JP2007311407A - Ic chip, wafer finished with circuit formation, and noncontact communication member - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、接続用に用いられるバンプを有したICチップ、前記ICチップを含む回路形成済ウヘハ、および前記ICチップを備えた非接触通信部材に係り、とりわけバンプの平面視における寸法が最適化されたICチップ、当該ICチップを含む回路形成済ウエハ、および当該ICチップを備えた非接触通信部材に関する。 The present invention relates to an IC chip having bumps used for connection, a circuit-formed wafer including the IC chip, and a non-contact communication member including the IC chip, and in particular, the dimensions of the bumps in plan view are optimized. The present invention relates to an integrated circuit chip, a circuit-formed wafer including the integrated circuit chip, and a non-contact communication member including the integrated circuit chip.
従来、工業製品全般にICチップが用いられており、ICチップは、通常、外部の接続端子(接続部)との接続用に用いられる接続用のバンプを有している。 Conventionally, an IC chip is used for all industrial products, and the IC chip usually has a bump for connection used for connection to an external connection terminal (connection portion).
このような工業製品のうち、昨今、需要が急激に拡大しつつあるものとして、非接触通信部材が挙げられる。ここで、非接触通信部材とは、リーダ・ライタ等の外部装置から発信される電磁波に対応し、当該外部装置と非接触で通信することができる部材(媒体)である。非接触通信部材は、通常、基材と、基材上に形成されたアンテナと、アンテナに接続されたICチップと、を有している(例えば、特許文献1)。このような非接触通信部材として、ICチップが情報の記録を可能にするメモリを含み、外部装置との間で情報の送受信を行うICタグやICカード等の情報保持部材が知られている。また、非接触通信部材として、情報を保持することはできないものの、外部装置との間で信号の送受信が可能である共振タグ(無線タグ)も知られている。
ところで、ICタグに代表される非接触通信部材において、基材は柔軟性を有したPETフィルムや紙等から構成されることが多い。したがって、非接触通信部材の製造中や、その後の取り扱い中に基材が曲げられてしまうこと等があり、基材上でのICチップの配置は安定していない。このため、アンテナとICチップとの接続抵抗値が増大し、さらには、アンテナとICチップとの電気的な接続が損なわれてしまうこともある。 By the way, in a non-contact communication member represented by an IC tag, the base material is often composed of a flexible PET film, paper, or the like. Accordingly, the base material may be bent during the manufacture of the non-contact communication member or during subsequent handling, and the arrangement of the IC chip on the base material is not stable. For this reason, the connection resistance value between the antenna and the IC chip increases, and the electrical connection between the antenna and the IC chip may be impaired.
また、このような問題は、ICチップの小型化にともない、非接触通信部材に限られず、ICチップを用いた製品全般に関連する問題となっている。 Such problems are not limited to non-contact communication members as IC chips are miniaturized, and are related to products in general using IC chips.
本発明はこのような点を考慮してなされたものであって、接続端子との良好な電気的接続を確保することができるICチップ、当該ICチップを含む回路形成済ウエハ、および当該ICチップを備えた非接触通信部材に関する。 The present invention has been made in consideration of the above points, and is an IC chip that can ensure good electrical connection with a connection terminal, a circuit-formed wafer including the IC chip, and the IC chip. It is related with the non-contact communication member provided with.
本発明によるICチップは、一対の接続端子と電気的に接続されるICチップであって、平面視略矩形状の回路形成面を有するチップ本体と、前記回路形成面から突出し、異なる接続端子に電気的に接続されるようになる二つのバンプと、を備え、前記回路形成面の一方の一対の端縁に沿った方向における前記バンプの長さLμmは、前記回路形成面の当該端縁の長さをXμmとし、前記バンプと電気的に接続された場合に前記回路形成面の当該端縁に沿うようになる方向での前記一対の接続端子の離間長さをYμmとすると、式(1)を満たすことを特徴とする。
(X−Y)/2−75≦L≦(X−Y)/2−25 ・・・ 式(1)
An IC chip according to the present invention is an IC chip that is electrically connected to a pair of connection terminals, the chip body having a circuit formation surface having a substantially rectangular shape in plan view, and protruding from the circuit formation surface to be connected to different connection terminals. Two bumps to be electrically connected, and the length L μm of the bump in the direction along one pair of edges of the circuit forming surface is the length of the edge of the circuit forming surface. When the length is X μm and the distance between the pair of connection terminals in the direction along the edge of the circuit forming surface when electrically connected to the bump is Y μm, the equation (1) ) Is satisfied.
(XY) / 2-75 ≦ L ≦ (XY) / 2-25 (1)
このような本発明によるICチップによれば、バンプを接続端子が形成されている領域内に配置し得る。この場合、当該バンプと接続端子との接触面積を増大させてICチップおよび接続端子間の接続抵抗値を低減することができるとともに、ICチップおよび接続端子間の電気的接続が損なわれることを格段に抑制することもできる。 According to such an IC chip according to the present invention, the bumps can be arranged in the region where the connection terminals are formed. In this case, the contact area between the IC chip and the connection terminal can be reduced by increasing the contact area between the bump and the connection terminal, and the electrical connection between the IC chip and the connection terminal is greatly impaired. It can also be suppressed.
