JP2007313544A

JP2007313544A - Beam welding equipment and beam welding method

Info

Publication number: JP2007313544A
Application number: JP2006146535A
Authority: JP
Inventors: Yasukazu Sakaguchi; 能一坂口
Original assignee: Pioneer FA Corp; Pioneer Electronic Corp
Current assignee: Pioneer Corp; Pioneer FA Corp
Priority date: 2006-05-26
Filing date: 2006-05-26
Publication date: 2007-12-06

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a beam welding equipment capable of performing the continuous welding while adequately changing the output of beams to be applied to a workpiece. SOLUTION: The beam welding equipment performs the welding so as to seal a workpiece by irradiating the workpiece with beams such as laser beams and electron beams. More specifically, in the beam welding equipment, the workpiece is subjected to the continuous welding by emitting beams by a beam emission means, and moving the beam irradiation position in the workpiece by an irradiation position changing means. Further, the beam welding equipment changes the beam output when welding one workpiece by a beam output changing means. Thus, one workpiece can be uniformly sealed while preventing any deep welding trace or forming a hole in a corner or the like of the workpiece. Still further, any leak occurring in the workpiece can also be effectively prevented. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、ワークに対してレーザビームや電子ビームなどを照射することによって溶接を行うビーム溶接装置、及びビーム溶接方法に関する。 The present invention relates to a beam welding apparatus and a beam welding method for performing welding by irradiating a workpiece with a laser beam or an electron beam.

従来から、水晶素子や半導体素子などの電子部品のパッケージ封止において、リッド（蓋）に対してレーザビームを照射することによって、リッドとパッケージとを溶接（レーザ溶接）することが行われている。例えば、特許文献１及び２には、パルス型のレーザビーム（パルスレーザ）を用いて、ワークの溶接を行うレーザ溶接装置が記載されている。 Conventionally, in the packaging of electronic components such as crystal elements and semiconductor elements, the lid and the package are welded (laser welding) by irradiating the lid with a laser beam. . For example, Patent Documents 1 and 2 describe laser welding apparatuses that perform workpiece welding using a pulsed laser beam (pulse laser).

特開平９−１２２９５６号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-122956 特開平１１−２４５０６６号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-245066

しかしながら、上記した特許文献１及び２に記載された技術では、レーザビームを照射する位置を１パルスごとに移動させながら断続的に溶接を行っていたため、溶接幅が太く、小型の電子部品の溶接には適さない場合があった。そのため、１パルス周期でワークの溶接が終了するように、すなわち、１パルスを照射している間にワークのリッド外周を１周するように照射位置を移動させて溶接することで、溶接幅を細くすることができものと考えられる。しかしながら、この方法では、常時均一なビーム出力では溶接方向が変わるリッドの角付近の溶接が強いため、溶接痕が大きくなったり、溶接が深くなったり、穴が開くような場合があった。更に、溶接初めと終わりでは、溶接状態（強さ）が異なり、リークが発生してしまう場合もあった。 However, in the techniques described in Patent Documents 1 and 2 described above, since welding is performed intermittently while moving the position of laser beam irradiation for each pulse, the welding width is large and welding of small electronic components is performed. In some cases, it was not suitable. For this reason, welding is performed by moving the irradiation position so that welding of the workpiece is completed in one pulse cycle, that is, one round of the outer periphery of the lid of the workpiece while irradiating one pulse. It can be thinned. However, in this method, since welding near the corners of the lid where the welding direction changes with a uniform beam output at all times is strong, there are cases in which welding marks become large, welding becomes deep, or holes are opened. Furthermore, the welding state (strength) is different at the beginning and end of welding, and leakage may occur.

本発明が解決しようとする課題は上記のようなものが例として挙げられる。本発明は、ワークに対して照射するビーム出力を適切に変化させながら連続溶接を行うことが可能なビーム溶接装置及びビーム溶接方法を提供することを課題とする。 Examples of the problem to be solved by the present invention are as described above. An object of the present invention is to provide a beam welding apparatus and a beam welding method capable of performing continuous welding while appropriately changing the beam output applied to the workpiece.

請求項１に記載の発明は、ワークに対してビームを照射することによって、前記ワークが封止されるように溶接を行うビーム溶接装置は、ビームを出射するビーム出射手段と、前記ビーム出射部から出射されたビームの照射位置を前記ワーク内で移動させることによって、当該ワークを連続溶接させる照射位置変更手段と、１つのワークに対する溶接時に、前記ビーム出射手段が出射するビームにおけるビーム出力を変化させるビーム出力変更手段と、を備える。 According to a first aspect of the present invention, there is provided a beam welding apparatus for performing welding so that the workpiece is sealed by irradiating the workpiece with a beam, beam emitting means for emitting a beam, and the beam emitting portion. By moving the irradiation position of the beam emitted from the workpiece within the workpiece, the irradiation position changing means for continuously welding the workpiece, and the beam output of the beam emitted by the beam emitting means at the time of welding to one workpiece is changed. Beam output changing means.

請求項１０に記載の発明は、ワークに対してビームを照射することによって、前記ワークが封止されるように溶接を行うビーム溶接方法は、ビームを出射させるビーム出射工程と、前記ビームの照射位置を前記ワーク内で移動させることによって、当該ワークを連続溶接させる照射位置変更工程と、１つのワークに対する溶接時に、前記ビームのビーム出力を変化させるビーム出力変更工程と、を備える。 According to a tenth aspect of the present invention, there is provided a beam welding method for performing welding so that the workpiece is sealed by irradiating the workpiece with a beam. An irradiation position changing step of continuously welding the workpiece by moving the position within the workpiece, and a beam output changing step of changing the beam output of the beam at the time of welding to one workpiece.

本発明の好適な実施形態では、ワークに対してビームを照射することによって、前記ワークが封止されるように溶接を行うビーム溶接装置は、ビームを出射するビーム出射手段と、前記ビーム出射部から出射されたビームの照射位置を前記ワーク内で移動させることによって、当該ワークを連続溶接させる照射位置変更手段と、１つのワークに対する溶接時に、前記ビーム出射手段が出射するビームにおけるビーム出力を変化させるビーム出力変更手段と、を備える。 In a preferred embodiment of the present invention, a beam welding apparatus that performs welding so that the workpiece is sealed by irradiating the workpiece with a beam includes a beam emitting means for emitting a beam, and the beam emitting portion. By moving the irradiation position of the beam emitted from the workpiece within the workpiece, the irradiation position changing means for continuously welding the workpiece, and the beam output of the beam emitted by the beam emitting means at the time of welding to one workpiece is changed. Beam output changing means.

上記のビーム溶接装置は、ワークに対してレーザビームや電子ビームなどのビームを照射することによって、ワークが封止されるように溶接を行う。具体的には、ビーム溶接装置は、ビーム出射手段によってビームを出射し、照射位置変更手段によって、ビームの照射位置をワーク内で移動させてワークを連続溶接させる。即ち、ビーム溶接装置は、パルスレーザなどによってパルスごとに断続的に溶接を行うのではなく、ワークを連続溶接する。更に、ビーム溶接装置は、ビーム出力変更手段によって、１つのワークに対する溶接時にビーム出力を変化させる。これにより、ワークの角等に深い溶接跡や穴が開いてしまうことを防止しつつ、１つのワークを効果的に均等に封止することが可能となる。また、ワークに発生し得るリークを防止することができる。 The beam welding apparatus performs welding so that the workpiece is sealed by irradiating the workpiece with a beam such as a laser beam or an electron beam. Specifically, the beam welding apparatus emits a beam by the beam emitting unit, and moves the irradiation position of the beam within the workpiece by the irradiation position changing unit to continuously weld the workpiece. That is, the beam welding apparatus does not intermittently weld each pulse by a pulse laser or the like, but continuously welds the workpiece. Further, the beam welding apparatus changes the beam output when welding one workpiece by the beam output changing means. This makes it possible to effectively and uniformly seal one workpiece while preventing deep welding marks and holes from opening at the corners of the workpiece. Further, it is possible to prevent a leak that may occur in the workpiece.

