JP2007322296A - 差圧検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 一対の検出ポート3,4間の圧力を検出する圧力検出器2を備えた差圧検出装置において、圧縮空気を供給する圧力源8に対して一対の検出ポート3,4をパラレルに接続するとともに、各検出ポート3,4と圧力源8との間に第1,2オリフィス14,15を設け、圧力検出器2は第1,2オリフィス14,15の下流側の圧力を検出する構成にしている。このように構成することによって、排気ダクト5あるいは処理室6内の排気ガスが、逆流しない。このように排気ガスが、逆流しないようにしたので、圧力検出器2が、例えば腐食性の排気ガスによって損傷したりしなくなる。
【選択図】 図2
Description
なお、この発明に係わる従来技術の調査はしていない。
この発明の目的は、圧力検出器に排気ガスが侵入しない差圧検出装置を提供することである。
第3の発明は、上記一方の検出ポートを流体の流路側に接続し、他方の検出ポートを大気に開放するとともに、上記一方の検出ポートと圧力供給ポートとの間にオリフィスを設けた点に特徴を有する。
第3の発明によれば、一方の検出ポート側に圧力変動があっても、その圧力変動にレギュレータが敏感に反応して、計測不能になるようなことがなくなる。
なお、上記第1,2オリフィス14,15の有効断面積は等しいことが好ましい。もし、両者の有効断面積が異なれば、検出ポート3,4から流出する流量が異なり、排気ダクト5を流れる流量がたとえゼロになっても、圧力室2a,2b間に圧力が生じてしまうからである。
なお、検出ポート4は、排気ダクト5の吸引によって検出ポート3と圧力差が発生する箇所であれば、どこに設けてもよい。極端な場合には、検出ポート3と上記排気ダクト5とを接続した接続ポイントよりも上流側における排気ダクト5内に接続してもよい。
2 圧力検出器
3,4 検出ポート
14 第1オリフィス
15 第2オリフィス
16 圧力供給ポート
17 オリフィス
Claims (3)
- 一対の検出ポート間の圧力を検出する圧力検出器を備えた差圧検出装置において、少なくとも一方の検出ポートに圧縮空気を供給するための圧力供給ポートを接続し、上記圧力検出器は、一方の検出ポート側の圧力と、他方の検出ポート側の圧力とによって、両検出ポート間の圧力差を検出する差圧検出装置。
- 上記圧力供給ポートに対して一対の検出ポートをパラレルに接続するとともに、各検出ポートと圧力供給ポートとの間にオリフィスを設け、圧力検出器はオリフィスの下流側の圧力を検出する構成にした請求項1記載の差圧検出装置。
- 上記一方の検出ポートを流体の流路側に接続し、他方の検出ポートを大気に開放するとともに、上記一方の検出ポートと圧力供給ポートとの間にオリフィスを設けた請求項1記載の差圧検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006154211A JP5403858B2 (ja) | 2006-06-02 | 2006-06-02 | 差圧検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006154211A JP5403858B2 (ja) | 2006-06-02 | 2006-06-02 | 差圧検出装置 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007322296A true JP2007322296A (ja) | 2007-12-13 |
JP5403858B2 JP5403858B2 (ja) | 2014-01-29 |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5403858B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013231551A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Panasonic Corp | 吸収式冷凍機 |
CN109721236A (zh) * | 2017-10-30 | 2019-05-07 | 住友电气工业株式会社 | 玻璃母材的制造装置及制造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0419489Y2 (ja) * | 1988-09-29 | 1992-05-01 | ||
JP3511374B2 (ja) * | 2001-03-06 | 2004-03-29 | 日野自動車株式会社 | 排気圧力測定装置 |
JP2005090451A (ja) * | 2003-09-19 | 2005-04-07 | Hino Motors Ltd | 差圧測定装置 |
JP2006023109A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-01-26 | Denso Corp | 圧力センサおよびその製造方法 |
-
2006
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0419489Y2 (ja) * | 1988-09-29 | 1992-05-01 | ||
JP3511374B2 (ja) * | 2001-03-06 | 2004-03-29 | 日野自動車株式会社 | 排気圧力測定装置 |
JP2005090451A (ja) * | 2003-09-19 | 2005-04-07 | Hino Motors Ltd | 差圧測定装置 |
JP2006023109A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-01-26 | Denso Corp | 圧力センサおよびその製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013231551A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Panasonic Corp | 吸収式冷凍機 |
CN109721236A (zh) * | 2017-10-30 | 2019-05-07 | 住友电气工业株式会社 | 玻璃母材的制造装置及制造方法 |
CN109721236B (zh) * | 2017-10-30 | 2022-08-26 | 住友电气工业株式会社 | 玻璃母材的制造装置及制造方法 |
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JP5403858B2 (ja) | 2014-01-29 |
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