本発明によるICチップは、前記回路形成面から突出し、前記接続端子上に配置され前記二つのバンプとともにチップ本体を支持するようになる支持用バンプ、をさらに備え、前記回路形成面の一方の一対の端縁に沿った方向における前記支持用バンプの長さLsμmが、式(2)を満たすようにしてもよい。
(X−Y)/2−75≦Ls≦(X−Y)/2−25 ・・・ 式(2)
The IC chip according to the present invention further includes support bumps that protrude from the circuit formation surface and are disposed on the connection terminals and support the chip body together with the two bumps, and one pair of the circuit formation surfaces. The length Ls μm of the support bump in the direction along the edge of the line may satisfy the formula (2).
(XY) / 2-75 ≦ Ls ≦ (XY) / 2-25 (2)
このような本発明によるICチップによれば、支持用バンプを接続端子が形成されている領域内に配置し得る。この場合、当該支持用バンプと接続端子との間の固定が損なわれることを格段に抑制することができる。このため、接続端子上にICチップが安定して配置され得るようになり、結果として、ICチップおよび接続端子間の電気的接続が損なわれることを抑制し得る。 According to such an IC chip according to the present invention, the supporting bumps can be arranged in the region where the connection terminals are formed. In this case, it can be remarkably suppressed that the fixation between the supporting bump and the connection terminal is impaired. For this reason, the IC chip can be stably disposed on the connection terminal, and as a result, it is possible to prevent the electrical connection between the IC chip and the connection terminal from being damaged.
本発明によるICチップにおいて、前記二つのバンプは、前記回路形成面の一方の一対の端縁に沿った方向に離間し、対向して配置されるようにしてもよい。 In the IC chip according to the present invention, the two bumps may be spaced apart from each other along a pair of edges of the circuit forming surface.
本発明による回路形成済ウエハは、上述したいずれかのICチップを複数含んでいる。 The circuit-formed wafer according to the present invention includes a plurality of any of the IC chips described above.
本発明による非接触通信部材は、アンテナを有する非接触通信部材であって、一対の接続端子を有する導電体と、前記導電体と電気的に接続されたICチップと、を備え、前記ICチップは、平面視略矩形状の回路形成面を有するチップ本体と、前記回路形成面から突出し、前記導電体の異なる接続端子に電気的に接続された二つのバンプと、を有し、前記回路形成面の一方の一対の端縁に沿った方向における前記バンプの長さLμmは、前記回路形成面の当該端縁の長さをXμmとし、前記回路形成面の当該端縁に沿った方向における前記一対の接続端子の離間長さをYμmとすると、式(3)を満たすことを特徴とする。
(X−Y)/2−75≦L≦(X−Y)/2−25 ・・・ 式(3)
A non-contact communication member according to the present invention is a non-contact communication member having an antenna, comprising: a conductor having a pair of connection terminals; and an IC chip electrically connected to the conductor, the IC chip Includes a chip body having a circuit forming surface having a substantially rectangular shape in plan view, and two bumps protruding from the circuit forming surface and electrically connected to different connection terminals of the conductor. The length Lμm of the bump in the direction along one pair of edges of the surface is the length of the edge of the circuit forming surface as Xμm, and the length in the direction along the edge of the circuit forming surface is When the separation length of the pair of connection terminals is Y μm, the expression (3) is satisfied.
(XY) / 2-75 ≦ L ≦ (XY) / 2-25 (3)
このような本発明による非接触通信部材によれば、ICチップのバンプを接続端子が形成されている領域内に配置し得る。この場合、当該導電用バンプと接続端子との接触面積を増大させてICチップおよび接続端子間の接続抵抗値を低減することができるとともに、ICチップおよび接続端子間の電気的接続が損なわれることを格段に抑制することもできる。 According to such a non-contact communication member according to the present invention, the bumps of the IC chip can be arranged in the region where the connection terminals are formed. In this case, the contact area between the conductive bump and the connection terminal can be increased to reduce the connection resistance value between the IC chip and the connection terminal, and the electrical connection between the IC chip and the connection terminal is impaired. Can be significantly suppressed.
本発明による非接触通信部材は、前記ICチップは、前記回路形成面から突出し、前記接続端子上に配置され前記二つのバンプとともにチップ本体を支持する支持用バンプ、をさらに備え、前記回路形成面の一方の一対の端縁に沿った方向における前記支持用バンプの長さLsμmが、式(4)を満たすようにしてもよい。
(X−Y)/2−75≦Ls≦(X−Y)/2−25 ・・・ 式(4)
In the non-contact communication member according to the present invention, the IC chip further includes a support bump that protrudes from the circuit formation surface and is disposed on the connection terminal and supports the chip body together with the two bumps. The length Ls μm of the supporting bump in the direction along one pair of edges may satisfy the formula (4).
(XY) / 2-75 ≦ Ls ≦ (XY) / 2-25 (4)
このような本発明による非接触通信部材によれば、ICチップの支持用バンプを接続端子が形成されている領域内に配置し得る。この場合、当該支持用バンプと接続端子との間の固定が損なわれることを格段に抑制することができる。このため、接続端子上にICチップが安定して配置され、結果として、ICチップおよび接続端子間の電気的接続が損なわれることを抑制し得る。 According to such a non-contact communication member according to the present invention, the supporting bumps of the IC chip can be arranged in the region where the connection terminals are formed. In this case, it can be remarkably suppressed that the fixation between the supporting bump and the connection terminal is impaired. For this reason, an IC chip is stably arrange | positioned on a connection terminal, and it can suppress that the electrical connection between an IC chip and a connection terminal is impaired as a result.
