JP2007321775A - ガス容器の載置台 - Google Patents
ガス容器の載置台 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007321775A JP2007321775A JP2006149207A JP2006149207A JP2007321775A JP 2007321775 A JP2007321775 A JP 2007321775A JP 2006149207 A JP2006149207 A JP 2006149207A JP 2006149207 A JP2006149207 A JP 2006149207A JP 2007321775 A JP2007321775 A JP 2007321775A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas container
- gas
- mounting table
- gas vessel
- mounting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Abstract
【課題】ガス容器に充填した液化ガスを気化させながら供給する際に、気化熱によりガス容器の温度が低下して容器外面に結露が発生することを防止するとともに、部品点数の増加を抑えて低コスト化と省スペース化とを図ることのできるガス容器の載置台を提供することを目的としている。
【解決手段】液化ガスが充填されているガス容器20を支持するガス容器載置部11の中央部に、前記ガス容器の底面に向けて送風する送風ファン12を設け、該送風ファンの下方に、載置台外部に連通する吸気路14を設けるとともに、ガス容器載置部の上面とガス容器の底面との間に、前記送風ファンからガス容器の底面に向けて送風されたガスをガス容器の外周側に排出する排気路を設ける。
【選択図】図1
【解決手段】液化ガスが充填されているガス容器20を支持するガス容器載置部11の中央部に、前記ガス容器の底面に向けて送風する送風ファン12を設け、該送風ファンの下方に、載置台外部に連通する吸気路14を設けるとともに、ガス容器載置部の上面とガス容器の底面との間に、前記送風ファンからガス容器の底面に向けて送風されたガスをガス容器の外周側に排出する排気路を設ける。
【選択図】図1
Description
本発明は、ガス容器の載置台に係り、詳しくは、充填されている液化ガスを気化させて供給するガス容器を載置するための載置台に関する。
半導体製造分野等で使用されているWF6,ClF3,BCl3,SiH2Cl2,CO2,SF6,N2Oのようなガスは、通常、ガスシリンダやガスボンベ等の可搬式のガス容器内に液化ガスとして充填貯留されており、それをガス容器内で蒸発させながら気化ガスとしてガス消費先に供給されている。このようにガス容器内の液化ガスを気化させながら供給する場合、気化熱によって容器温度が低下し、容器外面に結露が発生することがあった。発生した結露を放置しておくと、容器外面を流れ落ちて載置台や床面を汚染するだけでなく、載置台に設けられているロードセルの故障の原因ともなる。このため、結露が発生したときには人手によって拭き取るようにしているが、手間が掛かるとともにガスの供給に支障を来すこともあった。
一方、ガス容器の底面に向けて熱媒体、例えば加熱空気を噴出することにより、ガス容器内の液化ガスを加熱して安定した状態で液化ガスの気化を行えるようにしたガス容器の載置台が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
特開平2003−227597号公報
載置台から加熱空気を噴出することにより、容器外面の結露は防止できるが、上述のものでは、シリンダーキャビネットの外部に設置した加熱装置から載置台に加熱空気を送る配管が必要となり、部品点数が増加してコストが嵩み、また、加熱装置を設置するためのスペースも必要となっていた。
そこで本発明は、ガス容器に充填した液化ガスを気化させながら供給する際に、気化熱によりガス容器の温度が低下して容器外面に結露が発生することを防止するとともに、部品点数の増加を抑えて低コスト化と省スペース化とを図ることのできるガス容器の載置台を提供することを目的としている。
上記目的を達成するため、本発明のガス容器の載置台は、液化ガスが充填されているガス容器を載置するガス容器の載置台において、前記ガス容器を支持するガス容器載置部の中央部に、前記ガス容器の底面に向けて送風する送風ファンを設け、該送風ファンの下方に、載置台外部に連通する吸気路を設けるとともに、ガス容器載置部の上面とガス容器の底面との間に、前記送風ファンからガス容器の底面に向けて送風されたガスをガス容器の外周側に排出する排気路を設けたことを特徴としている。
前記ガス容器載置部は、前記送風ファンが設けられた中央開口部と、該中央開口部の外側に設けられ、前記ガス容器の底面よりも大径の凹状部と、該凹状部の底面から鉛直方向に突出し、前記ガス容器の底面を支持する複数の放射状リブとを備え、該複数の放射状リブ間に前記排気路が形成されていることを特徴としている。
