JP2007333529A - 絶縁抵抗測定装置、漏洩電流測定装置、絶縁抵抗測定方法および漏洩電流測定方法 - Google Patents

絶縁抵抗測定装置、漏洩電流測定装置、絶縁抵抗測定方法および漏洩電流測定方法 Download PDF

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Masamichi Tsuchiya
屋 正 道 土
Takamasa Nagasawa
沢 隆 正 長
Akira Takeoka
岡 明 武
Takahiko Iwasaki
崎 尊 彦 岩
Yukinao Shibata
田 幸 直 柴
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Abstract

【課題】絶縁抵抗または漏洩電流を短時間で精度よく測定可能とする。
【解決手段】絶縁抵抗測定装置は、定電圧電源1と、定電流回路2と、オンオフ回路3と、漏洩電流増幅器4と、A/Dコンバータ5と、データ処理部6と、定電流吸収回路7と、定電流ブリーダ回路8と、ショート回路9とを備える。1kΩ未満の内部抵抗を有する定電圧電源1と定電流回路2を用いて、被測定コンデンサC1に短時間だけ定電圧かつ定電流を印加するため、JIS規格による測定方法で1分の所要時間を要するコンデンサの絶縁抵抗測定と、JIS規格による測定方法で5分の所要時間を要するコンデンサの漏洩電流測定を、いずれも1秒以内という短時間で測定でき、検査工程のスループット向上が図れる。
【選択図】図1

Description

本発明は、被測定コンデンサの絶縁抵抗を測定する絶縁抵抗測定装置および絶縁抵抗測定方法と、被測定コンデンサの漏洩電流を測定する漏洩電流測定装置および漏洩電流測定方法とに関する。
被測定コンデンサの絶縁抵抗や漏洩電流の良不良を判定するために、被測定コンデンサに直列に保護抵抗を接続した状態で規定の直流測定電圧を所定時間だけ印加した後に、被測定コンデンサの漏洩電流を測定し、その測定結果に基づいて被測定コンデンサの絶縁抵抗や漏洩電流を測定する手法が知られている(特許文献1参照)。
従来、被測定コンデンサの絶縁抵抗や漏洩電流を測定する場合、JIS C 5101-1の4.5項に規定された絶縁抵抗の測定方法や4.9項に規定された漏洩電流の測定方法を採用するのが一般的である。
絶縁抵抗を測定する場合は、被測定コンデンサに規定の測定電圧を印加して60秒±5秒後の絶縁抵抗値を測定する。漏洩電流を測定する場合は、被測定コンデンサに規定の直流電圧を印加して、ほぼその電圧に到達してから最大5分後に漏洩電流を測定する。
特許第2578440号公報
現在、コンデンサなどの電子部品は、電子機器に大量に使用されることからコスト削減に対する要求が高く、コンデンサ1個の絶縁抵抗を約60秒もの時間をかけて測定したり、コンデンサ1個の漏洩電流を最大5分もの時間をかけて測定する従来の手法では、上述した要求を満たすことはできない。
本発明は、上述した問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、絶縁抵抗または漏洩電流を短時間で精度よく測定可能な絶縁抵抗測定装置、漏洩電流測定装置、絶縁抵抗測定方法および漏洩電流測定方法を提供することにある。
本発明の一態様によれば、1kΩ未満の内部抵抗を有し定電圧を出力する定電圧電源と、前記定電圧電源に直列接続され、1kΩ未満の内部抵抗を有し定電流を出力する定電流回路と、直列接続される被測定コンデンサと前記被測定コンデンサの絶縁抵抗を測定する絶縁抵抗測定回路とを有する被測定回路と、前記被測定コンデンサに前記定電圧電源からの定電圧と前記定電流回路からの定電流とを1秒未満の所定時間継続して供給するか否かを切り替えるオンオフ回路と、前記被測定コンデンサから定電流を流して、前記被測定コンデンサの両電極間の電位差を所定値に設定する定電流吸収回路と、前記被測定コンデンサから定電流を流して、前記被測定コンデンサ周辺の回路のインピーダンスを下げる定電流ブリーダ回路と、前記絶縁抵抗測定回路に並列接続され、前記被測定回路内の前記絶縁抵抗測定回路の両端ノード間を短絡させるか否かを切り替えるショート回路と、を備え、前記定電流吸収回路および前記定電流ブリーダ回路は、直列接続された前記定電圧電源および前記定電流回路に並列接続されることを特徴とする絶縁抵抗測定装置が提供される。
また、本発明の一態様によれば、1kΩ未満の内部抵抗を有し定電圧を出力する定電圧電源と、前記定電圧電源に直列接続され、1kΩ未満の内部抵抗を有し定電流を出力する定電流回路と、直列接続される被測定コンデンサと前記被測定コンデンサに流れる漏洩電流を測定する漏洩電流測定回路とを有する被測定回路と、前記被測定コンデンサに前記定電圧電源からの定電圧と前記定電流回路からの定電流とを1秒未満の所定時間継続して供給するか否かを切り替えるオンオフ回路と、前記被測定コンデンサから定電流を流して、前記被測定コンデンサの両電極間の電位差を所定値に設定する定電流吸収回路と、前記被測定コンデンサから定電流を流して、前記被測定コンデンサ周辺の回路のインピーダンスを下げる定電流ブリーダ回路と、前記漏洩電流測定回路に並列接続され、前記被測定回路内の前記漏洩電流測定回路の両端ノード間を短絡させるか否かを切り替えるショート回路と、を備え、前記定電流吸収回路および前記定電流ブリーダ回路は、直列接続された前記定電圧電源および前記定電流回路に並列接続されることを特徴とする漏洩電流測定装置が提供される。
本発明によれば、1kΩ未満の内部抵抗を有する定電圧電源と定電流回路を用いて、被測定コンデンサに短時間だけ定電圧かつ定電流を印加するため、絶縁抵抗または漏洩電流を短時間で精度よく測定できる。また、測定済みのコンデンサに残留している電荷により、コンデンサの両端電圧が所定値よりも大きい場合には、定電流吸収回路と定電流ブリーダ回路でコンデンサから定電流を流すため、コンデンサの両端電圧を常に所定電圧に維持できる。このため、安定した再現性のある測定が可能になり、トレーサビリティに優れた絶縁抵抗測定と漏洩電流測定を実現できる。特に、定電流ブリーダ回路を設けることで、被測定コンデンサを含めて測定系のインピーダンスを低減でき、測定時に外乱による影響を受けにくくなって、測定精度が向上する。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。
(第1の実施形態)
図1は本発明の第1の実施形態による絶縁抵抗測定装置および漏洩電流測定装置の概略構成を示すブロック図である。図1の装置は、絶縁抵抗と漏洩電流のどちらの測定にも用いることができる。その理由は、絶縁抵抗=印加電圧/漏洩電流の関係が成り立ち、絶縁抵抗と漏洩電流の一方が測定できれば、他方は容易に検出できるためである。