本発明による非接触通信部材において、前記導電体は、前記アンテナを構成するアンテナ用導電体であるようにしてもよい。あるいは、本発明による非接触通信部材が、前記アンテナを構成するアンテナ用導電体をさらに備え、前記導電体は、前記アンテナ用導電体と前記ICチップとを電気的に接続する接続用導電体であるようにしてもよい。 In the non-contact communication member according to the present invention, the conductor may be an antenna conductor that constitutes the antenna. Or the non-contact communication member by this invention is further equipped with the conductor for antennas which comprises the said antenna, and the said conductor is a conductor for a connection which electrically connects the said conductor for antennas and the said IC chip. There may be.
また、本発明による非接触通信部材において、前記二つのバンプは、前記回路形成面の一方の一対の端縁に沿った方向に離間し、対向して配置されるようにしてもよい。 Further, in the non-contact communication member according to the present invention, the two bumps may be arranged to be opposed to each other in a direction along one pair of edges of the circuit forming surface.
さらに、本発明による非接触通信部材において、前記一対の接続端子は、前記回路形成面の一方の一対の端縁に沿った方向に離間し、対向して配置されるようにしてもよい。 Furthermore, in the non-contact communication member according to the present invention, the pair of connection terminals may be spaced apart from each other in a direction along one pair of edges of the circuit forming surface.
本発明によれば、バンプの平面視における寸法を最適化することによって、ICチップと接続端子との良好な電気的な接続を確保および維持することができる。 According to the present invention, it is possible to secure and maintain a good electrical connection between the IC chip and the connection terminal by optimizing the size of the bump in plan view.
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
図1乃至図10は本発明によるICチップ、回路形成済ウエハ、および非接触通信部材の一実施の形態を示す図である。 1 to 10 are views showing an embodiment of an IC chip, a circuit formed wafer, and a non-contact communication member according to the present invention.
このうち図1はICチップを示す斜視図であり、図2は回路形成済ウエハを示す斜視図であり、図3は非接触通信部材を示す上面図であり、図4は図3のIV−IV線に沿った断面図であり、図5は図3のV−V線に沿った断面図であり、図6乃至図10はICチップのバンプの設計方法を説明するための図である。 1 is a perspective view showing an IC chip, FIG. 2 is a perspective view showing a circuit-formed wafer, FIG. 3 is a top view showing a non-contact communication member, and FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line VV in FIG. 3, and FIGS. 6 to 10 are views for explaining a method of designing bumps of the IC chip.
図3乃至図5に示すように、本実施の形態における非接触通信部材10は、非導電性のシート状の基材12と、基材12上に形成されたアンテナ20と、基材12上に設けられ、アンテナ20に接続されたICチップ30と、を備えている。
As shown in FIGS. 3 to 5, the
このような非接触通信部材10は、外部装置(リーダ・ライタ等)と非接触状態で通信することができ、例えば、ICタグ、ICカード、共振タグ等として使用される。ICタグやICカードとして使用される場合、ICチップ30は情報を記録するためのメモリを含み、外部装置(リーダ・ライタ等)により、アンテナ20を介してICチップ30に記録された情報を読み出したり、アンテナ20を介してICチップ30に新たな情報を書き込んだりすることができるようになっている。そして、非接触通信部材10のこのような機能を発現するための回路配線33aがICチップ30に書き込まれている。
Such a
図1に示すようにICチップ30は、平坦な略直方体からなるICチップ本体32と、ICチップ本体32から突出するバンプ(接続電極)34a,34b,34cと、を備えている。ICチップ本体32は、略矩形状、さらに詳しくは略正方形状からなり、対向して配置された一対の主面を有している。この主面のうちの一方は、上述した非接触通信部材10としての機能を発現するための回路33aが記録された回路形成面33をなしている。なお、本願において、ICチップ30に関しての平面視とは、この主面(回路形成面33)に直交する方向からこの主面を眺める視野を指すものとする。
As shown in FIG. 1, the