前記ガス容器載置部の上面に、前記排気路から排出されたガスをガス容器の外周面に沿って上昇させる排気ガイドを設けたことを特徴とし、さらに、前記吸気路にガス加熱手段を設けたことを特徴としている。
本発明のガス容器の載置台によれば、送風ファンによってガス容器の底面に送風することにより、ガス容器外面の温度低下を抑制して結露の発生を防止できる。特に、載置台内に送風ファンを一体に組み込んだので、部品点数を削減でき、外部配管も不要となり、コストの低減を図ることができる。また、排気ガイドを設けることによってガス容器外面全体に送風することができ、ガス容器外面の結露をより確実に防止できる。さらに、吸気路にガス加熱手段を設けることにより、ガス容器外面の温度低下をより効果的に抑制できる。
図1及び図2は本発明のガス容器の載置台の一形態例を示すもので、図1は載置台の正面図、図2は載置台の斜視図である。このガス容器の載置台10は、ガス容器を載置するガス容器載置部11と、該ガス容器載置部11の中央部に設けられた送風ファン12と、該送風ファン12の下方に設けられた通気路13と、ガス容器載置部11の上面に開口して前記通気路13に連通する吸気口14と、ガス容器載置部11の上面に設けられた凹状部15とを備えている。
ガス容器載置部11は、長方形状の上板11aの一側に前記吸気口14を設けるとともに、上板11aの中央部に前記凹状部15を設けたものであって、凹状部15は、上板11aに平行な仕切板11bと、同心円上に配設された内周板11c及び外周板11dとに囲まれたリングに形成されている。内周板11cの直径はガス容器の底面よりも小径に形成され、外周板11dの直径はガス容器の底面よりも大径に形成されている。また、凹状部15内には内周板11cから外周板11dに向けて放射状に延設される複数の放射状リブ16が上板11aと同じ高さに突設されている。
内周板11cに囲まれたガス容器載置部11の中央部分には、前記仕切板11bの下方に設けられた前記通気路13に連通する中央開口部17が形成されており、この中央開口部17内に前記送風ファン12が装着されている。また、ガス容器載置部11の下部には、該ガス容器載置部11の外周部分を支持するように、ガス容器の重量を測定するためのロードセル18が設けられている。
このように形成した載置台10は、ガス容器をガス容器載置部11に載置して送風ファン12を作動させると、吸気口14から通気路13に吸い込まれた載置台外部のガス(空気)が中央開口部17を通り、ガス容器の底面に向けて送風される。送風ファン12からガス容器の底面に向けて送風されたガスは、前記凹状部15の放射状リブ16間に形成された空間からなる排気路を通ってガス容器の外周側に排出される。
これにより、ガス容器に充填されている液化ガスを気化させながらガス消費先に供給する際に、気化熱によって容器温度が低下することがあっても、このガス容器の温度低下を極力抑制し、ガス容器に結露が発生することを防止できる。また、送風ファン12を載置台10に内蔵させていることから、送風ファン12と載置台10とを繋ぐ配管が不要となるので部品点数の増加を抑制し、コストの低減を図ることができるとともに、載置台外部に送風機や加熱装置を設ける必要もないので、省スペース化を図ることもできる。また、配管を介して送風する場合に比べて圧力損失を小さくできるので、小型の送風ファンを使用することができる。
なお、本形態例では、送風ファン12からガス容器の底面に向けて送風されたガスをガス容器の外周側に排出する排気路を、凹状部15内の放射状リブ16間に形成された流路断面積の大きな空間としたが、ガス容器載置部11の上面とガス容器の底面との間にガスが流通可能な空間を設ければ排気路として利用することができる。例えば、ガス容器載置部11の上面に凹凸、例えば放射状の溝を設けてもよく、放射状リブ16を設けずに凹状部15の上部開口を多孔板やスリットを有する蓋状部材、あるいは、グレーチング等で覆うようにしてもよい。また、通気路13及び吸気口14の形状は任意であり、吸気口14を複数箇所に設けたり、載置台10の側面や底面のロードセル18間に設けこともできる。
図3は、本発明の他の形態例を示す要部断面正面図である。なお、以下の説明において、前記形態例と同様の構成部分には同一の番号を付してその詳細な説明は省略する。本形態例の載置台10は、ガス容器載置部11の上面で、凹状部15の外周側に、ガス容器20の周囲を覆う排気ガイド19を設置している。排気ガイド19は、ガス容器20の出し入れを考慮して半割状の筒体を組み合わせたもので、ガス容器20の外周面20aとの間にガスが流通可能な隙間ができるように形成され、送風ファン12によってガス容器底面側に供給されたガスを、排気路となっている凹状部15の外周からガス容器20と排気ガイド19との間を、ガス容器の外周面に沿って上昇させるようにしている。
これにより、送風ファン12によって送風されたガスを、ガス容器20の底面からガス容器外面全体に送風することができ、気化熱によるガス容器20の温度低下を効果的に抑制し、ガス容器20に結露が発生することを有効に防止することができる。なお、この場合、吸気口14が排気ガイド19の外側に位置するように排気ガイド19の径を設定することが好ましい。