上記のビーム溶接装置の一態様では、前記ビーム出力変更手段は、１つのワークに対する溶接時に、前記ビーム出力を段階的に低減させていく。この態様では、ビーム出力変更手段は、ワークに対する溶接の進行に従って、ビーム出力を断続的に低減させていく。これにより、溶接中にワークに徐々に熱が溜まったり、ワーク上で大きな温度分布が生じてしまったりすることを抑制し、均等な溶接を行うことが可能となる。 In one aspect of the beam welding apparatus, the beam output changing unit reduces the beam output stepwise when welding one workpiece. In this aspect, the beam output changing means intermittently reduces the beam output as welding progresses to the workpiece. As a result, it is possible to suppress the accumulation of heat gradually on the workpiece during welding or the occurrence of a large temperature distribution on the workpiece, and perform uniform welding.

上記のビーム溶接装置の他の一態様では、前記ビーム出力変更手段は、１つのワークに対する溶接時に、前記ビーム出力を連続的に低減させていく。この態様では、ビーム出力変更手段は、ワークに対する溶接の進行に従って、ビーム出力を徐々に連続的に低減させていく。これにより、更に効果的に、均等にワークを溶接することが可能となる。 In another aspect of the beam welding apparatus, the beam output changing unit continuously reduces the beam output when welding one workpiece. In this aspect, the beam output changing unit gradually and continuously reduces the beam output as the welding progresses to the workpiece. Thereby, it becomes possible to weld a workpiece | work more effectively and equally.

上記のビーム溶接装置の他の一態様では、前記ビーム出力変更手段は、前記ビームが前記ワークにおける角付近の領域を通過する際に、前記ビーム出力を大きく低減させる。これにより、ワークの角付近の溶接が強くなったり、角付近に熱が溜まったりすることによって、深い溶接跡や穴が開いてしまうといった不具合の発生を適切に抑制することができる。また、ワークの角付近とその他の部分との間における溶接のばらつきを抑制することができる。 In another aspect of the beam welding apparatus, the beam output changing unit greatly reduces the beam output when the beam passes through a region near the corner of the workpiece. As a result, it is possible to appropriately suppress the occurrence of defects such as deep welding marks or holes being opened due to the welding near the corners of the workpiece becoming stronger or the heat accumulating near the corners. Moreover, the dispersion | variation in the welding between the corner vicinity of a workpiece | work and another part can be suppressed.

上記のビーム溶接装置の他の一態様では、前記ビーム出力変更手段は、前記ワークに対する溶接開始時には、前記ビーム出力を徐々に上昇させ、前記ワークに対する溶接終了時には、前記ビーム出力を徐々に低減させる。 In another aspect of the beam welding apparatus, the beam output changing unit gradually increases the beam output at the start of welding on the workpiece, and gradually decreases the beam output at the end of welding on the workpiece. .

この態様では、ビーム出力変更手段は、溶接開始時にビーム出力を急激に上昇させることなく、徐々に上昇させていく。また、ビーム出力変更手段は、溶接終了時にビーム出力を急激に低減させることなく、徐々に低減させていく。これにより、溶接開始位置と溶接終了位置との継目における溶接跡の乱れを軽減し、他の溶接部分との差を抑制することが可能となる。 In this aspect, the beam output changing means gradually increases the beam output without suddenly increasing at the start of welding. The beam output changing means gradually reduces the beam output without abruptly reducing the beam output at the end of welding. Thereby, the disturbance of the welding trace in the joint of a welding start position and a welding end position can be reduced, and it becomes possible to suppress the difference with another welding part.

上記のビーム溶接装置の他の一態様では、前記ビーム出力変更手段は、前記ワークにおける溶接開始位置と溶接終了位置との間以外の場所に位置し、且つ前記ワークの辺上に位置する所定箇所を前記ビームが通過する際に、前記ビーム出力を大きく低減させ、前記ビームが前記所定箇所の通過した後は、当該所定箇所を通過前のビーム出力と同一或いは低いビーム出力に上昇させる。また、前記ビーム出力変更手段は、溶接時に前記ワーク内で発生したガスを前記所定箇所から抜き取るために、当該所定箇所を前記ビームが通過する際に、前記ビーム出力を大きく低減させる。 In another aspect of the beam welding apparatus, the beam output changing unit is located at a place other than between the welding start position and the welding end position of the workpiece and is located on a side of the workpiece. When the beam passes, the beam output is greatly reduced, and after the beam passes through the predetermined portion, the predetermined portion is raised to the same or lower beam output as the beam output before passing through. Further, the beam output changing means greatly reduces the beam output when the beam passes through the predetermined location in order to extract the gas generated in the workpiece during welding from the predetermined location.

この態様では、ビーム出力変更手段は、ワークにおける溶接開始位置と溶接終了位置との間（この場合、狭い方の間を意味するものとする）以外の、角からある程度離れたワークの辺上に位置する所定箇所に、未溶接箇所を形成する。即ち、溶接が安定している箇所に未溶接箇所を設ける。このように未溶接箇所を形成するのは、溶接時に発生したワーク内部のガスを抜き取るためである。このように溶接が安定している箇所にガス抜きする穴を設けているため、穴の大きさを概ね均等にすることができる。 In this aspect, the beam output changing means is on a side of the work that is apart from the corner to some extent other than between the welding start position and the welding end position of the work (in this case, it means the narrower one). An unwelded location is formed at a predetermined location. That is, an unwelded location is provided at a location where welding is stable. The reason for forming the unwelded portion in this way is to extract the gas inside the workpiece generated during welding. Thus, since the hole which vents gas is provided in the location where welding is stable, the magnitude | size of a hole can be made substantially uniform.

好適には、上記のビーム溶接装置は、前記所定箇所から前記ガスが抜き取られた後に、前記ワークが気密封止されるように前記所定箇所を再度溶接する手段を更に備える。前述したように未溶接箇所を形成することによって、ガス抜きする穴の大きさを均等にすることができるため、容易に穴埋め溶接を行うことができ、リ−クを確実に防止することが可能となる。また、ガス抜きする穴の大きさを均等にすることができるため、穴埋め溶接する長さを最低限の長さで済ませることが可能となると共に、穴埋め溶接の際に発生するガスも最低限に抑えることが可能となる。 Preferably, the beam welding apparatus further includes means for re-welding the predetermined portion so that the workpiece is hermetically sealed after the gas is extracted from the predetermined portion. By forming the unwelded portion as described above, the size of the hole to be degassed can be made uniform, so that it is possible to easily perform hole-filling welding and reliably prevent leakage. It becomes. In addition, since the size of the holes to be degassed can be made uniform, it is possible to reduce the length of the hole-filling welding to a minimum length and minimize the gas generated during hole-filling welding. It becomes possible to suppress.

上記のビーム溶接装置の他の一態様では、前記照射位置変更手段は、１つのワークにおいて溶接開始時に前記ビームが照射される箇所と溶接終了時に前記ビームが照射される箇所とが、当該ワークの辺上で重なり合うように、前記ビームの照射位置を移動させる。これにより、溶接の継目で生じ得るリークを確実に防止することができる。 In another aspect of the beam welding apparatus, the irradiation position changing means includes a position where the beam is irradiated at the start of welding and a position where the beam is irradiated at the end of welding in one workpiece. The irradiation position of the beam is moved so as to overlap on the side. As a result, it is possible to reliably prevent leakage that may occur at the welding seam.