本実施の形態において、ICチップ30には3つのバンプ34a,34b,34cが形成されている。3つのバンプ34a,34b,34cは、回路形成面33から略同一長さだけICチップ本体32の外方に突出している。このうち2つのバンプ34a,34bは、回路33aに電気的に接続され、アンテナ20を介しての外部装置との通信に用いられる導電用バンプである。残りのバンプ34cは、アンテナ20上でICチップ30が安定して配置されるよう、導電用バンプ34a,34bとともに、ICチップ本体32をアンテナ20側から支持するための支持用バンプである。すなわち、本実施の形態においては、二つの導電バンプ34a,34bと、一つの支持用バンプ34cとの合計三つのバンプによって、ICチップ本体32をぐらつかせることなくアンテナ20上で支持するようになっている。なお、導電用バンプ34a,34bおよび支持用バンプ34cの寸法の設計方法については、図6乃至図10を用いて後に詳述する。
In the present embodiment, the
このようなICチップ30は、半導体ウエハに多数の回路33aを書き込んで回路形成済ウエハ1(図2参照)を作製し、この回路形成済ウエハ1を回路毎に切断(ダイシング)することによって、得られ得る。なお、このような回路形成済ウエハ1も、本件の対象である。
Such an
次に、図3乃至図5に戻って、基材12上に形成されたアンテナ20について詳述する。なお、アンテナ20を支持する基材12は、PETフィルムや紙等から構成され得る。
Next, returning to FIGS. 3 to 5, the
本実施の形態において、基材12上に形成されたアンテナ20は、図3に示すように、コイル状アンテナとして形成されている。アンテナ20は、基材12上に配置され、略コイル状からなるアンテナ用導電体22と、アンテナ用導電体22の所定の部分間を短絡させる(導通させる)ブリッジ部材25のブリッジ用導電体25aと、から構成されている。
In the present embodiment, the
図3に示すように、アンテナ用導電体22は、ICチップ30のバンプ34a,34bとの電気的な接続の実現に用いられる一対の接続端子22a,22bを有している。図4に示すように、この接続端子22a,22bが異なる導通用バンプ34a,34bとそれぞれ接触するようにして、ICチップ30がアンテナ20上に配置されている。また、図4に示されているように、アンテナ用導電体22とICチップ30との間に非導電性の接着剤38が設けられており、この接着剤38によって、ICチップ30がアンテナ20を介して基材12上に固定されている。このような構成によって、ICチップ30がアンテナ20に電気的に接続されるとともに基材12に固定されている。
As shown in FIG. 3, the
なお、ICチップ30とアンテナ20との間の電気的接続は、このような方法に限定されず種々の方法によって実現することができる。例えば、超音波接合による電気的接続であってもよく、あるいは導電性または異方性導電性接着剤を介した電気的接続であってもよい。
The electrical connection between the
また、図3に示すように、アンテナ用導電体22は、ブリッジ部材25によって短絡される最内終端部22cと最外周端部22dとを有している。図5に示すように、本実施の形態におけるブリッジ部材25は、非導電性の支持シート(ブリッジ支持シート)25bと、支持シート25b上に配置され、アンテナ用導電体22と電気的に接続されるブリッジ用導電体25aと、を有している。ブリッジ部材25の支持シート25bは、基材12と同様に、例えばPETや紙等からなる。また、ブリッジ用導電体25aは、銅やアルミニウム等から構成される。
As shown in FIG. 3, the
図5に示すように、ブリッジ用導電体25aの両端部がそれぞれアンテナ用導電体22の最内周端部22cまたは最外周端部22dに接触するようにして、ブリッジ部材25がアンテナ20上に配置されている。また、ブリッジ部材25とアンテナ20および基材12との間には非導電性の接着剤28が塗布されている。アンテナ用導電体22の最内周端部22bおよび最外周端部22c以外の部分は、この非導電性の接着剤28によって短絡されることが防止されている。このようにして、本実施の形態において、ブリッジ用導電体25aを介してアンテナ用導電体22の最内周端部22bと最外周端部22cとが電気的に接続されている(短絡されている)。
As shown in FIG. 5, the
なお、このようなブリッジ部材25の構成は、アンテナ用導電体22への接続方法も含め、単なる例示に過ぎず、既知である種々のブリッジ部材の構成およびアンテナ用導電体22への接続方法を採用することができる。
Such a configuration of the
ところで、上述したアンテナ用導電体22は、例えば、スクリーン印刷機を用いて導電性インキを基材12上に塗布することにより、あるいは基材12上に銅やアルミニウム等からなる導電性箔を転写することにより、あるいは基材12上に積層された銅やアルミニウム等からなる導電性箔にエッチングを施して所望の形状にパターニングすること等により、基材12上に形成され得る。このようにして形成されたアンテナ用導電体22上に接着剤28,38を介してICチップ30およびブリッジ部材25を配置固定することによって、非接触通信部材10が得られる。なお、ブリッジ部材25のブリッジ用導電体25aは、アンテナ用導電体22を基材12上に形成する方法と同様にして、支持シート25b上に形成することができる。
By the way, the above-described
次に、図6乃至図10を用い、ICチップ30のバンプ34a,34bに関する好適な設計方法について詳述する。ここで、図6および図8乃至図10は、ICチップ30のバンプ34a,34bとアンテナ用導電体22の接続端子22a,22bとの位置関係を説明するためのICチップ30の上面図である。また、図7は、図4に対応する非接触通信部材の断面図である。
Next, a suitable design method regarding the
本件発明者は、鋭意研究を重ねたところ、接続端子22a,22bが形成された領域内にICチップ30の導電用バンプ34a,34bが配置されている場合に、ICチップ30および接続端子22a,22b間の接続抵抗値を低く抑えるだけでなく、ICチップ30および接続端子22a,22b間の電気的接続を維持する上においても有効であることを見出した。以下に説明する、ICチップ30のバンプ34a,34bの設計方法はこのような知見に基づくものである。
As a result of extensive research, the present inventor has found that when the