図1の装置は、定電圧電源1と、定電流回路2と、オンオフ回路3と、漏洩電流増幅器4と、A/Dコンバータ5と、データ処理部6と、定電流吸収回路7と、定電流ブリーダ回路8と、ショート回路9とを備えている。オンオフ回路3、被測定コンデンサC1および漏洩電流増幅器4は端子a,b間に直列接続されている。定電圧電源1と定電流回路2も端子a,b間に直列接続されている。定電流吸収回路7と定電流ブリーダ回路8は、端子a,b間に並列接続されている。ショート回路9は、漏洩電流増幅器4に並列接続されている。以下では、被測定コンデンサC1および漏洩電流増幅器4を被測定回路と呼ぶ。
定電圧電源1は、1kΩ未満の内部抵抗を持っており、定電圧を出力する。定電流回路2は、1kΩ未満の内部抵抗を持っており、定電流を出力する。オンオフ回路3は、被測定コンデンサC1に定電圧および定電流を印加するか否かを切り替える。
図1は、オンオフ回路3を端子aと被測定コンデンサC1の間に接続する例を示しているが、図2に示すように、オンオフ回路3を定電流吸収回路7や定電流ブリーダ回路8よりも前段側に接続してもよい。図2の場合、オンオフ回路3により、被測定コンデンサC1だけでなく、定電流吸収回路7と定電流ブリーダ回路8に定電圧および定電流を印加するか否かも切替制御できる。
定電流吸収回路7は、被測定コンデンサC1から定電流を流して、被測定コンデンサC1の両電極間を所定の電位差に設定する。定電流ブリーダ回路8は、被測定コンデンサC1から定電流を流して被測定回路のインピーダンスを下げる。
図3は図1の装置の動作タイミング図である。図3(a)は被測定コンデンサC1への定電圧および定電流の印加タイミングを示し、図3(b)は被測定コンデンサC1の絶縁抵抗(または漏洩電流)の測定タイミングを示し、図3(c)は定電流吸収回路7と定電流ブリーダ回路8のオンオフタイミングを示し、図3(d)はショート回路9のオンオフタイミングを示している。
図3からわかるように、時刻t1〜t2では、定電圧電源1と定電流回路2からの定電圧と定電流が被測定コンデンサC1に印加される。この期間内は、定電流吸収回路7、定電流ブリーダ回路8およびショート回路9はいずれもオンする。ショート回路9がオンしていることから、後述するように被測定コンデンサC1を短時間で充電することができる。
時刻t2〜t3は測定期間であり、ショート回路9はオフし、漏洩電流増幅器4は被測定コンデンサC1の絶縁抵抗(または漏洩電流)を測定する。時刻t3以降はすべての回路がオフになる。
図4は定電流ブリーダ回路8の内部構成の一例を示す回路図である。図示のように、定電流ブリーダ回路8は、被測定回路の入力端子a,b間に直列接続されるFET11および抵抗R1と、FET11のゲートと制御入力端子CONTとの間に直列接続される抵抗R2,R3と、抵抗R2,R3の接続ノードと端子bとの間に接続される抵抗R4と、FET11のゲートと端子bとの間に接続されるトランジスタ12とを有し、トランジスタ12のベースはFET11のソースと抵抗R1との接続ノードに接続されている。
図4の定電流ブリーダ回路8では、制御入力端子CONTがハイのときにFET11がオンする。これにより、端子aは定電圧になり、抵抗R1に流れる電流をトランジスタ12で増幅してFET11のゲート電圧を制御し、抵抗R1に定電流が流れるような制御を行う。
図4の定電流ブリーダ回路8は、被測定コンデンサC1の測定時に、被測定回路のインピーダンスを低インピーダンスに維持する作用を行う。これにより、測定時に外乱による影響を受けにくくなる。
例えば、定電流ブリーダ回路8を流れる定電流を10mAとし、定電流ブリーダ回路8に印加される定電圧を10Vと50Vにした場合の定電流ブリーダ回路8の等価インピーダンスはそれぞれ1kΩと5kΩになる。このように、定電圧出力時に端子a,b間が開放状態のときのインピーダンスと比較して、はるかに低インピーダンスになる。
図5は定電流ブリーダ回路8の動作タイミング図であり、図5(a)は被測定コンデンサC1への定電圧および定電流の印加タイミングを示し、図5(b)は定電流ブリーダ回路8のオンオフタイミングを示している。図示のように、定電流ブリーダ回路8は、被測定コンデンサC1に定電圧および定電流を印加する期間だけ定電流を流す動作を行う。これにより、測定時における被測定回路の低インピーダンス化が図れる。
図1の漏洩電流増幅器4は、被測定コンデンサC1に定電圧かつ定電流を印加するタイミングに同期して、1kΩ以下の等価抵抗を流れる電流を測定し、その測定結果に基づいて被測定コンデンサC1の絶縁抵抗を測定する。
図1の漏洩電流増幅器4の後段には、A/Dコンバータ5とデータ処理部6が縦続接続されている。A/Dコンバータ5は、漏洩電流をデジタルデータに変換し、そのデジタルデータに対してデータ処理部6でリアルタイムに計算処理を施し、デジタルデータの漏洩電流値または絶縁抵抗値を予め規定された良品および不良品と比較して、良不良判定結果と、漏洩電流値または絶縁抵抗値のデジタルデータとを出力する。
図6はショート回路9の内部構成の一例を示す回路図である。図示のように、ショート回路9は、漏洩電流増幅器4に並列接続されるFET13と、FET13のゲートと制御入力端子CONTとの間に接続される抵抗R5と、FET13のゲートと端子dとの間に接続される抵抗R6とを有する。
図6の回路において、制御入力端子CONTがハイになると、FET13がオンし、端子c,d間は短絡状態になる。端子c,d間には漏洩電流増幅器4が接続されており、端子c,d間が短絡状態になると、被測定コンデンサC1を含む被測定回路のインピーダンスが極めて小さくなる。
本実施形態では、被測定コンデンサC1に充電を行う期間内は、ショート回路13を動作させて端子c,d間を短絡状態にする。これにより、充電時には、漏洩電流増幅器4の内部抵抗に影響されずに短時間で被測定コンデンサC1への充電を行うことができる。
図7はショート回路9の動作タイミング図であり、図7(a)は被測定コンデンサC1への定電圧および定電流の印加タイミングを示し、図7(b)は被測定コンデンサC1のオンオフタイミングを示している。図示のように、時刻t1〜t2は被測定コンデンサC1の充電期間であり、この期間内はショート回路9がオンする。時刻t2〜t3は被測定コンデンサC1の絶縁抵抗(または漏洩電流)の測定期間であり、この期間内はショート回路9はオフになる。
一例として、定電圧電源1と定電流回路2の内部抵抗をともに1Ω未満とし、測定時の定電流(充放電電流)を1Aとし、測定時における被測定回路のインピーダンスを100Ωとした場合、ショート回路9をオンにする充放電時のインピーダンスは1Ω程度となり、従来は充電時に100V以上の定電圧時に必要な1Aの定電流を流すことが可能であったのに対し、最低1Vの定電圧時に1Aの定電流で被測定コンデンサC1を充電可能となる。
