。図13は、電極が形成された後における、シリコンマイクの完成図を示す。
別の実施形態では、ウェハーを貼り合わせる前あるいは後のいずれかにおいても、所定の厚さまで基板3が薄くされる。次に、基板3が選択的にパターニングされ、エッチングされるようにしてもよい。
別の実施形態では、ウェハー処理の前に、ウェハーの一方あるいは両方が仕上がりウェハー厚さであってもよい。
図14は、本発明のシリコンマイクの別の実施形態を示す。この実施形態では、シリコンマイクのダイアフラムが過剰にエッチングされ、ダイアフラムに一連のコルゲーションが形成される。過剰にエッチングすることの有利な点は、シリコンマイクの強度を向上させることである。 なお、図14のシリコンマイクは完成したものではなく、電極を図示していない。ダイアフラムにコルゲーションを形成することは、本発明のシリコンマイクの別の実施形態とも組み合わせることができる。例えば、このコルゲーションを図11又は図13のマイクと組み合わせてもよい。
本発明の実施形態を、以下の例についてさらに説明する。
2枚のウェハーがある。第1ウェハーは、厚さ4マイクロメータの多量にドープされたp型(p++)シリコン層と、厚さ2マイクロメータの酸化物層と、n型の基板とからなる。第2ウェハーは、n型シリコンからなる。
厚さ約1マイクロメータの酸化物層が、熱成長により、2枚のウェハーの各主要面上に成長する。第1ウェハーの一部分から酸化物層がエッチングで取り除かれ、その下の高濃度にドープされたp型(p++)シリコン層の部分もエッチングされて、高濃度にドープされたp型(p++)シリコン層の中に約2マイクロメータのキャビティが形成される。このエッチングは、乾式反応性イオンエッチングである。
次に、第1ウェハーのキャビティ側が第2ウェハーの酸化物で被覆され覆われた面にフュージョン・ボンディングされ、各ウェハーの外側の酸化物層が取り除かれる。第1ウェハーのシリコン基板も、例えば、ラッピング、研磨あるいはエッチング等の適合する引き剥がし方法を使用して、取り除かれる。
次に、クロム/金が、第2ウェハーの露出した主要面上にスパッタ蒸着される。これがパターニングされて、アコースティック・ホールのための開口およびウェハーの周縁部に沿ってシリコン層が薄く弱くされた領域が形成される。第2ウェハーのシリコンの質量が、シリコンマイクに剛性を与えるために使用される。
シリコン層にアコースティック・ホールをエッチングするために、反応性イオンエッチングがおこなわれる。レジストが与えるエッチング用の表面領域はアコースティック・ホール用のものよりも小さいので、反応性イオンエッチングの遅れにより、エッチングをおこなうシリコンマイクウェハーの周縁部ではより低速にエッチングがおこなわれ、したがってより浅くエッチングされる。次に、金属層がさらにエッチングされて、3つのコーナーパッドが金属バルクから分離され、金属領域が画定される。
続いて、アコースティック・ホールから酸化物が取り除かれ、第1ウェハーの外側の酸化物層も取り除かれる。このステップの後において、高濃度にドープされたp型(p++)シリコン層および2枚のウェハーの間の酸化物層が、ウェハーの周縁部のあたりでエッチングされて、第2ウェハーのシリコン層の前面、いまや内部の表面が露出する。
金属層が、高濃度にドープされたp型(p++)シリコン層および第2ウェハーのシリコン層の露出した部分にスパッタ蒸着される。金属層は、パターニングされて、2つの電極が形成される。
以上、好適実施形態を含めて本発明を説明してきた。当業者に自明な変形および修正は、本発明の範囲に含まれるものとする。
Claims (25)
- 高濃度にドープされたシリコン層、シリコン層、および2つのシリコン層の間の中間酸化物層を含み、高濃度にドープされたシリコン層の表面上の第1主要面とシリコン層上の第2主要面とを有する第1ウェハーを提供するステップと、
第1主要面および第2主要面を有するシリコンの第2ウェハーを提供するステップと、
少なくとも前記第1ウェハーの前記第1主要面上に酸化物層を形成するステップと、
少なくとも前記第2ウェハーの前記第1主要面上に酸化物層を形成するステップと、
前記第1ウェハーの前記第1主要面上の前記酸化物層を貫通して高濃度にドープされたシリコン層の中までキャビティをエッチングするステップと、
前記第1ウェハーの前記第1主要面を前記第2ウェハーの前記第1主要面に貼り合わせるステップと、
前記第2ウェハーの前記第2主要面上に金属層を形成するステップと、
前記第2ウェハーの前記金属層と前記第2主要面にアコースティック・ホールをパターニングしてエッチングするステップと、
前記第1ウェハーの高濃度にドープされたシリコン層上に少なくとも1の電極を形成し、前記第2ウェハー上に少なくとも1つの電極を形成するステップと、
前記シリコンマイクの製造中に、前記第1ウェハーの前記酸化物層を、少なくともダイアフラムの背面からエッチングするステップと
を含むシリコンマイク製造方法。 - 前記第1ウェハーの第2主要面の1部分を薄くして、前記シリコンマイク用ダイアフラムを構成するステップをさらに有することを特徴とする請求項1に記載のシリコンマイク製造方法。
- 前記第1ウェハーの前記第1主要面を前記第2ウェハーの前記第1主要面に貼り合わせる前に、前記第1ウェハーの第2主要面の一部分をエッチングするステップがおこなわれることを特徴とする請求項2に記載のシリコンマイク製造方法。
- 前記第1ウェハーの前記第1主要面を前記第2ウェハーの前記第1主要面に貼り合わせた後に、前記第1ウェハーの第2主要面の一部分をエッチングするステップがおこなわれることを特徴とする請求項2に記載のシリコンマイク製造方法。