すなわち、図6に示すように、接続端子22a,22bが形成される領域をいくら大きくしたとしても(つまり、接続端子22a,22bをいくら大きくしたとしても)、導電用バンプ34a,34b間には一対の接続端子22a,22b間の隙間が形成されてしまう。そして、図7に示すように、この隙間上に導電用バンプ34bが配置されると、当該導電用バンプ34bと接続端子22bとの接触面積が減少してICチップ30および接続端子22a,22b間の接続抵抗値が高まるだけでなく、この部分Aを起点としてICチップ30および接続端子22a,22b間の電気的接続が著しく損なわれやすくなる。そして、本発明による導電用バンプの設計方法は、当該導電用バンプ34a,34b間に生じてしまう一対の接続端子22a,22b間の隙間の大きさと、導電用バンプ34a,34bの寸法ばらつきと、ICチップ30の接続端子22a,22b上への配置位置のずれと、を考慮してICチップ30の平面視における導電用バンプ34a,34bの寸法を最適化するものである。以下にこのような導電用バンプ34a,34bの設計方法を詳述する。
That is, as shown in FIG. 6, no matter how large the area where the
図6に示すように、本実施の形態において、対向して配置されたアンテナ用導電体22の接続端子22a,22bが離間する方向と、ICチップ30の対向して配置された導電用バンプ34a,34bが離間する方向とは並行であり、回路形成面33の一方の一対の端縁33bに沿った方向(図6の紙面における左右方向)と一致している。ここで、図6に示すように、回路形成面33の当該端縁33bの長さをX(μm)とし、当該端縁33bに沿った一対の接続端子34a,34bの離間長さをY(μm)とし、接続端子22a,22bが十分大きく形成されているとすれば、導電用バンプ34a,34bの当該端縁に沿った長さLは、少なくとも、以下の式(5)を満たすようになる。
L≦(X−Y)/2 ・・・ 式(5)
As shown in FIG. 6, in the present embodiment, the direction in which the
L ≦ (XY) / 2 Formula (5)
ところで、通常、非接触通信部材10は、まず、接続端子22a,22bを含むアンテナ用導電体22を基材12上に形成し、次に、接続端子22a,22b上にICチップ30を配置することによって、作製される。このとき、アンテナ用導電体22の接続端子22a,22bに対するICチップ30の配置位置はずれてしまうことがある。このような例を図8および図9に示す。図8および図9において、点線で示すICチップ30’は接続端子上22a,22bにおけるICチップの配置目標位置である。そして、図8に示す例において、ICチップ30は目標位置に対し、図8の紙面における左上へずれた位置に配置されている。一方、図9に示す例において、ICチップ30は目標位置に対し、図9の紙面における右下へずれた位置に配置されている。
By the way, normally, the
すなわち、ICチップ30の配置位置は、回路形成面33の前記一方の一対の端縁33bに沿った方向、および、この端縁に直交33bする方向のいずれにもずれ得る。そして、本件発明者は、鋭意研究を重ねたところ、ICチップ30の配置位置は任意の一方向に沿って50μmだけずれ得ることを知見した。すなわち、ICチップの各導電用バンプ34a,34bは、回路形成面33の前記一方の一対の端縁33bに沿い、接続端子22a,22b間の隙間に向けた向き(例えば、図6における左側に配置された導電用バンプ34aは図6右向き)へ、50μmの半分、すなわち、25μmだけずれ得る。
That is, the arrangement position of the
このような25μmの配置位置ずれを考慮して、上述の式(5)を書き換えると、導電用バンプ34a,34bの当該端縁に沿った長さLは、以下の式(6)を満たさなければならない。
L≦(X−Y)/2−25 ・・・ 式(6)
When the above equation (5) is rewritten in consideration of such an arrangement positional deviation of 25 μm, the length L along the edge of the
L <= (XY) / 2-25 ... Formula (6)
さらに、ICチップ30のバンプ34a,34b,34cを電界めっき等の公知の方法により作製すると、バンプ34a,34b,34cの寸法ばらつきが生じてしまう。図10に、回路形成面33の当該図面において右上に配置された導電用バンプ34bの寸法ばらつきの例を示す。図10において、実線で示す導電用バンプ34bの輪郭が目標とする導電用バンプ34a,34bの大きさである。このような目標とする大きさの導電用バンプ34bに対し、実際に作製される導電用バンプの大きさは、大きくなったり小さくなったりする。
Furthermore, if the
そして、本件発明者は、鋭意研究を重ねたところ、公知な方法によって任意の寸法のバンプを作製すると、当該バンプの平面視における寸法は、最も大きく形成されるバンプ34bMAXと最も小さく形成されるバンプ34bminとの間で、任意の一方向(例えば、LMAX−Lmin)に沿って50μmだけばらつき得ることを知見した。すなわち、ICチップ30の各導電用バンプ34a,34bの平面視における寸法は、回路形成面33の前記一方の一対の端縁33bに沿い、50μmだけばらつき得る。したがって、回路形成面33の前記一方の一対の端縁33bに沿った導電用バンプ34a,34bの目標長さを、上記式(6)で算出される上限値よりも、50μmの半分、すなわち、25μmだけ短く設定しておくことが好ましい。このように回路形成面33の前記一方の一対の端縁33bに沿った導電用バンプ34a,34bの目標長さを設定した場合、結果として得られる導電用バンプ34a,34bの当該端縁33bに沿った長さLは、以下の式(7)を満たすようになる。
(X−Y)/2−75≦L≦(X−Y)/2−25 ・・・ 式(7)
And when this inventor repeated earnest research, when the bump of arbitrary dimensions is produced by a well-known method, the dimension in the planar view of the said bump is formed smallest with
(XY) / 2-75 ≦ L ≦ (XY) / 2-25 (7)
次に、支持用バンプ34cについて説明する。図6に示すように、本実施の形態において、支持用バンプ34cは、一方の導電用バンプ34aとともに一方のアンテナ用導電体22a上に配置されている。この支持用バンプ34cも、一方の導電用バンプ34aと同様に接着剤38を介してアンテナ用導電体22の接続端子22aに接着固定されている(図4参照)。そして、ICチップ30を安定してアンテナ用導電体22上に配置しておくには、導電用バンプ34a,34bと同様に、支持用バンプ34cも接続端子22aが形成された領域内に配置されておくことが好ましい。このような理由から、本実施の形態において、支持用バンプ34cは、前記回路形成面33の一方の一対の端縁33bに沿った方向において、一方の導電用バンプ34aと略同一な位置に配置されている(図6参照)。また、支持用バンプ34cの前記回路形成面33の一方の一対の端縁33bに沿った長さLsは、以下の式(8)を満たすようになっている。