次に、図1を参照して、本実施形態による絶縁抵抗と漏洩電流の測定原理を説明する。本発明者は、特定の測定条件下で、絶縁抵抗と漏洩電流を1秒未満で測定できることを見出した。この場合の測定値は、絶縁抵抗測定時には約60秒値と略同等の精度を持っており、漏洩電流測定時には最大5分値と略同等の精度を持っていることがわかった。
本実施形態の定電圧電源1と定電流回路2は、ともに内部抵抗が1kΩ未満である。以下では、定電圧電源1と定電流回路2の内部抵抗を1Ω未満とし、測定時の定電流(充放電電流)を1Aとし、測定時における測定回路の入力インピーダンスを100Ω以下とした例について説明する。
ここで、定電流を1Aとしたのは、実際に使用される電子回路、特にマイクロプロセッサ用電源回路では、A(アンペア)単位の充放電電流が流れることから、それに合わせたためである。参考として、セラミックコンデンサの場合、JIS C5101-1 4.5項とJIS C5101-9 4.3.3.1項の絶縁抵抗測定条件では、充電電流は0.05A以下に規定されている。タンタルコンデンサの場合、JIS C5101-1 4.9項とJIS C5101-3 4.5.1.1項の漏洩電流測定条件では、充電電流は最大10mAである。したがって、JISに規定される充電電流は、実際に使用される電子回路、特にマイクロプロセッサ用電源回路に流れる充放電電流とは、関連しないことになる。
図8は図1の装置を用いて測定したコンデンサの定電流充電特性を示す図である。理想的な測定装置を用いて理想的なコンデンサの充放電を行う場合、理論的には、充放電は瞬時に完了する。その理由は、内部抵抗が0Ωの電源から、抵抗値が0Ωの導線を通じてコンデンサへの充電が行われ、かつ同コンデンサの両電極間を抵抗値が0Ωの導線で短絡して放電が行われるためである。ところが、実際には、コンデンサの寄生抵抗やインダクタンス、導線の抵抗やインダクタンス、電源の内部抵抗、充電抵抗などによって充電電流と充放電時間が決定される。
本実施形態では、測定時に被測定コンデンサC1を充電する際に、被測定回路に短時間だけ定電圧かつ定電流を印加する点に特徴がある。
被測定回路に電圧を印加すると、被測定コンデンサC1に電界が発生し、誘電分極が開始する。ただし、誘電分極が安定するまでの時間は誘電体材料によって異なり、いわゆる誘電吸収特性を持っている。したがって、理想的なコンデンサと異なり、コンデンサの充放電時には誘電体材料に特有の誘電吸収による時間がかかる。誘電吸収領域が終了すると、その後は、誘電体の固有抵抗や表面抵抗等による定常的な漏れ電流領域に移行する。
本実施形態では、定電圧かつ定電流で被測定コンデンサC1を充電するため、図8に示すように、充電電流領域の期間(図8のt1〜t2)と誘電吸収電流領域(図8ののt2以降)の期間を短縮でき、短時間で漏れ電流領域に移行させることができる。
図9および図10は従来の測定方法に基づくコンデンサの漏洩電流特性を示す図であり、図9は100μFの積層セラミックコンデンサの特性を示し、図10は47μFの固体タンタルチップコンデンサの特性を示している。図9と図10の測定にあたっては、被測定コンデンサC1に直列に抵抗Rを挿入している。充電初期では被測定コンデンサC1の内部抵抗は略0Ωであり、初期充電電流Iは、I=印加電圧E/Rであるため、E=10V、R=2kΩとすると、5mAとなる。被測定コンデンサC1への充電が時間とともに進行すると、徐々に同コンデンサの内部抵抗値が上昇し、充電電流が次第に減少していく。抵抗とコンデンサで構成される時定数の時間だけ経過すると、充電領域から誘電吸収領域へと移行し、誘電吸収電流が急激に減少する。
一例として、図9に示す100μFの積層セラミックコンデンサの場合、時定数T=CRであるため、100μF×2kΩ=0.2秒となり、充電時定数のみで0.2秒を要する。また、この場合の初期充電電流は5mAとなり、約0.2秒経過後は、誘電吸収電流領域に移行して急激に電流値が減少するが、直列に絶縁抵抗測定器や漏洩電流測定器の内部抵抗が接続されるため、実際には充電時定数が桁違いに大きくなり、被測定コンデンサC1に短時間で充電するのは不可能である。
一般的な絶縁抵抗測定器や漏洩電流測定器の内部抵抗は100kΩ〜MΩ台であり、内部抵抗が100kΩの場合の時定数は、100μF×100kΩ=10sとなる。初期充電電流は100μAであり、10秒以降は誘電吸収電流領域となって急激に電流値が減少し、JIS規格に基づく1分後の測定方法で測定判定可能となるが、1秒以下の短時間測定は不可能である。
これに対して、本実施形態では、図1に示すように定電圧電源1と定電流回路2を用いて、定電圧かつ定電流を被測定回路に印加して測定を行う。本実施形態による定電圧電源1と定電流回路2の内部抵抗は非常に低くて1kΩ未満である。このため、充電初期には、被測定コンデンサC1に定電流モードで充電電流が流入する。定電流が1A設定の場合、1Aの電流が流れ、Q=CV(電荷量=容量×電圧)の関係を満たしつつ、短時間で充電領域から誘電吸収領域に移行する。誘電吸収領域では、誘電吸収電流が急激に減少する。
図11および図12は本実施形態に基づくコンデンサの漏洩電流特性を示す図であり、図11は100μFの積層セラミックコンデンサの特性を示し、図12は47μFの固体タンタルチップコンデンサの特性を示している。
図11に示す100μFの積層セラミックコンデンサの場合、初期充電電流は1Aとなり、約1msで急速に充電が完了し、引き続いて誘電吸収電流領域に移行し、急激に電流値が減少する。
図11の実線曲線cb1は良品コンデンサの特性を示し、点線曲線cb2は不良品コンデンサの特性を示している。図示のように、良品コンデンサと不良品コンデンサでは、誘電吸収領域から漏れ電流領域に移行する際に流れる電流値が大きく異なるが、本実施形態では、この電流値の差異を1秒以内に検出可能である。
積層セラミックコンデンサの測定結果を示す図11を従来の測定結果を示す図9と比較すれば明らかなように、本実施形態の測定方法によれば、従来と比べて積層セラミックコンデンサの測定時間を桁違いに短縮できる。
他の例として、図12に示す47μFの固体タンタルチップコンデンサの場合、初期充電電流は同様に1Aであり、約500μSで急速に充電が完了し、その後誘電吸収電流領域へと移行して急激に電流値が減少する。図12には、実線曲線cb3で示す良品コンデンサと点線曲線cb4で示す不良品コンデンサが図示されており、やはり1秒未満で良・不良の判定を行うことができる。
固体タンタルチップコンデンサの測定結果を示す図12を従来の測定結果を示す図10と比較すれば明らかなように、本実施形態の測定方法によれば、従来と比べてタンタルチップコンデンサの測定時間を桁違いに短縮できる。
図13は積層セラミックコンデンサの絶縁抵抗値と漏洩電流値について予め定めた仕様値と測定値とを比較した図であり、図14はタンタルコンデンサの漏洩電流値について予め定めた仕様値と測定値とを比較した図である。測定値は、測定を開始してから0.5秒後の値を示している。