- 前記シリコンマイクの前記ダイアフラムにコルゲーションをエッチングするステップをさらに有することを特徴とする請求項1ないし4のいずれかひとつに記載のシリコンマイク製造方法。
- 両ウェハーの少なくとも1主要面上に酸化物を形成する前記ステップが、両ウェハーの両主要面上に酸化物層を形成するステップを含むことを特徴とする請求項1ないし5のいずれかひとつに記載のシリコンマイク製造方法。
- 前記ウェハーの前記主要面上に形成された前記酸化物層が、前記ウェハーの前記主要面上に成長することを特徴とする請求項1ないし6のいずれかひとつに記載のシリコンマイク製造方法。
- 前記酸化物層を形成するために適合する他の方法を使用することを特徴とする請求項1ないし6のいずれかひとつに記載のシリコンマイク製造方法。
- 前記第1ウェハーが薄くされる前に、前記第2ウェハーの第2主要面上に形成された前記酸化物層が取り除かれることを特徴とする請求項2ないし8のいずれかひとつに記載のシリコンマイク製造方法。
- 前記第1ウェハーが薄くされる前に、前記第1ウェハーの第2主要面上に形成された前記酸化物層が取り除かれることを特徴とする請求項2ないし8のいずれかひとつに記載のシリコンマイク製造方法。
- 前記第2ウェハーの第2主要面上に金属層を形成するステップが、前記第2ウェハーの第2主要面上に金属をスパッタリングすることによりおこなわれることを特徴とする請求項1ないし10のいずれかひとつに記載のシリコンマイク製造方法。
- 前記第2ウェハーの周縁部のあたりをその第2主要面からエッチングして第2主要面を第1主要面に近づけるステップをさらに含むことを特徴とする請求項1ないし11のいずれかひとつに記載のシリコンマイク製造方法。
- 前記第2ウェハーの周縁部をエッチングする前記ステップが、前記アコースティック・ホールがエッチングされるときにおこなわれることを特徴とする請求項12に記載のシリコンマイク製造方法。
- 前記第1ウェハーが第2主要面から薄くされるときに、前記第1ウェハーが中間酸化物層に到るまで薄くされることを特徴とする請求項1ないし13のいずれかひとつに記載のシリコンマイク製造方法。
- 前記第1ウェハーの高濃度にドープされたシリコン層上および前記第2ウェハー上に電極を形成する前記ステップが、前記第1ウェハーの高濃度にドープされたシリコン層の露出した全面および前記第2ウェハーの前記第1主要面の露出した面に金属層を形成することによりおこなわれることを特徴とする請求項1ないし14のいずれかひとつに記載のシリコンマイク製造方法。
- 前記金属電極層がエッチングされて電極が形成されることを特徴とする請求項15に記載のシリコンマイク製造方法。
- 前記第1ウェハーの高濃度にドープされたシリコン層上および前記第2ウェハー上に電極を形成する前記ステップが、電極のパターニングにシャドウマスクを使用して金属をスパッタリングすることによりおこなわれることを特徴とする請求項1ないし14のいずれかひとつに記載のシリコンマイク製造方法。
- 前記第2ウェハーの第2主要面上に形成された前記金属層が、クロムおよび金の合金あるいは混合物であることを特徴とする請求項1ないし17のいずれかひとつに記載のシリコンマイク製造方法。
- 電極に適合する導電性金属を使用することを特徴とする請求項1ないし18のいずれか一つに記載のシリコンマイク製造方法。
- 前記アコースティック・ホールがパターニングされエッチングされて前記第2ウェハーの第2主要面上に前記金属層が形成されるときに、前記第2ウェハーの第2主要面上に形成された前記金属層のウェハーの端部にアンカーがパターニングされて形成されることを特徴とする請求項1ないし19のいずれかひとつに記載のシリコンマイク製造方法。
- 前記アンカーの一つが電極として使用することができることを特徴とする請求項20に記載のシリコンマイク製造方法。
- 他のアンカーに前記第2ウェハーの一部分と金像層に覆われた部分の両方が含まれることを特徴とする請求項21に記載のシリコンマイク製造方法。
- 前記金属に覆われた部分が、前記アコースティック・ホールを囲む金属層から分離されていることを特徴とする請求項22に記載のシリコンマイク製造方法。
- 前記アコースティック・ホールが前記金属層にパターニングされエッチングされるときに、前記分離がパターニングおよびエッチングによりおこなわれることを特徴とする請求項23に記載のシリコンマイク製造方法。
- 請求項1ないし24のいずれかひとつに記載の方法を使用して形成されたシリコンマイク。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012042460A (ja) * | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Freescale Semiconductor Inc | Mems圧力センサ装置及びその作製方法 |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG121923A1 (en) * | 2004-10-18 | 2006-05-26 | Sensfab Pte Ltd | Silicon microphone |
KR100599124B1 (ko) * | 2005-02-14 | 2006-07-12 | 삼성전자주식회사 | 부유 구조체 제조방법 |