(X−Y)/2−75≦Ls≦(X−Y)/2−25 ・・・ 式(8)
Next, the
(XY) / 2-75 ≦ Ls ≦ (XY) / 2-25 (8)
以上のように本実施の形態によれば、ICチップ30の導電用バンプ34a,34bの平面視における寸法が、当該導電用バンプ34a,34b間に生じてしまう一対の接続端子22a,22b間の隙間の大きさと、導電用バンプ34a,34bの寸法ばらつきと、ICチップ30の接続端子22a,22b上への配置位置のずれと、を考慮して最適化されている。具体的には、回路形成面33の一方の一対の端縁33bに沿った方向における導電用バンプ34a,34bの長さLμmが、回路形成面33の当該端縁33bの長さをXμmとし、回路形成面33の端縁33bに沿った方向における一対の接続端子22a,22bの離間長さをYμmとすると、
(X−Y)/2−75≦L≦(X−Y)/2−25
となっている。このように回路形成面33の一方の一対の端縁33bに沿った方向における導電用バンプ34a,34bの長さLμmを設定することにより、当該導電用バンプ34a,34bを接続端子22a,22bが形成されている領域内に配置することができるようになる。この場合、当該導電用バンプ34a,34bと接続端子22a,22bとの接触面積を増大させてICチップ30および接続端子22a,22b間の接続抵抗値を低減することができるだけでなく、ICチップ30および接続端子22a,22b間の電気的接続が損なわれることを格段に抑制することができる。
As described above, according to the present embodiment, the size of the
(XY) / 2-75 ≦ L ≦ (XY) / 2-25
It has become. Thus, by setting the length L μm of the
また、本実施の形態によれば、回路形成面33に支持用バンプ34cが設けられている。そして、回路形成面33の一方の一対の端縁33bに沿った方向における支持用バンプ34cの長さLsμmが、
(X−Y)/2−75≦Ls≦(X−Y)/2−25
となっている。このように回路形成面33の一方の一対の端縁33bに沿った方向における支持用バンプ34cの長さLsμmを設定することにより、当該支持用バンプ34cを接続端子22aが形成されている領域内に配置することができるようになる。この場合、当該支持用バンプ34cと接続端子22aとの間の固定が損なわれることを格段に抑制することができる。このため、アンテナ20上にICチップ30が安定して配置されるようになり、結果として、ICチップ30および接続端子22a,22b間の電気的接続が損なわれることが抑制される。
Further, according to the present embodiment, the support bumps 34 c are provided on the
(XY) / 2-75 ≦ Ls ≦ (XY) / 2-25
It has become. Thus, by setting the length Ls μm of the
なお、上述した実施の形態に関し、本発明の要旨の範囲内で種々の変更が可能である。以下、変形例の一例について説明する。 Various modifications can be made to the above-described embodiment within the scope of the present invention. Hereinafter, an example of a modification will be described.
例えば、上述した実施の形態において、ICチップ30が、二つの導電用バンプ34a,34bと、一つの支持用バンプ34cと、を有する例を示したが、これに限られない。支持用バンプの数量は、ICチップ30がアンテナ20上に安定して配置される限りにおいて、特に限定されない。例えば、支持用バンプが全く設けられていなくてもよいし、二つ以上の支持用バンプが設けられていてもよい。二つの支持用バンプを設ける場合には、さらなる支持用バンプを、例えば図6の二点鎖線で示す位置に配置するようにしてもよい。
For example, in the above-described embodiment, the
また、上述した実施の形態において、コイル状のアンテナ20の接続端子22a,22bに対してICチップ30の導電用バンプ34a,34bが電気的に接続される例を示したが、これに限られない。外部装置との通信に用いられる電磁波の周波数等に依存して、非接触通信部材10のアンテナ20の形状は種々変更され、例えばダイポールアンテナとして機能する一対の略棒状からなるアンテナ用導電体によって、アンテナ20が形成されることもある。このような種々の形状のアンテナに対しても、上述したICチップ30を適用することができる。
In the above-described embodiment, the example in which the
さらに、上述した実施の形態において、ICチップ30の導電用バンプ34a,34bがアンテナ20を構成するアンテナ用導電体22と電気的に接続される例を示したが、これに限られない。例えば、図11乃至図13に示すように、ICチップ30がインターポーザ40に組み込まれ、ICチップ30がアンテナ用導電体22と間接的に接続されるようにしてもよい。
Furthermore, in the above-described embodiment, the example in which the
ここで、図11乃至図13を用い、このような例についての詳細を説明しておく。なお、図11乃至図13に示す変形例において、上述した実施の形態と同一部分については同一符号を付して、重複する詳細な説明は省略する。 Here, details of such an example will be described with reference to FIGS. 11 to 13. In addition, in the modification shown in FIG. 11 thru | or FIG. 13, about the same part as embodiment mentioned above, the same code | symbol is attached | subjected and the detailed description which overlaps is abbreviate | omitted.