本発明の他の実施形態では、ワークに対してビームを照射することによって、前記ワークが封止されるように溶接を行うビーム溶接方法は、ビームを出射させるビーム出射工程と、前記ビームの照射位置を前記ワーク内で移動させることによって、当該ワークを連続溶接させる照射位置変更工程と、１つのワークに対する溶接時に、前記ビームのビーム出力を変化させるビーム出力変更工程と、を備える。上記したビーム溶接方法によっても、ワークの角付近等に深い溶接跡や穴が開いてしまうことを防止しつつ、１つのワークを効果的に均等に封止することが可能となる。 In another embodiment of the present invention, a beam welding method for performing welding so that the workpiece is sealed by irradiating the workpiece with a beam includes a beam emitting step of emitting the beam, and irradiation of the beam. An irradiation position changing step of continuously welding the workpiece by moving the position within the workpiece, and a beam output changing step of changing the beam output of the beam at the time of welding to one workpiece. Even with the above-described beam welding method, it is possible to effectively uniformly seal one workpiece while preventing deep welding marks and holes from opening near the corners of the workpiece.

以下、図面を参照して本発明の好適な実施例について説明する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

［レーザ溶接装置の構成］
まず、本実施例に係るレーザ溶接装置の構成について説明する。 [Configuration of laser welding equipment]
First, the structure of the laser welding apparatus according to the present embodiment will be described.

図１は、本実施例に係るレーザ溶接装置１００の概略構成を示す図である。レーザ溶接装置１００は、主に、レーザビーム出射装置３５と、ガルバノヘッド３６と、トレイ２０を備える。レーザ溶接装置１００は、トレイ２０上に載置された複数のワーク１０に対して溶接を行う装置である。なお、図１中の白抜き矢印は、レーザビームの進行する方向を示している。 FIG. 1 is a diagram illustrating a schematic configuration of a laser welding apparatus 100 according to the present embodiment. The laser welding apparatus 100 mainly includes a laser beam emitting device 35, a galvano head 36, and a tray 20. The laser welding apparatus 100 is an apparatus that performs welding on a plurality of workpieces 10 placed on the tray 20. In addition, the white arrow in FIG. 1 has shown the direction where a laser beam advances.

ここで、ワークの具体的な構成について、図２を用いて説明する。図２は、ワーク１０を拡大して示した図である。 Here, a specific configuration of the workpiece will be described with reference to FIG. FIG. 2 is an enlarged view of the workpiece 10.

具体的には、図２（ａ）は、ワーク１０の上面図を示し、図２（ｂ）はワークの側面図を示し、図２（ｃ）は図２（ａ）中の切断線Ａ１−Ａ２に沿った断面図を示している。ワーク１０は、板状のリッド１０ａと、箱状のパッケージ１０ｂと、電子部品１０ｃと、を備える電子部品１０ｃは、水晶素子や半導体素子などの素子や圧電体などを有しており、パッケージ１０ｂ内に収納される。前述したレーザ溶接装置１００は、少なくともリッド１０ａに対してレーザビームを照射する。これにより、リッド１０ａが溶融してパッケージ１０ｂに対して溶接されることにより、ワーク１０が封止される。 Specifically, FIG. 2 (a) shows a top view of the workpiece 10, FIG. 2 (b) shows a side view of the workpiece, and FIG. 2 (c) shows a cutting line A1- in FIG. 2 (a). A cross-sectional view along A2 is shown. The workpiece 10 includes a plate-shaped lid 10a, a box-shaped package 10b, and an electronic component 10c. The electronic component 10c includes an element such as a crystal element or a semiconductor element, a piezoelectric body, and the like, and the package 10b. Stored inside. The laser welding apparatus 100 described above irradiates at least the lid 10a with a laser beam. Thereby, the work 10 is sealed by melting the lid 10a and welding it to the package 10b.

図１に戻って、レーザ溶接装置１００について説明を行う。レーザビーム出射装置３５は、所定のパルス周期（即ち周期的に）で、レーザビームＬＢ１を出射し、このレーザビームＬＢ１をガルバノヘッド３６に対して照射する。詳しくは、レーザビーム出射装置３５は、パルス型のレーザビームを発振する発振器や、レーザビームの波形や出力（レーザ出力）を制御可能な制御装置などを備えている。よって、レーザビーム出射装置３５からは、制御装置によって制御された後のレーザビームＬＢ１が出射される。 Returning to FIG. 1, the laser welding apparatus 100 will be described. The laser beam emitting device 35 emits the laser beam LB1 at a predetermined pulse period (that is, periodically), and irradiates the galvano head 36 with the laser beam LB1. Specifically, the laser beam emitting device 35 includes an oscillator that oscillates a pulsed laser beam, a control device that can control the waveform and output (laser output) of the laser beam, and the like. Therefore, the laser beam LB1 after being controlled by the control device is emitted from the laser beam emitting device 35.

ガルバノヘッド３６は、レーザビームＬＢ１を受光し、当該レーザビームＬＢ１を照射する位置を移動させるレーザスキャナとして機能する。具体的には、ガルバノヘッド３６は、トレイ２０上のワーク１０を画像計測するカメラや、画像計測結果に基づいて照射する位置を補正（位置補正）する位置補正機構や、レーザビームを走査する走査機構や、レーザビームを反射するミラーや、レーザビームを集光する集光レンズなどを備える。ガルバノヘッド３６から出射されたレーザビームＬＢ２がワーク１０に対して照射されることにより、ワーク１０の溶接が行われる。このように、レーザビーム出射装置３５はレーザビーム出射手段及びビーム出力変更手段として機能し、ガルバノヘッド３６は照射位置変更手段として機能する。 The galvano head 36 functions as a laser scanner that receives the laser beam LB1 and moves a position where the laser beam LB1 is irradiated. Specifically, the galvano head 36 is a camera that measures the image of the workpiece 10 on the tray 20, a position correction mechanism that corrects (position correction) the irradiation position based on the image measurement result, and scanning that scans the laser beam. A mechanism, a mirror that reflects the laser beam, a condenser lens that condenses the laser beam, and the like are provided. By irradiating the workpiece 10 with the laser beam LB2 emitted from the galvano head 36, the workpiece 10 is welded. Thus, the laser beam emitting device 35 functions as a laser beam emitting unit and a beam output changing unit, and the galvano head 36 functions as an irradiation position changing unit.

［レーザ溶接方法］
以下で、本発明の実施例に係るレーザ溶接方法について説明する。本実施例では、１パルス周期に１つのワーク１０に対する溶接が終了するように、レーザビームＬＢ２の照射位置をワーク１０内で移動させる。即ち、１パルス周期にレーザビームＬＢ２を走査させることによって連続溶接を行う。 [Laser welding method]
Hereinafter, a laser welding method according to an embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, the irradiation position of the laser beam LB2 is moved within the workpiece 10 so that welding on one workpiece 10 is completed in one pulse cycle. That is, continuous welding is performed by scanning the laser beam LB2 in one pulse cycle.

更に、本実施例では、１つのワークに対する溶接時に、ワーク１０に対して照射するレーザビームＬＢ２のレーザ出力を変化させる。こうするのは、主に、ワーク１０の角付近等に深い溶接跡や穴が開いてしまうことを防止しつつ、１つのワーク１０を均等に封止するためである。 Further, in this embodiment, the laser output of the laser beam LB2 irradiated to the workpiece 10 is changed during welding of one workpiece. This is mainly to uniformly seal one workpiece 10 while preventing deep welding marks or holes from opening near the corners of the workpiece 10 or the like.

（第１実施例）
ここで、本発明の第１実施例に係るレーザ溶接方法について説明する。 (First embodiment)
Here, the laser welding method according to the first embodiment of the present invention will be described.