図13と図14のいずれの場合も、測定を開始してから0.5秒以内に仕様値を満足できる測定結果が得られることがわかる。
次に、高冗長測定が必要で、かつ誘電吸収に時間がかかる場合の測定例として、誘電材料が互いに相違する100μFの積層セラミックコンデンサの測定を行う例を説明する。この場合、被測定回路に定電圧かつ定電流を1秒未満の時間間隔で断続的に印加し、それに同期して複数回絶縁抵抗(または漏洩電流)を測定する。これにより、時間的に断続して、シーケンシャルに多連な複数の測定値を得ることができ、測定規格値を満足できる時間および測定値で、コンデンサの良・不良を判定できる。特に、各回の測定ごとに、以前の測定結果と比較できるため、一回ごとに比較しながら測定を行うことができる。
図15は高冗長測定を行った結果を示す図である。図15は、定電圧かつ定電流を断続的に複数回、積層セラミックコンデンサに供給して、複数回絶縁抵抗を測定した結果を示している。図15の一点鎖線cb5は、誘電吸収に時間がかかり、漏れ電流領域に達するまでに1秒以上の時間を要する例を示しており、この場合、複数回断続的に定電圧かつ定電流を印加して測定を行う必要がある。図15の実線cb6は良品コンデンサの特性を示し、点線cb7は不良品コンデンサの特性を示している。
図15のような高冗長測定を行う場合、断続測定に同期して、定電流ブリーダ回路8に定電流を流して、誘電体に特有の誘電吸収によるコンデンサの残留端子電圧のバラツキが起きないようにする。これにより、被測定コンデンサC1の両端電圧を、定電圧電源1からの定電圧に一致させることが必要になる。
高冗長測定を行う場合、各測定ごとに定電圧の電圧レベルを変えて行ってもよい。
図1の装置にて絶縁抵抗(または漏洩電流)の測定を行った後のコンデンサを基板に実装する際、コンデンサ内の残留電荷によって他の部品に損傷を与えないようにする必要があり、測定後に短時間で放電させなければならない。図16は放電測定回路の概略構成を示すブロック図である。図16の放電測定回路は、被測定コンデンサC1に直列接続される定電流回路2および漏洩電流増幅器4と、漏洩電流増幅器4の後段に縦続接続されるA/Dコンバータ5およびデータ処理部6と、漏洩電流増幅器4に並列接続されるショート回路9とを有する。
図17は図16の放電測定回路を用いて測定した放電特性を示す図であり、100μFの積層セラミックコンデンサの放電特性を示している。図示のように、初期放電電流は1Aであり、約1msで急速に放電が完了し、その後誘電吸収放電領域に移行して急激に電流値が減少し、充電された電荷を放電する。図17からわかるように、図16の放電測定回路では、1秒未満で実用上十分な放電を実施でき、測定後のコンデンサを部品として基板に実装する際に、同コンデンサの残留電荷が他の部品に損傷を与えないような電荷量になったか否かを簡易に判定できる。
本実施形態による絶縁抵抗測定装置と漏洩電流測定装置は、多数のコンデンサを連続して測定分類する測定分類機に組み込むことができる。
図18は本実施形態を適用したセラミックコンデンサ用測定分類機の概略構成を示すブロック図である。図18の測定分類機は、測定分類前のコンデンサを投入するホッパ21と、コンデンサを適量ずつ搬送するボールフィーダ22と、コンデンサの向きを揃えるリニアフィーダ23と、後述するインデックステーブルの部品収納部に一つずつコンデンサを供給する分離供給部24と、静電容量誘電正接測定部25と、低電圧絶縁抵抗印加測定部26と、耐電圧印加測定部27と、絶縁抵抗印加測定部28と、放電測定部29と、静電容量誘電正接測定部30と、不良排出部31と、良品分類部32とを有する。静電容量誘電正接測定部25,30はそれぞれ第1容量計33と第2容量計34を用いて、静電容量と誘電正接(損失係数)を測定する。
低電圧絶縁抵抗印加測定部26、耐電圧印加測定部27、絶縁抵抗印加測定部28および放電測定部29は、第1絶縁抵抗計35と絶縁抵抗計用電源36を共有する。
第1絶縁抵抗計35は図1の漏洩電流増幅器4に対応し、絶縁抵抗計用電源36は図1の定電圧電源1と定電流回路2に対応する。第1絶縁抵抗計35、絶縁抵抗計用電源36および絶縁抵抗印加測定部28を組み合わせて図1の絶縁抵抗測定装置が構成される。
同様に、第1絶縁抵抗計35、絶縁抵抗計用電源36および放電測定部29を組み合わせて図16の放電測定回路が構成される。
図19はインデックステーブル41の平面図である。図19のインデックステーブル41は、周縁に沿って一定間隔で形成された複数の部品収納部42を有し、各部品収納部42には一つずつコンデンサが収納される。複数の部品収納部42は、測定部43と分類部(または分類テーピング部)44の2つに分けられる。測定部内の各部品収納部42に収納されたコンデンサは、図18の静電容量誘電正接測定部25、低電圧絶縁抵抗印加測定部26、耐電圧印加測定部27、絶縁抵抗印加測定部28、放電測定部29および静電容量誘電正接測定部30のいずれかにて、各測定部に応じた測定が行われる。
また、分類部44内の各部品収納部42に収納されたコンデンサは、第1容量計33と第2容量計34で測定した静電容量の測定値に応じて、例えば5つのランクに分類される。また、インデックステーブル41内の部品収納部42の縁に引っ掛かるなどして測定できなかったコンデンサは、機械的排出器により強制的に外部に排出される。
図18の測定分類機は、2つの静電容量誘電正接測定部25,30を有する。その理由は、耐電圧印加測定後に、静電容量と誘電正接の変化量が基準変化量から大きく外れた被測定コンデンサC1を不良品として排出するためである。
低電圧絶縁抵抗印加測定部26では、例えば1.5Vの定電圧と50mA〜1Aの定電流を被測定コンデンサC1に印加して絶縁抵抗の測定を行う。
耐電圧印加測定部27では、定格電圧の2〜3倍の電圧と50mA〜1Aの定電流を被測定コンデンサC1に印加して絶縁抵抗の測定を行う。
絶縁抵抗印加測定部28では、定格電圧と同電圧レベルの定電圧と50mA〜1Aの定電流を被測定コンデンサC1に印加して絶縁抵抗の測定を行う。
次に、図18の測定分類機の動作を説明する。インデックステーブル41に供給された被測定コンデンサC1は、まず静電容量誘電正接測定部25にて、第1容量計33の測定プローブを被測定コンデンサC1に直接接触させた状態で、静電容量と誘電正接を測定する。
次に、低電圧絶縁抵抗印加測定部26にて絶縁抵抗測定を行う。ここでは、直流電圧1.5V前後の低電圧絶縁抵抗を測定プローブに接触させた状態で、絶縁抵抗計用電源36(図1の定電圧電源1と定電流回路2)から定電圧かつ定電流を供給して、絶縁抵抗を測定する。
次に、耐電圧印加測定部27にて耐電圧測定を行う。ここでは、定格電圧の数倍の耐電圧を、測定プローブを介して被測定コンデンサC1に印加して絶縁抵抗を測定する。