SG127754A1 (en) * | 2005-05-16 | 2006-12-29 | Sensfab Pte Ltd | Silicon microphone |
JP2010506532A (ja) * | 2006-10-11 | 2010-02-25 | メムス テクノロジー ビーエイチディー | 極低圧力センサーおよびその製造方法 |
US8165323B2 (en) | 2006-11-28 | 2012-04-24 | Zhou Tiansheng | Monolithic capacitive transducer |
US20090001499A1 (en) * | 2007-06-27 | 2009-01-01 | Honeywell International Inc. | Thick active layer for mems device using wafer dissolve process |
US20100314701A1 (en) * | 2007-10-30 | 2010-12-16 | Yamatake Corporation | Pressure sensor and manufacturing method thereof |
WO2010139050A1 (en) | 2009-06-01 | 2010-12-09 | Tiansheng Zhou | Mems micromirror and micromirror array |
US8617960B2 (en) * | 2009-12-31 | 2013-12-31 | Texas Instruments Incorporated | Silicon microphone transducer |
US8304846B2 (en) * | 2009-12-31 | 2012-11-06 | Texas Instruments Incorporated | Silicon microphone with integrated back side cavity |
US9036231B2 (en) | 2010-10-20 | 2015-05-19 | Tiansheng ZHOU | Micro-electro-mechanical systems micromirrors and micromirror arrays |
US10551613B2 (en) | 2010-10-20 | 2020-02-04 | Tiansheng ZHOU | Micro-electro-mechanical systems micromirrors and micromirror arrays |
CN102740203A (zh) * | 2011-04-06 | 2012-10-17 | 美律实业股份有限公司 | 结合式微机电麦克风及其制造方法 |
US8455288B2 (en) * | 2011-09-14 | 2013-06-04 | Analog Devices, Inc. | Method for etching material longitudinally spaced from etch mask |
CN102611975B (zh) * | 2012-01-20 | 2014-04-23 | 缪建民 | 一种采用共晶键合与soi硅片的mems硅麦克风及其制备方法 |
US9385634B2 (en) | 2012-01-26 | 2016-07-05 | Tiansheng ZHOU | Rotational type of MEMS electrostatic actuator |
US9181086B1 (en) | 2012-10-01 | 2015-11-10 | The Research Foundation For The State University Of New York | Hinged MEMS diaphragm and method of manufacture therof |
US9439017B2 (en) * | 2014-02-10 | 2016-09-06 | Infineon Technologies Ag | Method for manufacturing a plurality of microphone structures, microphone and mobile device |
CN110603205B (zh) | 2017-05-02 | 2022-08-09 | 美敦力瓦斯科尔勒公司 | 用于干组织假体心脏瓣膜的包装 |
CN110621591B (zh) | 2017-05-02 | 2022-01-14 | 美敦力瓦斯科尔勒公司 | 对湿式存储假体心脏瓣膜进行消毒的组件和方法 |
WO2021134688A1 (zh) * | 2019-12-31 | 2021-07-08 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | 一种制作mems驱动器的方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02202800A (ja) * | 1989-02-01 | 1990-08-10 | Audio Technica Corp | 電気音響変換器の振動板 |
JPH09210769A (ja) * | 1995-11-13 | 1997-08-15 | Rockwell Internatl Corp | 浮遊式微細構造を製造するための方法および浮遊式微細構造処理アセンブリ |