図示された本例において、インターポーザ40は、非導電性の支持シート(インターポーザ支持シート)42と、支持シート42上に配置された一対の棒状の接続用導電体44,44と、一対の接続用導電体44,44に電気的に接続(導通)されたICチップ30と、を備えている。インターポーザ40の断面を示す図13から理解できるように、本例において、ICチップ30の導電用バンプ34a,34bと電気的に接続される接続端子44a,44bは、一対の接続用導電体44,44の各内方端部部分によって形成される。そして、ICチップ30は、各接続端子44a,44bに異なる導電用バンプ34a,34bが接触するようにして、接着剤39を介して接続用導電体44上に接着固定されている。
In the illustrated example, the
なお、インターポーザ40の支持シート42は、PETや紙等からなっている。一方、接続用導電体44は銅やアルミニウムの箔等から構成される。接続用導電体44は、例えば、上述した実施の形態において説明したブリッジ用導電体25aと同様にして支持シート42上に形成され得る。
The
図13に示すように、インターポーザ40は、基材12上に形成されたアンテナ用導電体22の最内周端部22cおよび最外周端部22dに異なる接続用導電体44が電気的に接続した状態で、アンテナ20上に接着剤29を介して接着固定されている。この結果、ICチップ30の各導電用バンプ34a,34bは、異なる接続用導電体44の接続端子44a,44bとそれぞれ電気的に接続(導通)し、当該接続用導電体44a,44bを介してアンテナ用導電体22の最内周端部22cまたは最外周端部22dと電気的に接続(導通)している。したがって、ICチップ30をコイル状回路(さらに詳しくは、アンテナ用導電体22)内に直接電気的に接続させるための上述した接続端子22a,22bは、本例のアンテナ用導電体22に設けられていない。
As shown in FIG. 13, in the
このような例においても、上述した実施形態と同様にして、ICチップ30の回路形成面33の一方の一対の端縁33bに沿った方向における導電用バンプ34a,34bの長さLμm、並びに、ICチップ30の回路形成面33の一方の一対の端縁33bに沿った方向における支持用バンプ34cの長さLsμmを、一対の接続端子44a,44b間の隙間の大きさと、バンプ34a,34b,34cの寸法ばらつきと、ICチップ30の接続端子44a,44b上への配置位置のずれと、を考慮して最適化することができる。この場合、上述した実施の形態と同様にして、バンプ34a,34b,34cを接続端子44a,44bが形成されている領域内に配置することができるようになる。このため、当該導電用バンプ34a,34bと接続端子44a,44bとの接触面積を増大させてICチップ30および接続端子44a,44b間の接続抵抗値を低減することができるだけでなく、ICチップ30が接続用導電体44上において安定して配置され得るとともに、ICチップ30および接続端子44a,44b間の電気的接続が損なわれることを格段に抑制し得る。
In such an example, similarly to the above-described embodiment, the lengths Lμm of the
さらに、図1乃至図10に示す実施の形態において、ICチップ30が非接触通信部材10に適用される例を説明したが、これに限られない。上述した実施の形態におけるICチップ30によれば、ICチップ30と電気的に接続されるべき接続端子との間での接続抵抗値を低減することができるともに、ICチップ30および接続端子間の電気的接続が損なわれてしまうことを格段に抑制することができる。このような効果は、従来ICチップが用いられてきた分野全般において有用であることから、従来ICチップが用いられてきた分野全般に対して上述したICチップを適用することができる。
Furthermore, in the embodiment shown in FIGS. 1 to 10, the example in which the
1 回路形成済ウエハ
10 非接触通信部材
12 基材
20 アンテナ
22 アンテナ用導電体
22a,22b 接続端子
30 ICチップ
32 チップ本体
33 回路形成面
33a 回路配線
33b 端縁
34a,34b バンプ(導通用バンプ)
34c 支持用バンプ
40 インターポーザ
44 接続用導電体
44a,44b 接続端子
X 端縁の長さ
Y 端縁に沿った接続端子間の離間長さ
L 端縁に沿ったバンプの長さ
DESCRIPTION OF
Claims (10)
平面視略矩形状の回路形成面を有するチップ本体と、
前記回路形成面から突出し、異なる接続端子に電気的に接続されるようになる二つのバンプと、を備え、
前記回路形成面の一方の一対の端縁に沿った方向における前記バンプの長さLμmは、前記回路形成面の当該端縁の長さをXμmとし、前記バンプと電気的に接続された場合に前記回路形成面の当該端縁に沿うようになる方向での前記一対の接続端子の離間長さをYμmとすると、式(1)を満たすことを特徴とするICチップ。
(X−Y)/2−75≦L≦(X−Y)/2−25 ・・・ 式(1) An IC chip electrically connected to a pair of connection terminals,
A chip body having a circuit forming surface having a substantially rectangular shape in plan view;
Two bumps protruding from the circuit forming surface and becoming electrically connected to different connection terminals,
The length Lμm of the bump in the direction along one pair of edges of the circuit formation surface is set to Xμm when the length of the edge of the circuit formation surface is electrically connected to the bump. An IC chip that satisfies the formula (1) when a distance between the pair of connection terminals in a direction along the edge of the circuit forming surface is Y μm.