次に、絶縁抵抗印加測定部28にて絶縁抵抗測定を行う。ここでは、被測定コンデンサC1に測定プローブを接触させた状態で、絶縁抵抗測定を行う。
次に、放電測定部29にて放電測定を行う。ここでは、被測定コンデンサC1に測定プローブを接触させた状態で、放電させながら放電状態確認のために絶縁抵抗を測定する。
最後に、静電容量誘電正接測定部30にて静電容量と誘電正接の測定を行う。ここでは、最後に電圧を印加した履歴がある被測定コンデンサC1に測定プローブを接触させた状態で、静電容量と誘電正接を測定する。その後、各部の測定結果に基づいて、被測定コンデンサC1の良・不良を判断して分類する。
図20は本実施形態を適用した積層セラミックコンデンサ用測定分類機の概略構成を示すブロック図である。図20では、図18と共通する構成部分には同一符号を付しており、以下では相違点を中心に説明する。
図20の測定分類機は、図18の低電圧絶縁抵抗印加測定部26の代わりに、第1低電圧絶縁抵抗印加測定部51と、第2低電圧絶縁抵抗印加測定部52とを有する。また、図18の絶縁抵抗印加測定部28の代わりに、第1絶縁抵抗印加測定部53と、第2絶縁抵抗印加測定部54と、第3絶縁抵抗印加測定部55とを有する。第1低電圧絶縁抵抗印加測定部51、第2低電圧絶縁抵抗印加測定部52、耐電圧印加測定部27、第1絶縁抵抗印加測定部53および第2絶縁抵抗印加測定部54は第1絶縁抵抗計35を共有し、第3絶縁抵抗印加測定部55は第2絶縁抵抗計56を使用する。
図20の測定分類機では、まず、静電容量誘電正接測定部25にて、第1容量計33の測定プローブを被測定プローブに接触させた状態で、静電容量と誘電正接を測定する。次に、第1低電圧絶縁抵抗印加測定部51と第2低電圧絶縁抵抗印加測定部52にて、被測定コンデンサC1に定電圧かつ定電流を印加した状態で、合計2回の冗長な絶縁抵抗測定を行う。その後、耐電圧印加測定部27にて、被測定コンデンサC1に測定プローブを接触させた状態で、定格電圧の数倍の耐電圧を印加して絶縁抵抗を測定する。
次に、第1〜第3絶縁抵抗印加測定部53〜55にて、被測定コンデンサC1に測定プローブを接触させた状態で、定格電圧を印加して合計3回の冗長な絶縁抵抗測定を行う。次に、放電測定部29にて、被測定コンデンサC1に測定プローブを接触させた状態で、放電させながら放電状態判断のために絶縁抵抗測定を行う。そして、最後に、静電容量誘電正接測定部30にて、再度、第2容量計34の測定プローブを被測定プローブに接触させた状態で、静電容量と誘電正接を測定する。その後に、各コンデンサの良・不良を判断して分類する。
図21は本実施形態を適用した無極性コンデンサの測定分類テーピング機の概略構成を示すブロック図である。図21では、図18と共通する構成部分には同一符号を付しており、以下では、相違点を中心に説明する。
図21のテーピング機は、セラミックコンデンサやフィルムコンデンサ等の無極性のコンデンサの測定分類およびテーピングを行うものであり、正極性での絶縁抵抗測定を行う正極性絶縁抵抗印加測定部61と、負極性での絶縁抵抗測定を行う負極性絶縁抵抗印加測定部62と、接触不良やオーバースケール等の実質上の測定が不可能な被測定コンデンサC1を分類除去する不良排出部63と、良品のコンデンサをテーピングおよび梱包する良品分類部64とを有する。
図21において、正極性絶縁抵抗印加測定部61、負極性絶縁抵抗印加測定部62、絶縁抵抗計35および絶縁抵抗計用電源36は図1の絶縁抵抗測定装置と同様に構成され、放電測定部40,29、絶縁抵抗計35および絶縁抵抗計用電源36は図16の放電測定回路と同様に構成されている。
図22は本実施形態を適用した無極性コンデンサの測定分類テーピング機の概略構成を示すブロック図である。図22では図21と共通する構成部分には同一符号を付しており、以下では相違点を中心に説明する。
図22のテーピング機は、図21の構成に加えて、正極性での耐電圧測定を行う正極性耐電圧印加測定部65と、負極性での耐電圧測定を行う負極性耐電圧印加測定部66とを有する。正極性耐電圧印加測定部65と負極性耐電圧印加測定部66は、定格電圧の数倍の耐電圧を絶縁抵抗計用電源内の定電圧電源1から供給して図1と同様の手順で絶縁抵抗測定を行う。
図22において、正極性絶縁抵抗印加測定部61、負極性絶縁抵抗印加測定部62、絶縁抵抗計35および絶縁抵抗計用電源36は図1の絶縁抵抗測定装置と同様に構成され、放電測定部40,29、絶縁抵抗計35および絶縁抵抗計用電源36は図16の放電測定回路と同様に構成されている。
図23は本実施形態を適用した有極性コンデンサの測定分類テーピング機の概略構成を示すブロック図である。図23では、図18と共通する構成部分には同一符号を付しており、以下では相違点を中心に説明する。
図23のテーピング機は、静電容量誘電正接測定部25の後段に縦続接続されるLC1-1印加測定部71およびLC1-2印加測定部72と、放電測定部40の後段に縦続接続されるLC2-1印加測定部73およびLC2-2印加測定部74と、放電測定部29の後段に接続される高周波の等価直列抵抗(ESR)測定するESR測定部75と、ESR測定により不良と判断されたコンデンサを排出する不良排出部78とを有する。LC1-1印加測定部71、LC1-2印加測定部72、放電測定部40,29、LC2-1印加測定部73、LC2-2印加測定部74および放電測定部29は、漏洩電流計70とLC計用電源76とを共有する。漏洩電流計70は図1の漏洩電流増幅器4に対応し、LC計用電源76は図1の定電圧電源1と定電流回路2に対応している。
図23のテーピング機は、静電容量誘電正接測定部25による測定が終わった後、LC計用電源76内の定電圧電源1と定電流回路2から測定プローブにて定電圧かつ定電流を印加しつつ、LC1-1印加測定部71にて1回目の漏洩電流測定を行う。
次に、定電圧電源1と定電流回路2から測定プローブにて定電圧かつ定電流を印加しつつ、LC1-2印加測定部72にて2回目の漏洩電流測定を行う。
その後、放電測定部40による放電測定が終わった後、LC計用電源76内の定電圧電源1と定電流回路2から測定プローブにて定電圧かつ定電流を印加しつつ、LC2-1印加測定部73にて3回目の漏洩電流測定を行う。次に、定電圧電源1と定電流回路2から測定プローブにて定電圧かつ定電流を印加しつつ、LC2-2印加測定部74にて4回目の漏洩電流測定を行う。
その後、再度放電測定を行い、次に、ESR測定部75にて、ESR計77の測定プローブを被測定コンデンサC1に接触させた状態で、高周波の等価直列抵抗を測定する。その後、良・不良の判断と、分類およびテーピングを行う。
図24は本実施形態を適用した無極性コンデンサの測定分類機の概略構成を示すブロック図である。図24はセラミックコンデンサやフィルムコンデンサの測定分類に用いられる。図24では、図18や図22と共通する構成部分には同一符号を付しており、以下では相違点を中心に説明する。