JPH11108783A (ja) * | 1997-10-06 | 1999-04-23 | Omron Corp | 静電容量型圧力センサ及びその固定構造 |
JP2000065665A (ja) * | 1998-08-11 | 2000-03-03 | Siemens Ag | マイクロマシンセンサおよび該センサの製造方法 |
JP2000508860A (ja) * | 1996-04-18 | 2000-07-11 | カリフォルニア インスティチュート オブ テクノロジー | 薄膜エレクトレットマイクロフォン |
JP2003078981A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-14 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | マイクロホン実装回路基板および該基板を搭載する音声処理装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US106828A (en) * | 1870-08-30 | Improved fluting- and sad-iron | ||
US4975390A (en) * | 1986-12-18 | 1990-12-04 | Nippondenso Co. Ltd. | Method of fabricating a semiconductor pressure sensor |
FR2697675B1 (fr) * | 1992-11-05 | 1995-01-06 | Suisse Electronique Microtech | Procédé de fabrication de transducteurs capacitifs intégrés. |
US5573679A (en) * | 1995-06-19 | 1996-11-12 | Alberta Microelectronic Centre | Fabrication of a surface micromachined capacitive microphone using a dry-etch process |
US6847090B2 (en) * | 2001-01-24 | 2005-01-25 | Knowles Electronics, Llc | Silicon capacitive microphone |
US7298856B2 (en) * | 2001-09-05 | 2007-11-20 | Nippon Hoso Kyokai | Chip microphone and method of making same |
US20050187204A1 (en) * | 2002-08-08 | 2005-08-25 | Sankyo Company, Limited | Medicinal composition for lowering blood lipid level |
US6958255B2 (en) * | 2002-08-08 | 2005-10-25 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Micromachined ultrasonic transducers and method of fabrication |
-
2004
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02202800A (ja) * | 1989-02-01 | 1990-08-10 | Audio Technica Corp | 電気音響変換器の振動板 |
JPH09210769A (ja) * | 1995-11-13 | 1997-08-15 | Rockwell Internatl Corp | 浮遊式微細構造を製造するための方法および浮遊式微細構造処理アセンブリ |
JP2000508860A (ja) * | 1996-04-18 | 2000-07-11 | カリフォルニア インスティチュート オブ テクノロジー | 薄膜エレクトレットマイクロフォン |
JPH11108783A (ja) * | 1997-10-06 | 1999-04-23 | Omron Corp | 静電容量型圧力センサ及びその固定構造 |
JP2000065665A (ja) * | 1998-08-11 | 2000-03-03 | Siemens Ag | マイクロマシンセンサおよび該センサの製造方法 |
JP2003078981A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-14 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | マイクロホン実装回路基板および該基板を搭載する音声処理装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012042460A (ja) * | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Freescale Semiconductor Inc | Mems圧力センサ装置及びその作製方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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