第１実施例では、レーザビーム出射装置３５が、１つのワーク１０に対する溶接時に、ワーク１０に対する溶接の進行に従って、レーザ出力を段階的に（断続的に）低減させる。また、レーザビーム出射装置３５は、レーザビームＬＢ２がワーク１０における角付近の領域を通過する際にレーザ出力を大きく低減させる。更に、レーザビーム出射装置３５は、溶接開始時にレーザ出力を徐々に上昇させ、溶接終了時にレーザ出力を徐々に低減させる。 In the first embodiment, the laser beam emitting device 35 reduces the laser output stepwise (intermittently) according to the progress of welding to the workpiece 10 when welding to one workpiece 10. Further, the laser beam emitting device 35 greatly reduces the laser output when the laser beam LB2 passes through a region near the corner of the workpiece 10. Further, the laser beam emitting device 35 gradually increases the laser output at the start of welding and gradually decreases the laser output at the end of welding.

図３は、第１実施例においてレーザビームＬＢ２の照射位置を移動させる方向などを、具体的に説明するための図である。なお、図３は、ワーク１０の上面図を示している。 FIG. 3 is a diagram for specifically explaining the direction of moving the irradiation position of the laser beam LB2 in the first embodiment. FIG. 3 shows a top view of the workpiece 10.

ハッチング領域７０は、溶接を行うべき領域、即ち溶接時にレーザビームＬＢ２を照射すべき領域を示している（以下、この領域を「溶接領域」とも呼ぶ）。この場合、ワーク１０の溶接は、リッド１０ａの外周付近にレーザビームＬＢ２を照射することによって行う。第１実施例では、１パルス周期の間に、１つのワーク１０に対する溶接が終了するようにレーザビームＬＢ２を照射する位置を移動させる。詳しくは、１パルス周期の間に、矢印７１で示すように照射位置を移動させる。具体的には、ガルバノヘッド３６が、１パルス周期の間に照射位置がリッド１０ａの外周付近（溶接領域７０に対応する）を一周するように、レーザビームＬＢ２の照射位置を移動させることによって連続溶接を行う。 A hatching area 70 indicates an area to be welded, that is, an area to be irradiated with the laser beam LB2 during welding (hereinafter, this area is also referred to as a “welding area”). In this case, the workpiece 10 is welded by irradiating the laser beam LB2 near the outer periphery of the lid 10a. In the first embodiment, the position where the laser beam LB2 is irradiated is moved so that welding on one workpiece 10 is completed during one pulse period. Specifically, the irradiation position is moved as indicated by an arrow 71 during one pulse period. Specifically, the galvano head 36 continuously moves the irradiation position of the laser beam LB2 so that the irradiation position makes a round around the outer periphery of the lid 10a (corresponding to the welding region 70) during one pulse period. Weld.

より詳しくは、第１実施例では、位置ＡからレーザビームＬＢ２の照射を開始し、ワーク１０の角に位置する位置Ｂ、位置Ｃ、位置Ｄ、位置Ｅを順に通過するようにレーザビームＬＢ２の照射位置を移動させ、位置ＦでレーザビームＬＢ２の照射を終了する。つまり、ワーク１０の辺上の位置から溶接を開始し、ワーク１０の辺上の位置でレーザビームＬＢ２の溶接を終了する。更に、第１実施例では、溶接開始時にレーザビームＬＢ２が照射される箇所と溶接終了時にレーザビームが照射される箇所とが重なり合うように溶接を行っている。これにより、溶接の開始位置である位置Ａと溶接の終了位置である位置Ｆとの間の領域７２に、溶接の継目（溶接が重なり合う部分）が形成される。この場合、溶接の継目には、ある程度の幅を持たせてある。 More specifically, in the first embodiment, the irradiation of the laser beam LB2 is started from the position A, and the laser beam LB2 is sequentially passed through the position B, the position C, the position D, and the position E positioned at the corners of the workpiece 10. The irradiation position is moved, and the irradiation of the laser beam LB2 is terminated at the position F. That is, welding is started from a position on the side of the workpiece 10, and welding of the laser beam LB2 is terminated at a position on the side of the workpiece 10. Further, in the first embodiment, the welding is performed so that the portion irradiated with the laser beam LB2 at the start of welding overlaps the portion irradiated with the laser beam at the end of welding. As a result, a weld seam (a portion where welding overlaps) is formed in a region 72 between a position A that is a welding start position and a position F that is a welding end position. In this case, the welding seam has a certain width.

なお、本明細書では、「ワークの辺上」とは、ワーク１０の溶接領域において、ワーク１０の角からある程度離れた部分を意味するものとする。 In the present specification, “on the side of the work” means a part of the welding region of the work 10 that is away from the corner of the work 10 to some extent.

図４は、図３に示すようにレーザビームＬＢ２の照射位置を移動させたときに、レーザ出力を変化させる手順を説明するための図である。図４は、横軸に時間を示し、縦軸にレーザ出力を示している。なお、レーザビームＬＢ２の照射位置はガルバノヘッド３６によって移動されるが、ガルバノヘッド３６は、照射位置を概ね一定速度で移動させるものとする。 FIG. 4 is a diagram for explaining a procedure for changing the laser output when the irradiation position of the laser beam LB2 is moved as shown in FIG. FIG. 4 shows time on the horizontal axis and laser output on the vertical axis. The irradiation position of the laser beam LB2 is moved by the galvano head 36. The galvano head 36 moves the irradiation position at a substantially constant speed.

まず、時刻ｔ１０で、ワーク１０に対する溶接を開始する。この場合、ガルバノヘッド３６は、位置ＡにレーザビームＬＢ２を照射する。この後、ガルバノヘッド３６が照射位置を位置Ａから位置Ｂの方向に向かって移動させると共に、レーザビーム出射装置３５は、レーザ出力を徐々に上昇させていく。言い換えると、レーザビーム出射装置３５は、溶接開始時に、急激にレーザ出力を上昇させない。そして、レーザ出力がレーザ出力Ｌ１０にまで上昇した際に（時刻ｔ１０ａ）、レーザビーム出射装置３５はレーザ出力を固定する。言い換えると、レーザビーム出射装置３５は、レーザビームＬＢ２の照射位置が領域７２を通過し終える時刻ｔ１０ａにおいて、レーザ出力の上昇を終了し、レーザ出力Ｌ１０に維持する。 First, welding to the workpiece 10 is started at time t10. In this case, the galvano head 36 irradiates the position A with the laser beam LB2. Thereafter, the galvano head 36 moves the irradiation position from the position A toward the position B, and the laser beam emitting device 35 gradually increases the laser output. In other words, the laser beam emitting device 35 does not rapidly increase the laser output at the start of welding. When the laser output rises to the laser output L10 (time t10a), the laser beam emitting device 35 fixes the laser output. In other words, the laser beam emitting device 35 finishes raising the laser output and maintains the laser output L10 at time t10a when the irradiation position of the laser beam LB2 finishes passing through the region 72.

この後、照射位置がワーク１０の角に位置する位置Ｂ付近に差し掛かるため（時刻ｔ１１ａ）、レーザビーム出射装置３５は、レーザ出力を大きく低減させる。そして、概ね時刻ｔ１１においてレーザビームＬＢ２が位置Ｂを通過するため、レーザビーム出射装置３５は、この時刻ｔ１１の経過後にレーザ出力を上昇させ始める。この場合、レーザビーム出射装置３５は、位置Ｂを通過するまでに設定していたレーザ出力Ｌ１０よりも低いレーザ出力Ｌ１１になるまで、レーザ出力を上昇させる。そして、レーザビーム出射装置３５は、レーザ出力がレーザ出力Ｌ１１にまで達する時刻ｔ１１ｂにおいて、レーザ出力を固定する。 Thereafter, since the irradiation position approaches the position B located at the corner of the workpiece 10 (time t11a), the laser beam emitting device 35 greatly reduces the laser output. Since the laser beam LB2 passes through the position B approximately at time t11, the laser beam emitting device 35 starts increasing the laser output after the time t11 has elapsed. In this case, the laser beam emitting device 35 increases the laser output until the laser output L11 is lower than the laser output L10 set before passing through the position B. The laser beam emitting device 35 fixes the laser output at time t11b when the laser output reaches the laser output L11.