図24の測定分類機は、図22になかった構成として、第1低電圧絶縁抵抗印加測定部51と、第1静電容量誘電正接不良排出部81と、低電圧絶縁抵抗不良排出部82と、正負極性耐電圧・絶縁抵抗不良排出部83と、第2静電容量誘電正接不良排出部84とを有する。
第1低電圧絶縁抵抗印加測定部51は、第1絶縁抵抗計35と絶縁抵抗計用電源36を用いて絶縁抵抗の測定を行う。第1絶縁抵抗計35は図1の漏洩電流増幅器4に対応し、絶縁抵抗計用電源36は図1の定電圧電源1と定電流回路2に対応する。
第1静電容量誘電正接不良排出部81は、静電容量誘電正接測定部25による測定で、不良と判断されたコンデンサを排出する。低電圧絶縁抵抗不良排出部82は、第1低電圧絶縁抵抗印加測定部51で不良と判断されたコンデンサを排出する。正負極性耐電圧・絶縁抵抗不良排出部83は、正極性絶縁抵抗印加測定部61と負極性絶縁抵抗印加測定部62で不良と判断されたコンデンサを排出する。第2静電容量誘電正接不良排出部84は、静電容量誘電正接測定部30で不良と判断されたコンデンサを排出する。
図24において、正極性絶縁抵抗印加測定部61、負極性絶縁抵抗印加測定部62、第1絶縁抵抗計35および絶縁抵抗計用電源36は図1の絶縁抵抗測定装置と同様に構成され、放電測定部40,29、第1および第3絶縁抵抗計35,86および絶縁抵抗計用電源36は図16の放電測定回路と同様に構成されている。
図25は本実施形態を適用した無極性コンデンサの測定分類機の概略構成を示すブロック図である。図25では、図24と共通する構成部分には同一符号を付しており、以下では相違点を中心に説明する。
図25の測定分類機は、冗長測定用の第1および第2低電圧絶縁抵抗印加測定部51,52と、冗長測定用の第1〜第3正極性絶縁抵抗印加測定部92〜94と、冗長測定用の第1〜第3負極性絶縁抵抗印加測定部62,95,96と、これら測定部で不良と判断されたコンデンサを排出するための第1静電容量誘電正接不良排出部81と、低電圧絶縁抵抗不良排出部82と、正負極性耐電圧・第1絶縁抵抗不良排出部83と、正極性第2第3絶縁抵抗不良排出部97と、負極性第2第3絶縁抵抗不良排出部98と、第2静電容量誘電正接不良排出部84とを備えている。
図25において、第1および第2低電圧絶縁抵抗印加測定部51,52、第1絶縁抵抗計35および第1絶縁抵抗計用電源99と、第1〜第3正極性絶縁抵抗印加測定部92〜94、第2絶縁抵抗計101および第1絶縁抵抗計用電源99と、第1負極性絶縁抵抗印加測定部62,95,96、第3絶縁抵抗計86、第4絶縁抵抗計102および第2絶縁抵抗計用電源100とはそれぞれ図1の絶縁抵抗測定装置と同様に構成され、放電測定部40,29、第2および第3絶縁抵抗計101,86、第1絶縁抵抗計用電源99および第2絶縁抵抗計用電源99,100は図16の放電測定回路と同様に構成されている。
図25の測定分類機では、まず静電容量誘電正接測定部25にて、第1容量計33の測定プローブを被測定コンデンサC1に接触させた状態で、静電容量と誘電正接を測定する。次に、第1および第2低電圧絶縁抵抗印加測定部51,52にて、第1絶縁抵抗計用電源99から約1.5Vの定電圧かつ定電流を被測定コンデンサC1に印加した状態で、合計2回の冗長な絶縁抵抗測定を行う。
次に、正極性耐電圧印加測定部65にて、第1絶縁抵抗計用電源99と第2絶縁抵抗計101を被測定コンデンサC1に接続した状態で、正極性の定格電圧の数倍の耐電圧を印加した状態で絶縁抵抗を測定する。
次に、第1〜第3正極性絶縁抵抗印加測定部92〜94にて、第1絶縁抵抗計用電源99と第2絶縁抵抗計101を接続した状態で、正極性の定電圧かつ定電流を被測定コンデンサC1に印加して、合計3回の冗長な絶縁抵抗測定を行う。次に、放電測定部40にて、第1絶縁抵抗計用電源99と第2絶縁抵抗計101を被測定コンデンサC1に接続した状態で、放電させながら放電状態を判断するための絶縁抵抗測定を行う。
次に、負極性耐電圧印加測定部66にて、第2絶縁抵抗計用電源100と第3絶縁抵抗計86を接続した状態で、負極性での定格電圧の数倍の耐電圧を印加しながら絶縁抵抗測定を行う。
次に、第1〜第3負極性絶縁抵抗印加測定部62,95,96にて、第2絶縁抵抗計用電源100と第3絶縁抵抗計86を被測定コンデンサC1に接続した状態で、負極性の定格電圧を印加しつつ合計3回の冗長な絶縁抵抗測定を行う。
次に、放電測定部29にて、第2絶縁抵抗計用電源100と第3絶縁抵抗計86を被測定コンデンサC1に接続した状態で、放電させながら放電状態を判断するために絶縁抵抗測定を行う。最後に、静電容量誘電正接測定部30にて、第2容量計34を被測定コンデンサC1に接続した状態で、静電容量と誘電正接を測定する。その後、被測定コンデンサC1の良・不良を判断して分類作業を行い、良品コンデンサをテーピングする。
図26は本実施形態を適用した有極性コンデンサ(例えばタンタルコンデンサ)の測定分類機の概略構成を示すブロック図である。図26では、図23と共通する構成部分には同一符号を付しており、以下では相違点を中心に説明する。
図26の測定分類機は、図23の構成に加えて、漏電電流を測定するLC1-3印加測定部111、LC1-4印加測定部112、LC2-3印加測定部113およびLC2-4印加測定部114と、各種の不良排出部115〜121と、良品排出部122と、最終排出部123とを有する。
図26において、LC1-1印加測定部71、LC1-2印加測定部72、LC1-3印加測定部111、LC1-4印加測定部112、漏洩電流計70,125および漏洩電流計用電源76と、LC2-1印加測定部73、LC2-2印加測定部74、LC2-3印加測定部113、LC2-4印加測定部114、漏洩電流計124,125および漏洩電流計用電源76は図1の漏洩電流測定装置と同様に構成され、放電測定部40,29、漏洩電流計70,124および漏洩電流計用電源76は図16の放電測定回路と同様に構成されている。
図26の測定分類機では、まず静電容量誘電正接測定部25にて、第1容量計33を被測定コンデンサC1に接続した状態で、静電容量と誘電正接を測定する。次に、LC1-1印加測定部71、LC1-2印加測定部72、LC1-3印加測定部111およびLC1-4印加測定部112にて、漏洩電流用電源76と漏洩電流計70を被測定コンデンサC1に接続した状態で、定格電圧を被測定コンデンサC1に印加して、合計4回の漏洩電流測定を行う。
次に、放電測定部40にて、放電状態を判断しながら放電状態を判断するために漏洩電流測定を行う。その後、LC2-1印加測定部73、LC2-2印加測定部74、LC2-3印加測定部113およびLC2-4印加測定部114にて、漏洩電流計用電源76と漏洩電流計125を被測定コンデンサC1に接続した状態で、定格電圧を被測定コンデンサC1に印加しながら漏洩電流を合計4回測定する。