また、前記通気路13にヒーターや熱交換機等のガス加熱手段を設ければ、送風ファン12によって温風を供給することができ、ガス容器20に結露が発生することをより確実に防止することができる。
図4は、前記排気ガイド19を設けた本発明の載置台10をシリンダーキャビネット30の底部に配置した一形態例を示す一部断面正面図である。このシリンダーキャビネット30は、天井部に排気装置31が設けられるとともに、側壁下部に通気口32が設けられ、キャビネット30内のガスを排気装置31から常時排気して図示しない除害装置を介して外部に排出している。このような排気装置31を有するシリンダーキャビネット30では、排気装置31によってキャビネット内が常に負圧状態に保持され、ガス容器20内の有害ガスが漏れ出した場合でも、有害ガスがシリンダーキャビネット30を設置した室内に流出しないようにしている。
したがって、前述の特許文献1に記載されたような載置台では、キャビネット内に外部からの加熱空気が導入されるため、排気装置31の排気能力を、キャビネット内への加熱空気の導入量を考慮して増大させる必要があり、さらに、排気系統の配管系、除害装置等も風量の増加に対応させなければならず、大幅なコストアップが避けられない。
一方、本発明の載置台10は、載置台上面に設けた吸気口13からキャビネット内のガス(空気)を吸い込んで中央開口部16から吹き出す循環方式となっているため、通常の排気装置31をそのまま使用することができ、僅かなコストで結露防止を図ることができる。なお、本形態例において、排気ガイド19は省略することもできる。
10…載置台、11…ガス容器載置部、11a…上板、11b…仕切板、11c…内周板、11d…外周板、12…送風ファン、13…通気路、14…吸気口、15…凹状部、16…放射状リブ、17…中央開口部、18…ロードセル、19…排気ガイド、20…ガス容器、20a…外周面、30…シリンダーキャビネット
Claims (4)
- 液化ガスが充填されているガス容器を載置するガス容器の載置台において、前記ガス容器を支持するガス容器載置部の中央部に、前記ガス容器の底面に向けて送風する送風ファンを設け、該送風ファンの下方に、載置台外部に連通する吸気路を設けるとともに、ガス容器載置部の上面とガス容器の底面との間に、前記送風ファンからガス容器の底面に向けて送風されたガスをガス容器の外周側に排出する排気路を設けたことを特徴とするガス容器の載置台。
- 前記ガス容器載置部は、前記送風ファンが設けられた中央開口部と、該中央開口部の外側に設けられ、前記ガス容器の底面よりも大径の凹状部と、該凹状部の底面から鉛直方向に突出し、前記ガス容器の底面を支持する複数の放射状リブとを備え、該複数の放射状リブ間に前記排気路が形成されていることを特徴とする請求項1記載のガス容器の載置台。
- 前記ガス容器載置部の上面に、前記排気路から排出されたガスをガス容器の外周面に沿って上昇させる排気ガイドを設けたことを特徴とする請求項1又は2記載のガス容器の載置台。
- 前記吸気路にガス加熱手段を設けたことを特徴とする請求項1乃至3いずれか1項記載のガス容器の載置台。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006149207A JP2007321775A (ja) | 2006-05-30 | 2006-05-30 | ガス容器の載置台 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006149207A JP2007321775A (ja) | 2006-05-30 | 2006-05-30 | ガス容器の載置台 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007321775A true JP2007321775A (ja) | 2007-12-13 |
Family
ID=38854783
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006149207A Pending JP2007321775A (ja) | 2006-05-30 | 2006-05-30 | ガス容器の載置台 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007321775A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013096456A (ja) * | 2011-10-28 | 2013-05-20 | Taiyo Nippon Sanso Corp | ガス供給装置 |
JP2017067470A (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 株式会社タツノ | 校正装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6433316B1 (en) * | 2001-07-09 | 2002-08-13 | James Sigety | Apparatus and method for heating a pressurized container |