この後も同様に、ワーク１０の角付近に位置する位置Ｃ、Ｄ、Ｅ付近を照射位置が通過し始める際に（時刻ｔ１２、ｔ１３、ｔ１４付近を参照）、レーザビーム出射装置３５は、レーザ出力を大きく低減させる。そして、レーザビーム出射装置３５は、位置Ｃ、Ｄ、Ｅを通過し終えた後に、これらの位置の通過前に設定していたレーザ出力よりも低いレーザ出力に設定する。具体的には、位置Ｃを通過後はレーザ出力Ｌ１１からレーザ出力Ｌ１２へ低減させ、位置Ｄを通過後はレーザ出力Ｌ１２からレーザ出力Ｌ１３へ低減させ、位置Ｅを通過後はレーザ出力Ｌ１３からレーザ出力Ｌ１４へ低減させる。このように、レーザビーム出射装置３５は、ワーク１０に対する溶接の進行に従って、レーザビームＬＢ２の照射位置がワーク１０の角付近を通過し終えるごとに、レーザ出力を段階的に低減させていく。 Similarly, when the irradiation position starts to pass through positions C, D, and E located near the corner of the workpiece 10 (see the vicinity of times t12, t13, and t14), the laser beam emitting device 35 is used as a laser. The output is greatly reduced. The laser beam emitting device 35 sets the laser output to be lower than the laser output set before passing through these positions after passing through the positions C, D, and E. Specifically, the laser output L11 is reduced from the laser output L12 after passing through the position C, the laser output L12 is reduced from the laser output L12 after passing through the position D, and the laser output L13 is changed from the laser output L13 after passing through the position E. Reduce to output L14. As described above, the laser beam emitting device 35 gradually reduces the laser output every time the irradiation position of the laser beam LB2 finishes passing near the corner of the workpiece 10 as the welding progresses to the workpiece 10.

そして、レーザビーム出射装置３５は、照射位置が位置Ｅ（ワーク１０において最後に通過する角に対応する）を通過してからある程度の距離を移動した際に（時刻ｔ１４ａ）、レーザ出力を徐々に低減させる。具体的には、レーザビーム出射装置３５は、レーザビームＬＢ２の照射位置が領域７２に差し掛かる時刻ｔ１４ａにおいて、レーザ出力を低減し始める。そして、レーザビーム出射装置３５は、照射位置が位置Ｆに達した際に、ワーク１０に対する溶接を終了する（時刻ｔ１５）。このように、レーザビーム出射装置３５は、急激にレーザ出力を低減させないで、徐々にレーザ出力を低減させることによって溶接を終了する。 The laser beam emitting device 35 gradually increases the laser output when the irradiation position moves a certain distance after passing through the position E (corresponding to the angle at which the workpiece 10 is finally passed) (time t14a). Reduce. Specifically, the laser beam emitting device 35 starts reducing the laser output at time t14a when the irradiation position of the laser beam LB2 reaches the region 72. Then, when the irradiation position reaches the position F, the laser beam emitting device 35 ends the welding to the workpiece 10 (time t15). In this manner, the laser beam emitting device 35 ends the welding by gradually reducing the laser output without rapidly reducing the laser output.

以上のように、第１実施例に係るレーザ溶接方法では、１つのワーク１０に対する溶接時に、レーザ出力を段階的に低減させて溶接を行う。これにより、ワーク１０に徐々に熱が溜まったり、ワーク１０上で大きな温度分布が生じてしまったりすることを抑制し、均等な溶接を行うことができる。したがって、溶接後のワーク１０におけるリークを防止することができる。また、第１実施例では、レーザビームＬＢ２がワーク１０における角付近の領域を通過する際にレーザ出力を大きく低減させる。これにより、ワーク１０の角付近の溶接が強くなったり、角付近に熱が溜まったりすることによって、深い溶接跡や穴が開いてしまうといった不具合の発生を適切に抑制することができる。また、ワーク１０の角付近とその他の部分との間における溶接のばらつきを抑制することができる。 As described above, in the laser welding method according to the first embodiment, welding is performed by gradually reducing the laser output when welding one workpiece 10. Thereby, it can suppress that heat accumulates in the workpiece | work 10 gradually, or a big temperature distribution arises on the workpiece | work 10, and can perform uniform welding. Therefore, leakage in the workpiece 10 after welding can be prevented. In the first embodiment, the laser output is greatly reduced when the laser beam LB2 passes through a region near the corner of the workpiece 10. Thereby, generation | occurrence | production of the malfunction that a deep welding trace and a hole open can be suppressed appropriately, when welding of the workpiece | work 10 corner vicinity becomes strong, or heat accumulates in the corner vicinity. Moreover, the dispersion | variation in the welding between the corner vicinity of the workpiece | work 10 and another part can be suppressed.

更に、第１実施例に係るレーザ溶接方法では、溶接開始時にレーザ出力を徐々に上昇させ、溶接終了時にレーザ出力を徐々に低減させる。これにより、溶接の継目における溶接跡の乱れを軽減し、他の溶接部分との差を抑制することができる。また、溶接の継目をワーク１０の辺上に形成しているため、溶接の継目で生じ得るリークを確実に防止することができる。 Furthermore, in the laser welding method according to the first embodiment, the laser output is gradually increased at the start of welding, and the laser output is gradually decreased at the end of welding. Thereby, disorder of the welding trace in the welding seam can be reduced, and a difference from other welding parts can be suppressed. Moreover, since the welding seam is formed on the side of the workpiece 10, leakage that may occur at the welding seam can be reliably prevented.

（第２実施例）
次に、本発明の第２実施例に係るレーザ溶接方法ついて説明する。第２実施例では、前述した第１実施例のようにレーザ出力を段階的に低減させる代わりに、レーザ出力を徐々に低減させていく。言い換えると、第１実施例ではレーザ出力を断続的に低減させていたのに対して、第２実施例ではレーザ出力を連続的に低減させていく。 (Second embodiment)
Next, a laser welding method according to the second embodiment of the present invention will be described. In the second embodiment, the laser output is gradually reduced instead of gradually reducing the laser output as in the first embodiment. In other words, the laser output is intermittently reduced in the first embodiment, whereas the laser output is continuously reduced in the second embodiment.

図５は、第２実施例に係るレーザ溶接方法を説明するための図である。具体的には、図５は、上記した図３に示すようにレーザビームＬＢ２の照射位置を移動させたときに（即ち、照射位置が位置Ａ→Ｂ→Ｃ→Ｄ→Ｅ→Ｆへと順に通過していくように溶接を行ったとき）、レーザ出力を変化させる手順を示している。なお、図５は、横軸に時間を示し、縦軸にレーザ出力を示している。 FIG. 5 is a diagram for explaining a laser welding method according to the second embodiment. Specifically, FIG. 5 shows the case where the irradiation position of the laser beam LB2 is moved as shown in FIG. 3 (that is, the irradiation position is changed from position A → B → C → D → E → F in order). This shows the procedure for changing the laser output when welding is performed to pass through. In FIG. 5, the horizontal axis represents time, and the vertical axis represents laser output.

まず、時刻ｔ２０で、ワーク１０における位置ＡにレーザビームＬＢ２を照射させることによって溶接を開始する。この後、ガルバノヘッド３６は、照射位置を位置Ａから位置Ｂの方向に向かって移動させる。この場合、レーザビーム出射装置３５は、レーザビームＬＢ２の照射位置が領域７２（図３参照）を通過し終えるまで、レーザ出力を徐々に上昇させ、領域７２を通過し終えた際にレーザ出力の上昇を終了する（時刻ｔ２０ａ）。その後、レーザビーム出射装置３５は、レーザ出力をレーザ出力Ｌ２０から連続的に低減させていく。 First, welding is started by irradiating the position A on the workpiece 10 with the laser beam LB2 at time t20. Thereafter, the galvano head 36 moves the irradiation position from the position A toward the position B. In this case, the laser beam emitting device 35 gradually increases the laser output until the irradiation position of the laser beam LB2 finishes passing through the region 72 (see FIG. 3). The ascent is finished (time t20a). Thereafter, the laser beam emitting device 35 continuously reduces the laser output from the laser output L20.

この後、照射位置がワーク１０の角に位置する位置Ｂ付近に差し掛かるため（時刻ｔ２１ａ）、レーザビーム出射装置３５は、レーザ出力を大きく低減させる。そして、概ね時刻ｔ２１においてレーザビームＬＢ２が位置Ｂを通過するため、レーザビーム出射装置３５は、この時刻ｔ２１の経過後にレーザ出力を上昇させる。この場合、レーザビーム出射装置３５は、レーザ出力を大きく低減させる直前に設定していたレーザ出力Ｌ２０ａよりも低いレーザ出力Ｌ２１になるまで、レーザ出力を上昇させる。そして、レーザビーム出射装置３５は、レーザ出力がレーザ出力Ｌ２１にまで上昇する時刻ｔ２１ｂにおいて、再び、レーザ出力を連続的に徐々に低減させていく。 Thereafter, since the irradiation position approaches the position B located at the corner of the workpiece 10 (time t21a), the laser beam emitting device 35 greatly reduces the laser output. Then, since the laser beam LB2 passes through the position B approximately at time t21, the laser beam emitting device 35 increases the laser output after the elapse of time t21. In this case, the laser beam emitting device 35 increases the laser output until the laser output L21 is lower than the laser output L20a set immediately before the laser output is greatly reduced. Then, the laser beam emitting device 35 continuously and gradually reduces the laser output again at time t21b when the laser output rises to the laser output L21.

この後も同様に、レーザビーム出射装置３５は、ワーク１０の角付近以外の場所を照射位置が通過している際に、レーザ出力を連続的に低減させていく。一方、レーザビーム出射装置３５は、ワーク１０の角付近に位置する位置Ｃ、Ｄ、Ｅ付近を照射位置が通過し始める際に（時刻ｔ２２、ｔ２３、ｔ２４付近を参照）、レーザ出力を大きく低減させる。この場合、レーザビーム出射装置３５は、位置Ｃ、Ｄ、Ｅを通過し終えた後に、これらの位置の通過前に設定していたレーザ出力よりも低いレーザ出力に設定する。そして、レーザビーム出射装置３５は、位置Ｅを通過してからある程度の距離を移動した際に（時刻ｔ２４ａ）、レーザ出力を徐々に低減させ、照射位置が位置Ｆに達した際にワーク１０に対する溶接を終了する（時刻ｔ２５）。 Similarly, the laser beam emitting device 35 continuously reduces the laser output when the irradiation position passes through a place other than the vicinity of the corner of the workpiece 10. On the other hand, the laser beam emitting device 35 greatly reduces the laser output when the irradiation position starts to pass near the positions C, D, and E located near the corners of the workpiece 10 (see the vicinity of times t22, t23, and t24). Let In this case, the laser beam emitting device 35 sets the laser output to be lower than the laser output set before passing through these positions after passing through the positions C, D, and E. The laser beam emitting device 35 gradually reduces the laser output when moving a certain distance after passing through the position E (time t24a), and when the irradiation position reaches the position F, Welding is terminated (time t25).

以上のように、第２実施例に係るレーザ溶接方法においては、レーザビーム出射装置３５は、ワーク１０に対する溶接の進行に従って、レーザ出力を連続的に低減させていく。これによっても、ワーク１０の角付近等に深い溶接跡や穴が開いてしまうことを防止しつつ、１つのワーク１０を効果的に均等に封止することが可能となる。 As described above, in the laser welding method according to the second embodiment, the laser beam emitting device 35 continuously reduces the laser output as the welding progresses to the workpiece 10. This also makes it possible to effectively and uniformly seal one workpiece 10 while preventing deep welding marks and holes from opening near the corners of the workpiece 10.

（第３実施例）
次に、本発明の第３実施例に係るレーザ溶接方法について説明する。第３実施例では、ワーク１０における溶接領域に溶接が弱い箇所（以下、「未溶接箇所」又は「ガス抜きする穴」と呼ぶ。）を形成して、リッド１０ａの一部とパッケージ１０ｂとが完全に溶接しないようにする点で、前述した第１実施例及び第２実施例とは異なる。より詳しくは、第３実施例では、ワーク１０における溶接開始位置と溶接終了位置との間（この場合、狭い方の間を意味するものとする）以外の、ワーク１０の辺上に位置する所定箇所に、未溶接箇所を形成する。このように未溶接箇所を形成するのは、溶接時に発生したワーク１０内部のガスを抜き取るためである。なお、１つのワーク１０に対する上記した一連の作業が終了してからある程度の時間が経過したときに、未溶接箇所に対して再度レーザビームＬＢ２を照射することによって、ワーク１０を完全に封止する。 (Third embodiment)
Next, a laser welding method according to the third embodiment of the present invention will be described. In the third embodiment, a weakly welded portion (hereinafter referred to as an “unwelded portion” or a “gas venting hole”) is formed in the welded region of the workpiece 10, and a part of the lid 10a and the package 10b are formed. It differs from the first and second embodiments described above in that it is not completely welded. More specifically, in the third embodiment, the predetermined position located on the side of the workpiece 10 other than between the welding start position and the welding end position of the workpiece 10 (in this case, the narrower one is meant). An unwelded location is formed at the location. The reason for forming the unwelded portion in this way is to extract the gas inside the workpiece 10 generated during welding. In addition, when a certain amount of time has elapsed since the above-described series of operations on one workpiece 10 is completed, the workpiece 10 is completely sealed by irradiating the laser beam LB2 again to the unwelded portion. .

図６は、第３実施例に係るレーザ溶接方法を説明するための図である。図６は、ワーク１０の上面図を示している。なお、図６においては、上記の図３に示した構成要素や矢印や領域などと同一の意味を示すものに対しては、同一の符号を付し、その説明を省略する。 FIG. 6 is a diagram for explaining a laser welding method according to the third embodiment. FIG. 6 shows a top view of the workpiece 10. In FIG. 6, components having the same meaning as those of the components, arrows, regions, etc. shown in FIG. 3 are given the same reference numerals, and descriptions thereof are omitted.

図６に示す例においても、第１実施例等と同様に、１パルス周期に１つのワーク１０に対する溶接が終了するように、照射位置が位置Ａ→Ｂ→Ｃ→Ｄ→Ｅ→Ｆへと順に通過するように移動させることによって、ワーク１０の連続溶接を行う。しかしながら、第３実施例では、ワーク１０の辺上における所定箇所に未溶接箇所を形成する点で第１実施例等と異なる。 In the example shown in FIG. 6 as well, the irradiation position is changed from position A → B → C → D → E → F so that welding to one workpiece 10 is completed in one pulse period, as in the first embodiment. The workpiece 10 is continuously welded by moving it so as to pass through in order. However, the third embodiment is different from the first embodiment in that an unwelded portion is formed at a predetermined portion on the side of the workpiece 10.

具体的には、溶接開始位置及び溶接終了位置を含む辺（位置Ｂと位置Ｅによって構成される辺）とは異なる位置Ｃと位置Ｄによって構成される辺上に、所定箇所７５を設けている。この場合、レーザビーム出射装置３５は、照射位置が所定箇所７５に差し掛かる際にレーザ出力を大きく低減させ、照射位置が所定箇所７５を通過し終えた際に、所定箇所７５を通過前のレーザ出力と同一或いは低いレーザ出力に設定する。これにより、ワーク１０の所定箇所７５に未溶接箇所が形成される。 Specifically, the predetermined portion 75 is provided on the side constituted by the position C and the position D different from the side including the welding start position and the welding end position (side constituted by the position B and the position E). . In this case, the laser beam emitting device 35 greatly reduces the laser output when the irradiation position reaches the predetermined position 75, and when the irradiation position finishes passing through the predetermined position 75, the laser before passing through the predetermined position 75. Set to the same or lower laser output as the output. Thereby, an unwelded location is formed at the predetermined location 75 of the workpiece 10.

図７は、図６に示すようにレーザビームＬＢ２の照射位置を移動させたときに、レーザ出力を変化させる手順を説明するための図である。図７は、横軸に時間を示し、縦軸にレーザ出力を示している。 FIG. 7 is a diagram for explaining a procedure for changing the laser output when the irradiation position of the laser beam LB2 is moved as shown in FIG. FIG. 7 shows time on the horizontal axis and laser output on the vertical axis.

この例においては、レーザビーム出射装置３５は、前述した第１実施例と同様に（図４参照）、ワーク１０に対する溶接の進行に従って、レーザビームＬＢ２の照射位置がワーク１０の角付近を通過し終えるごとにレーザ出力を段階的に低減させている。また、レーザビーム出射装置３５は、照射位置がワーク１０の角付近の領域を通過する際に、レーザ出力を大きく低減させている点で第１実施例と同様である。しかしながら、第３実施例においては、レーザビーム出射装置３５は、位置Ｃと位置Ｄとの間の辺に設けられた所定箇所７５（図６参照）を照射位置が通過する際に、レーザ出力を大きく低減させている点で第１実施例とは異なる。 In this example, as in the first embodiment described above (see FIG. 4), the laser beam emitting device 35 passes the irradiation position of the laser beam LB2 near the corner of the workpiece 10 as the welding progresses to the workpiece 10. The laser output is reduced step by step every time. The laser beam emitting device 35 is similar to the first embodiment in that the laser output is greatly reduced when the irradiation position passes through the region near the corner of the workpiece 10. However, in the third embodiment, the laser beam emitting device 35 outputs a laser output when the irradiation position passes through a predetermined portion 75 (see FIG. 6) provided on the side between the position C and the position D. It differs from the first embodiment in that it is greatly reduced.

具体的には、レーザビーム出射装置３５は、照射位置が所定箇所７５に差し掛かる際に（時刻ｔ４０ａ）、レーザ出力を低減し始める。そして、時刻ｔ４０において、レーザビーム出射装置３５は、レーザ出力を低減させることを終了して、レーザ出力を上昇し始める。その後、照射位置が所定箇所７５を通過し終える時刻ｔ４０ｂにおいて、照射位置が所定箇所７５を通過する前のレーザ出力Ｌ３０にまで上昇する。この際に、レーザビーム出射装置３５は、レーザ出力を上昇させることを停止して、レーザ出力をレーザ出力Ｌ３０に固定する。 Specifically, the laser beam emitting device 35 starts reducing the laser output when the irradiation position reaches the predetermined location 75 (time t40a). At time t40, the laser beam emitting device 35 finishes reducing the laser output and starts increasing the laser output. Thereafter, at time t 40 b when the irradiation position finishes passing through the predetermined location 75, the irradiation position rises to the laser output L 30 before passing through the predetermined location 75. At this time, the laser beam emitting device 35 stops increasing the laser output and fixes the laser output to the laser output L30.

そして、前述した方法と同様の方法によって残りの溶接を実行することによって、ワーク１０に対する溶接を終了する（時刻ｔ３５）。その後、上記した作業が終了してからある程度の時間が経過した時刻ｔ４５において、レーザビーム出射装置３５は、未溶接箇所（所定箇所７５）に対して再度レーザビームＬＢ２を照射することによって、ワーク１０を完全に封止する。 And the welding with respect to the workpiece | work 10 is complete | finished by performing the remaining welding by the method similar to the method mentioned above (time t35). Thereafter, at a time t45 when a certain amount of time has elapsed after the above-described operation is completed, the laser beam emitting device 35 irradiates the laser beam LB2 again to the unwelded portion (predetermined portion 75), whereby the workpiece 10 is obtained. To completely seal.

以上のように、第３実施例に係るレーザ溶接方法においては、溶接開始点と溶接終了点との間以外の場所、具体的には溶接開始時及び溶接終了時に照射される辺とは異なる辺上に、レーザ出力を低減することによってガス抜きする穴（未溶接箇所）を設ける。したがって、第３実施例によれば、溶接が安定している箇所にガス抜きする穴を設けているため、穴の大きさを概ね均等にすることができる。そのため、容易に穴埋め溶接を行うことができるので、リ−クを確実に防止することが可能となる。また、ガス抜きする穴の大きさを均等にすることができるため、穴埋め溶接する長さを最低限の長さで済ませることが可能となると共に、穴埋め溶接の際に発生するガスも最低限に抑えることが可能となる。 As described above, in the laser welding method according to the third embodiment, a place other than between the welding start point and the welding end point, specifically, a side different from the side irradiated at the start and end of welding. On the top, a hole (unwelded location) for venting gas by reducing the laser output is provided. Therefore, according to the third embodiment, the hole for venting gas is provided at a place where welding is stable, so that the size of the hole can be made substantially uniform. Therefore, since the hole-filling welding can be easily performed, leakage can be reliably prevented. In addition, since the size of the holes to be degassed can be made uniform, it is possible to reduce the length of the hole-filling welding to a minimum length and minimize the gas generated during hole-filling welding. It becomes possible to suppress.

なお、上記では、第１実施例で示したように段階的にレーザ出力を低減している最中に、未溶接箇所を形成する実施例を示したが、第２実施例に示したように連続的にレーザ出力を低減している最中に、未溶接箇所を形成することも可能である。 In the above description, the embodiment in which the unwelded portion is formed while the laser output is being reduced stepwise as shown in the first embodiment has been described. However, as shown in the second embodiment. It is also possible to form an unwelded part while continuously reducing the laser output.

［変形例］
本発明は、レーザビームを用いて溶接を行う装置（レーザ溶接装置）に対する適用に限定はされない。本発明は、電子ビームを用いて溶接を行う装置に対しても適用することができる。また、本発明は、パルス発振タイプのレーザ溶接装置に対する適用に限定はされず、連続波（ＣＷ（Continuous Wave））を発振するタイプのレーザ溶接装置に対しても適用することができる。 [Modification]
The present invention is not limited to application to an apparatus (laser welding apparatus) that performs welding using a laser beam. The present invention can also be applied to an apparatus that performs welding using an electron beam. Further, the present invention is not limited to application to a pulse oscillation type laser welding apparatus, and can also be applied to a laser welding apparatus of a type that oscillates a continuous wave (CW (Continuous Wave)).

更に、上記ではリッド１０ａのみにレーザビームＬＢ２を照射して溶接を行う実施例について示したが、他の例では、リッド１０ａとパッケージ１０ｂの両方に対して同時にレーザビームＬＢ２を照射することによって溶接を行うことも可能である。具体的には、レーザビームＬＢ２によるビームスポットをリッド１０ａとパッケージ１０ｂの両方に形成させることによって溶接を行うことができる。 Further, in the above description, an embodiment in which only the lid 10a is irradiated with the laser beam LB2 for welding is shown, but in another example, welding is performed by simultaneously irradiating both the lid 10a and the package 10b with the laser beam LB2. It is also possible to perform. Specifically, welding can be performed by forming a beam spot by the laser beam LB2 on both the lid 10a and the package 10b.

以上のように、本実施例に係るレーザ溶接装置は、ワークに対してレーザビームを照射することによって、ワークが封止されるように溶接を行い、ビームを出射するレーザビーム出射装置と、レーザビーム出射装置から出射されたレーザビームを受光し、レーザビームの照射位置をワーク内で移動させることによって、当該ワークを連続溶接させるガルバノヘッドと、１つのワークに対する溶接時に、レーザビーム出射装置が出射するレーザビームにおけるレーザ出力を変化させるレーザビーム出射装置と、を備える。これにより、ワークの角等に深い溶接跡や穴が開いてしまうことを防止しつつ、１つのワークを効果的に均等に封止することが可能となる。そのため、ワークに発生し得るリークを防止することができる。 As described above, the laser welding apparatus according to the present embodiment performs the welding so that the workpiece is sealed by irradiating the workpiece with the laser beam, and emits the beam. The galvano head for continuously welding the workpiece by receiving the laser beam emitted from the beam emitting device and moving the irradiation position of the laser beam within the workpiece, and the laser beam emitting device emits at the time of welding to one workpiece. A laser beam emitting device that changes a laser output of the laser beam to be emitted. This makes it possible to effectively and uniformly seal one workpiece while preventing deep welding marks and holes from opening at the corners of the workpiece. Therefore, it is possible to prevent a leak that may occur in the workpiece.

本発明の実施例に係るレーザ溶接装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the laser welding apparatus which concerns on the Example of this invention. ワークの具体的な構成を示す図である。It is a figure which shows the specific structure of a workpiece | work. 第１実施例においてレーザビームの照射位置を移動させる方向などを具体的に説明するための図である。It is a figure for demonstrating concretely the direction etc. which move the irradiation position of a laser beam in 1st Example. 第１実施例においてレーザ出力を変化させる手順を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the procedure to change a laser output in 1st Example. 第２実施例においてレーザ出力を変化させる手順を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the procedure to change a laser output in 2nd Example. 第３実施例に係るレーザ溶接方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the laser welding method which concerns on 3rd Example. 第３実施例においてレーザ出力を変化させる手順を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the procedure to change a laser output in 3rd Example.

符号の説明Explanation of symbols

１０ワーク
１０ａリッド
１０ｂパッケージ
２０トレイ
３５レーザビーム出射装置
３６ガルバノヘッド
１００レーザ溶接装置
ＬＢ１、ＬＢ２レーザビーム 10 Work 10a Lid 10b Package 20 Tray 35 Laser beam emitting device 36 Galvano head 100 Laser welding device LB1, LB2 Laser beam

Claims

ワークに対してビームを照射することによって、前記ワークが封止されるように溶接を行うビーム溶接装置であって、
ビームを出射するビーム出射手段と、
前記ビーム出射部から出射されたビームの照射位置を前記ワーク内で移動させることによって、当該ワークを連続溶接させる照射位置変更手段と、
１つのワークに対する溶接時に、前記ビーム出射手段が出射するビームにおけるビーム出力を変化させるビーム出力変更手段と、を備えることを特徴とするビーム溶接装置。 A beam welding apparatus that performs welding so that the workpiece is sealed by irradiating the workpiece with a beam,
Beam emitting means for emitting a beam;
An irradiation position changing means for continuously welding the workpiece by moving the irradiation position of the beam emitted from the beam emitting section within the workpiece;
A beam welding apparatus comprising: beam output changing means for changing a beam output of a beam emitted by the beam emitting means during welding of one workpiece.

前記ビーム出力変更手段は、１つのワークに対する溶接時に、前記ビーム出力を段階的に低減させていくことを特徴とする請求項１に記載のビーム溶接装置。 The beam welding apparatus according to claim 1, wherein the beam output changing unit reduces the beam output in a stepwise manner when welding one workpiece.

前記ビーム出力変更手段は、１つのワークに対する溶接時に、前記ビーム出力を連続的に低減させていくことを特徴とする請求項１に記載のビーム溶接装置。 2. The beam welding apparatus according to claim 1, wherein the beam output changing unit continuously reduces the beam output when welding one workpiece.

前記ビーム出力変更手段は、前記ビームが前記ワークにおける角付近の領域を通過する際に、前記ビーム出力を大きく低減させることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のビーム溶接装置。 4. The beam welding according to claim 1, wherein the beam output changing unit significantly reduces the beam output when the beam passes through a region near a corner of the workpiece. 5. apparatus.

前記ビーム出力変更手段は、前記ワークに対する溶接開始時には、前記ビーム出力を徐々に上昇させ、前記ワークに対する溶接終了時には、前記ビーム出力を徐々に低減させることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のビーム溶接装置。 The beam output changing means gradually increases the beam output at the start of welding to the workpiece, and gradually decreases the beam output at the end of welding to the workpiece. A beam welding apparatus according to claim 1.

前記ビーム出力変更手段は、前記ワークにおける溶接開始位置と溶接終了位置との間以外の場所に位置し、且つ前記ワークの辺上に位置する所定箇所を前記ビームが通過する際に、前記ビーム出力を大きく低減させ、前記ビームが前記所定箇所を通過した後は、当該所定箇所を通過前のビーム出力と同一或いは低いビーム出力に上昇させることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載のビーム溶接装置。 The beam output changing means is located at a place other than between the welding start position and the welding end position in the workpiece, and the beam output is changed when the beam passes through a predetermined position located on the side of the workpiece. 6, and after the beam passes through the predetermined portion, the predetermined portion is raised to the same or lower beam output as that before the passage. The beam welding apparatus described in 1.

前記ビーム出力変更手段は、溶接時に前記ワーク内で発生したガスを前記所定箇所から抜き取るために、当該所定箇所を前記ビームが通過する際に、前記ビーム出力を大きく低減させることを特徴とする請求項６に記載のビーム溶接装置。 The beam output changing means greatly reduces the beam output when the beam passes through the predetermined location in order to extract gas generated in the workpiece during welding from the predetermined location. Item 7. A beam welding apparatus according to item 6.

前記所定箇所から前記ガスが抜き取られた後に、前記ワークが気密封止されるように前記所定箇所を再度溶接する手段を更に備えることを特徴とする請求項７に記載のビーム溶接装置。 The beam welding apparatus according to claim 7, further comprising means for welding the predetermined portion again so that the workpiece is hermetically sealed after the gas is extracted from the predetermined portion.

前記照射位置変更手段は、１つのワークにおいて溶接開始時に前記ビームが照射される箇所と溶接終了時に前記ビームが照射される箇所とが、当該ワークの辺上で重なり合うように、前記ビームの照射位置を移動させることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載のビーム溶接装置。 The irradiation position changing means is configured to irradiate the beam so that a portion irradiated with the beam at the start of welding and a portion irradiated with the beam at the end of welding overlap each other on the side of the workpiece. The beam welding apparatus according to claim 1, wherein the beam welding apparatus is moved.

ワークに対してビームを照射することによって、前記ワークが封止されるように溶接を行うビーム溶接方法であって、
ビームを出射させるビーム出射工程と、
前記ビームの照射位置を前記ワーク内で移動させることによって、当該ワークを連続溶接させる照射位置変更工程と、
１つのワークに対する溶接時に、前記ビームのビーム出力を変化させるビーム出力変更工程と、を備えることを特徴とするビーム溶接方法。 A beam welding method for performing welding so that the workpiece is sealed by irradiating the workpiece with a beam,
A beam extraction step of emitting a beam;
An irradiation position changing step of continuously welding the workpiece by moving the irradiation position of the beam in the workpiece;
And a beam output changing step of changing a beam output of the beam at the time of welding to one workpiece.