次に、放電測定部29にて、漏洩電流計124を被測定コンデンサC1に接続した状態で、放電させながら放電状態を判断するために漏洩電流を測定する。最後に、ESR測定部75にて、ESR計77を被測定コンデンサC1に接続した状態で、高周波の等価直列抵抗を測定する。その後、測定済みのコンデンサ良・不良を判断して、各種の不良排出部か良品排出部に分類する。
上述したように、本実施形態によれば、1kΩ未満の内部抵抗を有する定電圧電源1と定電流回路2を用いて、被測定コンデンサC1に短時間だけ定電圧かつ定電流を印加するため、JIS規格による測定方法で1分の所要時間を要するコンデンサの絶縁抵抗測定と、JIS規格による測定方法で5分の所要時間を要するコンデンサの漏洩電流測定を、いずれも1秒以内という短時間で測定でき、検査工程のスループット向上が図れる。
また、本実施形態によれば、定電圧かつ定電流を複数回断続的に被測定コンデンサC1に印加して複数回にわたって測定を行えるため、初回の測定結果と以降の複数回の測定結果とを迅速に比較しながら測定を行うことができ、高冗長測定を簡易な処理手順で、かつ信頼性よく行うことができ、測定の信頼性向上が図れる。特に、誘電吸収時間が長いコンデンサの測定を行う場合、複数回測定することで、実質的に充電測定時間を延長でき、誘電吸収時間が長くても、精度よく絶縁抵抗値と漏洩電流値を測定できる。
また、本実施形態によれば、コンデンサの誘電体内部に絶縁膜の微小欠陥が存在する場合には、測定時の充電初期の定電流により欠陥部分に電界が集中してコンデンサが破壊されて導電路が変化し、測定結果として小さい絶縁抵抗値や大きい漏洩電流値が得られることから、良・不良の判断を簡易かつ正確に行うことができる。
さらに、本実施形態によれば、測定済みのコンデンサに残留している電荷により、コンデンサの両端電圧が所定値よりも大きい場合には、定電流吸収回路7と定電流ブリーダ回路8でコンデンサから定電流を流すため、コンデンサの両端電圧を常に所定電圧に維持できる。このため、安定した再現性のある測定が可能になり、トレーサビリティに優れた絶縁抵抗測定と漏洩電流測定を実現できる。特に、定電流ブリーダ回路8を設けることで、被測定コンデンサC1を含めて測定系のインピーダンスを低減でき、測定時に外乱による影響を受けにくくなって、測定精度が向上する。
また、本実施形態によれば、測定終了後に短時間でコンデンサの残留電荷を放電できるため、測定済みのコンデンサを基板に実装したときに、コンデンサの残留電荷が他の回路部品に悪影響を与えるおそれがなくなる。
さらに、本実施形態によれば、漏洩電流増幅器4に並列にショート回路9を接続し、被測定コンデンサC1の充電時にはショート回路9を動作させて漏洩電流増幅器4の両端間を短絡するため、被測定コンデンサC1の充電時には、被測定回路のインピーダンスを低くでき、被測定コンデンサC1を短時間で充電できる。これにより、測定時間の短縮化が可能となる。
本発明の第1の実施形態による絶縁抵抗測定装置および漏洩電流測定装置の概略構成を示すブロック図。 図1の変形例で、オンオフ回路の接続位置を変更した図。 図1の装置の動作タイミング図。 定電流ブリーダ回路8の内部構成の一例を示す回路図。 定電流ブリーダ回路8の動作タイミング図。 ショート回路9の内部構成の一例を示す回路図。 ショート回路9の動作タイミング図。 図1の装置を用いて測定したコンデンサの定電流充電特性を示す図。 従来の測定方法に基づく積層セラミックコンデンサの漏洩電流特性を示す図。 従来の測定方法に基づく固体タンタルコンデンサの漏洩電流特性を示す図。 本実施形態に基づく積層セラミックコンデンサの漏洩電流特性を示す図。 本実施形態に基づく固体タンタルコンデンサの漏洩電流特性を示す図。 積層セラミックコンデンサの絶縁抵抗値と漏洩電流値について予め定めた仕様値と測定値とを比較した図。 タンタルコンデンサの漏洩電流値について予め定めた仕様値と測定値とを比較した図。 高冗長測定を行った結果を示す図。 放電測定回路の概略構成を示すブロック図。 図16の放電測定回路を用いて測定した放電特性を示す図。 本実施形態を適用したセラミックコンデンサ用測定分類機の概略構成を示すブロック図。 インデックステーブル41の平面図。 本実施形態を適用した積層セラミックコンデンサ用測定分類機の概略構成を示すブロック図。 本実施形態を適用した無極性コンデンサの測定分類テーピング機の概略構成を示すブロック図。 本実施形態を適用した無極性コンデンサの測定分類テーピング機の概略構成を示すブロック図。 本実施形態を適用した有極性コンデンサの測定分類テーピング機の概略構成を示すブロック図。 本実施形態を適用した無極性コンデンサの測定分類機の概略構成を示すブロック図。 本実施形態を適用した無極性コンデンサの測定分類機の概略構成を示すブロック図。 本実施形態を適用した有極性コンデンサ(例えばタンタルコンデンサ)の測定分類機の概略構成を示すブロック図。
符号の説明
1 定電圧電源
2 定電流回路
3 オンオフ回路
4 漏洩電流増幅器
5 A/Dコンバータ
6 データ処理部
7 定電流吸収回路
8 定電流ブリーダ回路
9 ショート回路
C1 被測定コンデンサ

Claims (16)

  1. 1kΩ未満の内部抵抗を有し定電圧を出力する定電圧電源と、
    前記定電圧電源に直列接続され、1kΩ未満の内部抵抗を有し定電流を出力する定電流回路と、
    直列接続される被測定コンデンサと前記被測定コンデンサの絶縁抵抗を測定する絶縁抵抗測定回路とを有する被測定回路と、
    前記被測定コンデンサに前記定電圧電源からの定電圧と前記定電流回路からの定電流とを1秒未満の所定時間継続して供給するか否かを切り替えるオンオフ回路と、
    前記被測定コンデンサから定電流を流して、前記被測定コンデンサの両電極間の電位差を所定値に設定する定電流吸収回路と、
    前記被測定コンデンサから定電流を流して、前記被測定コンデンサ周辺の回路のインピーダンスを下げる定電流ブリーダ回路と、
    前記絶縁抵抗測定回路に並列接続され、前記被測定回路内の前記絶縁抵抗測定回路の両端ノード間を短絡させるか否かを切り替えるショート回路と、
    を備え、
    前記定電流吸収回路および前記定電流ブリーダ回路は、直列接続された前記定電圧電源および前記定電流回路に並列接続されることを特徴とする絶縁抵抗測定装置。
  2. 前記絶縁抵抗測定回路は、前記被測定コンデンサに定電圧および定電流を印加するタイミングに同期して、1kΩ以下の等価抵抗に流れる電流値に基づいて、前記被測定コンデンサの絶縁抵抗値を検出することを特徴とする請求項1に記載の絶縁抵抗測定装置。
  3. 前記オンオフ回路は、定電圧かつ定電流を前記被測定コンデンサに断続的に複数回前記所定時間ずつ印加し、
