JP2007327891A - 外観検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】これを改善するために、帯状画像撮像領域の走査方向前方にオートフォーカス領域を配置し、オートフォーカス領域の画像のコントラスト値から焦点位置を計算し、ステージ高さを制御する。
【選択図】図10
Description
被検査対象物の画像を検出する画像検出手段と、
前記画像検出手段が検出する、前記被検査対象物の検出領域を移動させる検出領域移動手段と、
前記被検査対象物の検出領域とは異なる領域に焦点位置を検出するための焦点位置検出領域を有する焦点位置検出手段と、
を備えた外観検査装置であって、
前記焦点位置検出手段の焦点位置検出領域を、前記検出領域移動手段による前記被検査対象物の検出領域の移動方向前方となるように制御する焦点位置検出位置制御手段を備えた外観検査装置。
axis方式では、一般に波長域の異なる別光源を配置し、照明系と別軸で照明しているため、照明光の損失はないが、温度ドリフトなど外乱要素の影響を受けやすく、安定すべき自動焦点制御方法に誤差を生じることがある。
10〜20um程度の高さ変動を2〜3秒で走査させ、被検査物体表面をマクロに追従させることが主目的であった。近年、例えば図9のようにメモリセル部などウェーハプロセスの段差が大きくなりミクロな動きへの追従遅れが欠陥検出感度に大きく影響し、問題となってきた。また、前記のとおり従来技術では、イメージセンサの走査方向の違いで生じる誤差が大きい。また、オートフォーカスの応答遅れにより、段差の大きいパターンでは、デフォーカスすることがある。上記従来技術において、オートフォーカスの誤差は、帯状画像撮像領域での検出画像のデフォーカス要因となる。その走査方向の違い、および自動焦点制御手段を高精度で制御することで欠陥検出感度を向上する。
(以後、虚報と記載する)の原因となる。画像比較検査において、走査方向の違いは検出した画像の画質の差となり、欠陥検査において問題となる。また、前記の通り、走査方向によりデフォーカス領域が異なるため、その領域に特徴的な欠陥が存在した場合、走査方向によりその欠陥検査感度に差が生じるため、欠陥検出の不安定要因となる。
(b)は、帯状画像撮像領域の走査方向前方に配置されているので、予め被検査物体の表面の焦点位置情報を得ることができる。予め得た焦点位置情報を用いて、図11にように被検査物体表面を追従させることができ、帯状画像撮像領域で最適な焦点位置にて画像取得ができる。
13で算出された結果をもとに欠陥位置判定手段14により欠陥位置を特定する。
Claims (3)
- 被検査対象物の画像を検出する画像検出手段と、
前記画像検出手段が検出する、前記被検査対象物の検出領域を移動させる検出領域移動手段と、
前記被検査対象物の検出領域とは異なる領域に焦点位置を検出するための焦点位置検出領域を有する焦点位置検出手段と、
を備えた外観検査装置であって、
前記焦点位置検出手段の焦点位置検出領域を、前記検出領域移動手段による前記被検査対象物の検出領域の移動方向前方となるように制御する焦点位置検出位置制御手段を備えたことを特徴とする外観検査装置。 - 請求項1記載の外観検査装置において、
前記検出領域移動手段は前記被検査対象物を載置するステージであり、該ステージは往復動する機構を備えたことを特徴とする外観検査装置。 - 請求項2記載の外観検査装置において、
前記焦点位置検出位置制御手段は、焦点位置検出用の光ビームの照射位置にあわせて反射鏡を移動させる機構であることを特徴とする外観検査装置。
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