(XY) / 2-75 ≦ L ≦ (XY) / 2-25 (1)
前記回路形成面の一方の一対の端縁に沿った方向における前記支持用バンプの長さLsμmは、式(2)を満たすことを特徴とする請求項1に記載のICチップ。
(X−Y)/2−75≦Ls≦(X−Y)/2−25 ・・・ 式(2) A support bump that protrudes from the circuit forming surface and that is disposed on the connection terminal and supports the chip body together with the two bumps;
2. The IC chip according to claim 1, wherein a length Ls μm of the support bump in a direction along one pair of edges of the circuit formation surface satisfies the formula (2).
(XY) / 2-75 ≦ Ls ≦ (XY) / 2-25 (2)
一対の接続端子を有する導電体と、
前記導電体と電気的に接続されたICチップと、を備え、
前記ICチップは、平面視略矩形状の回路形成面を有するチップ本体と、前記回路形成面から突出し、前記導電体の異なる接続端子に電気的に接続された二つのバンプと、を有し、
前記回路形成面の一方の一対の端縁に沿った方向における前記バンプの長さLμmは、前記回路形成面の当該端縁の長さをXμmとし、前記回路形成面の当該端縁に沿った方向における前記一対の接続端子の離間長さをYμmとすると、式(3)を満たすことを特徴とする非接触通信部材。
(X−Y)/2−75≦L≦(X−Y)/2−25 ・・・ 式(3) A non-contact communication member having an antenna,
A conductor having a pair of connection terminals;
An IC chip electrically connected to the conductor,
The IC chip includes a chip body having a circuit forming surface having a substantially rectangular shape in plan view, and two bumps protruding from the circuit forming surface and electrically connected to different connection terminals of the conductor,
The length L μm of the bump in the direction along one pair of edges of the circuit formation surface is X μm, and the length of the edge of the circuit formation surface is along the edge of the circuit formation surface. A non-contact communication member characterized by satisfying Formula (3), where Y μm is a separation length of the pair of connection terminals in the direction.
(XY) / 2-75 ≦ L ≦ (XY) / 2-25 (3)
前記回路形成面の一方の一対の端縁に沿った方向における前記支持用バンプの長さLsμmは、式(4)を満たすことを特徴とする請求項5に記載の非接触通信部材。
(X−Y)/2−75≦Ls≦(X−Y)/2−25 ・・・ 式(4) The IC chip further includes a support bump that protrudes from the circuit forming surface and is disposed on the connection terminal and supports the chip body together with the two bumps.
6. The contactless communication member according to claim 5, wherein a length Ls μm of the support bump in a direction along one pair of edges of the circuit formation surface satisfies the formula (4).
(XY) / 2-75 ≦ Ls ≦ (XY) / 2-25 (4)
前記導電体は、前記アンテナ用導電体と前記ICチップとを電気的に接続することを特徴とする請求項5または6に記載の非接触通信部材。 Further comprising an antenna conductor constituting the antenna,
The contactless communication member according to claim 5 or 6, wherein the conductor electrically connects the antenna conductor and the IC chip.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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JP2007311407A true JP2007311407A (en) | 2007-11-29 |
Family
ID=38844027
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006136574A Withdrawn JP2007311407A (en) | 2006-05-16 | 2006-05-16 | Ic chip, wafer finished with circuit formation, and noncontact communication member |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2007311407A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009258943A (en) * | 2008-04-16 | 2009-11-05 | Omron Corp | Strap, tag inlet, and rfid tag |
JP6044745B2 (en) * | 2014-09-03 | 2016-12-14 | 株式会社村田製作所 | Module parts |
JP2018113690A (en) * | 2012-03-23 | 2018-07-19 | エルジー イノテック カンパニー リミテッド | Antenna assembly and manufacturing method thereof |
US10270291B2 (en) | 2012-03-23 | 2019-04-23 | Lg Innotek Co., Ltd. | Wireless power receiver and method of manufacturing the same |
-
2006
- 2006-05-16 JP JP2006136574A patent/JP2007311407A/en not_active Withdrawn
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009258943A (en) * | 2008-04-16 | 2009-11-05 | Omron Corp | Strap, tag inlet, and rfid tag |
JP2018113690A (en) * | 2012-03-23 | 2018-07-19 | エルジー イノテック カンパニー リミテッド | Antenna assembly and manufacturing method thereof |
US10256540B2 (en) | 2012-03-23 | 2019-04-09 | Lg Innotek Co., Ltd. | Antenna assembly and method for manufacturing same |
US10270291B2 (en) | 2012-03-23 | 2019-04-23 | Lg Innotek Co., Ltd. | Wireless power receiver and method of manufacturing the same |
US10277071B2 (en) | 2012-03-23 | 2019-04-30 | Lg Innotek Co., Ltd. | Wireless power receiver and method of manufacturing the same |
US10673141B2 (en) | 2012-03-23 | 2020-06-02 | Lg Innotek Co., Ltd. | Antenna assembly and method for manufacturing same |
US10804740B2 (en) | 2012-03-23 | 2020-10-13 | Lg Innotek Co., Ltd. | Wireless power receiver and method of manufacturing the same |
JP6044745B2 (en) * | 2014-09-03 | 2016-12-14 | 株式会社村田製作所 | Module parts |
JPWO2016035629A1 (en) * | 2014-09-03 | 2017-04-27 | 株式会社村田製作所 | Module parts |
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