    前記絶縁抵抗測定回路は、前記被測定コンデンサに定電圧かつ定電流を印加するタイミングに同期して、複数回絶縁抵抗を測定することを特徴とする請求項1または2に記載の絶縁抵抗測定装置。
  4. 前記定電圧電源は、電圧レベルの異なる複数の定電圧を、前記所定時間ずつ断続的に前記被測定コンデンサに印加し
    前記絶縁抵抗測定回路は、互いに異なる電圧レベルの定電圧を前記被測定コンデンサに印加するタイミングに同期して、1kΩ以下の等価抵抗に流れる電流値に基づいて、前記被測定コンデンサの絶縁抵抗値を検出することを特徴とする請求項3に記載の絶縁抵抗測定装置。
  5. 前記絶縁抵抗測定回路は、無極性の前記被測定コンデンサの絶縁抵抗を測定する際には、前記被測定コンデンサの一方の電極側に定電圧かつ定電流を印加した場合と、他方の電極側に定電圧かつ定電流を印加した場合との双方について、絶縁抵抗測定を行うことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の絶縁抵抗測定装置。
  6. 前記絶縁抵抗測定回路は、有極性の前記被測定コンデンサの絶縁抵抗を測定する際には、前記被測定コンデンサの正極性側と負極性側のいずれか一方に定電圧かつ定電流を印加した状態で絶縁抵抗測定を行うことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の絶縁抵抗測定装置。
  7. 前記ショート回路は、前記定電圧電源および前記定電流回路が前記被測定コンデンサに定電圧および定電流の印加を開始した第1の時刻から、前記被測定コンデンサの充電が完了するまでの第2の時刻までの間、前記絶縁抵抗測定回路の両端ノード間を短絡し、前記第2の時刻以降は前記両端ノード間を開放し、
    前記絶縁抵抗測定回路は、前記第2の時刻から第3の時刻までの間に前記被測定コンデンサの絶縁抵抗を検出し、
    前記定電流吸収回路および前記定電流ブリーダ回路は、前記第1の時刻から前記第3の時刻まで前記被測定コンデンサから定電流を流すことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の絶縁抵抗測定装置。
  8. 1kΩ未満の内部抵抗を有する定電圧電源からの定電圧と、1kΩ未満の内部抵抗を有する定電流回路からの定電流とを、1秒未満の所定時間だけ被測定コンデンサに供給するステップと、
    前記被測定コンデンサに定電圧かつ定電流を印加するタイミングに同期して、前記被測定コンデンサに直列接続される1kΩ以下の等価抵抗に流れる電流を測定し、その測定結果に基づいて前記被測定コンデンサの絶縁抵抗を測定するステップと、を備えることを特徴とする絶縁抵抗測定方法。
  9. 1kΩ未満の内部抵抗を有し定電圧を出力する定電圧電源と、
    前記定電圧電源に直列接続され、1kΩ未満の内部抵抗を有し定電流を出力する定電流回路と、
    直列接続される被測定コンデンサと前記被測定コンデンサに流れる漏洩電流を測定する漏洩電流測定回路とを有する被測定回路と、
    前記被測定コンデンサに前記定電圧電源からの定電圧と前記定電流回路からの定電流とを1秒未満の所定時間継続して供給するか否かを切り替えるオンオフ回路と、
    前記被測定コンデンサから定電流を流して、前記被測定コンデンサの両電極間の電位差を所定値に設定する定電流吸収回路と、
    前記被測定コンデンサから定電流を流して、前記被測定コンデンサ周辺の回路のインピーダンスを下げる定電流ブリーダ回路と、
    前記漏洩電流測定回路に並列接続され、前記被測定回路内の前記漏洩電流測定回路の両端ノード間を短絡させるか否かを切り替えるショート回路と、
    を備え、
    前記定電流吸収回路および前記定電流ブリーダ回路は、直列接続された前記定電圧電源および前記定電流回路に並列接続されることを特徴とする漏洩電流測定装置。
  10. 前記漏洩電流測定回路は、前記被測定コンデンサに定電圧および定電流を印加するタイミングに同期して、1kΩ以下の等価抵抗に流れる電流値に基づいて、前記被測定コンデンサの漏洩電流値を検出することを特徴とする請求項9に記載の漏洩電流測定装置。
  11. 前記オンオフ回路は、定電圧かつ定電流を前記被測定コンデンサに断続的に複数回前記所定時間ずつ印加し、
    前記漏洩電流測定回路は、前記被測定コンデンサに定電圧かつ定電流を印加するタイミングに同期して、複数回漏洩電流を測定することを特徴とする請求項9または10に記載の漏洩電流測定装置。
  12. 前記定電圧電源は、電圧レベルの異なる複数の定電圧を、前記所定時間ずつ断続的に前記被測定コンデンサに印加し
    前記漏洩電流測定回路は、互いに異なる電圧レベルの定電圧を前記被測定コンデンサに印加するタイミングに同期して、1kΩ以下の等価抵抗に流れる電流値に基づいて、前記被測定コンデンサの漏洩電流値を検出することを特徴とする請求項11に記載の漏洩電流測定装置。
  13. 前記漏洩電流測定回路は、無極性の前記被測定コンデンサの漏洩電流を測定する際には、前記被測定コンデンサの一方の電極側に定電圧かつ定電流を印加した場合と、他方の電極側に定電圧かつ定電流を印加した場合との双方について、漏洩電流測定を行うことを特徴とする請求項9乃至12のいずれかに記載の漏洩電流測定装置。
  14. 前記漏洩電流測定回路は、有極性の前記被測定コンデンサの漏洩電流を測定する際には、前記被測定コンデンサの正極性側と負極性側のいずれか一方のみに定電圧かつ定電流を印加した状態で漏洩電流測定を行うことを特徴とする請求項9乃至12のいずれかに記載の漏洩電流測定装置。
  15. 前記ショート回路は、前記定電圧電源および前記定電流回路が前記被測定コンデンサに定電圧および定電流の印加を開始した第1の時刻から、前記被測定コンデンサの充電が完了するまでの第2の時刻までの間、前記漏洩電流測定回路の両端ノード間を短絡し、前記第2の時刻以降は前記両端ノード間を開放し、
    前記漏洩電流測定回路は、前記第2の時刻から第3の時刻までの間に前記被測定コンデンサの漏洩電流を検出し、
    前記定電流吸収回路および前記定電流ブリーダ回路は、前記第1の時刻から前記第3の時刻まで前記被測定コンデンサから定電流を流すことを特徴とする請求項9乃至14のいずれかに記載の漏洩電流測定装置。
  16. 1kΩ未満の内部抵抗を有する定電圧電源からの定電圧と、1kΩ未満の内部抵抗を有する定電流回路からの定電流とを、1秒未満の所定時間だけ被測定コンデンサに供給するステップと、
    前記被測定コンデンサに定電圧かつ定電流を印加するタイミングに同期して、前記被測定コンデンサに直列接続される1kΩ以下の等価抵抗に流れる電流を測定し、その測定結果に基づいて前記被測定コンデンサの漏洩電流を測定するステップと、を備えることを特徴とする漏洩電流測定方法。
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