JP2003227597A (ja) * | 2002-02-01 | 2003-08-15 | Nippon Sanso Corp | ガス供給装置及び方法 |
WO2003081124A1 (fr) * | 2002-03-27 | 2003-10-02 | Compagnie Des Gaz De Petrole Primagaz | Dispositif d'alimentation en gaz de petrole liquefie a ventilateur notamment embarque sur un vehicule automobile |
-
2006
- 2006-05-30 JP JP2006149207A patent/JP2007321775A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6433316B1 (en) * | 2001-07-09 | 2002-08-13 | James Sigety | Apparatus and method for heating a pressurized container |
JP2003227597A (ja) * | 2002-02-01 | 2003-08-15 | Nippon Sanso Corp | ガス供給装置及び方法 |
WO2003081124A1 (fr) * | 2002-03-27 | 2003-10-02 | Compagnie Des Gaz De Petrole Primagaz | Dispositif d'alimentation en gaz de petrole liquefie a ventilateur notamment embarque sur un vehicule automobile |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013096456A (ja) * | 2011-10-28 | 2013-05-20 | Taiyo Nippon Sanso Corp | ガス供給装置 |
JP2017067470A (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 株式会社タツノ | 校正装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5897319B2 (ja) | 自立壁式の排気冷却ユニット及び電子機器冷却方法 | |
WO2010013307A1 (ja) | 表示装置 | |
JP2010061446A (ja) | サーバークーラーシステム | |
JP5127347B2 (ja) | 空気調和機 | |
JP2005268546A (ja) | 筐体ユニット収納ラック | |
JP2007321775A (ja) | ガス容器の載置台 | |
JP2009252730A (ja) | バッテリ装置 | |
JP6121856B2 (ja) | 蓄電装置 | |
JP2003306787A (ja) | 水素を生成する電解セルのためのガス生成システムおよび換気システム | |
JP2020104053A (ja) | 液体微細化装置 | |
JP6087232B2 (ja) | 加湿装置 | |
JP2008215633A (ja) | 空気調和機 | |
JP2007317493A (ja) | 燃料電池システム | |
CN219079637U (zh) | 温度调节装置、蒸发源及用于量子点发光器件的蒸镀装置 | |
JP5735815B2 (ja) | 燃料電池システム | |
JP6646521B2 (ja) | 燃料電池装置 | |
JP5625593B2 (ja) | 加湿装置 | |
JP5459540B2 (ja) | 給湯装置 | |
JP7170175B2 (ja) | 液体微細化装置 | |
JP5693413B2 (ja) | 天井埋込形空気調和装置の室内機 | |
JP2010210172A (ja) | 調温調湿装置 | |
JP4931016B2 (ja) | 赤外線ヒータ | |
JP2006084164A (ja) | 給湯室外機及び給湯空気調和機 | |
JP7072366B2 (ja) | 燃料電池装置 | |
JP4812868B2 (ja) | 給湯室外機及び給湯空気調和機 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20090331 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110719 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110726 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20120110 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |